本發(fa)明涉(she)及濺射靶材(cai)制造(zao)領域(yu)，尤(you)其(qi)涉(she)及一種靶材(cai)組件及其(qi)制造(zao)方法。

背景技術：

靶(ba)材(cai)是指通過濺射(she)鍍膜(mo)法(fa)形成(cheng)(cheng)各種功能(neng)薄(bo)膜(mo)的(de)濺射(she)源。簡單的(de)說，靶(ba)材(cai)就是高(gao)速荷能(neng)粒子(zi)轟擊的(de)目標材(cai)料。為(wei)了保證鎳(nie)鉻靶(ba)材(cai)具有良好(hao)的(de)導電和(he)導熱性能(neng)，鎳(nie)鉻靶(ba)材(cai)在濺射(she)前(qian)需要與背板(ban)(銅或鋁(lv)等材(cai)料)焊接到(dao)一起，形成(cheng)(cheng)靶(ba)材(cai)組件。

隨著鍍膜工藝的發展，靶材(cai)組件(例如氧(yang)化(hua)(hua)銦錫靶材(cai)組件)的應用(yong)也越(yue)來越(yue)廣泛。由于(yu)氧(yang)化(hua)(hua)銦錫具有(you)良好的電學(xue)傳導和光(guang)學(xue)透(tou)明性，氧(yang)化(hua)(hua)銦錫靶材(cai)組件在制作(zuo)液晶顯示(shi)器、電子紙、有(you)機發光(guang)二極管及太陽能電池等(deng)領域具有(you)重要應用(yong)。

同時，隨著半(ban)導體領(ling)域(yu)的發展(zhan)，晶圓(yuan)尺(chi)寸(cun)不(bu)(bu)斷(duan)擴大，濺射功率(lv)逐漸(jian)提高。半(ban)導體領(ling)域(yu)對靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)與背板(ban)的焊接強度和焊合率(lv)要求(qiu)也不(bu)(bu)斷(duan)提高。此外(wai)，在(zai)現(xian)有的濺射技術下，靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)組件的工作環(huan)境十分惡劣，在(zai)濺射過程中(zhong)，靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)組件的靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)一(yi)側通常處于高溫高壓下，而背板(ban)一(yi)側則(ze)處于一(yi)定(ding)壓力(li)的冷水中(zhong)，這就對靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)和背板(ban)的焊接工藝提出了更高的要求(qiu)。

然而，現(xian)有技(ji)術(shu)形成(cheng)的靶材組件具有焊(han)接結合(he)率低，焊(han)接強度小的缺點。

技術實現要素：

本發明解(jie)決的問題是提供一種靶材(cai)(cai)組(zu)件及其制造(zao)方(fang)法，提高氧(yang)化銦錫靶材(cai)(cai)組(zu)件的焊接強(qiang)度。

為解決上述(shu)問題，本發明(ming)提(ti)供一(yi)種(zhong)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)組件的(de)制造方(fang)法(fa)，包括(kuo)：一(yi)種(zhong)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)組件的(de)制造方(fang)法(fa)，其特征在于，包括(kuo)：提(ti)供氧(yang)化銦錫(xi)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)、背(bei)板和(he)(he)焊(han)(han)料(liao)，所(suo)述(shu)氧(yang)化銦錫(xi)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)用于焊(han)(han)接(jie)(jie)的(de)面(mian)為第一(yi)焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)，所(suo)述(shu)背(bei)板用于焊(han)(han)接(jie)(jie)的(de)面(mian)為第二(er)(er)焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)，所(suo)述(shu)焊(han)(han)料(liao)為銦焊(han)(han)料(liao)；通過所(suo)述(shu)銦焊(han)(han)料(liao)對所(suo)述(shu)氧(yang)化銦錫(xi)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)的(de)第一(yi)焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)和(he)(he)背(bei)板的(de)第二(er)(er)焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)進行焊(han)(han)接(jie)(jie)，以形成靶(ba)(ba)材(cai)(cai)組件。

可(ke)選的，所述銦(yin)焊料(liao)的純度大于(yu)或(huo)等于(yu)99.9％。

可選(xuan)的，所述(shu)背板的材料為鉬。

可選的(de)，通過所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)銦(yin)焊(han)(han)料對(dui)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材的(de)第一(yi)(yi)焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面和(he)背板(ban)的(de)第二焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面進(jin)行(xing)焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)的(de)步驟包括：加熱所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材和(he)背板(ban)；在所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材的(de)第一(yi)(yi)焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面和(he)背板(ban)的(de)第二焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面上放(fang)置焊(han)(han)料；將所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材的(de)第一(yi)(yi)焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面和(he)背板(ban)的(de)第二焊(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面進(jin)行(xing)貼(tie)合；貼(tie)合后進(jin)行(xing)冷卻，形成靶(ba)(ba)材組(zu)件。

