本發明涉及適合于面向移(yi)動設備的(de)高(gao)清顯示器用途的(de)無堿(jian)玻璃基板和(he)無堿(jian)玻璃基板的(de)制造方法。

背景技術：

作為液晶(jing)(jing)(jing)顯示(shi)器用的(de)(de)像素(su)控制用晶(jing)(jing)(jing)體(ti)管(guan)(guan)，使用非晶(jing)(jing)(jing)硅(a-si)型(xing)(xing)的(de)(de)薄膜晶(jing)(jing)(jing)體(ti)管(guan)(guan)(tft)，但(dan)是特別是作為包括有(you)機電致發光(有(you)機el)顯示(shi)器在內的(de)(de)面向(xiang)移(yi)動設備的(de)(de)高(gao)清顯示(shi)器用途，使用多晶(jing)(jing)(jing)硅(p-si)型(xing)(xing)的(de)(de)晶(jing)(jing)(jing)體(ti)管(guan)(guan)。a-si晶(jing)(jing)(jing)體(ti)管(guan)(guan)在tft陣列制造工序中的(de)(de)工序內的(de)(de)最高(gao)溫度為約350℃，而p-si晶(jing)(jing)(jing)體(ti)管(guan)(guan)中存在在tft陣列制造工序中的(de)(de)工序內的(de)(de)最高(gao)溫度達到(dao)600℃者(例如專(zhuan)利文獻1)。

作為液晶顯示器用(yong)途，要求在tft陣列制造工序中的(de)熱(re)(re)收(shou)縮(suo)率的(de)絕(jue)對(dui)值小(xiao)的(de)無堿玻璃基(ji)板，近年來(lai)，除了熱(re)(re)收(shou)縮(suo)率的(de)絕(jue)對(dui)值之外，基(ji)板間(jian)/基(ji)板面(mian)內(nei)的(de)熱(re)(re)收(shou)縮(suo)率的(de)偏差小(xiao)也(ye)變得(de)重要起來(lai)。其原(yuan)因在于，即使熱(re)(re)收(shou)縮(suo)率的(de)絕(jue)對(dui)值小(xiao)，若基(ji)板間(jian)/基(ji)板面(mian)內(nei)的(de)熱(re)(re)收(shou)縮(suo)率的(de)偏差大，也(ye)不(bu)得(de)不(bu)增粗黑色矩(ju)陣(bm)的(de)線寬，從而無法(fa)提(ti)高開(kai)口率(開(kai)口率)等。

專利文獻2記載的(de)(de)(de)(de)(de)玻璃基(ji)板(ban)(ban)是用于(yu)a-si晶體管的(de)(de)(de)(de)(de)無堿(jian)玻璃基(ji)板(ban)(ban)，基(ji)板(ban)(ban)內的(de)(de)(de)(de)(de)熱收縮率的(de)(de)(de)(de)(de)偏差小，并且(qie)在形(xing)成tft電路時(shi)(shi)利用光(guang)掩模進(jin)行修正時(shi)(shi)，基(ji)板(ban)(ban)內的(de)(de)(de)(de)(de)熱收縮總是處于(yu)一定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)范圍，因此能夠以良好的(de)(de)(de)(de)(de)成品(pin)率穩定(ding)地進(jin)行圖(tu)案(an)形(xing)成。

專利(li)文(wen)獻2中(zhong)記載了：“以高冷(leng)卻(que)(que)速(su)度(du)(du)冷(leng)卻(que)(que)的(de)(de)(de)平(ping)板(ban)玻(bo)(bo)璃(li)(li)的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)(shou)縮(suo)率(lv)大(da)，相反以低速(su)度(du)(du)冷(leng)卻(que)(que)的(de)(de)(de)平(ping)板(ban)玻(bo)(bo)璃(li)(li)的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)(shou)縮(suo)率(lv)減小。另外，對于玻(bo)(bo)璃(li)(li)基(ji)板(ban)而言，由于利(li)用玻(bo)(bo)璃(li)(li)成(cheng)形(xing)裝置連續地牽(qian)引(yin)板(ban)，因此(ci)在板(ban)牽(qian)引(yin)方(fang)向上(shang)(shang)溫(wen)度(du)(du)歷(li)史(冷(leng)卻(que)(que)速(su)度(du)(du))的(de)(de)(de)變動少。因此(ci)，在板(ban)牽(qian)引(yin)方(fang)向上(shang)(shang)不易產生熱(re)收(shou)(shou)縮(suo)率(lv)差(cha)，但(dan)在板(ban)寬度(du)(du)方(fang)向上(shang)(shang)容易產生溫(wen)度(du)(du)差(cha)，特別是(shi)中(zhong)央部(bu)分與端(duan)部(bu)的(de)(de)(de)溫(wen)度(du)(du)歷(li)史(冷(leng)卻(que)(que)速(su)度(du)(du))會不同(tong)。因此(ci)，在板(ban)寬度(du)(du)方(fang)向上(shang)(shang)的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)(shou)縮(suo)率(lv)差(cha)大(da)”。因此(ci)認為，通過使平(ping)均冷(leng)卻(que)(que)速(su)度(du)(du)在玻(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)板(ban)寬度(du)(du)方(fang)向上(shang)(shang)一致，能夠抑制基(ji)板(ban)內的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)(shou)縮(suo)率(lv)的(de)(de)(de)偏(pian)差(cha)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日(ri)本特表(biao)號公(gong)報(bao)

專利(li)文獻2：日本(ben)特開號公報

技術實現要素：

發明所要解決的問題

但是(shi)，根據本申(shen)請發明人(ren)的(de)研究發現，在(zai)(zai)用于p-si晶體管的(de)無堿玻(bo)(bo)璃基(ji)板(ban)的(de)制(zhi)造(zao)方法(fa)的(de)退(tui)火工(gong)序(xu)中(zhong)，即使(shi)在(zai)(zai)使(shi)玻(bo)(bo)璃帶的(de)板(ban)寬度(du)方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)平均冷卻速(su)度(du)一(yi)致的(de)情況下，有(you)時(shi)也會產生基(ji)板(ban)內的(de)熱(re)收縮率(lv)的(de)偏差(cha)。例如，在(zai)(zai)選擇基(ji)板(ban)內的(de)任意(yi)一(yi)個位置(zhi)、并對正(zheng)(zheng)交的(de)兩(liang)個方向(xiang)(xiang)(例如板(ban)牽(qian)(qian)引方向(xiang)(xiang)和板(ban)寬度(du)方向(xiang)(xiang))上(shang)(shang)的(de)熱(re)收縮率(lv)之差(cha)進行評(ping)價的(de)情況下，有(you)時(shi)熱(re)收縮率(lv)產生差(cha)異。這例示了正(zheng)(zheng)交的(de)兩(liang)個方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)熱(re)收縮行為有(you)可能不同。需(xu)要說(shuo)明的(de)是(shi)，專利文(wen)獻(xian)2中(zhong)沒有(you)提(ti)及板(ban)牽(qian)(qian)引方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)熱(re)收縮率(lv)差(cha)。

另外，選擇基(ji)(ji)板內(nei)的(de)(de)(de)任(ren)意(yi)兩個(ge)位置(zhi)(zhi)，將(jiang)一個(ge)位置(zhi)(zhi)a處的(de)(de)(de)在任(ren)意(yi)方向(xiang)上的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)縮(suo)率設(she)為(wei)ca、將(jiang)另一個(ge)位置(zhi)(zhi)b處的(de)(de)(de)在與所述任(ren)意(yi)方向(xiang)正交的(de)(de)(de)方向(xiang)上的(de)(de)(de)熱(re)收(shou)縮(suo)率設(she)為(wei)cb，僅(jin)通過使(shi)冷卻速度(du)(du)一致而使(shi)基(ji)(ji)板內(nei)的(de)(de)(de)假想溫度(du)(du)均勻，無(wu)法抑制熱(re)收(shou)縮(suo)率ca與熱(re)收(shou)縮(suo)率cb之差的(de)(de)(de)絕對(dui)值|ca-cb|。在此，將(jiang)熱(re)收(shou)縮(suo)率之差的(de)(de)(de)絕對(dui)值|ca-cb|定義為(wei)“各向(xiang)異性偏(pian)差”。一個(ge)位置(zhi)(zhi)a與另一個(ge)位置(zhi)(zhi)b也可以為(wei)基(ji)(ji)板內(nei)的(de)(de)(de)相同(tong)位置(zhi)(zhi)。

本申請發(fa)(fa)明人認(ren)為(wei)各向(xiang)異性偏差(cha)的(de)(de)原因并(bing)(bing)不(bu)僅(jin)僅(jin)在于(yu)所謂的(de)(de)結構(gou)弛豫(yu)現(xian)象，并(bing)(bing)對其(qi)產生機理(li)進行了研究。結果發(fa)(fa)現(xian)，短(duan)時間內的(de)(de)玻璃的(de)(de)變形不(bu)僅(jin)伴隨(sui)著(zhu)結構(gou)弛豫(yu)現(xian)象，還伴隨(sui)著(zhu)不(bu)伴有(you)玻璃的(de)(de)假想溫度變化的(de)(de)“延遲彈(dan)性現(xian)象”，其(qi)與(yu)偏差(cha)的(de)(de)產生有(you)很大關系。

