一種研磨機的下研磨盤的制作方法
【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及藍寶石加工設備技術領域，具體涉及一種研磨機的下研磨盤。
【背景技術】
[0002] 藍寶石晶片精研磨（單面研磨）的目的是為了進一步提高面形精度和降低表面粗 糙度、表面損傷層。目前，現有的研磨機存在兩個問題：第一，因研磨液的磨粒采用W7金剛 石微粉，而藍寶石的硬度又高達9,在研磨時會產生高熱，如不能很好散熱會使藍寶石片發 生翹曲形變，長時間還會使研磨盤變形，嚴重影響藍寶石片的平面度；第二，磨粒完好地嵌 入研磨盤中，研磨加工過程中磨粒對工件只實施延性切削作用，可以保證藍寶石晶片表面 質量。為了能使磨粒嵌入順利，推薦采用軟材質研磨盤，但太軟則容易使磨粒全部嵌入；同 時為了使研磨盤不至于很快變形和磨損，能持久維持其平面度，則推薦耐磨損的硬質材料， 因此研磨盤材質對于材料去除速率、表面粗糙度、平面度、研磨均勻性具有重要作用，存在 一個最優化的選擇準則，通常使用鑄鐵十字槽形研磨盤、純銅、合成錫三種研磨盤，但是這 三種研磨盤都存在缺陷。 【實用新型內容】
[0003] 本實用新型所要解決的技術問題在于提供一種結構設計合理，能夠極大改善藍寶 石襯底表面的粗糙度和均勻性的研磨機的下研磨盤。
[0004] 本實用新型所要解決的技術問題采用以下技術方案來實現：
[0005] 一種研磨機的下研磨盤，包括緊固螺釘、壓板、陶瓷盤、藍寶石片、研磨盤和水冷系 統，所述研磨盤固定在壓板上，研磨盤上設置有陶瓷盤，陶瓷盤上安放有藍寶石片，所述研 磨盤下方設置有水冷系統，水冷系統通過緊固螺釘與研磨盤連接。
[0006] 所述研磨盤選用樹脂銅盤。
[0007] 所述研磨盤表面設置成螺紋狀態，目的是利用螺紋槽貯存新的研磨液。
[0008] 本實用新型的有益效果是：本實用新型結構簡單、設計合理，為了使研磨盤能良好 的散熱，避免其很快變形和磨損，在其下方增加的水冷系統，能起到顯著的效果。
【附圖說明】
[0009] 圖1為本實用新型結構示意圖。
[0010] 其中：1-緊固螺釘；2-壓板；3-陶瓷盤；4-藍寶石片；5-研磨盤；6-水冷系統。
【具體實施方式】
[0011] 為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下 面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0012] 一種研磨機的下研磨盤，包括緊固螺釘1、壓板2、陶瓷盤3、藍寶石片4、研磨盤5 和水冷系統6,研磨盤5固定在壓板2上，研磨盤5上設置有陶瓷盤3,陶瓷盤3上安放有藍 寶石片4,研磨盤5下方設置有水冷系統6,水冷系統6通過緊固螺釘1與研磨盤5連接，研 磨盤5選用樹脂銅盤，研磨盤5表面設置成螺紋狀態，用于貯存新的研磨液。
[0013] 本實用新型是這樣實現的，研磨盤5轉動時把研磨液甩到盤面與工件之間，同時 使用過的研磨液通過螺旋槽排出。蠟貼上藍寶石片4的陶瓷盤3與研磨盤5同時旋轉，研 磨液在盤面與藍寶石片工件之間產生研磨作用。為使研磨盤5能良好散熱，一方面選用散 熱性能好，耐磨性強的研磨盤，一方面在研磨盤5下方增加的水冷系統6能起到輔助散熱的 作用。
[0014] 實驗表明，不同的研磨盤材質精研磨晶片的指標也不相同，通過如下表格可以明 確顯不：
[0015]
【主權項】
1. 一種研磨機的下研磨盤，包括緊固螺釘、壓板、陶瓷盤、藍寶石片、研磨盤和水冷系 統，所述研磨盤固定在壓板上，研磨盤上設置有陶瓷盤，陶瓷盤上安放有藍寶石片，所述研 磨盤下方設置有水冷系統，水冷系統通過緊固螺釘與研磨盤連接。
2. 根據權利要求1所述一種研磨機的下研磨盤，其特征在于：所述研磨盤選用樹脂銅 盤。
3. 根據權利要求1所述一種研磨機的下研磨盤，其特征在于：所述研磨盤表面設置成 螺紋狀態。
【專利摘要】一種研磨機的下研磨盤，屬于藍寶石加工設備技術領域，包括緊固螺釘、壓板、陶瓷盤、藍寶石片、研磨盤和水冷系統，所述研磨盤固定在壓板上，研磨盤上設置有陶瓷盤，陶瓷盤上安放有藍寶石片，所述研磨盤下方設置有水冷系統，水冷系統通過緊固螺釘與研磨盤連接，所述研磨盤選用樹脂銅盤，所述研磨盤表面設置成螺紋狀態，目的是利用螺紋槽貯存新的研磨液。本實用新型結構簡單、設計合理，為了使研磨盤能良好的散熱，避免其很快變形和磨損，在其下方增加的水冷系統，能起到顯著的效果。
【IPC分類】B24B55-02, B24B37-16, B24B37-14
【公開號】CN204504985
【申請號】CN201520041799
【發明人】王海彤, 陳子榮, 周俊, 佘衛東, 強國
【申請人】銅陵市琨鵬光電科技有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年1月21日