可選(xuan)的(de)，加熱所述(shu)氧化銦錫靶材(cai)和(he)背板(ban)的(de)步驟包括：加熱所述(shu)氧化銦錫靶材(cai)和(he)背板(ban)，使氧化銦錫靶材(cai)的(de)第(di)一焊(han)接面和(he)背板(ban)的(de)第(di)二焊(han)接面升溫至155～165攝氏度。

可選的(de)，加(jia)(jia)(jia)熱所述(shu)氧(yang)(yang)化(hua)銦錫靶材和背板(ban)的(de)步驟(zou)包括：將(jiang)氧(yang)(yang)化(hua)銦錫靶材放置于第(di)一加(jia)(jia)(jia)熱平臺(tai)(tai)上，升溫至220～240攝氏(shi)度(du)；將(jiang)背板(ban)放置于第(di)二(er)加(jia)(jia)(jia)熱平臺(tai)(tai)上，升溫至170～190攝氏(shi)度(du)。

可選的，所述在所述氧化(hua)銦錫靶(ba)材的第(di)(di)一焊接(jie)面(mian)(mian)(mian)(mian)和背(bei)板的第(di)(di)二焊接(jie)面(mian)(mian)(mian)(mian)上放(fang)置焊料的步驟包括：對所述氧化(hua)銦錫靶(ba)材第(di)(di)一焊接(jie)面(mian)(mian)(mian)(mian)和背(bei)板第(di)(di)二焊接(jie)面(mian)(mian)(mian)(mian)進行浸潤處理。

可選的，所(suo)述浸潤處理的步驟包括：將焊(han)料放置于(yu)所(suo)述氧(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材第一焊(han)接面上，待所(suo)述焊(han)料熔化(hua)后，通過(guo)超(chao)聲波(bo)處理裝置或鋼刷對所(suo)述氧(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材第一焊(han)接面進行處理；將焊(han)料放置于(yu)所(suo)述背(bei)板(ban)第二焊(han)接面上，待所(suo)述焊(han)料熔化(hua)后，通過(guo)超(chao)聲波(bo)處理裝置或鋼刷對所(suo)述背(bei)板(ban)第二焊(han)接面進行處理。

可選的(de)，將所(suo)述氧化(hua)(hua)銦錫靶材(cai)的(de)第一焊(han)接(jie)面和背板的(de)第二焊(han)接(jie)面進行貼合的(de)步驟之前，所(suo)述制造(zao)方法還(huan)包括：焊(han)料熔化(hua)(hua)后，去除焊(han)料表(biao)面的(de)氧化(hua)(hua)層。

可選的(de)(de)，通過所述(shu)銦焊(han)料對所述(shu)氧化銦錫靶(ba)材的(de)(de)第(di)一焊(han)接面和背板的(de)(de)第(di)二(er)焊(han)接面進行(xing)焊(han)接的(de)(de)步驟(zou)包括：在所述(shu)背板的(de)(de)第(di)二(er)焊(han)接面上多(duo)根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲，所述(shu)多(duo)根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲相(xiang)互(hu)平(ping)行(xing)或者所述(shu)多(duo)根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲兩兩垂直設置(zhi)。

可選的(de)，所述支撐絲的(de)直(zhi)徑為2～3mm。

可(ke)選(xuan)的，加(jia)熱(re)所述氧(yang)化銦錫靶材和(he)背(bei)板的步驟(zou)之前，所述制造(zao)方法還包 括，在所述背(bei)板的第(di)二焊(han)接面上形成浸潤(run)層。

可選的(de)，所述浸潤層的(de)材料為鎳。

可(ke)選(xuan)的，所述浸潤(run)層的厚度為(wei)6～10μm。

相應的(de)(de)，本發明還提供一種靶材(cai)組件，包括(kuo)背(bei)板(ban)(ban)；位(wei)于背(bei)板(ban)(ban)上的(de)(de)氧化(hua)銦(yin)錫靶材(cai)；位(wei)于背(bei)板(ban)(ban)和氧化(hua)銦(yin)錫靶材(cai)之間的(de)(de)焊料(liao)，所述焊料(liao)為銦(yin)焊料(liao)。