接(jie)下(xia)(xia)來，對產(chan)(chan)生(sheng)由延遲彈性(xing)導致的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)收縮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)原因(yin)(yin)進(jin)行(xing)說明。在(zai)(zai)作為典型(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)基板(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)量產(chan)(chan)工(gong)(gong)藝的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)熔融法(fa)和浮法(fa)中，在(zai)(zai)對成(cheng)形(xing)后的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶進(jin)行(xing)牽(qian)(qian)引的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)同時(shi)進(jin)行(xing)退(tui)火，因(yin)(yin)此(ci)具有在(zai)(zai)產(chan)(chan)生(sheng)了板(ban)(ban)牽(qian)(qian)引方(fang)向(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)應力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)狀(zhuang)態下(xia)(xia)對玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶進(jin)行(xing)退(tui)火的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)序(xu)。此(ci)外，由于玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)化(hua)(hua)轉(zhuan)變(bian)溫度tg附(fu)近的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫度變(bian)化(hua)(hua)，玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)線膨脹系數發(fa)生(sheng)顯(xian)著變(bian)化(hua)(hua)，因(yin)(yin)此(ci)在(zai)(zai)退(tui)火工(gong)(gong)序(xu)中，在(zai)(zai)跨越玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)化(hua)(hua)轉(zhuan)變(bian)溫度tg的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)溫度范圍內(nei)產(chan)(chan)生(sheng)空間(jian)上(shang)不均勻的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)收縮，其結果是在(zai)(zai)板(ban)(ban)寬(kuan)度方(fang)向(xiang)上(shang)產(chan)(chan)生(sheng)應力分布(bu)。在(zai)(zai)此(ci)，在(zai)(zai)對加熱(re)狀(zhuang)態的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶施加應力的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)狀(zhuang)態下(xia)(xia)將(jiang)玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶冷卻至室溫、然后切割玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶而釋放載荷的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)(xia)，所(suo)得(de)到(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)基板(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)彈性(xing)變(bian)形(xing)量未完全達到(dao)0，而是殘留少(shao)量的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)變(bian)形(xing)。將(jiang)其稱為延遲彈性(xing)。在(zai)(zai)tft陣(zhen)列(lie)工(gong)(gong)序(xu)中對玻(bo)(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)基板(ban)(ban)進(jin)行(xing)再(zai)加熱(re)時(shi)，以(yi)延遲彈性(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)式(shi)殘留的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)變(bian)形(xing)以(yi)具有一定(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)時(shi)間(jian)常數的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)弛(chi)豫現象的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)式(shi)緩(huan)慢恢(hui)復(fu)，最(zui)終(zhong)達到(dao)0。已明確該“再(zai)加熱(re)時(shi)恢(hui)復(fu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)現象”是產(chan)(chan)生(sheng)基板(ban)(ban)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)收縮的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)各向(xiang)異(yi)性(xing)偏差的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)原因(yin)(yin)。

為了解(jie)決上述現有技術中的(de)(de)(de)問題(ti)，本(ben)發明的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)在于提(ti)供一種無(wu)(wu)堿(jian)玻璃基板和無(wu)(wu)堿(jian)玻璃基板的(de)(de)(de)制(zhi)造方(fang)法，所(suo)述無(wu)(wu)堿(jian)玻璃基板在用(yong)于面向(xiang)移動設備(bei)的(de)(de)(de)高清顯(xian)示器用(yong)途的(de)(de)(de)情況下，能夠降低tft陣列制(zhi)造工序中的(de)(de)(de)熱收縮(suo)率的(de)(de)(de)偏差。

用于解決問題的手段

本發明是基(ji)于上(shang)(shang)述見解而完成(cheng)的(de)(de)，其提供一種無堿玻璃基(ji)板，在(zai)(zai)(zai)所述無堿玻璃基(ji)板中，選擇一個(ge)主面(mian)內的(de)(de)任(ren)意兩(liang)個(ge)位置(zhi)，一個(ge)位置(zhi)處(chu)的(de)(de)在(zai)(zai)(zai)任(ren)意方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)熱(re)(re)收縮(suo)率與另(ling)一個(ge)位置(zhi)處(chu)的(de)(de)在(zai)(zai)(zai)與上(shang)(shang)述任(ren)意方向(xiang)(xiang)正交的(de)(de)方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)熱(re)(re)收縮(suo)率之差的(de)(de)絕對值為(wei)2ppm以下。需要說(shuo)明的(de)(de)是，所述熱(re)(re)收縮(suo)率是通過測定(ding)(ding)玻璃基(ji)板的(de)(de)下述熱(re)(re)處(chu)理(li)前后(hou)的(de)(de)在(zai)(zai)(zai)測定(ding)(ding)方向(xiang)(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)變(bian)形量而計算的(de)(de)，所述熱(re)(re)處(chu)理(li)為(wei)：將玻璃基(ji)板以100℃/小(xiao)(xiao)時從常溫(wen)(wen)升溫(wen)(wen)至(zhi)600℃，在(zai)(zai)(zai)600℃下保持80分鐘(zhong)，并(bing)以100℃/小(xiao)(xiao)時從600℃降溫(wen)(wen)至(zhi)常溫(wen)(wen)。

另外，本發明提(ti)供一種無(wu)堿玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)基(ji)板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)制造(zao)方(fang)法(fa)，其特(te)征(zheng)在(zai)(zai)(zai)于，具有下(xia)(xia)(xia)述(shu)(shu)(shu)工序(xu)：在(zai)(zai)(zai)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)熔(rong)化爐(lu)中(zhong)(zhong)(zhong)將(jiang)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)原料熔(rong)化而得到熔(rong)融玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)的(de)(de)(de)(de)(de)熔(rong)化工序(xu)、在(zai)(zai)(zai)成形(xing)(xing)爐(lu)中(zhong)(zhong)(zhong)將(jiang)所(suo)述(shu)(shu)(shu)熔(rong)融玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)成形(xing)(xing)為(wei)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)成形(xing)(xing)工序(xu)、和(he)在(zai)(zai)(zai)退(tui)火爐(lu)中(zhong)(zhong)(zhong)將(jiang)所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶退(tui)火而得到平板(ban)(ban)(ban)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)的(de)(de)(de)(de)(de)退(tui)火工序(xu)；并且在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)退(tui)火工序(xu)中(zhong)(zhong)(zhong)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)粘(zhan)度(du)(du)(du)(du)(dpa·s)的(de)(de)(de)(de)(de)對數為(wei)12.5～14.0時的(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)端(duan)(duan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)大于板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)與(yu)端(duan)(duan)部(bu)(bu)在(zai)(zai)(zai)板(ban)(ban)(ban)牽(qian)引方(fang)向上的(de)(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)100℃/分鐘(zhong)以下(xia)(xia)(xia)，且所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)與(yu)端(duan)(duan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)15℃以下(xia)(xia)(xia)，在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)端(duan)(duan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)高于板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)(xia)(xia)，在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)10℃以下(xia)(xia)(xia)時所(suo)述(shu)(shu)(shu)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)70℃/分鐘(zhong)以下(xia)(xia)(xia)，在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)超過(guo)10℃時所(suo)述(shu)(shu)(shu)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)40℃/分鐘(zhong)以下(xia)(xia)(xia)，在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)端(duan)(duan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)低(di)于板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)(xia)(xia)、或者在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)(shu)(shu)玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)帶的(de)(de)(de)(de)(de)端(duan)(duan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)與(yu)板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)度(du)(du)(du)(du)方(fang)向中(zhong)(zhong)(zhong)央(yang)(yang)(yang)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)相等的(de)(de)(de)(de)(de)情況(kuang)下(xia)(xia)(xia)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)冷(leng)卻(que)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)差(cha)(cha)(cha)為(wei)100℃/分鐘(zhong)以下(xia)(xia)(xia)。

發明效果

本發明(ming)的(de)無堿(jian)玻(bo)(bo)璃(li)基板(ban)(ban)和(he)無堿(jian)玻(bo)(bo)璃(li)基板(ban)(ban)的(de)制(zhi)造方法在用于面(mian)向移動(dong)設(she)備(bei)的(de)高(gao)清顯示器(qi)用途(tu)(tu)的(de)情(qing)況下，能夠降(jiang)低(di)tft陣列制(zhi)造工序(xu)中的(de)熱(re)收縮率的(de)偏差。因此，無需增粗(cu)bm線寬，能夠提高(gao)開口率，適合面(mian)向移動(dong)設(she)備(bei)的(de)高(gao)清顯示器(qi)用途(tu)(tu)。

附圖說明

圖1為本(ben)發明的一個實施方式的無堿玻璃基板的制(zhi)造裝置的局(ju)部(bu)剖視圖。

圖2為本(ben)發明的(de)一(yi)個實(shi)施方式中的(de)利用浮(fu)法(fa)得(de)到的(de)平板玻璃的(de)采板(採板)示意圖。

圖(tu)3為(wei)用(yong)于得到實施(shi)例和(he)比(bi)較例的玻璃片的平板(ban)玻璃分割的示意圖(tu)。

附圖標記

1制造裝置

10浮拋窯

12熔體表面

13出口

18窯加熱器

20退火爐

21、22退火爐輥

23入口

28退火爐加熱器

30腔室

31頂蓋

32錫槽箱

33、34絕熱材料

35～38空間

41～43提升輥

44～46接觸構件

47擋簾

48加熱器

g玻璃帶

m熔融金屬

具體實施方式

[無堿玻璃基板]

以下，對(dui)本發明的無堿玻璃基板進(jin)行(xing)說明。

本發(fa)明中，選擇一個(ge)主面內的(de)(de)(de)(de)任意(yi)兩個(ge)位(wei)置，一個(ge)位(wei)置處(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)任意(yi)方向(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)熱收(shou)縮率(lv)與(yu)另一個(ge)位(wei)置處(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)與(yu)上(shang)(shang)述(shu)任意(yi)方向(xiang)正(zheng)交的(de)(de)(de)(de)方向(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)熱收(shou)縮率(lv)之差(cha)的(de)(de)(de)(de)絕對值為(wei)2ppm以(yi)下。需要(yao)說明的(de)(de)(de)(de)是，所(suo)述(shu)熱收(shou)縮率(lv)是通(tong)過測定玻璃基板(ban)的(de)(de)(de)(de)下述(shu)熱處(chu)(chu)理前后(hou)的(de)(de)(de)(de)在(zai)(zai)測定方向(xiang)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)變形量而計(ji)算的(de)(de)(de)(de)，所(suo)述(shu)熱處(chu)(chu)理為(wei)：將玻璃基板(ban)以(yi)100℃/小(xiao)時從常溫(wen)升溫(wen)至(zhi)600℃，在(zai)(zai)600℃下保持(chi)80分鐘(zhong)，并以(yi)100℃/小(xiao)時從600℃降溫(wen)至(zhi)常溫(wen)。

熱(re)處理前后(hou)的熱(re)收縮(suo)率(c)可以使用下式計算。

c(ppm)＝δl(μm)/l(m)

c：熱收縮率(ppm)

δl：熱(re)處理前后的(de)玻璃基板的(de)變形(xing)量(μm)

l：熱處理前的玻(bo)璃基(ji)板的長度(m)

