本技術主要涉(she)及lpcvd設備領(ling)域，尤其涉(she)及一種(zhong)適用于lpcvd設備的全自動上(shang)下料系統和(he)方法。

背景技術：

1、低氣(qi)壓化學氣(qi)相沉積(ji)(lpcvd)鍍(du)膜(mo)設(she)(she)備(bei)(bei)是半導(dao)體工(gong)藝(yi)的(de)(de)(de)常見設(she)(she)備(bei)(bei)，該類設(she)(she)備(bei)(bei)在(zai)(zai)(zai)(zai)使用時(shi)通常需(xu)要人員將(jiang)在(zai)(zai)(zai)(zai)放(fang)(fang)有晶圓(yuan)的(de)(de)(de)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片花(hua)籃放(fang)(fang)置在(zai)(zai)(zai)(zai)設(she)(she)備(bei)(bei)放(fang)(fang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)槳上，設(she)(she)備(bei)(bei)放(fang)(fang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)槳自動傳(chuan)輸設(she)(she)備(bei)(bei)內部(bu)。該設(she)(she)備(bei)(bei)高(gao)達(da)3.2米，人員需(xu)要爬扶梯(ti)或踏(ta)梯(ti)以(yi)完成(cheng)上料(liao)的(de)(de)(de)流(liu)程。在(zai)(zai)(zai)(zai)完成(cheng)高(gao)溫(wen)(可(ke)達(da)1000℃)工(gong)藝(yi)后，放(fang)(fang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)槳傳(chuan)送回原(yuan)位，人員須(xu)自行判斷花(hua)籃溫(wen)度足夠低，或帶上防護手(shou)套將(jiang)換藍取(qu)(qu)出以(yi)完成(cheng)下料(liao)的(de)(de)(de)流(liu)程。根據lpcvd工(gong)藝(yi)需(xu)求，在(zai)(zai)(zai)(zai)放(fang)(fang)置樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片舟(zhou)時(shi)，樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片舟(zhou)的(de)(de)(de)兩(liang)端(duan)需(xu)各放(fang)(fang)置一個裝滿晶圓(yuan)的(de)(de)(de)陪片舟(zhou)，用以(yi)確保(bao)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片舟(zhou)上晶圓(yuan)鍍(du)膜(mo)的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)穩(wen)定性(xing)，因而在(zai)(zai)(zai)(zai)取(qu)(qu)放(fang)(fang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)時(shi)需(xu)人工(gong)完成(cheng)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片花(hua)籃及陪片花(hua)籃的(de)(de)(de)取(qu)(qu)放(fang)(fang)。為了實現(xian)(xian)這樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)傳(chuan)統的(de)(de)(de)操(cao)作(zuo)方式，人工(gong)放(fang)(fang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)需(xu)對設(she)(she)備(bei)(bei)操(cao)作(zuo)人員進行嚴格的(de)(de)(de)操(cao)作(zuo)培訓(xun)，以(yi)減少(shao)人員誤(wu)操(cao)作(zuo)并確保(bao)人員的(de)(de)(de)安(an)全(quan)。因此，現(xian)(xian)有的(de)(de)(de)lpcvd的(de)(de)(de)樣(yang)(yang)(yang)(yang)(yang)片花(hua)籃取(qu)(qu)放(fang)(fang)方式存在(zai)(zai)(zai)(zai)諸多缺陷(xian)，便捷性(xing)、安(an)全(quan)性(xing)等(deng)均有待提(ti)高(gao)。

技術實現思路

1、本技(ji)術要解決的(de)(de)(de)技(ji)術問(wen)題是提(ti)供一種適用于lpcvd設(she)備(bei)的(de)(de)(de)全自(zi)動上下(xia)料(liao)系統和(he)(he)方法，可以全自(zi)動執(zhi)行花籃的(de)(de)(de)取放操作，提(ti)高lpcvd設(she)備(bei)的(de)(de)(de)上下(xia)料(liao)效率和(he)(he)上下(xia)料(liao)安全性。