可選的，所述銦(yin)焊料(liao)的純度大于或等(deng)于99.9％。

可選(xuan)的(de)(de)，所(suo)述背板的(de)(de)材料為鉬。

可選的(de)(de)，所(suo)述焊(han)料(liao)的(de)(de)厚度為2～3mm。

可選的(de)，所述靶材組件還(huan)包括：位于背板和(he)氧化銦錫靶材之間的(de)多根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲(si)，所述多根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲(si)相互平行或(huo)者(zhe)所述多根(gen)支(zhi)(zhi)撐絲(si)兩兩垂直設(she)置。

可選的，所述靶材(cai)組件還包(bao)括：位于背板和焊(han)料之間的浸潤層，所述浸潤層的材(cai)料為鎳。

與現有技術(shu)相(xiang)比，本(ben)發明(ming)的技術(shu)方案具有以下優點：

本發(fa)明的(de)靶(ba)材組件的(de)制造方法中，通過(guo)銦焊(han)料對氧(yang)化銦錫靶(ba)材和背板(ban)進(jin)行焊(han)接，銦焊(han)料能夠(gou)很好地浸潤氧(yang)化銦錫靶(ba)材。因此能夠(gou)提高靶(ba)材組件的(de)焊(han)接強度。

此外，銦焊(han)料的(de)熔點較低(di)，焊(han)接溫度(du)較低(di)，從而(er)焊(han)接過程中氧化銦錫靶材內部(bu)組織結構不(bu)容(rong)易(yi)發生變化(例如，不(bu)易(yi)發生相變)，且氧化銦錫靶材的(de)第一(yi)焊(han)接面不(bu)容(rong)易(yi)被氧化，進而(er)能夠(gou)使氧化銦錫靶材與背板(ban)結合更緊密(mi)，因此能夠(gou)提高靶材組件的(de)焊(han)接強度(du)。

附圖說明

圖1為本(ben)發明靶材組件的制造方法一實施例的流(liu)程圖；

圖(tu)2至圖(tu)8是(shi)圖(tu)1所示制造方法各步驟的(de)結構示意圖(tu)；

圖9是本發(fa)明靶材組件一實(shi)施例的結構示意圖。

具體實施方式

現有的(de)靶材組件的(de)制(zhi)造方(fang)法存在(zai)靶材組件焊接強度低的(de)問(wen)題。

現(xian)結合現(xian)有技術靶材組件的制造方法，分析靶材組件出(chu)現(xian)焊(han)接強度低問題的原因(yin)：

現有(you)技術靶(ba)材(cai)(cai)(cai)組件(jian)的制造方法中，所(suo)使用(yong)的釬焊(han)料對氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)材(cai)(cai)(cai)的浸(jin)(jin)潤性較差，在焊(han)接(jie)過程(cheng)中所(suo)述釬焊(han)料很(hen)難(nan)浸(jin)(jin)潤氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)材(cai)(cai)(cai)。此(ci)外，現有(you)技術所(suo)使用(yong)的焊(han)料熔點較高，焊(han)接(jie)溫度較高，從而(er)焊(han)接(jie)過程(cheng)中氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)材(cai)(cai)(cai)內部(bu)組織(zhi)容易發(fa)生變(bian)化(hua)(例(li)如(ru)，可能發(fa)生相(xiang)變(bian)等)，且氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)材(cai)(cai)(cai)焊(han)接(jie)面容易被氧化(hua)，很(hen)難(nan)使氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)材(cai)(cai)(cai)和背板緊密結(jie)合。因此(ci)，焊(han)接(jie)后靶(ba)材(cai)(cai)(cai)組件(jian)的焊(han)接(jie)強度低。