在本實(shi)施方(fang)(fang)式中(zhong)，選擇無堿(jian)玻璃組(zu)成的(de)(de)玻璃板的(de)(de)一(yi)個(ge)主面內的(de)(de)任(ren)(ren)意(yi)兩(liang)個(ge)位(wei)(wei)置，計(ji)算一(yi)個(ge)位(wei)(wei)置a處(chu)的(de)(de)在任(ren)(ren)意(yi)方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)的(de)(de)熱收(shou)(shou)縮(suo)率ca和另一(yi)個(ge)位(wei)(wei)置b處(chu)的(de)(de)在與(yu)上(shang)述任(ren)(ren)意(yi)方(fang)(fang)向(xiang)正交的(de)(de)方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)的(de)(de)熱收(shou)(shou)縮(suo)率cb。另外，計(ji)算作為熱收(shou)(shou)縮(suo)率ca與(yu)熱收(shou)(shou)縮(suo)率cb之(zhi)差的(de)(de)絕(jue)對值|ca-cb|的(de)(de)各向(xiang)異(yi)性偏(pian)差。一(yi)個(ge)位(wei)(wei)置a與(yu)另一(yi)個(ge)位(wei)(wei)置b也可(ke)以(yi)為區(qu)域內的(de)(de)相(xiang)同位(wei)(wei)置。

一(yi)個(ge)位置a處(chu)的(de)任(ren)(ren)意(yi)方(fang)(fang)向(xiang)優選板寬度方(fang)(fang)向(xiang)。該情況下，另一(yi)個(ge)位置b處(chu)的(de)與所述任(ren)(ren)意(yi)方(fang)(fang)向(xiang)正交的(de)方(fang)(fang)向(xiang)為板牽(qian)引方(fang)(fang)向(xiang)。但是，不限于(yu)此，只要是彼此成為正交方(fang)(fang)向(xiang)的(de)關系則(ze)沒有限制。

為(wei)了計(ji)算熱(re)收(shou)縮(suo)率而從左側部位l、中央部位c、右側部位r切(qie)出的(de)玻璃(li)片的(de)尺寸(cun)沒(mei)有特別(bie)限制。列舉一例為(wei)長(chang)邊(bian)(bian)270mm×短邊(bian)(bian)50mm×厚度(du)0.5mm，通過(guo)測定熱(re)處理前后的(de)玻璃(li)片的(de)長(chang)邊(bian)(bian)的(de)變形量而計(ji)算熱(re)收(shou)縮(suo)率。

面向移動(dong)設備(bei)的高(gao)(gao)清顯示器制(zhi)造時(shi)的tft陣列制(zhi)造工(gong)序(xu)中，工(gong)序(xu)內的最高(gao)(gao)溫度為600℃、保(bao)持時(shi)間為5分鐘(zhong)。

與此相對，在本申請發明(ming)中(zhong)，通過(guo)測(ce)(ce)定(ding)(ding)玻璃(li)基板的(de)下(xia)述(shu)熱處理前后的(de)在測(ce)(ce)定(ding)(ding)方(fang)向上的(de)變(bian)形量(liang)而計算熱收(shou)縮(suo)率，所述(shu)熱處理為：將玻璃(li)基板以100℃/小時(shi)從(cong)(cong)常(chang)溫(wen)升溫(wen)至600℃，在600℃下(xia)保持80分鐘，并以100℃/小時(shi)從(cong)(cong)600℃降溫(wen)至常(chang)溫(wen)。以下(xia)說(shuo)明(ming)理由。

本申請(qing)發明人為(wei)了對(dui)熱收縮時的各向異性偏差的時間依賴性進(jin)行(xing)評價，以利用(yong)浮法(fa)制(zhi)作(zuo)的部位l、c、r的無堿玻(bo)璃(li)(li)基板為(wei)對(dui)象，在(zai)下(xia)述兩個條件(jian)下(xia)對(dui)熱收縮率進(jin)行(xing)了評價。玻(bo)璃(li)(li)組成(cheng)采用(yong)了后述的玻(bo)璃(li)(li)1。

熱處(chu)理條件1：以200℃/小時從常(chang)溫(wen)升溫(wen)至(zhi)600℃，在600℃下保持5分鐘，并以200℃/小時從600℃降溫(wen)至(zhi)常(chang)溫(wen)。

熱處理(li)條件2：以100℃/小時從(cong)常溫(wen)(wen)升溫(wen)(wen)至600℃，在600℃下保持80分鐘(zhong)，并以100℃/小時從(cong)600℃降(jiang)溫(wen)(wen)至常溫(wen)(wen)。

對于熱(re)(re)(re)(re)(re)處理條件1、2的(de)(de)(de)(de)(de)樣品，將(jiang)(jiang)部(bu)位(wei)l、c、r的(de)(de)(de)(de)(de)無堿玻璃(li)基(ji)板的(de)(de)(de)(de)(de)板寬(kuan)度(du)方向、板牽(qian)拉(la)方向的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)、各向異(yi)(yi)(yi)性偏差(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)結果示于表1。將(jiang)(jiang)部(bu)位(wei)l、c、r的(de)(de)(de)(de)(de)板寬(kuan)度(du)方向的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)分(fen)別設為(wei)cal、cac、car，將(jiang)(jiang)部(bu)位(wei)l、c、r的(de)(de)(de)(de)(de)板牽(qian)拉(la)方向的(de)(de)(de)(de)(de)熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)分(fen)別設為(wei)cbl、cbc、cbr。算出熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)cal、cac、car的(de)(de)(de)(de)(de)最大(da)值(zhi)與熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)cbl、cbc、cbr的(de)(de)(de)(de)(de)最小值(zhi)之差(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)對值(zhi)、以(yi)及熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)cal、cac、car的(de)(de)(de)(de)(de)最小值(zhi)與熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)cbl、cbc、cbr的(de)(de)(de)(de)(de)最大(da)值(zhi)之差(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)對值(zhi)中的(de)(de)(de)(de)(de)值(zhi)較(jiao)大(da)者，將(jiang)(jiang)其(qi)作為(wei)各向異(yi)(yi)(yi)性偏差(cha)。將(jiang)(jiang)熱(re)(re)(re)(re)(re)處理條件1、2下的(de)(de)(de)(de)(de)結果進行(xing)比(bi)較(jiao)時(shi)，熱(re)(re)(re)(re)(re)收縮(suo)率(lv)(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)對值(zhi)存在(zai)差(cha)異(yi)(yi)(yi)，但各向異(yi)(yi)(yi)性偏差(cha)沒有(you)產(chan)生顯著差(cha)異(yi)(yi)(yi)。

表1

表(biao)1的結(jie)果暗示，由延遲(chi)彈性導致的變形(xing)在5分鐘以內收斂(lian)。因此，可(ke)以利(li)用熱(re)(re)(re)處理條(tiao)件(jian)2下的熱(re)(re)(re)收縮(suo)(suo)率差，對(dui)(dui)面向(xiang)移動設備的高清顯(xian)示器(qi)制造時的tft陣列制造工(gong)序中(zhong)的熱(re)(re)(re)收縮(suo)(suo)率的各向(xiang)異性偏差進(jin)行評價。與(yu)(yu)熱(re)(re)(re)處理條(tiao)件(jian)1相比，熱(re)(re)(re)處理條(tiao)件(jian)2的熱(re)(re)(re)收縮(suo)(suo)率的絕對(dui)(dui)值(zhi)大一個數量級，因此結(jie)構弛豫導致的熱(re)(re)(re)收縮(suo)(suo)與(yu)(yu)延遲(chi)彈性導致的熱(re)(re)(re)收縮(suo)(suo)的區分評價變得容易。

因此，在(zai)本申請發(fa)明(ming)中，為了(le)評價各向(xiang)異(yi)性(xing)(xing)偏(pian)差(cha)，采用了(le)熱處理條件(jian)2。需要說明(ming)的是，熱處理條件(jian)2下的各向(xiang)異(yi)性(xing)(xing)偏(pian)差(cha)|ca-cb|超過(guo)(guo)了(le)2ppm，但表1的結果只不過(guo)(guo)是對熱收(shou)縮時的各向(xiang)異(yi)性(xing)(xing)偏(pian)差(cha)的時間依賴性(xing)(xing)進行了(le)評價，并不構(gou)成本發(fa)明(ming)的實施例。

本發明(ming)的(de)(de)(de)無堿(jian)玻璃基(ji)板的(de)(de)(de)以(yi)上述步(bu)驟求出的(de)(de)(de)各向異性偏(pian)差為(wei)2ppm以(yi)下，因此(ci)，在面向移動設備(bei)的(de)(de)(de)高清顯(xian)示器制(zhi)造時的(de)(de)(de)tft陣列制(zhi)造工序中(zhong)的(de)(de)(de)熱收縮率(lv)的(de)(de)(de)各向異性偏(pian)差極小，解決了由于(yu)熱收縮率(lv)的(de)(de)(de)偏(pian)差而(er)無法提高開(kai)口率(lv)的(de)(de)(de)問(wen)題。

本發(fa)明的無(wu)堿玻璃(li)基板(ban)的以上述(shu)步(bu)驟求出的各向異性偏差(cha)優(you)(you)選為1.5ppm以下，更優(you)(you)選為1.0ppm以下。

在作為(wei)典型(xing)的(de)玻璃基板的(de)量(liang)產(chan)工藝的(de)熔(rong)融法(fa)和浮法(fa)中，通常在玻璃帶上產(chan)生的(de)板牽引方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)應力與板寬度方(fang)向(xiang)(xiang)的(de)應力不同，因(yin)此，以上述步驟計算的(de)熱(re)收(shou)縮率(lv)ca、cb產(chan)生差異。這成為(wei)熱(re)收(shou)縮率(lv)的(de)各向(xiang)(xiang)異性偏(pian)差的(de)原因(yin)。

為了抑(yi)制熱收縮率的(de)各向異性(xing)偏(pian)差，在玻(bo)璃(li)帶(dai)的(de)退火(huo)工序中，對于施加于玻(bo)璃(li)帶(dai)的(de)應力(li)值，期望使板(ban)(ban)寬度方(fang)向上(shang)的(de)板(ban)(ban)牽引方(fang)向的(de)應力(li)均勻、且使板(ban)(ban)牽引方(fang)向上(shang)的(de)板(ban)(ban)寬度方(fang)向的(de)應力(li)均勻。