2、為(wei)解決上(shang)(shang)(shang)(shang)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)技(ji)術問題，本技(ji)術提供(gong)了一(yi)(yi)種(zhong)適(shi)用于(yu)(yu)(yu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)的(de)(de)全自(zi)動上(shang)(shang)(shang)(shang)下料(liao)(liao)(liao)系統(tong)(tong)，包(bao)括(kuo)(kuo)(kuo)：機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)活動區和和獨(du)立于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)活動區之外的(de)(de)操作區，其中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)全自(zi)動上(shang)(shang)(shang)(shang)下料(liao)(liao)(liao)系統(tong)(tong)包(bao)括(kuo)(kuo)(kuo)：lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)和與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)鄰(lin)接(jie)的(de)(de)lpcvd上(shang)(shang)(shang)(shang)下料(liao)(liao)(liao)區，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)至(zhi)少與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)活動區鄰(lin)接(jie)、所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd上(shang)(shang)(shang)(shang)下料(liao)(liao)(liao)區至(zhi)少與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)操作區鄰(lin)接(jie)；復合(he)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)，配置(zhi)(zhi)為(wei)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)活動區移動，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)復合(he)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)包(bao)括(kuo)(kuo)(kuo)裝(zhuang)載有花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)的(de)(de)隨(sui)(sui)行工(gong)裝(zhuang)、適(shi)于(yu)(yu)(yu)延伸的(de)(de)機(ji)(ji)(ji)械臂以及位于(yu)(yu)(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)(ji)械臂端部的(de)(de)夾(jia)持裝(zhuang)置(zhi)(zhi)；其中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)包(bao)括(kuo)(kuo)(kuo)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)和已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)適(shi)于(yu)(yu)(yu)放(fang)置(zhi)(zhi)待(dai)(dai)(dai)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)處(chu)(chu)理(li)(li)的(de)(de)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)適(shi)于(yu)(yu)(yu)放(fang)置(zhi)(zhi)經所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)處(chu)(chu)理(li)(li)的(de)(de)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)；所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)復合(he)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)適(shi)于(yu)(yu)(yu)通(tong)(tong)過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)夾(jia)持裝(zhuang)置(zhi)(zhi)夾(jia)取所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)或(huo)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)，并(bing)通(tong)(tong)過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)(ji)械臂將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)隨(sui)(sui)行工(gong)裝(zhuang)轉移至(zhi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)、或(huo)將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)(she)(she)備(bei)(bei)轉移至(zhi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)隨(sui)(sui)行工(gong)裝(zhuang)；以及至(zhi)少一(yi)(yi)個(ge)上(shang)(shang)(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)臺(tai)，布置(zhi)(zhi)在所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)操作區中，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)(shang)(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)臺(tai)包(bao)括(kuo)(kuo)(kuo)一(yi)(yi)個(ge)或(huo)多個(ge)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)倉，每(mei)個(ge)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)倉適(shi)于(yu)(yu)(yu)存放(fang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)或(huo)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)，且所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)復合(he)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)適(shi)于(yu)(yu)(yu)響應于(yu)(yu)(yu)上(shang)(shang)(shang)(shang)下料(liao)(liao)(liao)指令，通(tong)(tong)過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)夾(jia)持裝(zhuang)置(zhi)(zhi)將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)(dai)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)倉轉移至(zhi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)復合(he)機(ji)(ji)(ji)器(qi)(qi)(qi)(qi)人(ren)(ren)的(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)隨(sui)(sui)行工(gong)裝(zhuang)內、或(huo)將(jiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)已(yi)(yi)處(chu)(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)(hua)籃(lan)(lan)(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)隨(sui)(sui)行工(gong)裝(zhuang)轉移至(zhi)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)樣(yang)片(pian)(pian)(pian)倉。

3、可選地，所(suo)述(shu)(shu)(shu)機(ji)械臂的(de)臂長不(bu)小(xiao)于1.7m以使所(suo)述(shu)(shu)(shu)花(hua)籃自(zi)所(suo)述(shu)(shu)(shu)隨行工裝移(yi)動(dong)至預(yu)設空間高(gao)度(du)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)預(yu)設空間高(gao)度(du)的(de)范圍為50cm～220cm，且所(suo)述(shu)(shu)(shu)機(ji)械臂的(de)重(zhong)復定(ding)位精度(du)不(bu)大于0.1mm。

4、可(ke)選地，所述(shu)隨行(xing)工(gong)裝配置為(wei)具有多(duo)個花籃(lan)工(gong)位，所述(shu)多(duo)個花籃(lan)工(gong)位具有統一的標(biao)準尺寸，其中(zhong)，每個所述(shu)花籃(lan)的底部具有相同的形狀(zhuang)和尺寸以適配所述(shu)具有統一的標(biao)準尺寸的所述(shu)花籃(lan)工(gong)位。

