擴散用高溫爐的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種擴散用高溫爐，包括底座和石英管爐腔；石英管爐腔安裝于底座之上；石英管爐腔為豎直柱狀，其頂部設置有兩個開口；石英管爐腔內設置有熱電偶測量裝置，熱電偶測量傳輸線路通過第一開口傳輸至位于石英管爐腔外部的溫度控制器；還包括多個加熱器和多組熱阻絲；多個加熱器均與溫度控制器相連接；每個加熱器上對應連接有一組熱阻絲；每組熱阻絲螺旋狀纏繞在石英管爐腔之外；相鄰的熱阻絲間隔距離相等；工藝氣體通過氣流控制器，進而通過第二開口輸入石英管爐腔；底座上設置有氣體出口；氣體出口處安裝有壓力控制器。本發明在石英管爐腔外間隔均勻的設置有多組熱阻絲，所以可以達到對石英管爐腔進行均勻加熱的效果。
【專利說明】
擴散用高溫爐
技術領域
[0001]本發明涉及半導體制造領域，具體涉及一種擴散用高溫爐。
【背景技術】
[0002]在半導體制造工藝中經常會遇到高溫工藝，如氧化、擴散、淀積、退火等工藝，均需要在高溫模式下進行，而且所需溫度十分高，在某些情況下，甚至需要達到100 V O現有技術中的高溫爐，存在著加溫不均勻的缺點，如果加溫不均勻，則反應用氣體所處的溫度環境不一致，則反應進程不精確，且難以控制，最終影響產品的良率。

【發明內容】

[0003]針對現有技術的不足，本發明公開了一種擴散用高溫爐。
[0004]本發明的技術方案如下:
[0005]—種擴散用高溫爐，包括底座和石英管爐腔;石英管爐腔安裝于底座之上;石英管爐腔為豎直柱狀，其頂部設置有兩個開口 ；石英管爐腔內設置有熱電偶測量裝置，熱電偶測量傳輸線路通過第一開口傳輸至位于石英管爐腔外部的溫度控制器;還包括多個加熱器和多組熱阻絲；多個加熱器均與溫度控制器相連接;每個加熱器上對應連接有一組熱阻絲;每組熱阻絲螺旋狀纏繞在石英管爐腔之外；相鄰的熱阻絲間隔距離相等；工藝氣體通過氣流控制器，進而通過第二開口輸入石英管爐腔;底座上設置有氣體出口；氣體出口處安裝有壓力控制器。
[0006]本發明的有益技術效果是:
[0007]本發明在石英管爐腔外間隔均勻的設置有多組熱阻絲，所以可以達到對石英管爐腔進行均勻加熱的效果。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發明的示意圖。
【具體實施方式】
[0009]圖1是本發明的示意圖。如圖1所示，本發明包括底座和石英管爐腔;石英管爐腔安裝于底座之上;石英管爐腔為豎直柱狀，其頂部設置有兩個開口 ；石英管爐腔內設置有熱電偶測量裝置，熱電偶測量傳輸線路通過第一開口傳輸至位于石英管爐腔外部的溫度控制器;還包括多個加熱器和多組熱阻絲；多個加熱器均與溫度控制器相連接;每個加熱器上對應連接有一組熱阻絲;每組熱阻絲螺旋狀纏繞在石英管爐腔之外；相鄰的熱阻絲間隔距離相等;工藝氣體通過氣流控制器，進而通過第二開口輸入石英管爐腔;底座上設置有氣體出口；氣體出口處安裝有壓力控制器。
[0010]本發明的工作原理為，工藝氣體通過氣流控制器，恰當調整氣體流量之后，通過第二開口通入石英管爐腔，與放置在石英管爐腔內的晶圓片進行反應。加熱器通過加熱熱阻絲，加熱石英管爐腔。而反應過程中，石英管爐腔中的熱電偶測量反應溫度，并將反應溫度的信息傳送至溫度控制器，溫度控制器又控制多個加熱器，對加熱器的輸出溫度進行反饋調節。
[0011 ]反應之后的氣體通過底座下部的氣體出口排出。由于氣體出口處設置有壓力控制器，所以底座下方的氣體出口除了可以排出氣體外，還可以控制石英管爐腔中的反應壓強。
[0012]以上所述的僅是本發明的優選實施方式，本發明不限于以上實施例。可以理解，本領域技術人員在不脫離本發明的精神和構思的前提下直接導出或聯想到的其他改進和變化，均應認為包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種擴散用高溫爐，其特征在于，包括底座和石英管爐腔;石英管爐腔安裝于底座之上;石英管爐腔為豎直柱狀，其頂部設置有兩個開口；石英管爐腔內設置有熱電偶測量裝置，熱電偶測量傳輸線路通過第一開口傳輸至位于石英管爐腔外部的溫度控制器;還包括多個加熱器和多組熱阻絲；多個加熱器均與溫度控制器相連接;每個加熱器上對應連接有一組熱阻絲;每組熱阻絲螺旋狀纏繞在石英管爐腔之外;相鄰的熱阻絲間隔距離相等;工藝氣體通過氣流控制器，進而通過第二開口輸入石英管爐腔;底座上設置有氣體出口；氣體出口處安裝有壓力控制器。
【文檔編號】C30B31/12GK105887205SQ201610480202
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年6月27日
【發明人】呂耀安
【申請人】無錫宏納科技有限公司