雖然難以(yi)對制造時的玻璃帶上(shang)(shang)產生的應力分布進行實測，但例如若(ruo)使退火時板寬(kuan)度(du)(du)方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)(shang)的溫(wen)度(du)(du)均勻，則能夠在板寬(kuan)度(du)(du)方(fang)(fang)向(xiang)上(shang)(shang)使板牽引(yin)方(fang)(fang)向(xiang)的應力均勻。

在玻璃(li)化(hua)轉變溫(wen)度(du)tg附近，若(ruo)板寬度(du)方(fang)向(xiang)上(shang)的(de)溫(wen)度(du)均勻(yun)，則對于板牽引(yin)方(fang)向(xiang)和(he)板寬度(du)方(fang)向(xiang)中的(de)任一(yi)方(fang)向(xiang)，在該方(fang)向(xiang)上(shang)的(de)應力(li)均達到均勻(yun)。通(tong)過使(shi)板牽引(yin)方(fang)向(xiang)的(de)應力(li)與板寬度(du)方(fang)向(xiang)的(de)應力(li)相同(tong)(tong)，能夠抑制以上(shang)述(shu)步(bu)驟計算的(de)熱收縮率的(de)各向(xiang)異性(xing)偏(pian)差，產生(sheng)各向(xiang)同(tong)(tong)性(xing)的(de)熱收縮。

如上所述，用于面(mian)向移動(dong)設備的(de)(de)高清顯示器用途(tu)的(de)(de)無堿玻(bo)璃基板優選在tft陣列制造工序(xu)中的(de)(de)熱收(shou)縮率的(de)(de)絕對值小。

因此，本發明的(de)(de)無堿玻璃基板的(de)(de)一(yi)個位(wei)置a處的(de)(de)在任意(yi)方向上(shang)(shang)的(de)(de)熱(re)收縮率(lv)ca的(de)(de)絕對(dui)(dui)值和(he)另一(yi)個位(wei)置b處的(de)(de)在與上(shang)(shang)述任意(yi)方向正交(jiao)的(de)(de)方向上(shang)(shang)的(de)(de)熱(re)收縮率(lv)cb的(de)(de)絕對(dui)(dui)值優(you)選(xuan)為100ppm以下(xia)(xia)，更優(you)選(xuan)為70ppm以下(xia)(xia)，進一(yi)步優(you)選(xuan)為50ppm以下(xia)(xia)。

除了熱收(shou)縮率以外，以下記載對于本發明的(de)無堿玻璃基(ji)板而言優選的(de)特性。

本發明的無堿玻璃基板(ban)(ban)優選應變(bian)點為630℃以上，因為能夠抑制(zhi)面板(ban)(ban)制(zhi)造時的熱收縮。

本發明的無堿玻璃(li)基板更優(you)選(xuan)應變點為(wei)650℃以上，進(jin)一步(bu)優(you)選(xuan)為(wei)670℃以上，更進(jin)一步(bu)優(you)選(xuan)為(wei)680℃以上，特別優(you)選(xuan)為(wei)700℃以上。

另外，本發明的無堿玻璃基板優選粘度達到10²dpa·s時的(de)溫度(du)t2為1620℃以(yi)(yi)上且1820℃以(yi)(yi)下。t2為1820℃以(yi)(yi)下時，玻璃的(de)熔化(hua)變(bian)得容易。更優(you)選為1770℃以(yi)(yi)下，進一步(bu)優(you)選為1720℃以(yi)(yi)下。t2更優(you)選為1630℃以(yi)(yi)上，進一步(bu)優(you)選為1640℃以(yi)(yi)上。

本發明的無堿(jian)玻璃(li)基板只要實質上(shang)(即除(chu)了不(bu)可避免的雜質以(yi)外)不(bu)含有(you)堿(jian)成(cheng)(cheng)分，則(ze)可以(yi)從(cong)寬(kuan)范(fan)圍的組成(cheng)(cheng)中適當選(xuan)(xuan)擇，優選(xuan)(xuan)由以(yi)基于氧化(hua)物的質量％表示含有(you)：

sio2：54％～68％

al2o3：10％～23％

b2o3：0％～12％

mgo：0％～12％

cao：0％～15％

sro：0％～16％

bao：0％～15％

mgo+cao+sro+bao：8％～26％

的無堿玻璃構成。

關于上述本發(fa)明的無(wu)堿玻璃基(ji)板的優(you)選組成，對(dui)各成分(fen)的組成范圍(wei)進行說明。

sio2小(xiao)于54％(質量％，以(yi)下只要沒有特別說明則相同(tong))時，應變點(dian)不能充分提高，且熱(re)膨脹系(xi)數增大，密度(du)上(shang)升，因此優(you)選為54％以(yi)上(shang)。更優(you)選為55％以(yi)上(shang)，進一步優(you)選為56％以(yi)上(shang)。

sio2大于68％時，熔化性下降，玻璃粘度達到10²dpa·s時的溫度t2、玻璃粘度達到10⁴dpa·s時的溫度t4上升，因此優選為68％以(yi)下(xia)。更優選為66％以(yi)下(xia)，進一步優選為64％以(yi)下(xia)。

al2o3抑制玻璃的分相性，降低熱膨(peng)(peng)(peng)脹(zhang)系數，提(ti)高應變點(dian)，但小于10％時(shi)，該(gai)效果不顯現(xian)，并(bing)且會使其(qi)他(ta)提(ti)高膨(peng)(peng)(peng)脹(zhang)系數的成分增(zeng)加，結(jie)果熱膨(peng)(peng)(peng)脹(zhang)增(zeng)大，因此(ci)優(you)(you)選為10％以上(shang)。更優(you)(you)選為14％以上(shang)，進(jin)一步優(you)(you)選為16％以上(shang)，特別(bie)優(you)(you)選為18％以上(shang)。

al2o3大于23％時，玻璃(li)的熔化性有可能變差(cha)，因此優選(xuan)為(wei)23％以下(xia)(xia)。更優選(xuan)為(wei)22％以下(xia)(xia)，進一步優選(xuan)為(wei)21％以下(xia)(xia)。

b2o3不是(shi)必需的(de)，但為(wei)了使玻璃(li)的(de)熔化反應性良好，可以(yi)含(han)有b2o3。但是(shi)，過多(duo)時，楊氏(shi)模量降低，熱(re)收縮率的(de)絕對值(zhi)增(zeng)加，因此優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)12％以(yi)下(xia)。優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)7％以(yi)下(xia)，更(geng)優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)5％以(yi)下(xia)，進一(yi)步(bu)優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)3％以(yi)下(xia)，更(geng)進一(yi)步(bu)優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)2％以(yi)下(xia)，特別(bie)優(you)(you)(you)選(xuan)(xuan)(xuan)為(wei)1.5％以(yi)下(xia)。

mgo不(bu)是必需的(de)，但(dan)(dan)其在(zai)堿土金屬中(zhong)具有在(zai)不(bu)提高(gao)膨脹系數、且將密度(du)維(wei)持得(de)較低的(de)情況下(xia)提高(gao)楊氏模量的(de)特(te)點，因(yin)(yin)此，為(wei)了進一步提高(gao)熔化(hua)性(xing)，可以(yi)(yi)含有mgo。因(yin)(yin)此，優選(xuan)為(wei)1％以(yi)(yi)上(shang)，更優選(xuan)為(wei)3％以(yi)(yi)上(shang)，進一步優選(xuan)為(wei)5％以(yi)(yi)上(shang)。但(dan)(dan)是，過(guo)多時，失透溫度(du)上(shang)升，因(yin)(yin)此優選(xuan)為(wei)12％以(yi)(yi)下(xia)，更優選(xuan)為(wei)10％以(yi)(yi)下(xia)。

cao不(bu)是必需的(de)，但其在堿(jian)土金屬(shu)中僅次于mgo而具有在不(bu)提(ti)高(gao)膨脹系(xi)數、且將(jiang)密(mi)度維(wei)持(chi)得較低的(de)情況下提(ti)高(gao)楊(yang)氏模量(liang)的(de)特(te)點，還具有提(ti)高(gao)熔化性的(de)特(te)點，因(yin)此(ci)可(ke)以(yi)含有cao。但是，過多時，失透溫度有可(ke)能(neng)(neng)上升(sheng)、或(huo)者作為cao源的(de)石(shi)(shi)灰石(shi)(shi)(caco3)中的(de)雜質磷有可(ke)能(neng)(neng)大量(liang)混入(ru)，因(yin)此(ci)優選(xuan)為15％以(yi)下，更優選(xuan)為12％以(yi)下。為了(le)發揮上述特(te)點，優選(xuan)為3％以(yi)上。

sro不是(shi)必需的(de)，但為(wei)(wei)了在不使(shi)玻璃的(de)失透溫度上升的(de)情況(kuang)下(xia)提高熔化性，可(ke)以含(han)有sro。因(yin)此，優(you)選(xuan)為(wei)(wei)0.1％以上，更(geng)優(you)選(xuan)為(wei)(wei)1％以上，進一步優(you)選(xuan)為(wei)(wei)2％以上。但是(shi)，過多(duo)時，熱膨脹系(xi)數有可(ke)能增大，因(yin)此設定為(wei)(wei)16％以下(xia)。優(you)選(xuan)為(wei)(wei)10％以下(xia)，更(geng)優(you)選(xuan)為(wei)(wei)6％以下(xia)。

bao不(bu)是必需的，但(dan)為(wei)了(le)提(ti)高熔化性，可以含有bao。但(dan)是，過多時，會使(shi)玻璃的膨(peng)脹系數(shu)和密度過度增大，因此設定為(wei)15％以下。優選為(wei)10％以下。

mgo、cao、sro、bao以(yi)(yi)(yi)(yi)總量計(ji)小于8％時，存在光彈(dan)性常數(shu)增大、并且熔化(hua)性降(jiang)(jiang)低的(de)(de)傾向(xiang)，因(yin)此為(wei)8％以(yi)(yi)(yi)(yi)上(shang)。出于減小光彈(dan)性常數(shu)的(de)(de)目的(de)(de)，優選(xuan)較多地含有mgo、cao、sro、bao的(de)(de)總量，因(yin)此優選(xuan)為(wei)10％以(yi)(yi)(yi)(yi)上(shang)，更優選(xuan)為(wei)13％以(yi)(yi)(yi)(yi)上(shang)，進一(yi)步優選(xuan)為(wei)16％以(yi)(yi)(yi)(yi)上(shang)。大于26％時，無法降(jiang)(jiang)低平均熱膨脹系數(shu)，應變點有可能降(jiang)(jiang)低，因(yin)此為(wei)26％以(yi)(yi)(yi)(yi)下(xia)。優選(xuan)為(wei)22％以(yi)(yi)(yi)(yi)下(xia)，進一(yi)步優選(xuan)為(wei)20％以(yi)(yi)(yi)(yi)下(xia)。