為解決所述技術(shu)問(wen)題，本發明提供了一種靶材組件(jian)的制(zhi)造方法(fa)，包(bao)括：

提供氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)、背板(ban)和焊(han)(han)料(liao)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)用于(yu)焊(han)(han)接(jie)(jie)的面(mian)(mian)(mian)為第(di)(di)一焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)背板(ban)用于(yu)焊(han)(han)接(jie)(jie)的面(mian)(mian)(mian)為第(di)(di)二焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)焊(han)(han)料(liao)為銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)；通過所(suo)(suo)(suo)述(shu)銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)對所(suo)(suo)(suo)述(shu)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)的第(di)(di)一焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)和背板(ban)的第(di)(di)二焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)進(jin)行焊(han)(han)接(jie)(jie)，以形成靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)組(zu)件。其(qi)中，通過銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)對氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)和背板(ban)進(jin)行焊(han)(han)接(jie)(jie)，銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)能(neng)夠(gou)很好地(di)浸(jin)潤氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)。因(yin)此能(neng)夠(gou)提高(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)組(zu)件的焊(han)(han)接(jie)(jie)強度(du)。此外，銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)的熔點較低(di)，焊(han)(han)接(jie)(jie)溫度(du)較低(di)，從(cong)而焊(han)(han)接(jie)(jie)過程中氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)內部(bu)組(zu)織不容易發生(sheng)變(bian)化(例(li)如(ru)，不易發生(sheng)相變(bian))，且(qie)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)的第(di)(di)一焊(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)不容易被氧(yang)(yang)化，進(jin)而能(neng)夠(gou)使氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)與背板(ban)結合更緊密，因(yin)此能(neng)夠(gou)提高(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)組(zu)件的焊(han)(han)接(jie)(jie)強度(du)。

為使本(ben)發明的上述目的、特征(zheng)和優點能夠更為明顯易懂，下面結(jie)合(he)附(fu)圖對本(ben)發明的具體實施例做詳細(xi)的說明。

圖1是本(ben)發明(ming)靶(ba)材組(zu)件的制造方法(fa)一實施(shi)例的流(liu)程圖。

請參考圖1，所述靶材組件的(de)制造(zao)方法，包括(kuo)：

步(bu)驟S1，提供氧化銦錫靶材、背(bei)板和(he)焊(han)料，所述氧化銦錫靶材用(yong)于焊(han)接(jie)的面(mian)為第(di)一焊(han)接(jie)面(mian)，所述背(bei)板用(yong)于焊(han)接(jie)的面(mian)為第(di)二焊(han)接(jie)面(mian)，所述焊(han)料為銦焊(han)料。

步驟S2，加熱所述氧化(hua)銦錫靶材(cai)和背板；

步(bu)驟(zou)S3，在(zai)所(suo)述氧化(hua)銦(yin)錫靶材的第一焊接(jie)面(mian)和(he)背板(ban)的第二焊接(jie)面(mian)上放置焊料；

步驟S4，將所述背板的第(di)一焊(han)接面和氧(yang)化銦錫靶材的第(di)二(er)焊(han)接面進行貼合，實現(xian)焊(han)接；

步(bu)驟S5，焊接后進(jin)行冷(leng)卻，形成(cheng)靶材(cai)組件。

結合參考圖(tu)(tu)2至圖(tu)(tu)8，圖(tu)(tu)2至圖(tu)(tu)8是圖(tu)(tu)1所示制造方法各步驟的(de)結構示意圖(tu)(tu)。需要說(shuo)明的(de)是，本(ben)實施(shi)例(li)中(zhong)靶(ba)(ba)材(cai)組件的(de)焊(han)接以(yi)釬(han)焊(han)為(wei)例(li)進行說(shuo)明，但是本(ben)發明對是否(fou)采用(yong)釬(han)焊(han)焊(han)接所述靶(ba)(ba)材(cai)和背板不做(zuo)限制，在其(qi)他實施(shi)例(li)中(zhong)還(huan)可(ke)以(yi)采用(yong)擴散(san)焊(han)接的(de)方式形成靶(ba)(ba)材(cai)組件。

請參考圖2，執(zhi)行步驟S1，提(ti)供氧(yang)化銦錫靶(ba)(ba)材(cai)110、背板(ban)120和焊(han)料，所(suo)(suo)述氧(yang)化銦錫靶(ba)(ba)材(cai)110用(yong)(yong)于焊(han)接(jie)的面(mian)為第一(yi)焊(han)接(jie)面(mian)111，所(suo)(suo)述背板(ban)120用(yong)(yong)于焊(han)接(jie)的面(mian)為第二焊(han)接(jie)面(mian)121，所(suo)(suo)述焊(han)料為銦焊(han)料。

