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自動化連續式防污膜鍍膜裝置的制造方法

文檔(dang)序號:8662074閱讀:533來源:國知局
自動化連續式防污膜鍍膜裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜領域,尤其涉及自動化連續式防污膜鍍膜裝置,特別是適用于對液態有機蒸鍍材料進行真空蒸發鍍膜的鍍膜裝置。
【背景技術】
[0002]真空鍍膜方法是制作薄膜產品的一種重要方法,目前,以真空鍍膜方法制備的薄膜產品已經滲透到眾多應用領域。在真空蒸鍍方法中,鍍膜材料可以是無機物和有機物。對于一般的無機膜料,可以直接放入坩禍或鍍舟中進行真空蒸鍍。對于有機鍍膜原料(在此指防污膜料),可以采用如下方法實現真空鍍膜:首先,將有機膜料溶解于有機溶劑從而形成有機溶液;而后,將此有機溶液注入多孔吸附載體中;最后,將吸附有有機膜料的載體放入坩禍進行蒸鍍。目前的常規方法是將上述吸附有有機膜料的載體進行特殊處理制成固體藥片作為鍍膜原料,然后進行蒸鍍。不過這種方法制成的膜料藥片成本高,同時亦需要將藥片在特定環境條件下保存以保持藥片的鍍膜效果。
[0003]防污膜可應用于觸摸屏、鏡片和鏡頭等領域。在這些光學產品中,基板材料上通常先鍍制一些光學薄膜(比如增透膜),然后再蒸鍍防污膜。特別是,近年來隨著信息技術的發展,以智能手機、平板電腦為主導的終端產品高度普及,觸摸屏產品需求迅猛增長。為了增加以觸摸屏主的多種光電產品的防污效果,在多種光學產品表面上鍍制防污膜已經成為必不可少的工序。
[0004]目前,防污膜一般采用前述的真空蒸鍍方法進行鍍膜。對于常規的防污膜鍍膜設備,每鍍完一罩膜均需要打開鍍膜腔體來放置防污膜原料,這樣不利于生產效率的提高;同時,由于防污膜料的有機物特性,罩間鍍膜腔體的開門時間和抽真空時間過長將大大增加膜料特性改變的風險。鑒于上述原因,并為了應對市場需求的激增,研發自動化程度高、可以實現不間斷生產的連續式防污膜鍍膜設備變得日益重要。在開發連續式防污膜鍍膜設備方面,可以在防污膜料的預熱室和蒸鍍室中設置防污膜料傳輸帶,將防污膜料不間斷的運送到真空鍍膜室以實現連續鍍膜。但上述方法中,很難保證防污膜的預熱室和蒸鍍室完全隔離,由于防污膜料的熱揮發特性,因此會導致真空鍍膜室的污染。還有,防污膜通常是在其他功能性薄膜鍍膜完成后進行;在連續鍍膜過程中,防污膜與其他薄膜的鍍膜是交替進行的。因此,前述傳輸帶式的連續鍍膜裝置會造成防污膜料與其他膜料的互相污染,劣化薄膜質量。