除了(le)以上的(de)(de)主要成(cheng)分(fen)之(zhi)外，作(zuo)為不可避(bi)免地從(cong)玻璃原料中混入的(de)(de)成(cheng)分(fen)，可以含(han)有(you)0.1％以下的(de)(de)堿金(jin)屬(shu)氧化物(li2o、na2o、k2o)、過(guo)渡金(jin)屬(shu)氧化物(fe2o3、nio、cr2o3、cuo等)。另(ling)外，為了(le)提高熔化性、澄清(qing)性，可以含(han)有(you)小(xiao)于1％的(de)(de)sno2、so3、cl、f。另(ling)外，可以在不損害(hai)本發明效果的(de)(de)范圍內(nei)含(han)有(you)小(xiao)于5％的(de)(de)金(jin)屬(shu)氧化物(zno、zro2、ta2o5、nb2o5、tio2、y2o3、la2o3、gd2o3、yb2o3)。

在將本發明的(de)(de)(de)無堿玻璃基(ji)板用于面向移(yi)動設備(bei)的(de)(de)(de)高清(qing)顯示器用途的(de)(de)(de)情況(kuang)下，能(neng)夠降(jiang)低(di)tft陣列制造(zao)工(gong)序(xu)中的(de)(de)(de)熱(re)收縮(suo)率(lv)的(de)(de)(de)偏差，因(yin)此能(neng)夠制成比以(yi)(yi)往更大型的(de)(de)(de)基(ji)板尺(chi)寸。具體而(er)言，優(you)選(xuan)基(ji)板尺(chi)寸為1450mm×1450mm以(yi)(yi)上(shang)(shang)(超(chao)過(guo)g5.5)。更優(you)選(xuan)基(ji)板尺(chi)寸為1850mm×1500mm以(yi)(yi)上(shang)(shang)(g6以(yi)(yi)上(shang)(shang))，進一(yi)(yi)步(bu)優(you)選(xuan)為2250mm×1950mm以(yi)(yi)上(shang)(shang)(g7.5以(yi)(yi)上(shang)(shang))，更進一(yi)(yi)步(bu)優(you)選(xuan)為2500mm×2200mm以(yi)(yi)上(shang)(shang)(g8以(yi)(yi)上(shang)(shang))，特(te)別優(you)選(xuan)為3000mm×2800mm以(yi)(yi)上(shang)(shang)。

本(ben)發明的無堿玻璃基板用于面向移動設(she)備的高清顯(xian)示器用途(tu)，因此優選板厚(hou)為0.5mm以下(xia)，更優選為0.4mm以下(xia)，進一步優選為0.3mm以下(xia)。

本(ben)發明的(de)無堿玻璃基板(ban)用(yong)于面向移動設(she)備的(de)高(gao)清顯示器用(yong)途，因此優選板(ban)厚偏(pian)差為20μm以(yi)下(xia)(xia)，更優選為15μm以(yi)下(xia)(xia)，進一(yi)步優選為10μm以(yi)下(xia)(xia)。

[無堿玻(bo)璃基(ji)板的制造裝(zhuang)置]

接著，參(can)照(zhao)附圖對無堿玻璃基板的制造(zao)裝置進(jin)行(xing)說明(ming)。本發明(ming)的無堿玻璃基板的制造(zao)裝置可以在浮法或熔融法中應用，以下以浮法為例進(jin)行(xing)說明(ming)。

附圖中(zhong)，適當地示(shi)出xyz坐(zuo)標系(xi)作為三維(wei)正交坐(zuo)標系(xi)，將(jiang)z軸方向設定(ding)(ding)為鉛垂方向(鉛直方向)，將(jiang)x軸方向設定(ding)(ding)為圖1所示(shi)的(de)浮拋窯10的(de)長(chang)(chang)度方向，將(jiang)y軸方向設定(ding)(ding)為浮拋窯10的(de)寬度方向。浮拋窯10的(de)長(chang)(chang)度方向為圖1中(zhong)的(de)水平方向，在本說明書中(zhong)，為玻璃帶g的(de)板(ban)牽引方向。另外，浮拋窯10的(de)寬度方向為玻璃帶g的(de)板(ban)寬度方向。

需要說(shuo)明(ming)的(de)是(shi)(shi)，在(zai)本(ben)說(shuo)明(ming)書(shu)中(zhong)，玻(bo)璃帶g的(de)板牽(qian)引方(fang)向(xiang)是(shi)(shi)指(zhi)在(zai)俯視時玻(bo)璃帶g被輸(shu)送的(de)方(fang)向(xiang)。另(ling)外(wai)，在(zai)本(ben)說(shuo)明(ming)書(shu)中(zhong)，上游(you)側和下游(you)側是(shi)(shi)相對(dui)于無堿玻(bo)璃基(ji)板的(de)制造裝置1內的(de)玻(bo)璃帶g的(de)板牽(qian)引方(fang)向(xiang)(x軸方(fang)向(xiang))而言的(de)。即，在(zai)本(ben)說(shuo)明(ming)書(shu)中(zhong)，+x側為(wei)下游(you)側，-x側為(wei)上游(you)側。

另外，在本說(shuo)明書中，左(zuo)側(ce)和右(you)側(ce)是相對于無堿玻(bo)璃(li)基(ji)板的(de)制(zhi)造裝(zhuang)置1內(nei)的(de)玻(bo)璃(li)帶(dai)g的(de)板寬度方向(xiang)(y軸方向(xiang))而(er)言的(de)，分別朝向(xiang)板牽引方向(xiang)(x軸方向(xiang))的(de)下游側(ce)(+x側(ce))而(er)表示左(zuo)側(ce)和右(you)側(ce)。即，在本說(shuo)明書中，+y側(ce)為左(zuo)側(ce)，-y側(ce)為右(you)側(ce)。

圖1是本發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)一(yi)個(ge)實施(shi)(shi)方式(shi)的(de)(de)(de)無堿(jian)玻璃基板(ban)的(de)(de)(de)制(zhi)造裝置的(de)(de)(de)局部剖視(shi)圖。對本發(fa)明(ming)的(de)(de)(de)一(yi)個(ge)實施(shi)(shi)方式(shi)的(de)(de)(de)無堿(jian)玻璃基板(ban)的(de)(de)(de)制(zhi)造裝置1的(de)(de)(de)構成(cheng)進行(xing)說(shuo)明(ming)。

調配(pei)通(tong)常使(shi)用的(de)各成(cheng)分的(de)玻(bo)(bo)璃(li)(li)原(yuan)料以成(cheng)為目標(biao)成(cheng)分，將(jiang)其連續投入玻(bo)(bo)璃(li)(li)熔(rong)(rong)化(hua)爐(未(wei)圖示(shi))中，加(jia)熱至1500℃～1700℃而進行(xing)熔(rong)(rong)化(hua)，得(de)到熔(rong)(rong)融(rong)(rong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)。熔(rong)(rong)融(rong)(rong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)優選在(zai)供(gong)給至浮拋窯10內(nei)之(zhi)前(qian)預先(xian)將(jiang)熔(rong)(rong)融(rong)(rong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)的(de)內(nei)部(bu)所含的(de)氣(qi)泡脫泡。玻(bo)(bo)璃(li)(li)帶g通(tong)過將(jiang)熔(rong)(rong)融(rong)(rong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)連續供(gong)給至浮拋窯10內(nei)而形成(cheng)。

在浮(fu)拋窯10內的(de)熔(rong)融金(jin)屬(shu)m的(de)熔(rong)體(ti)表面12上成形為所期望的(de)寬度(du)、厚度(du)的(de)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)g通過提(ti)升輥(gun)41～43、退(tui)火(huo)(huo)爐輥(gun)21、22的(de)牽引力(li)從熔(rong)體(ti)表面12上被(bei)(bei)提(ti)起。接著(zhu)，玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)g從浮(fu)拋窯10的(de)出(chu)口13被(bei)(bei)送入腔室30內，利(li)用提(ti)升輥(gun)41～43進行輸送。接著(zhu)，玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)g被(bei)(bei)送入退(tui)火(huo)(huo)爐20內，在利(li)用退(tui)火(huo)(huo)爐輥(gun)21、22進行輸送的(de)同(tong)時進行退(tui)火(huo)(huo)。然后(hou)，玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)g被(bei)(bei)送出(chu)至(zhi)退(tui)火(huo)(huo)爐20的(de)下游側(+x側)，冷卻至(zhi)室溫(wen)附近，然后(hou)被(bei)(bei)切割為規定尺寸，成為無堿玻(bo)(bo)璃(li)基板。

在(zai)利用浮法制造液(ye)晶(jing)顯(xian)示器(qi)用玻(bo)(bo)璃(li)基板的情況下，為(wei)(wei)(wei)了改善玻(bo)(bo)璃(li)基板的平整度，還具有對玻(bo)(bo)璃(li)基板進行拋(pao)(pao)光的拋(pao)(pao)光工序。拋(pao)(pao)光工序主要是對玻(bo)(bo)璃(li)基板的錫接觸(chu)面進行機(ji)械(xie)拋(pao)(pao)光或化學機(ji)械(xie)拋(pao)(pao)光。從提高生產率的觀點考慮，拋(pao)(pao)光量優(you)選(xuan)為(wei)(wei)(wei)3μm以(yi)下，更優(you)選(xuan)為(wei)(wei)(wei)2μm以(yi)下，進一步優(you)選(xuan)為(wei)(wei)(wei)1.5μm以(yi)下，特別優(you)選(xuan)為(wei)(wei)(wei)1.0μm以(yi)下。