本實施例(li)中，所(suo)述(shu)銦(yin)(yin)(yin)焊料為純銦(yin)(yin)(yin)焊料，具體(ti)地說純銦(yin)(yin)(yin)焊料中銦(yin)(yin)(yin)的(de)純度大于(yu)或等于(yu)99.9％。所(suo)述(shu)焊料能(neng)夠(gou)很好(hao)的(de)浸潤氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)錫(xi)(xi)靶材(cai)110。此外，所(suo)述(shu)焊料有較低(di)(di)的(de)熔(rong)點(dian)，因(yin)此焊接溫度較低(di)(di)，焊接過程中氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)錫(xi)(xi)靶材(cai)110內部組(zu)織(zhi)不(bu)容易(yi)發(fa)(fa)生變(bian)化(例(li)如，不(bu)易(yi)發(fa)(fa)生相變(bian))，且第(di)一焊接面111不(bu)容易(yi)被氧(yang)(yang)化，從而(er)能(neng)夠(gou)使(shi)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)(yin)錫(xi)(xi)靶材(cai)110與背板120緊密結合。

本實(shi)施例中，所述背板(ban)120的材料(liao)為鉬。鉬背板(ban)能夠被(bei)所述焊料(liao)浸(jin)潤(run)。但是，本發明(ming)對此不做限定，所述背板(ban)120的材料(liao)還可以(yi)為銅或鋁。

請參(can)考圖3至圖8，通(tong)過所(suo)述(shu)銦焊(han)(han)(han)料(liao)對(dui)所(suo)述(shu)氧(yang)化(hua)(hua)銦錫靶(ba)材110的(de)第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接111面和(he)背板(ban)120的(de)第(di)(di)二焊(han)(han)(han)接面121進(jin)行(xing)焊(han)(han)(han)接，以(yi)形成靶(ba)材組件(jian)。具體(ti)的(de)，所(suo)述(shu)通(tong)過所(suo)述(shu)銦焊(han)(han)(han)料(liao)對(dui)所(suo)述(shu)氧(yang)化(hua)(hua)銦錫靶(ba)材110的(de)第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接111面和(he)背板(ban)120的(de)第(di)(di)二焊(han)(han)(han)接面121進(jin)行(xing)焊(han)(han)(han)接的(de)步(bu)驟包括：

請參(can)考圖(tu)3，執行步驟(zou)S2，加(jia)熱所述氧化銦錫靶材(cai)110(參(can)考圖(tu)2)和背板(ban)120。

本實(shi)施例中，通過加(jia)熱平(ping)臺(tai)對(dui)所述氧化銦(yin)錫(xi)靶(ba)材110和背板120進行加(jia)熱，使(shi)氧化銦(yin)錫(xi)靶(ba)材110第(di)一焊接面111和背板120第(di)二焊接面121升(sheng)溫至 155～165攝(she)氏度(du)。

具(ju)體的，本實施例中，加熱(re)(re)所述氧(yang)(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材(cai)110和背板120的步驟(zou)包(bao)括(kuo)：將所述氧(yang)(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材(cai)110放置于第一加熱(re)(re)平臺(tai)上，升溫(wen)(wen)至220～240攝(she)(she)氏(shi)度；將所述背板120放置于第二(er)加熱(re)(re)平臺(tai)上，升溫(wen)(wen)至170～190攝(she)(she)氏(shi)度。

需要說明的(de)是，本實施(shi)例中，所述(shu)焊(han)(han)(han)(han)料(liao)的(de)熔(rong)點(dian)為155～165攝(she)氏(shi)度(du)。然而由于(yu)(yu)第(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接面111到第(di)一(yi)(yi)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)表面及(ji)第(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接面121到第(di)二(er)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)表面有一(yi)(yi)定的(de)距離，容易使(shi)第(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接面111的(de)溫度(du)低于(yu)(yu)第(di)一(yi)(yi)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)的(de)溫度(du)，第(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接面121的(de)溫度(du)低于(yu)(yu)第(di)二(er)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)的(de)溫度(du)。因此，要使(shi)放置于(yu)(yu)第(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接面111和第(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接面121上的(de)焊(han)(han)(han)(han)料(liao)能夠(gou)熔(rong)化，則第(di)一(yi)(yi)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)和第(di)二(er)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)的(de)溫度(du)均應略高于(yu)(yu)焊(han)(han)(han)(han)料(liao)的(de)熔(rong)點(dian)。具(ju)體的(de)，將所述(shu)第(di)一(yi)(yi)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)升溫至(zhi)220～240攝(she)氏(shi)度(du)；將所述(shu)第(di)二(er)加(jia)(jia)熱(re)(re)平(ping)(ping)臺(tai)(tai)升溫至(zhi)170～190攝(she)氏(shi)度(du)。

