一種蝕刻機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及電子元器件蝕刻裝置，特別涉及一種蝕刻機。
【背景技術】
[0002]蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類，在化學蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應達到蝕刻的目的。化學蝕刻是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻機常用于硅片、半導體、電路板、金屬制品蝕刻花紋等領域。
[0003]目前，市場上所見到的自動型化學蝕刻機是通過高壓噴淋及被蝕刻直線運動形成連續不間斷進料狀態進行對工作腐蝕以提高生產效率，但腐蝕不均勻，合格率低，腐蝕速度慢。另外，還有一種蝕刻機，一般采用人工或機械手將裝有被腐蝕硅片的籃筐放入蝕刻槽中，人工或機械手將籃筐上下或左右的震動方式作業，也常造成腐蝕不均勻，合格率低，腐蝕速度慢、清洗不均勻的問題。

【發明內容】

[0004]有鑒于此，本發明提出一種蝕刻機，以解決腐蝕不均勻和腐蝕速度慢的問題。
[0005]一方面，本發明提供了一種蝕刻機，在機箱內設置有蝕刻槽和沖水槽及驅動裝置，驅動裝置上連接有籃筐，籃筐上設置有第一旋轉軸和第二旋轉軸，驅動裝置驅動籃筐繞第一旋轉軸自轉，并驅動第一旋轉軸繞第二旋轉軸旋轉。
[0006]進一步地，驅動裝置包括旋轉馬達和鏈條及第一轉軸，旋轉馬達與第一轉軸連接，在第一轉軸上安裝有第一鏈輪，在第二旋轉軸上安裝有第二鏈輪，鏈條安裝在第一鏈輪和第二鏈輪上，在第二旋轉軸上安裝有第二齒輪，在第一旋轉軸上安裝有第一齒輪，第一齒輪和第二齒輪嚙合。
[0007]進一步地，驅動裝置還包括擺臂和擺動馬達及第二轉軸，第一轉軸套在第二轉軸內，第二轉軸與擺動馬達連接，擺臂的兩端分別與第二轉軸和第二旋轉軸連接。
[0008]進一步地，驅動裝置安裝在蝕刻槽和沖水槽之間，旋轉馬達和擺動馬達分別位于蝕刻槽兩側；擺臂包括兩個，分別與籃筐的兩側連接。
[0009]進一步地，在機箱內安裝有蝕刻槽自循環管路，在自循環管路中安裝有循環泵，自循環管路分別與蝕刻槽的上下端相連接。
[0010]進一步地，在蝕刻槽內設置有第一制冷盤管，在自循環管路中設置有第二制冷盤管。
[0011 ] 進一步地，在機箱內安裝有鼓泡管路，在沖水槽的底部設置有鼓泡裝置，在鼓泡裝置上開設有噴口，鼓泡管路與鼓泡裝置相連。
[0012]進一步地，在機箱內安裝有噴淋管路，在沖水槽的上方安裝有噴淋嘴，噴淋嘴與噴淋管路相連。
[0013]進一步地，在機箱內安裝有溢流管路，溢流管路與沖水槽相連。
[0014]進一步地，在機箱上方安裝有抽風系統，在機箱內安裝有水槍和氣槍及排廢液管及排廢水管，排廢液管與蝕刻槽相連，排廢水管與沖水槽相連。
[0015]本發明提供的一種蝕刻機，籃筐在驅動裝置的驅動下不僅可以繞第一旋轉軸自轉，而且可以繞第二旋轉軸公轉。如果將籃筐放入蝕刻槽中，大大提高了腐蝕均勻性和腐蝕速度。如果將籃筐放入沖水槽中，大大提高了沖洗均勻性和沖洗速度。驅動裝置上的擺動馬達驅動擺臂可以使籃筐在蝕刻槽和沖水槽中移動，提高腐蝕效率。
[0016]為了進一步提高腐蝕均勻性，在機箱內安裝有蝕刻槽自循環管路，在自循環管路中安裝有循環泵，循環泵使蝕刻槽內的化學溶液上下循環對流，不僅可以使化學溶液對被腐蝕零件進行對流，加快腐蝕速度和提高腐蝕均勻性，而且可以使蝕刻槽內的化學溶液上下溫度一致，提高腐蝕質量。