為了(le)防(fang)止熔融金屬m的氧化，浮拋窯(yao)10內的上部(bu)(bu)空間(jian)用(yong)含有氮氣(qi)和氫氣(qi)的還原性(xing)氣(qi)體充滿。另(ling)外(wai)(wai)，為了(le)防(fang)止來自外(wai)(wai)部(bu)(bu)的空氣(qi)的流入(ru)，浮拋窯(yao)10內的上部(bu)(bu)空間(jian)被設定為高于大氣(qi)壓的壓力。

在浮(fu)拋窯(yao)10內的(de)出(chu)口13附(fu)近，設置有將玻(bo)璃(li)(li)帶(dai)g調節(jie)至可塑(su)性變形的(de)溫度(du)的(de)窯(yao)加熱(re)器18。浮(fu)拋窯(yao)10內的(de)出(chu)口13附(fu)近的(de)玻(bo)璃(li)(li)帶(dai)g的(de)溫度(du)根據玻(bo)璃(li)(li)的(de)種類(lei)等適(shi)當設定，例如(ru)優選為比玻(bo)璃(li)(li)化轉變溫度(du)tg高(gao)30℃～80℃的(de)溫度(du)。

退(tui)火爐20在下游側的(de)出口向外部開(kai)放(fang)。因(yin)此，退(tui)火爐20的(de)內(nei)部基(ji)本(ben)上成為含(han)有(you)氧(yang)氣(qi)的(de)氣(qi)氛。退(tui)火爐20的(de)內(nei)部經由腔室30的(de)內(nei)部與浮拋窯10的(de)內(nei)部連(lian)通(tong)。

在(zai)退火爐(lu)20內，除了退火爐(lu)輥21、22之外(wai)，還設置(zhi)有退火爐(lu)加(jia)熱器28等。退火爐(lu)輥21、22分別通(tong)過電動機等驅動裝置(zhi)進行旋轉驅動，利用該(gai)驅動力在(zai)水平方向上輸送玻璃(li)帶g。

腔(qiang)室(shi)30由設(she)(she)置(zhi)(zhi)在玻(bo)璃(li)帶(dai)g上方(fang)(fang)的(de)頂蓋31、設(she)(she)置(zhi)(zhi)在玻(bo)璃(li)帶(dai)g下方(fang)(fang)的(de)錫槽箱(xiang)32等構成。腔(qiang)室(shi)30可以具有絕熱結(jie)構，例如(ru)如(ru)圖1所示，頂蓋31的(de)外壁的(de)至少一(yi)部(bu)(bu)分(fen)由絕熱材(cai)料(liao)33覆蓋，錫槽箱(xiang)32的(de)內壁的(de)至少一(yi)部(bu)(bu)分(fen)由絕熱材(cai)料(liao)34覆蓋。通(tong)過使(shi)用絕熱材(cai)料(liao)33、34，能夠(gou)抑(yi)制(zhi)從腔(qiang)室(shi)30散熱，能夠(gou)使(shi)玻(bo)璃(li)帶(dai)g的(de)溫度分(fen)布穩定化。

在(zai)腔室30內，除了提(ti)升輥(gun)41～43之外，還設置有接(jie)觸(chu)構(gou)件44～46、擋簾47、加熱器(qi)48等。提(ti)升輥(gun)41～43分(fen)別通過電動機(ji)等驅(qu)動裝(zhuang)置進行旋轉(zhuan)驅(qu)動，利用該驅(qu)動力將玻璃帶g向斜上方輸送。提(ti)升輥(gun)的數(shu)量(liang)只(zhi)要(yao)為多個(ge)，則沒有特別限制。在(zai)提(ti)升輥(gun)41～43的下部設置有接(jie)觸(chu)構(gou)件44～46。

接(jie)觸(chu)構件44～46由(you)碳等形成。接(jie)觸(chu)構件44～46分(fen)別與(yu)對應(ying)的(de)提(ti)升輥41～43的(de)外周面(mian)滑動接(jie)觸(chu)，將玻璃帶g的(de)下(xia)方空(kong)間分(fen)隔為多個空(kong)間35～38。

擋(dang)簾47設置在(zai)玻璃帶g的(de)上(shang)方，是分(fen)隔玻璃帶g的(de)上(shang)方空間的(de)構件。在(zai)玻璃帶g的(de)上(shang)方空間內(nei)，從浮拋窯10的(de)出口(kou)13流出的(de)還(huan)原性氣(qi)體(ti)朝向退(tui)火爐(lu)20的(de)入口(kou)23流動(dong)，擋(dang)簾47抑制還(huan)原性氣(qi)體(ti)流入退(tui)火爐(lu)20中。

擋簾47由鋼鐵材(cai)料(liao)、玻璃材(cai)料(liao)等耐火材(cai)料(liao)構成(cheng)。擋簾47以與玻璃帶g的(de)上表面(mian)略微(wei)隔開的(de)方式構成(cheng)以不妨礙玻璃帶g的(de)輸(shu)送。擋簾47懸吊保持于頂蓋(gai)31，沿著玻璃帶g的(de)板牽引(yin)方向(x軸(zhou)方向)設置有多個。

加(jia)熱(re)器(qi)48在(zai)(zai)玻(bo)璃(li)帶(dai)g的(de)(de)上下兩側間隔地設置(zhi)(zhi)，分別沿著玻(bo)璃(li)帶(dai)g的(de)(de)板(ban)牽引方向(xiang)(x軸方向(xiang))設置(zhi)(zhi)有(you)多(duo)列(lie)。例如(ru)如(ru)圖(tu)1所(suo)示，各列(lie)的(de)(de)加(jia)熱(re)器(qi)48設置(zhi)(zhi)在(zai)(zai)擋簾47彼此之間或接觸構件44～46彼此之間。各列(lie)的(de)(de)加(jia)熱(re)器(qi)48可以在(zai)(zai)玻(bo)璃(li)帶(dai)g的(de)(de)板(ban)寬度(du)方向(xiang)(y軸方向(xiang))上被分隔。

如此(ci)，將(jiang)多(duo)個加熱器(qi)48在玻(bo)璃帶(dai)g的(de)板寬度方向(xiang)(y軸(zhou)(zhou)方向(xiang))、板牽(qian)引方向(xiang)(x軸(zhou)(zhou)方向(xiang))、垂直方向(xiang)(z軸(zhou)(zhou)方向(xiang))上進行(xing)分隔配置，獨立控制其發熱量(liang)，由(you)此(ci)能夠精確調(diao)節(jie)玻(bo)璃帶(dai)g的(de)溫度分布。多(duo)個加熱器(qi)48可(ke)以獨立控制，也可(ke)以一并控制幾個。

[無堿玻璃基板的制(zhi)造方法(fa)]

接著，對無(wu)堿玻(bo)璃基板的制造方法進行說明(ming)。

本實施(shi)方式的(de)無堿玻(bo)璃(li)(li)基(ji)板的(de)制造方法具有：在(zai)玻(bo)璃(li)(li)熔化(hua)爐中將(jiang)玻(bo)璃(li)(li)原料熔化(hua)而得到熔融(rong)玻(bo)璃(li)(li)的(de)熔化(hua)工序(xu)s1、在(zai)成(cheng)形(xing)(xing)爐中將(jiang)熔融(rong)玻(bo)璃(li)(li)成(cheng)形(xing)(xing)為玻(bo)璃(li)(li)帶(dai)的(de)成(cheng)形(xing)(xing)工序(xu)s2、和在(zai)退火(huo)爐中將(jiang)玻(bo)璃(li)(li)帶(dai)退火(huo)而得到平板玻(bo)璃(li)(li)的(de)退火(huo)工序(xu)s3。

在退火(huo)工序s3中，玻(bo)璃(li)帶的(de)(de)粘度(du)(du)(du)(dpa·s)的(de)(de)對數為(wei)(wei)12.5～14.0時的(de)(de)所述玻(bo)璃(li)帶的(de)(de)端部(bu)的(de)(de)冷卻速(su)(su)度(du)(du)(du)大于(yu)板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)(du)方(fang)(fang)向中央(yang)部(bu)的(de)(de)冷卻速(su)(su)度(du)(du)(du)，玻(bo)璃(li)帶的(de)(de)板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)(du)方(fang)(fang)向中央(yang)部(bu)與端部(bu)在板(ban)牽引方(fang)(fang)向上(shang)的(de)(de)冷卻速(su)(su)度(du)(du)(du)差(cha)(cha)為(wei)(wei)100℃/分(fen)鐘(zhong)以下(xia)，且玻(bo)璃(li)帶的(de)(de)板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)(du)方(fang)(fang)向中央(yang)部(bu)與端部(bu)的(de)(de)溫度(du)(du)(du)差(cha)(cha)為(wei)(wei)15℃以下(xia)。通過(guo)使冷卻速(su)(su)度(du)(du)(du)差(cha)(cha)為(wei)(wei)100℃/分(fen)鐘(zhong)以下(xia)，能(neng)夠(gou)使玻(bo)璃(li)的(de)(de)假想溫度(du)(du)(du)均勻(yun)。另外，通過(guo)使溫度(du)(du)(du)差(cha)(cha)為(wei)(wei)15℃以下(xia)，能(neng)夠(gou)在板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)(du)方(fang)(fang)向上(shang)使板(ban)牽引方(fang)(fang)向的(de)(de)應力(li)均勻(yun)。