5、可(ke)選地，所述夾持(chi)裝(zhuang)置包括溫(wen)(wen)度傳(chuan)感器(qi)，所述溫(wen)(wen)度傳(chuan)感器(qi)配(pei)置為感應待夾持(chi)的(de)所述花(hua)籃(lan)的(de)花(hua)籃(lan)溫(wen)(wen)度，且所述夾持(chi)裝(zhuang)置配(pei)置為當所述花(hua)籃(lan)溫(wen)(wen)度低于(yu)高溫(wen)(wen)閾值后(hou)再執行夾取和(he)轉移的(de)操(cao)作。

6、可選地，所(suo)(suo)述(shu)(shu)夾(jia)持(chi)裝(zhuang)置(zhi)還(huan)包括攝像(xiang)頭(tou)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)攝像(xiang)頭(tou)配置(zhi)為獲取待夾(jia)持(chi)的(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)花籃(lan)的(de)待夾(jia)持(chi)圖(tu)像(xiang)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)全自動上下料系統配置(zhi)為解析所(suo)(suo)述(shu)(shu)待夾(jia)持(chi)圖(tu)像(xiang)以獲得解析結果，所(suo)(suo)述(shu)(shu)解析結果包括所(suo)(suo)述(shu)(shu)花籃(lan)的(de)位置(zhi)信息(xi)和(he)(he)/或(huo)(huo)所(suo)(suo)述(shu)(shu)花籃(lan)中的(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)待處理(li)樣(yang)片或(huo)(huo)所(suo)(suo)述(shu)(shu)已處理(li)樣(yang)片的(de)位姿信息(xi)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)復(fu)合機器人配置(zhi)為在所(suo)(suo)述(shu)(shu)位置(zhi)信息(xi)和(he)(he)/或(huo)(huo)所(suo)(suo)述(shu)(shu)位姿信息(xi)滿足待夾(jia)持(chi)條(tiao)件時再執行夾(jia)取和(he)(he)轉移的(de)操(cao)作。

7、可選(xuan)地，所述攝像(xiang)頭還配置為包(bao)括視覺(jue)識別系統(tong)，所述視覺(jue)識別系統(tong)用于(yu)解析(xi)所述待夾持(chi)圖像(xiang)并獲得所述解析(xi)結果。

8、可選地，所述夾持(chi)裝(zhuang)置(zhi)還包括電機(ji)、相對的(de)第(di)(di)一抓(zhua)手(shou)(shou)和(he)第(di)(di)二(er)抓(zhua)手(shou)(shou)，且所述花(hua)籃(lan)包括相對的(de)第(di)(di)一夾持(chi)部和(he)第(di)(di)二(er)夾持(chi)部，所述第(di)(di)一抓(zhua)手(shou)(shou)和(he)所述第(di)(di)二(er)抓(zhua)手(shou)(shou)適于經所述電機(ji)控(kong)制分別(bie)自外側靠近并接(jie)觸(chu)所述第(di)(di)一夾持(chi)部和(he)第(di)(di)二(er)夾持(chi)部直至到達夾緊狀態。

9、可選地(di)，所述(shu)上料(liao)臺至少(shao)包括一個主上料(liao)臺，所述(shu)主上料(liao)臺配(pei)置(zhi)為具有(you)控制系(xi)統，所述(shu)控制系(xi)統適于(yu)與所述(shu)lpcvd設備和所述(shu)復(fu)合機器人之間進行通訊，且所述(shu)控制系(xi)統配(pei)置(zhi)為獲取和存儲(chu)每(mei)個所述(shu)樣片倉的花(hua)籃存取信息以及向所述(shu)復(fu)合機器人提供所述(shu)上下料(liao)指令。

10、可選地，所(suo)述控制系統還配(pei)(pei)置(zhi)為(wei)與上(shang)位機進行(xing)通訊以(yi)相互傳(chuan)遞(di)上(shang)下(xia)(xia)料(liao)信(xin)息，其(qi)中，所(suo)述控制系統配(pei)(pei)置(zhi)為(wei)根據所(suo)述上(shang)下(xia)(xia)料(liao)信(xin)息和所(suo)述花籃存取信(xin)息在每(mei)次進行(xing)上(shang)料(liao)操作(zuo)前(qian)分配(pei)(pei)空閑(xian)樣片(pian)倉。