【發明內容】

[0005]本實用新型的目的是根據上述現有技術的不足,提供了自動化連續式防污膜鍍膜裝置,通過將盛放防污膜膜料的坩禍在真空預熱室和真空蒸鍍室之間自動、連續的往返傳遞,利用真空預熱室和真空蒸鍍室之間壓力差所實現的船閘原理,保證有機膜料在加藥、預熱過程中不影響真空蒸鍍室的環境,實現連續式多種功能薄膜鍍膜。
[0006]本實用新型目的實現由以下技術方案完成:
[0007]一種自動化連續式防污膜鍍膜裝置,所述鍍膜裝置包括真空蒸鍍室和至少一個真空預熱室,所述真空蒸鍍室的內腔和所述真空預熱室的內腔之間構成連通,其特征在于:所述真空蒸鍍室與所述真空預熱室之間設置有一可啟閉的閘閥;所述真空預熱室內設置有加液系統、推送機構、加熱裝置和坩禍,所述加液系統向所述坩禍中加注蒸鍍所述防污膜的膜料,所述加熱裝置承載并加熱所述坩禍,所述推送機構通過推送桿連接所述坩禍,以使所述坩禍實現在所述真空蒸鍍室和所述真空預熱室之間的往返移動。
[0008]所述真空預熱室內的真空度小于所述真空蒸鍍室內的真空度。
[0009]所述真空預熱室與所述真空蒸鍍室之間設置有一過渡室,所述過渡室內的真空度大于所述真空預熱室內的真空度,且小于所述真空蒸鍍室內的真空度。
[0010]所述加液系統至少包括一套加藥裝置,所述加藥裝置由加藥控制器、容積式計量閥和滴藥閥構成,所述容積式計量閥的藥液進口與所述防污膜料藥液瓶連通,所述容積式計量閥的藥液出口與所述滴藥閥連通,所述滴藥閥的滴藥口通向所述坩禍,所述加藥控制器分別連接控制所述容積式計量閥和所述滴藥閥。
[0011]所述滴藥閥具有排液管道,所述排液管道的上部開口與所述容積式計量閥的藥液出口連通,所述排液管道的下部開口為滴藥口,所述滴藥閥內、位于所述排液管道上部開口處設置有一密封堵頭,由所述加液控制器控制所述密封堵頭的起落。
[0012]所述密封堵頭底部固定連接一密封針,所述密封針與所述排液管道的內輪廓形狀、大小吻合適配,所述密封針的長度不小于所述排液管道的長度,且當所述密封堵頭封堵于所述排液管道的上部開口時,所述密封針的端頭部伸出于所述滴藥口。
[0013]所述加熱裝置包括加熱片、外引線和對外引線柱,所述外引線一端導通所述加熱片,另一端導通所述對外引線柱,所述對外引線柱由一導電支座支承,所述外引線外圍套裝包覆有一散熱件,所述散熱件自所述外引線與所述加熱片的連接處起沿所述外引線的延伸方向布設;所述散熱件外圍涂覆有散熱絕緣層。
[0014]本實用新型的優點是:1、可以進行自動化、連續式鍍膜。2、可以對液態鍍膜材料進行精確定量的鍍膜,不但提高了鍍膜精度,同時降低了因使用固態藥片所導致的高成本。3、通過設置防污膜的預熱室、蒸鍍室、閘閥、推送機構,以及船閘原理的應用,實現有機膜料在加藥、預熱過程中不影響真空蒸鍍室的環境,保證連續式多種功能薄膜鍍膜的薄膜質量。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型的第一種結構示意圖;
[0016]圖2為本實用新型的第二種結構示意圖;
[0017]圖3為本實用新型的第三種結構示意圖;
[0018]圖4為本實用新型的第四種結構示意圖;
[0019]圖5為本實用新型中加液系統的結構示意圖;
[0020]圖6為本實用新型中加液滴嘴的結構示意圖;
[0021]圖7為本實用新型中加熱裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0022]以下結合附圖通過實施例對本實用新型特征及其它相關特征作進一步詳細說明,以便于同行業技術人員的理解:
[0023]如圖1-7所示,圖中標記1-41為:預熱室1、閘閥2、蒸鍍室3、加液系統4、坩禍5、驅動汽缸6、支桿7、滴嘴8、加熱頭9、噴孔10、蒸鍍噴頭11、鍍膜基板12、真空泵13、過渡室14、上位工控機15、加液控制器16、容積式計量閥17、藥液入口 18、防污膜料藥液瓶19、藥液出口 20、滴藥閥21、密封針22、排液管道23、二位五通閥24、液體管路25、控制管路26、氣體管路27、壓縮空氣出入口 28、密封堵頭29、滴藥口 30,加熱頭法蘭31、陶瓷管32、散熱件33、陶瓷加熱片34、加熱頭支座35、外引線36、對外引線柱37、支承孔38、連接孔39、導電支座40、散熱絕緣層41。
[0024]實施例一:如圖1所示,本實施例中的自動化連續式防污膜鍍膜裝置包括預熱室I和蒸鍍室3,兩者的內腔相連通,其中預熱室I用于進行鍍膜原液的滴注和預加熱,蒸鍍室3用來實現膜料的真空蒸鍍。預熱室I和蒸鍍室3之間的連接處設置有可受控啟閉的閘閥2,用于通過啟閉控制預熱室I和蒸鍍室3之間的聯通和關斷。預熱室I內設置有加液系統4、坩禍5、由驅動氣缸6和支桿7構成的推送機構以及加熱頭9。加液系統4用于實現定時、定量通過滴嘴8向坩禍5內輸送加注鍍膜原材料。坩禍5放置在加熱頭9上,加熱頭9用于對坩禍5進行加熱。推送機構中的支桿7的一端由驅動氣缸6的輸出端連接驅動,另一端與盛放坩禍5的加熱頭9連接固定,以便將盛有鍍膜材料的坩禍5按鍍膜要求在預熱室I和蒸鍍室3內自動往返移動。蒸鍍室3內設置有帶有噴孔10的蒸鍍噴頭11和鍍膜基板12。蒸鍍噴頭11可以被加熱至一定溫
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