在退火工序s3中，在玻璃帶(dai)的(de)端(duan)部(bu)(bu)(bu)的(de)溫度(du)高于(yu)板寬度(du)方向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)(bu)的(de)溫度(du)的(de)情況下(xia)，在溫度(du)差(cha)(cha)為10℃以(yi)下(xia)時(shi)冷卻速度(du)差(cha)(cha)為70℃/分鐘(zhong)以(yi)下(xia)，在溫度(du)差(cha)(cha)超過10℃時(shi)冷卻速度(du)差(cha)(cha)為40℃/分鐘(zhong)以(yi)下(xia)。端(duan)部(bu)(bu)(bu)的(de)冷卻速度(du)大(da)于(yu)板寬度(du)方向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)(bu)的(de)冷卻速度(du)、且端(duan)部(bu)(bu)(bu)的(de)溫度(du)高于(yu)板寬度(du)方向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)(bu)的(de)溫度(du)時(shi)，存(cun)在結構弛豫導(dao)致(zhi)的(de)熱收縮(suo)與延遲(chi)彈性(xing)導(dao)致(zhi)的(de)熱收縮(suo)合并(合わさつて)從而(er)各(ge)向(xiang)異性(xing)偏差(cha)(cha)增大(da)的(de)傾向(xiang)。因此，根據本實施(shi)方式(shi)，通過隨著溫度(du)差(cha)(cha)增大(da)而(er)降低冷卻速度(du)差(cha)(cha)，由此抑制各(ge)向(xiang)異性(xing)偏差(cha)(cha)。

另一(yi)方(fang)面，在玻璃帶(dai)的(de)端(duan)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)低(di)于板(ban)寬(kuan)度(du)(du)方(fang)向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)的(de)情(qing)況下(xia)、或(huo)者在玻璃帶(dai)的(de)端(duan)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)與(yu)板(ban)寬(kuan)度(du)(du)方(fang)向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)相等的(de)情(qing)況下(xia)，冷卻(que)速度(du)(du)差為100℃/分鐘以下(xia)。這(zhe)是(shi)因為，端(duan)部(bu)(bu)的(de)冷卻(que)速度(du)(du)大(da)于板(ban)寬(kuan)度(du)(du)方(fang)向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)的(de)冷卻(que)速度(du)(du)、且(qie)端(duan)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)低(di)于板(ban)寬(kuan)度(du)(du)方(fang)向(xiang)中央(yang)部(bu)(bu)的(de)溫(wen)度(du)(du)時(shi)，存在結構弛豫導(dao)致的(de)熱(re)收縮(suo)與(yu)延遲彈性導(dao)致的(de)熱(re)收縮(suo)抵消(xiao)從(cong)而各向(xiang)異性偏差減小的(de)傾向(xiang)。

在退(tui)火工(gong)序s3中，玻璃帶的(de)板牽(qian)引(yin)方向的(de)冷(leng)卻速度優選為30℃/分(fen)(fen)鐘～200℃/分(fen)(fen)鐘，更(geng)優選為40℃/分(fen)(fen)鐘～180℃/分(fen)(fen)鐘。通過(guo)將冷(leng)卻速度設定為200℃/分(fen)(fen)鐘以下，能夠抑制(zhi)最(zui)終通過(guo)切割而得到的(de)玻璃基板的(de)熱收(shou)縮(suo)率的(de)絕對值、應(ying)變、翹曲等。

本(ben)實施方式(shi)的無堿玻(bo)璃(li)基(ji)板(ban)的制造方法中，平板(ban)玻(bo)璃(li)的板(ban)寬度方向的長(chang)度優(you)選(xuan)(xuan)為(wei)5m以上(shang)，更優(you)選(xuan)(xuan)為(wei)5.5m以上(shang)，進一步(bu)優(you)選(xuan)(xuan)為(wei)6m以上(shang)。平板(ban)玻(bo)璃(li)的板(ban)寬度方向的長(chang)度越長(chang)，越能夠同時對多塊大(da)型(xing)tft用玻(bo)璃(li)基(ji)板(ban)進行采板(ban)。

本實施方(fang)式的(de)(de)無堿(jian)玻璃(li)(li)(li)(li)(li)基板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)制造(zao)方(fang)法優選利用浮法將熔(rong)融(rong)玻璃(li)(li)(li)(li)(li)成形(xing)為玻璃(li)(li)(li)(li)(li)帶(dai)(dai)g，該情況下(xia)，使用無堿(jian)玻璃(li)(li)(li)(li)(li)基板(ban)(ban)(ban)的(de)(de)制造(zao)裝(zhuang)置1。玻璃(li)(li)(li)(li)(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)粘度(du)(du)(dpa·s)的(de)(de)對數(shu)為12.5～14.0的(de)(de)區域(yu)相當(dang)于腔室30的(de)(de)區域(yu)，處于(玻璃(li)(li)(li)(li)(li)化轉(zhuan)變溫(wen)度(du)(du)tg-30)～(玻璃(li)(li)(li)(li)(li)化轉(zhuan)變溫(wen)度(du)(du)tg+20)℃的(de)(de)溫(wen)度(du)(du)范(fan)圍(wei)。因此，在浮法中，通過使用腔室30的(de)(de)多個加熱(re)器48等控制在腔室30上下(xia)游的(de)(de)玻璃(li)(li)(li)(li)(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)板(ban)(ban)(ban)寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)(y軸方(fang)向(xiang))的(de)(de)溫(wen)度(du)(du)、在腔室30中的(de)(de)玻璃(li)(li)(li)(li)(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)板(ban)(ban)(ban)寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)中央部、端(duan)部的(de)(de)板(ban)(ban)(ban)牽引方(fang)向(xiang)(x軸方(fang)向(xiang))的(de)(de)冷卻速度(du)(du)，能(neng)夠抑制板(ban)(ban)(ban)寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)上、板(ban)(ban)(ban)牽引方(fang)向(xiang)上的(de)(de)熱(re)收縮(suo)率差。

圖(tu)(tu)2是本發明(ming)的(de)(de)一個實施(shi)方(fang)式中的(de)(de)利用浮法得到(dao)的(de)(de)平板(ban)玻璃(li)的(de)(de)采(cai)板(ban)示意圖(tu)(tu)。需要說(shuo)明(ming)的(de)(de)是，切割(ge)前(qian)的(de)(de)平板(ban)玻璃(li)具有制品區域外的(de)(de)耳部(bu)和制品區域內的(de)(de)薄板(ban)部(bu)，在圖(tu)(tu)2中省略了(le)耳部(bu)。

浮法的(de)平(ping)(ping)板(ban)(ban)(ban)玻璃的(de)有效寬(kuan)(kuan)度(du)大，并(bing)且(qie)能夠(gou)同時對多塊大型tft用玻璃基板(ban)(ban)(ban)進行采板(ban)(ban)(ban)。例如(ru)在圖2所示的(de)方式中，從平(ping)(ping)板(ban)(ban)(ban)玻璃上采板(ban)(ban)(ban)出兩塊2500mm×2200mm(g8)的(de)玻璃基板(ban)(ban)(ban)、三塊1850mm×1500mm(g6)的(de)玻璃基板(ban)(ban)(ban)。平(ping)(ping)板(ban)(ban)(ban)玻璃的(de)薄板(ban)(ban)(ban)部的(de)板(ban)(ban)(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)方向(xiang)(y軸方向(xiang))的(de)長度(du)優選為4m以(yi)上，更優選為4.5m以(yi)上，進一步優選為5m以(yi)上。

實施例

調配各成(cheng)分的玻(bo)璃原(yuan)料以成(cheng)為(wei)(wei)目標組成(cheng)，在(zai)玻(bo)璃熔(rong)融爐中進(jin)行熔(rong)化，并利用(yong)浮法將所得到(dao)的熔(rong)融玻(bo)璃成(cheng)形為(wei)(wei)了(le)玻(bo)璃帶g。

實施例(li)(li)1～3和比較(jiao)例(li)(li)1～3的目標(biao)組成為(wei)下述玻璃(li)1，實施例(li)(li)4和比較(jiao)例(li)(li)4的目標(biao)組成為(wei)下述玻璃(li)2。

(玻璃1)

sio2：61％

al2o3：20％

b2o3：1.5％

mgo：5.5％

cao：4.5％

sro：7％

bao：0％

mgo+cao+sro+bao：17％

(玻璃2)

sio2：60％

al2o3：17％

b2o3：8％

mgo：3％

cao：4％

sro：8％

bao：0％

mgo+cao+sro+bao：15％

腔(qiang)(qiang)室(shi)30內的(de)(de)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)為(wei)(wei)玻(bo)(bo)璃(li)化轉變溫(wen)(wen)度(du)(du)tg附(fu)近。對于在腔(qiang)(qiang)室(shi)30上(shang)游(you)側(ce)(ce)(-x側(ce)(ce))的(de)(de)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)方(fang)(fang)向(y軸方(fang)(fang)向)的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)，對左(zuo)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)l1、中央(yang)部(bu)c1、右(you)(you)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)r1這三(san)個位置進(jin)行了測(ce)定。左(zuo)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)l1、中央(yang)部(bu)c1、右(you)(you)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)r1的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)分(fen)別設(she)為(wei)(wei)tl1、tc1、tr1。同樣地，對于在腔(qiang)(qiang)室(shi)30下游(you)側(ce)(ce)(+x側(ce)(ce))的(de)(de)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)板(ban)寬(kuan)(kuan)度(du)(du)方(fang)(fang)向(y軸方(fang)(fang)向)的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)，對左(zuo)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)l2、中央(yang)部(bu)c2、右(you)(you)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)r2這三(san)個位置進(jin)行了測(ce)定。左(zuo)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)l2、中央(yang)部(bu)c2、右(you)(you)側(ce)(ce)端(duan)部(bu)r2的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)分(fen)別設(she)為(wei)(wei)tl2、tc2、tr2。腔(qiang)(qiang)室(shi)30內的(de)(de)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)粘度(du)(du)是由(you)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)換算的(de)(de)值。與(yu)玻(bo)(bo)璃(li)帶(dai)(dai)g的(de)(de)溫(wen)(wen)度(du)(du)tl1、tc1、tr1、tl2、tc2、tr2對應的(de)(de)粘度(du)(du)分(fen)別設(she)為(wei)(wei)ηl1、ηc1、ηr1、ηl2、ηc2、ηr2。