11、可選地(di)，所(suo)(suo)述(shu)上(shang)料(liao)臺包括(kuo)至少(shao)一(yi)個所(suo)(suo)述(shu)主上(shang)料(liao)臺以及至少(shao)一(yi)個從上(shang)料(liao)臺，其中(zhong)，所(suo)(suo)述(shu)控制(zhi)系(xi)統在(zai)所(suo)(suo)述(shu)全(quan)自(zi)動上(shang)下料(liao)系(xi)統僅布置在(zai)所(suo)(suo)述(shu)主上(shang)料(liao)臺中(zhong)。

12、可(ke)選地，所(suo)述(shu)主(zhu)上料臺還(huan)配(pei)置為包括掃(sao)描(miao)設備(bei)，且每個所(suo)述(shu)花(hua)籃配(pei)置為具(ju)有識(shi)別碼，其中，所(suo)述(shu)掃(sao)描(miao)設備(bei)適于掃(sao)描(miao)所(suo)述(shu)識(shi)別碼以獲取每個所(suo)述(shu)花(hua)籃的花(hua)籃信息(xi)。

13、可選地(di)，還包括視(shi)覺識別報警系統，所(suo)述(shu)視(shi)覺識別報警系統配置為實時監測所(suo)述(shu)機(ji)器人活(huo)動(dong)區是(shi)否(fou)出(chu)現(xian)所(suo)述(shu)復合機(ji)器人之(zhi)外的(de)目(mu)標物(wu)，并在(zai)出(chu)現(xian)所(suo)述(shu)目(mu)標物(wu)時發出(chu)警報。

14、本技術的(de)另一方(fang)(fang)面還(huan)提出(chu)(chu)了(le)一種(zhong)適(shi)用于(yu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)的(de)全(quan)(quan)自(zi)動(dong)上(shang)(shang)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)方(fang)(fang)法(fa)，適(shi)用于(yu)本技術任一實施例的(de)的(de)全(quan)(quan)自(zi)動(dong)上(shang)(shang)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)系(xi)(xi)統(tong)(tong)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)全(quan)(quan)自(zi)動(dong)上(shang)(shang)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)方(fang)(fang)法(fa)包(bao)括如下(xia)(xia)(xia)步驟：通過(guo)lpcvd設(she)備(bei)(bei)向(xiang)(xiang)全(quan)(quan)自(zi)動(dong)上(shang)(shang)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)系(xi)(xi)統(tong)(tong)的(de)控(kong)制系(xi)(xi)統(tong)(tong)發(fa)(fa)出(chu)(chu)允許上(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)信號和槳伸(shen)出(chu)(chu)到位信號；通過(guo)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)控(kong)制系(xi)(xi)統(tong)(tong)發(fa)(fa)出(chu)(chu)上(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)指令(ling)至(zhi)復合機(ji)(ji)器人(ren)，并(bing)由所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)復合機(ji)(ji)器人(ren)執行上(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)操(cao)作(zuo)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)上(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)操(cao)作(zuo)包(bao)括通過(guo)夾(jia)持(chi)(chi)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)自(zi)上(shang)(shang)料(liao)(liao)(liao)臺的(de)樣(yang)片倉夾(jia)取(qu)待(dai)(dai)處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)，通過(guo)機(ji)(ji)械臂(bei)(bei)將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)樣(yang)片倉轉(zhuan)移(yi)至(zhi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)復合機(ji)(ji)器人(ren)上(shang)(shang)的(de)隨(sui)行工(gong)裝(zhuang)(zhuang)內，并(bing)繼(ji)續將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)轉(zhuan)移(yi)至(zhi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)；在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)處(chu)理(li)(li)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)待(dai)(dai)處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)中的(de)待(dai)(dai)處(chu)理(li)(li)樣(yang)片后，通過(guo)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)向(xiang)(xiang)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)控(kong)制系(xi)(xi)統(tong)(tong)發(fa)(fa)出(chu)(chu)加工(gong)結束信號和槳伸(shen)出(chu)(chu)到位信號；以及通過(guo)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)控(kong)制系(xi)(xi)統(tong)(tong)發(fa)(fa)出(chu)(chu)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)指令(ling)至(zhi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)復合機(ji)(ji)器人(ren)，并(bing)由所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)復合機(ji)(ji)器人(ren)執行下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)操(cao)作(zuo)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)下(xia)(xia)(xia)料(liao)(liao)(liao)操(cao)作(zuo)包(bao)括通過(guo)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)夾(jia)持(chi)(chi)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)自(zi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd夾(jia)取(qu)已處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)，通過(guo)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)機(ji)(ji)械臂(bei)(bei)將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)已處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)自(zi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)轉(zhuan)移(yi)至(zhi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)隨(sui)行工(gong)裝(zhuang)(zhuang)內，并(bing)繼(ji)續將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)已處(chu)理(li)(li)花(hua)(hua)籃(lan)轉(zhuan)移(yi)至(zhi)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)樣(yang)片倉。

