05mmol進行混合,經過均勻混合后,在1300°C下燒結成直徑為50mm,厚度為2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并用對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為95mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到1.0X 10_5Pa，氬氣的工作氣體流量為35SCCm，壓強調節為4.0Pa，襯底溫度為750°C，濺射功率為300W，得到的樣品的化學式為Sra95ZnO2:0.05Ti4+，厚度為60nm，然后在發光薄膜上面蒸鍍一層Ag，作為陰極。
[0082]實施例7
[0083]選用純度為99.99%的粉體，將BaO，ZnO和T12粉體按照摩爾數為0.97mmol，Immol和0.03mmol進行混合,經過均勻混合后,在1250°C下燒結成直徑為50mm,厚度為2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并用對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為60mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到5.0X 10_4Pa，氬氣的工作氣體流量為20SCCm，壓強調節為2.0Pa，襯底溫度為500°C，濺射功率為150W，得到的樣品的化學式為Baa97ZnO2 = 0.03Ti4+的發光薄膜，厚度為150nm，然后在發光薄膜上面蒸鍍一層Ag，作為陰極。
[0084]實施例8
[0085]選用純度為99.99%的粉體，將BaO，ZnO和T12粉體按照摩爾數為0.99mmol，Immol和0.0lmmol進行混合,經過均勻混合后,在900 °C下燒結成直徑為50mm,厚度為2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并用對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為45mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到1.0X 10_3Pa，氬氣的工作氣體流量為lOsccm，壓強調節為0.5Pa，濺射功率為50W。得到的樣品的化學式為Baa99Zn02:0.0lTi4+的發光薄膜，厚度為300nm，然后在發光薄膜上面蒸鍍一層Ag，作為陰極。
[0086]實施例9
[0087]選用純度為99.99%的粉體，將BaO，ZnO和T12粉體按照摩爾數為0.95mmol，Immol和0.05mmol進行混合,經過均勻混合后,在1300°C下燒結成直徑為50mm,厚度為2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并用對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為95mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到1.0X 10_5Pa，氬氣的工作氣體流量為35SCCm，壓強調節為5.0Pa，襯底溫度為750°C，濺射功率為300W，得到的樣品的化學式為Baa95ZnO2 = 0.05Ti4+的發光薄膜，厚度為60nm，然后在發光薄膜上面蒸鍍一層Ag，作為陰極。
[0088]以上所述實施例僅表達了本發明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發明專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。因此，本發明專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
【主權項】
1.一種鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料，其特征在于:其化學式為MehZnO2:xTi4+，MehZnO2是基質，Ti4+離子是激活元素,其中，x為0.01?0.05, Me為I丐元素、銀元素及鋇元素中的一種。
2.根據權利要求1所述的發光材料，其特征在于:所述X為0.03。
3.—種鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: 根據Μθι_χΖη02:xTi4+各元素的化學計量比稱取MeO，ZnO和T12粉體并混合均勻，其中，X為0.01?0.05, MeO為氧化I丐、氧化銀及氧化鋇中的一種；及 將混合均勻的粉體在900 °C?1300 °C下燒結0.5小時?5小時即得到化學式為MehZnO2:xTi4+的鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料，x為0.01?0.05,Me為鈣元素、鍶元素及鋇元素中的一種。
4.一種鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光薄膜，其特征在于，該鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光薄膜的材料的化學通式為Mei_xZn02:xTi4+, Me1^xZnO2是基質，Ti4+離子是激活元素，其中，x為0.01?0.05, Me為鈣元素、鍶元素及鋇元素中的一種。
5.根據權利要求4所述的發光薄膜，其特征在于:所述發光薄膜的厚度為60nm?300nmo
6.一種鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: 根據Μθι_χΖη02:xTi4+各元素的化學計量比稱取MeO，ZnO和T12粉體并混合均勻，將混合均勻的粉體在900°C?1300°C下燒結0.5小時?5小時得到靶材，其中，x為0.01?0.05, MeO為氧化I丐、氧化銀及氧化鋇中的一種； 將所述靶材以及襯底裝入磁控濺射鍍膜設備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設置為 1.0 X KT3Pa ?1.0 X KT5Pa ;及 調整磁控濺射鍍膜工藝參數為:基靶間距為45mm?95mm，磁控濺射工作壓強0.5Pa?5Pa，工作氣體的流量為1sccm?40sccm，襯底溫度為250°C?750°C，濺射功率為50W?300W，接著進行制膜，得到化學式為Mei_xZn02:XTi4+，Mei_xZn02是基質，Ti4+離子是激活元素，其中，X為0.01?0.05，Me為鈣元素、鍶元素及鋇元素中的一種。
7.一種薄膜電致發光器件，該薄膜電致發光器件包括依次層疊的襯底、陽極層、發光層以及陰極層，其特征在于，所述發光層的材料為鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料，該鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料的化學式為Mei_xZn02:xTi4+, Me1^xZnO2是基質，Ti4+離子是激活元素，其中，X為0.01?0.05, Me為I丐元素、銀元素及鋇元素中的一種。
8.一種薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: 提供具有陽極的襯底； 在所述陽極上形成發光層，所述發光層的材料為鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料，該鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料的化學式為Mei_xZn02:xTi4+,Me1^xZnO2是基質，Ti4+離子是激活元素，其中，X為0.01?0.05，Me為鈣元素、鍶元素及鋇元素中的一種； 在所述發光層上形成陰極。
9.根據權利要求8所述的薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，所述發光層的制備包括以下步驟: 根據MehZnO2:xTi4+各元素的化學計量比稱取MeO，ZnO和T12粉體并混合均勻在900°C?1300°C下燒結0.5小時?5小時制成靶材，其中，x為0.01?0.05，MeO為氧化鈣、氧化鍶及氧化鋇中的一種； 將所述靶材以及所述襯底裝入磁控濺射鍍膜設備的真空腔體，并將真空腔體的真空度設置為 1.0X KT3Pa ?1.0X KT5Pa ； 調整磁控濺射鍍膜工藝參數為:基靶間距為45mm?95mm，磁控濺射工作壓強0.5Pa?5Pa，工作氣體的流量為1sccm?40sccm，襯底溫度為250°C?750°C，濺射功率為50W?300W,接著進行制膜，在所述陽極上形成發光層。
10.根據權利要求8所述的薄膜電致發光器件的制備方法，其特征在于，所述發光層的厚度為60nm?300nm。
【專利摘要】一種鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料，其化學式為Me1-xZnO2：xTi4+，Me1-xZnO2是基質，Ti4+離子是激活元素，其中，x為0.01～0.05，Me為鈣元素、鍶元素及鋇元素中的一種。該鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料制成的發光薄膜的電致發光光譜（EL）中，在646nm波長區都有很強的發光峰，能夠應用于薄膜電致發光顯示器中。本發明還提供該鈦摻雜堿土鋅酸鹽發光材料的制備方法及其應用。
【IPC分類】H01L33-50, C09K11-55
【公開號】CN104673280
【申請號】CN201310633617
【發明人】周明杰, 陳吉星, 王平, 黃輝
【申請人】海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技術有限公司, 深圳市海洋王照明工程有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2013年11月30日