在(zai)此，對表2所示的(de)(de)(de)在(zai)腔(qiang)室30上(shang)游(you)(you)(you)側(ce)(ce)(ce)(-x側(ce)(ce)(ce))、下游(you)(you)(you)側(ce)(ce)(ce)(+x側(ce)(ce)(ce))的(de)(de)(de)玻璃帶(dai)g的(de)(de)(de)板寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)(xiang)(y軸方(fang)向(xiang)(xiang))的(de)(de)(de)平均粘度(du)(du)η1、η2(dpa·s)、在(zai)腔(qiang)室30上(shang)游(you)(you)(you)側(ce)(ce)(ce)(-x側(ce)(ce)(ce))、下游(you)(you)(you)側(ce)(ce)(ce)(+x側(ce)(ce)(ce))的(de)(de)(de)玻璃帶(dai)g的(de)(de)(de)板寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)(xiang)(y軸方(fang)向(xiang)(xiang))的(de)(de)(de)溫度(du)(du)差δt1、δt2、δt(℃)、粘度(du)(du)差δη1、δη2和在(zai)腔(qiang)室30中的(de)(de)(de)玻璃帶(dai)g的(de)(de)(de)板寬度(du)(du)方(fang)向(xiang)(xiang)中央部、端部的(de)(de)(de)板牽引方(fang)向(xiang)(xiang)(x軸方(fang)向(xiang)(xiang))的(de)(de)(de)冷卻速度(du)(du)rc、re(℃/分(fen)鐘)、冷卻速度(du)(du)差δr(℃/分(fen)鐘)進行說明。

平(ping)均(jun)(jun)粘度(du)(du)(du)(du)η1、η2分別為(wei)粘度(du)(du)(du)(du)ηl1、ηc1、ηr1的平(ping)均(jun)(jun)值(zhi)(zhi)(zhi)和粘度(du)(du)(du)(du)ηl2、ηc2、ηr2的平(ping)均(jun)(jun)值(zhi)(zhi)(zhi)。溫(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δt1為(wei)(tl1-tc1)和(tr1-tc1)中(zhong)絕(jue)對值(zhi)(zhi)(zhi)較大者的值(zhi)(zhi)(zhi)。溫(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δt2為(wei)(tl2-tc2)和(tr2-tc2)中(zhong)絕(jue)對值(zhi)(zhi)(zhi)較大者的值(zhi)(zhi)(zhi)。溫(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δt為(wei)溫(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δt1和溫(wen)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δt2的平(ping)均(jun)(jun)值(zhi)(zhi)(zhi)。冷(leng)(leng)卻(que)速(su)度(du)(du)(du)(du)rc是用(yong)(tc1-tc2)除以玻璃帶g從腔室30上游(you)輸(shu)送至(zhi)下游(you)的時間(jian)t而算(suan)出(chu)的值(zhi)(zhi)(zhi)。冷(leng)(leng)卻(que)速(su)度(du)(du)(du)(du)re是用(yong)(tl1-tl2)、(tr1-tr2)的平(ping)均(jun)(jun)值(zhi)(zhi)(zhi)除以時間(jian)t而算(suan)出(chu)的值(zhi)(zhi)(zhi)。冷(leng)(leng)卻(que)速(su)度(du)(du)(du)(du)差(cha)δr是從冷(leng)(leng)卻(que)速(su)度(du)(du)(du)(du)re中(zhong)減去冷(leng)(leng)卻(que)速(su)度(du)(du)(du)(du)rc而得(de)到的值(zhi)(zhi)(zhi)。

圖(tu)(tu)3是用(yong)于得到實施例(li)和比(bi)較例(li)的玻(bo)璃片的平板玻(bo)璃分割的示意圖(tu)(tu)。圖(tu)(tu)3與圖(tu)(tu)2同樣地省略了平板玻(bo)璃的耳部。

退火后，將(jiang)平(ping)板玻璃沿板寬(kuan)度(du)方(fang)向(xiang)(y軸方(fang)向(xiang))切割為(wei)六(liu)個部(bu)(bu)(bu)(bu)分(fen)。將(jiang)最左側(ce)(ce)(+y側(ce)(ce))的部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)稱為(wei)部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)l-1，自部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)l-1起向(xiang)右(you)側(ce)(ce)(-y側(ce)(ce))依次稱為(wei)部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)l-2、部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)c-1、部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)c-2、部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)r-1、部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)r-2。部(bu)(bu)(bu)(bu)位(wei)(wei)(wei)(wei)r-2為(wei)最右(you)側(ce)(ce)(-y側(ce)(ce))。

從(cong)部位(wei)l-1、c-2、r-2分別切(qie)出三(san)塊下(xia)述玻璃板(ban)a、b。

玻璃(li)板a：200mm×400mm×厚度(du)(du)0.5mm，長(chang)邊為板寬度(du)(du)方向。

玻(bo)璃板b：400mm×200mm×厚度0.5mm，長邊為板牽引方向。

進一步，從玻璃板(ban)a、b上分別(bie)切出(chu)兩塊下(xia)述玻璃片a、b。即(ji)，從部位(wei)l-1、c-2、r-2分別(bie)切出(chu)六塊下(xia)述玻璃片a、b。

玻(bo)璃片(pian)a：50mm×270mm×厚度(du)0.5mm，長邊為板(ban)寬度(du)方(fang)向。

玻(bo)璃片b：270mm×50mm×厚(hou)度0.5mm，長(chang)邊為板牽引方向。

對下(xia)述熱(re)處(chu)理(li)前后的(de)(de)玻璃(li)片a、b的(de)(de)長邊的(de)(de)變形量進行測定，算出熱(re)收(shou)縮率，所(suo)述熱(re)處(chu)理(li)為：將玻璃(li)片a、b以100℃/小時從常溫(wen)升溫(wen)至(zhi)600℃，在(zai)600℃下(xia)保持(chi)80分鐘(zhong)，并以100℃/小時從600℃降溫(wen)至(zhi)常溫(wen)。各部位的(de)(de)板寬(kuan)度方(fang)向、板牽引方(fang)向的(de)(de)熱(re)收(shou)縮率分別為六塊玻璃(li)片a、b的(de)(de)熱(re)收(shou)縮率的(de)(de)平均值。

將(jiang)(jiang)(jiang)結果示(shi)于(yu)表2。將(jiang)(jiang)(jiang)部位l、c、r的(de)(de)(de)板(ban)(ban)寬度(du)方向(xiang)(y軸方向(xiang))的(de)(de)(de)熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率分別設為cal、cac、car，將(jiang)(jiang)(jiang)部位l、c、r的(de)(de)(de)板(ban)(ban)牽引方向(xiang)(x軸方向(xiang))的(de)(de)(de)熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率分別設為cbl、cbc、cbr。算出熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率cal、cac、car的(de)(de)(de)最(zui)大值(zhi)與熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率cbl、cbc、cbr的(de)(de)(de)最(zui)小值(zhi)之差的(de)(de)(de)絕對值(zhi)、以及熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率cal、cac、car的(de)(de)(de)最(zui)小值(zhi)與熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率cbl、cbc、cbr的(de)(de)(de)最(zui)大值(zhi)之差的(de)(de)(de)絕對值(zhi)之中的(de)(de)(de)值(zhi)較大者，將(jiang)(jiang)(jiang)其作為各(ge)(ge)向(xiang)異(yi)性(xing)偏差。若該各(ge)(ge)向(xiang)異(yi)性(xing)偏差為2ppm以下，則無論平板(ban)(ban)玻璃(li)的(de)(de)(de)采板(ban)(ban)尺寸如(ru)何，所得到的(de)(de)(de)玻璃(li)基(ji)板(ban)(ban)的(de)(de)(de)各(ge)(ge)向(xiang)異(yi)性(xing)偏差均(jun)為2ppm以下。在此，部位l、c、r的(de)(de)(de)熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率分別對應于(yu)從部位l-1、c-2、r-2得到的(de)(de)(de)玻璃(li)片a、b的(de)(de)(de)熱(re)(re)收(shou)(shou)(shou)縮(suo)(suo)率。

實施例1、2、4和比較(jiao)例1、2的(de)溫(wen)(wen)度(du)差(cha)δt1、δt2、δt＞0，因此腔(qiang)室30內的(de)玻璃帶g的(de)板(ban)寬度(du)方向端部的(de)溫(wen)(wen)度(du)高于中(zhong)央部的(de)溫(wen)(wen)度(du)。

實施(shi)例(li)1的溫度差δt為(wei)8.0℃、冷卻速度差δr為(wei)63℃/分鐘、各(ge)向異性偏差|ca-cb|為(wei)0.9ppm。

實施(shi)例2的溫度差δt為(wei)9.1℃、冷卻速度差δr為(wei)47℃/分鐘，各向(xiang)異性(xing)偏差|ca-cb|為(wei)1.6ppm。

實(shi)施例4的溫度差(cha)δt為(wei)14.2℃、冷卻速度差(cha)δr為(wei)27℃/分鐘，各(ge)向異(yi)性偏差(cha)|ca-cb|為(wei)1.4ppm。

比較例1的溫(wen)度差(cha)δt為13.8℃、冷卻速度差(cha)δr為67℃/分鐘、各(ge)向(xiang)異性偏差(cha)|ca-cb|為5.1ppm。

比較例2的溫度差(cha)(cha)δt為(wei)(wei)8.2℃、冷卻速度差(cha)(cha)δr為(wei)(wei)74℃/分鐘(zhong)、各(ge)向(xiang)異性偏差(cha)(cha)|ca-cb|為(wei)(wei)3.1ppm。

其次(ci)，實施例3、比(bi)較例3、4的(de)溫度差δt1、δt2、δt＜0，因此腔(qiang)室30內(nei)的(de)玻璃帶(dai)g的(de)板寬度方向端(duan)部的(de)溫度低(di)于中(zhong)央部的(de)溫度。

與比(bi)較例(li)3相比(bi)，實施例(li)3的(de)溫(wen)度(du)差(cha)δt為-14.5℃、冷卻速(su)度(du)差(cha)δr為97℃/分鐘(zhong)、各(ge)向異性偏(pian)差(cha)|ca-cb|為1.3ppm。

比(bi)較例(li)3的(de)溫度差(cha)δt為-20.3℃、冷(leng)卻速度差(cha)δr為137℃/分鐘(zhong)、各向(xiang)異性偏(pian)差(cha)|ca-cb|為2.9ppm。

比較例4的溫度差δt為(wei)(wei)-17.5℃、冷卻速(su)度差δr為(wei)(wei)74℃/分鐘、各向異性偏差|ca-cb|為(wei)(wei)2.1ppm。

本(ben)申(shen)請基于2016年3月15日提出的日本(ben)專利(li)申(shen)請號(hao)，將其內容(rong)作為參(can)考并入本(ben)說明書中。