需要說明的(de)是，本實施例中(zhong)，加熱所(suo)述(shu)靶(ba)材(cai)110和背(bei)板120的(de)步驟(zou)之前(qian)，所(suo)述(shu)靶(ba)材(cai)組件的(de)制造方法還包括：在所(suo)述(shu)背(bei)板120的(de)第二焊接(jie)面121上形成浸(jin)潤層122。所(suo)述(shu)浸(jin)潤層122能夠提(ti)高所(suo)述(shu)焊料與背(bei)板120的(de)浸(jin)潤融合能力(li)，提(ti)高焊接(jie)強度。

具(ju)體(ti)的，本實施(shi)例中(zhong)，所(suo)(suo)采用的焊料(liao)為銦焊料(liao)，所(suo)(suo)述浸(jin)潤(run)層122的材料(liao)為鎳。鎳與銦焊料(liao)的結(jie)合(he)能力強，能夠提高所(suo)(suo)述焊料(liao)與背(bei)板120的浸(jin)潤(run)融合(he)能力。

本(ben)實(shi)施(shi)例中，所(suo)述(shu)浸(jin)潤層(ceng)122的形(xing)(xing)成方法(fa)為化學鍍(du)(du)膜法(fa)。化學鍍(du)(du)膜工藝簡單，且形(xing)(xing)成的浸(jin)潤層(ceng)122與背板(ban)120的結合性好，能夠增加焊接強度。但是，本(ben)發明對此不做限定，所(suo)述(shu)浸(jin)潤層(ceng)122的形(xing)(xing)成方法(fa)還可以為電(dian)鍍(du)(du)法(fa)。

需要說(shuo)明(ming)的(de)(de)是，如果浸潤層(ceng)122的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)過小很(hen)難起(qi)到(dao)提高銦焊(han)料(liao)與背(bei)板120的(de)(de)浸潤融(rong)合能力(li)的(de)(de)作(zuo)用，如果浸潤層(ceng)122的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)過大，會產生材(cai)料(liao)浪(lang)費。具(ju)體的(de)(de)，本實施例中(zhong)，所采用的(de)(de)焊(han)料(liao)為銦焊(han)料(liao)，為保證銦焊(han)料(liao)與背(bei)板120具(ju)有(you)較強浸潤融(rong)合能力(li)，所述(shu)浸潤層(ceng)122的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)為2～3mm。

本實施例中，所述(shu)(shu)制造方法還包括：在(zai)所述(shu)(shu)背板(ban)(ban)120的(de)第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)121上形成(cheng)浸潤層(ceng)122之前(qian)，通過(guo)異(yi)丙醇(chun)溶(rong)液清(qing)(qing)洗(xi)氧化(hua)銦錫(xi)靶材110的(de)第(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)111和背板(ban)(ban)120第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)121，并(bing)在(zai)清(qing)(qing)洗(xi)之后吹(chui)干(gan)所述(shu)(shu)第(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)111和第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)121。通過(guo)清(qing)(qing)洗(xi)和吹(chui)干(gan)步驟能保證第(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian)111和第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)面(mian)(mian)(mian) 121表面(mian)(mian)(mian)的(de)清(qing)(qing)潔，從而(er)提高焊(han)(han)(han)接(jie)(jie)質量。

請(qing)參考圖4至圖6，在所述氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材(cai)110的第一焊接面111和(he)背(bei)板(ban)120的第二焊接面121上放(fang)置焊料130。所述焊料130用(yong)于實現氧化銦(yin)錫靶(ba)(ba)材(cai)110和(he)背(bei)板(ban)120的焊接。

本實施例中，在所述(shu)氧化銦錫靶(ba)材110的第(di)一焊(han)接(jie)面(mian)(mian)111和背(bei)板(ban)120的第(di)二焊(han)接(jie)面(mian)(mian)121上放置焊(han)料(liao)130的步驟包括：對所述(shu)氧化銦錫靶(ba)材110第(di)一焊(han)接(jie)面(mian)(mian)111和背(bei)板(ban)120第(di)二焊(han)接(jie)面(mian)(mian)121進行浸潤處理。