15、可選地，方法還(huan)包括：當所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)全(quan)自動上下料系(xi)(xi)統(tong)(tong)通(tong)過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)復(fu)合(he)機器(qi)人執行所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)上料操(cao)作時(shi)(shi)，由所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)向(xiang)(xiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)發(fa)出上料中(zhong)信(xin)(xin)號(hao)；當所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)正在處(chu)理所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)待處(chu)理花籃中(zhong)的待處(chu)理樣(yang)片時(shi)(shi)，由所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)向(xiang)(xiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)發(fa)出加工中(zhong)信(xin)(xin)號(hao)；以及當所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)全(quan)自動上下料系(xi)(xi)統(tong)(tong)通(tong)過所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)復(fu)合(he)機器(qi)人執行所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)下料操(cao)作時(shi)(shi)，由所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)向(xiang)(xiang)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)lpcvd設(she)備(bei)(bei)發(fa)出下料中(zhong)信(xin)(xin)號(hao)。

16、可(ke)選地，方法(fa)還包括在(zai)所(suo)述lpcvd設備(bei)開(kai)始處(chu)理(li)(li)所(suo)述待處(chu)理(li)(li)花籃(lan)中的待處(chu)理(li)(li)樣(yang)片時之前，通(tong)過所(suo)述lpcvd設備(bei)等待接收人(ren)工確(que)認指(zhi)令(ling)信號，當(dang)所(suo)述lpcvd設備(bei)收到所(suo)述人(ren)工確(que)認指(zhi)令(ling)信號后，再開(kai)始處(chu)理(li)(li)所(suo)述待處(chu)理(li)(li)樣(yang)片。

17、可選地(di)，方法還包括當所述(shu)lpcvd設(she)備完成(cheng)處(chu)理所述(shu)待(dai)處(chu)理花(hua)籃中的待(dai)處(chu)理樣片之(zhi)后(hou)，延時預定(ding)時間后(hou)再向所述(shu)控制系統(tong)發出所述(shu)加工結束信(xin)號(hao)和(he)所述(shu)槳伸(shen)出到(dao)位(wei)信(xin)號(hao)。

18、可選(xuan)地，方法還(huan)包括(kuo)提前通過預約系(xi)統(tong)獲取設備使(shi)用信息，所述(shu)設備使(shi)用信息用于使(shi)所述(shu)全自動上下料(liao)系(xi)統(tong)準(zhun)備所述(shu)上料(liao)指令。

19、與(yu)現(xian)有技(ji)術相(xiang)(xiang)比，本技(ji)術具有以下(xia)(xia)優點(dian)：本技(ji)術的(de)(de)適用于lpcvd設備的(de)(de)全(quan)自動(dong)上(shang)下(xia)(xia)料(liao)系統和(he)方(fang)法，通過(guo)設計(ji)相(xiang)(xiang)互獨立的(de)(de)機器人活動(dong)區和(he)便于人員(yuan)操(cao)作的(de)(de)操(cao)作區，將上(shang)下(xia)(xia)料(liao)過(guo)程中涉(she)及(ji)高(gao)(gao)(gao)溫和(he)爬高(gao)(gao)(gao)作業(ye)等相(xiang)(xiang)關(guan)操(cao)作通過(guo)復合(he)機器人實現(xian)，在(zai)保證上(shang)下(xia)(xia)料(liao)流(liu)程符(fu)合(he)試驗或制(zhi)造(zao)要求的(de)(de)前(qian)提下(xia)(xia)，顯著提高(gao)(gao)(gao)了lpcvd設備的(de)(de)上(shang)下(xia)(xia)料(liao)效率和(he)上(shang)下(xia)(xia)料(liao)安全(quan)性(xing)。