[0017]為了進一步提高蝕刻槽內的化學溶液上下溫度均勻，在自循環管路中設置有第二制冷盤管，使得自循環管路中的化學溶液與蝕刻槽的化學溶液溫度保持一致。
[0018]為了進一步提高沖洗均勻性和速度，在沖水槽的底部設置有鼓泡裝置，在鼓泡裝置上開設有噴口，氮氣從噴口噴出，加速沖洗娃片表面顆粒。在沖水槽的上方設置有噴淋嘴，噴淋嘴自頂部沖洗硅片表面殘余顆粒。
【附圖說明】
[0019]構成本發明的一部分的附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中:
[0020]圖1為本發明的蝕刻機結構示意圖；
[0021]圖2為圖1的主視圖；
[0022]圖3為圖1的俯視圖；
[0023]圖4為圖1的A-A視圖；
[0024]圖5為圖4的驅動裝置示意圖；
[0025]圖6為本發明的蝕刻機原理示意圖。
【具體實施方式】
[0026]需要說明的是，在不沖突的情況下，本發明中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本發明。
[0027]下面結合圖1至圖6，對本發明的優選實施例作進一步詳細說明，
[0028]如圖1和圖3所示，一種蝕刻機，在機箱I內設置有兩個蝕刻槽5和兩個沖水槽6及兩個驅動裝置，兩個蝕刻槽5和兩個沖水槽6及兩個驅動裝置左右布置，兩個蝕刻槽5與兩個沖水槽6前后布置，兩個驅動裝置分別位于兩個蝕刻槽5與兩個沖水槽6之間。如圖1和圖2所示，在機箱I上部還安裝有控制器2和抽風系統3。排風系統(排風壓力、風量根據實際情況或客戶要求設計)將設備內揮發的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外(室外排放遵守國家環保要求)，避免擴散到室內。排風系統3內設有風量導流板，從而使排風效果達到最佳；排風口處設有手動調節風門300，操作人員可根據情況及時調節排風量。為了方便蝕刻機移動，在機箱I底部還安裝有4個萬向腳輪(圖中未示出)。在機箱I的前方安裝有兩個折疊門4。
[0029]如圖3和圖4及圖6所示，為了提高腐蝕均勻性，在機箱I內安裝有蝕刻槽5自循環管路11，在自循環管路11中安裝有循環泵13和閥門12，循環泵13采用美國astiPFD1210氣動隔膜泵，杜絕磁力泵低溫不啟動現象。自循環管路11分別與蝕刻槽5的上下端相連接。使蝕刻槽5內的化學溶液上下連續循環或者下上連續循環或者上下、下上交替循環，不僅可以使化學溶液對被腐蝕零件進行對流，加快腐蝕速度和提高腐蝕均勻性，而且可以使蝕刻槽5內的化學溶液上下溫度一致，提高腐蝕質量。
[0030]在蝕刻槽5內設置有第一制冷盤管14，第一制冷盤管14與制冷管路10相連接，制冷管路10與冷凍機組(圖中未示出)相連接。第一制冷盤管14采用進口哈氏合金C-276，管徑16mm，此材質耐酸堿腐蝕，無需噴涂pfa圖層，導熱效果好，不怕撞擊破損表面，無人為破壞情況下，可以使用5年，轉動攪拌勻溫，冷凍機組采用5P美國谷輪壓縮機組，42平方冷凝器，降溫速度快，控溫精度± 1°C，壓縮機的啟停采用固態繼電器控制，啟動平穩無波動，有效保護壓縮機壽命，同時減緩溫度波動。
[0031]為了進一步提高蝕刻槽5內的化學溶液上下溫度均勻，也可以在自循環管路11中設置有第二制冷盤管(圖中未示出)，第二制冷盤管采用進口哈氏合金C-2