具體的(de)，本(ben)實施(shi)例中(zhong)，對(dui)(dui)所述氧化(hua)銦錫靶(ba)(ba)材(cai)110第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)111和背板(ban)120第(di)(di)(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)121進(jin)行浸潤(run)(run)處理(li)的(de)步驟(zou)包括：將(jiang)所述第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)加熱平臺(tai)升溫(wen)至(zhi)220～240攝(she)氏度(du)(du)之后，將(jiang)焊(han)(han)(han)(han)料放(fang)置于(yu)所述第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)111上，待所述焊(han)(han)(han)(han)料熔化(hua)后，對(dui)(dui)氧化(hua)銦錫靶(ba)(ba)材(cai)110第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)111進(jin)行浸潤(run)(run)處理(li)，使(shi)焊(han)(han)(han)(han)料浸潤(run)(run)所述氧化(hua)銦錫靶(ba)(ba)材(cai)110第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)111，提(ti)高(gao)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)強度(du)(du)；將(jiang)所述第(di)(di)(di)(di)二(er)加熱平臺(tai)升溫(wen)至(zhi)170～190攝(she)氏度(du)(du)之后，將(jiang)焊(han)(han)(han)(han)料放(fang)置于(yu)所述第(di)(di)(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)121上，待所述焊(han)(han)(han)(han)料熔化(hua)后，對(dui)(dui)背板(ban)120第(di)(di)(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)121進(jin)行浸潤(run)(run)處理(li)，使(shi)所述焊(han)(han)(han)(han)料浸潤(run)(run)所述背板(ban)120第(di)(di)(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)121，提(ti)高(gao)焊(han)(han)(han)(han)接(jie)(jie)(jie)強度(du)(du)。

本實(shi)施(shi)(shi)例中，通(tong)過超聲(sheng)波(bo)處(chu)理(li)裝置對(dui)氧化銦錫靶材110第一焊接(jie)面111進(jin)(jin)行(xing)浸潤和背板(ban)120第二焊接(jie)面121進(jin)(jin)行(xing)浸潤處(chu)理(li)。但是本發明對(dui)此不(bu)做限(xian)定，在(zai)其他實(shi)施(shi)(shi)例中，還可(ke)以通(tong)過鋼刷進(jin)(jin)行(xing)所述浸潤處(chu)理(li)。

需(xu)要說明(ming)的(de)(de)是，本實施(shi)例中(zhong)，在(zai)所述(shu)氧化(hua)銦錫靶材110的(de)(de)第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)111和背板(ban)120的(de)(de)第(di)(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)121上(shang)放置焊(han)(han)(han)料(liao)130的(de)(de)步驟(zou)之后(hou)，所述(shu)制(zhi)造方法(fa)還包括(kuo)，在(zai)所述(shu)背板(ban)120的(de)(de)第(di)(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)121上(shang)放置支(zhi)撐絲123，所述(shu)支(zhi)撐絲123用(yong)于(yu)在(zai)后(hou)續冷卻過程中(zhong)保存焊(han)(han)(han)料(liao)130，保證第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)111和第(di)(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)121之間的(de)(de)焊(han)(han)(han)料(liao)130厚(hou)度(du)大于(yu)或等于(yu)所述(shu)支(zhi)撐絲123的(de)(de)直(zhi)徑。

具(ju)體的(de)，本實(shi)施例(li)中，在所(suo)述背(bei)板(ban)120的(de)第(di)二(er)(er)焊接面121上(shang)放(fang)置支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123的(de)步驟包括：在所(suo)述背(bei)板(ban)120的(de)第(di)二(er)(er)焊接面121上(shang)平行(xing)放(fang)置兩(liang)(liang)根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123。但(dan)是，本發明(ming)對此不做限定(ding)，所(suo)述支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123還可以(yi)為三根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123或四根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123。多(duo)根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123可以(yi)平行(xing)放(fang)置于背(bei)板(ban)120上(shang)，或者多(duo)根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123兩(liang)(liang)兩(liang)(liang)垂直設置(例(li)如：四根(gen)(gen)支(zhi)撐(cheng)絲(si)(si)(si)123圍成矩形)。

本(ben)實施例中，所述(shu)支撐(cheng)(cheng)絲123的材(cai)料(liao)為銅。銅能(neng)夠被銦(yin)焊(han)料(liao)浸(jin)潤，從而使支撐(cheng)(cheng)絲123與焊(han)料(liao)能(neng)夠緊密結合，避免支撐(cheng)(cheng)絲123脫(tuo)落。

