一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機。
【背景技術】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經過制粉、煅燒、燒結之后，制成基板毛料，基板毛料經過平面磨床拋光打磨之后進行濺射鍍膜，目前所采用的煅燒工藝中用到的煅燒機尾氣直接排放，尤其是生產靶材原料中的氨氣，直接外排對于環境污染巨大。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型為了解決上述現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，能夠將尾氣充分吸收，保證環境安全，符合當今環保主題。
[0004]本實用新型采用的具體技術方案是:
[0005]—種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐、液壓頂桿、變壓器，液壓頂桿設置在煅燒爐上方，煅燒爐的上端面與液壓頂桿形成密封套裝配合，煅燒爐內側壁設置有爐內電極，爐內電極與液壓頂桿分別連接變壓器，所述煅燒爐上端面還設置有尾氣排放口，所述的煅燒爐外側套裝有密封套殼，密封套殼連接通氣管，通氣管連接有尾氣吸收罐，尾氣吸收罐與密封套殼內側借助通氣管連通。
[0006]還設置有冷卻水箱，冷卻水箱套裝在通氣管外側，通氣管在冷卻水箱內呈螺旋狀盤繞。
[0007]所述的密封套殼為夾層結構，密封套殼的夾層內灌注有冷卻液。
[0008]尾氣吸收罐上設置有抽氣機，抽氣機設置在尾氣吸收罐上端，通氣管連接在尾氣吸收罐底部。
[0009]本實用新型的有益效果是:
[0010]本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環境污染，借助于抽氣機，能夠將尾氣抽入尾氣吸收罐，同時保持煅燒爐所處環境為負壓狀態，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0012]附圖中，1、煅燒爐，2、液壓頂桿，3、爐內電極，4、尾氣排放口，5、密封套殼，6、通氣管，7、尾氣吸收罐，8、冷卻水箱，9、抽氣機。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明:
[0014]具體實施例如圖1所示，本實用新型為一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐1、液壓頂桿2、變壓器，液壓頂桿2設置在煅燒爐I上方，煅燒爐I的上端面與液壓頂桿2形成密封套裝配合，煅燒爐I內側壁設置有爐內電極3，爐內電極3與液壓頂桿2分別連接變壓器，所述煅燒爐I上端面還設置有尾氣排放口 4，所述的煅燒爐I外側套裝有密封套殼5，密封套殼5連接通氣管6，通氣管6連接有尾氣吸收罐7，尾氣吸收罐7與密封套殼5內側借助通氣管6連通。本實用新型使用時在尾氣吸收罐7內灌注酸液以吸收尾氣，生產時變壓器的電流借助爐內電極3與液壓頂桿2將爐內物料加熱、熔融。
[0015]為了避免熱氣將尾氣吸收罐7內酸液加熱沸騰，還設置有冷卻水箱8，冷卻水箱8套裝在通氣管6外側，通氣管6在冷卻水箱8內呈螺旋狀盤繞。
[0016]為了避免高溫損壞密封套殼5，所述的密封套殼5為夾層結構，密封套殼5的夾層內灌注有冷卻液。同時能夠避免煅燒爐與過量氧氣接觸，保證煅燒效果。
[0017]所述的尾氣吸收罐7上設置有抽氣機9，抽氣機9設置在尾氣吸收罐7上端，通氣管6連接在尾氣吸收罐7底部。抽氣機9迫使尾氣進入尾氣吸收罐7，保證尾氣吸收效果。
[0018]本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環境污染，借助于抽氣機，能夠將尾氣抽入尾氣吸收罐，同時保持煅燒爐所處環境為負壓狀態，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【主權項】
1.一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐(I)、液壓頂桿(2)、變壓器，液壓頂桿(2)設置在煅燒爐(I)上方，煅燒爐(I)的上端面與液壓頂桿(2)形成密封套裝配合，煅燒爐(I)內側壁設置有爐內電極(3)，爐內電極(3)與液壓頂桿(2)分別連接變壓器，所述煅燒爐(I)上端面還設置有尾氣排放口(4)，其特征在于:所述的煅燒爐(I)外側套裝有密封套殼(5)，密封套殼(5)連接通氣管(6)，通氣管(6)連接有尾氣吸收罐(7)，尾氣吸收罐(7)與密封套殼(5)內側借助通氣管(6)連通。2.根據權利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:還設置有冷卻水箱(8)，冷卻水箱(8)套裝在通氣管(6)外側，通氣管(6)在冷卻水箱(8)內呈螺旋狀盤繞。3.根據權利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:所述的密封套殼(5)為夾層結構，密封套殼(5)的夾層內灌注有冷卻液。4.根據權利要求1所述的一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，其特征在于:尾氣吸收罐(7)上設置有抽氣機(9)，抽氣機(9)設置在尾氣吸收罐(7)上端，通氣管(6)連接在尾氣吸收罐(7)底部。
【專利摘要】本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種帶有尾氣吸收裝置的煅燒機，包括煅燒爐、液壓頂桿、變壓器，液壓頂桿設置在煅燒爐上方，煅燒爐的上端面與液壓頂桿形成密封套裝配合，煅燒爐內側壁設置有爐內電極，爐內電極與液壓頂桿分別連接變壓器，所述煅燒爐上端面還設置有尾氣排放口，所述的煅燒爐外側套裝有密封套殼，密封套殼連接通氣管，通氣管連接有尾氣吸收罐，尾氣吸收罐與密封套殼內側借助通氣管連通。本實用新型，采用尾氣吸收罐進行尾氣吸收，避免直接外排尾氣造成的環境污染，借助于抽氣機，能夠將尾氣抽入尾氣吸收罐，同時保持煅燒爐所處環境為負壓狀態，降低氧氣含量，防止熔融物氧化，便于提高煅燒效果。
【IPC分類】C23C14/34, B01D53/14
【公開號】CN205258593
【申請號】CN201521064872
【發明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛, 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日