需要說明的是，如果所(suo)述支(zhi)(zhi)撐絲123的直徑過(guo)小(xiao)很難起到保存焊(han)(han)(han)料130的作(zuo)用，如果所(suo)述支(zhi)(zhi)撐絲123的直徑過(guo)大(da)，容易產生(sheng)材料浪(lang)費。本實施(shi)例中采(cai)用的焊(han)(han)(han)料為銦焊(han)(han)(han)料，為了通過(guo)銦焊(han)(han)(han)料實現(xian)焊(han)(han)(han)接(jie)，所(suo)述第一焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)111和第二(er)焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)121之(zhi)間的焊(han)(han)(han)料厚度在2～3mm范圍(wei)內。相應地，本實施(shi)例中，所(suo)述支(zhi)(zhi)撐絲123的直徑為2～3mm。

如果所述支撐絲123的(de)長度超過氧化銦(yin)錫靶材110第(di)一(yi)焊(han)接(jie)面111或(huo)背(bei)板(ban)120第(di)二焊(han)接(jie)面121的(de)相(xiang)應尺寸(cun)(cun)，容易給后續靶材組件(jian)的(de)加(jia)工(gong)過程帶來(lai)困難。因此，本實(shi)施例中，所述支撐絲123的(de)長度不超過氧化銦(yin)錫靶材110第(di)一(yi)焊(han)接(jie)面111的(de)相(xiang)應尺寸(cun)(cun)，且不超過背(bei)板(ban)120第(di)二焊(han)接(jie)面121的(de)相(xiang)應尺寸(cun)(cun)。

需要說(shuo)明的(de)(de)(de)是，本實(shi)施例中，在所述(shu)背板(ban)120的(de)(de)(de)第二焊接(jie)面121上放置支(zhi)撐絲(si)123之(zhi)前，所述(shu)制造(zao)方法(fa)還包括：去除(chu)焊料(liao)130表面的(de)(de)(de)氧(yang)化(hua)層(ceng)。具體(ti)的(de)(de)(de)，可通過鋼(gang)刷(shua)去除(chu)所述(shu)氧(yang)化(hua)層(ceng)。

請參考圖7，將所述(shu)背板120的第二焊接(jie)面(mian)121和氧化銦錫靶材110的第一焊接(jie)面(mian)111進行貼(tie)合，實(shi)現焊接(jie)。

具體的，本實施例中(zhong)，將所述背(bei)板(ban)120的第(di)二焊接面(mian)121和氧(yang)化銦(yin)錫(xi)靶材(cai)110的第(di)一焊接面(mian)111進行貼合的步驟包(bao)括：待焊料130熔化后，用(yong)真空吸(xi)盤(pan)吸(xi)附(fu)氧(yang)化銦(yin)錫(xi)靶材(cai)110，并平(ping)穩(wen)地放置于背(bei)板(ban)120第(di)二焊接面(mian)121上，使背(bei)板(ban)120第(di)二焊接面(mian)121和氧(yang)化銦(yin)錫(xi)靶材(cai)110第(di)一焊接面(mian)111貼合。

本實施例中(zhong)，所(suo)(suo)述背(bei)板120第(di)(di)二(er)焊(han)(han)接(jie)面(mian)121上(shang)(shang)具有平行(xing)放(fang)置的支(zhi)撐(cheng)(cheng)絲123。將(jiang)所(suo)(suo)述氧化銦錫(xi)靶材(cai)110的第(di)(di)一焊(han)(han)接(jie)面(mian)111和背(bei)板120的第(di)(di)二(er)焊(han)(han)接(jie)面(mian)121進行(xing)貼(tie)合的步(bu)驟包括(kuo)，將(jiang)所(suo)(suo)述氧化銦錫(xi)靶材(cai)110放(fang)置于(yu)所(suo)(suo)述支(zhi)撐(cheng)(cheng)絲123上(shang)(shang)方，使所(suo)(suo)述支(zhi)撐(cheng)(cheng)絲123支(zhi)撐(cheng)(cheng)起(qi)氧化銦錫(xi)靶材(cai)110，為焊(han)(han)料(liao)130提供空間，保證(zheng)焊(han)(han)料(liao)130具有一定的厚(hou)度(du)。

請參考圖8，焊接后進行(xing)冷卻，形成靶材(cai)組(zu)件。

具體的(de)(de)，本(ben)實施例中，焊接后進行冷(leng)卻的(de)(de)步驟包括：關閉(bi)所(suo)述第二加熱平(ping)臺；在(zai)所(suo)述氧化銦(yin)錫靶材110上放置重物(wu)140，使(shi)氧化銦(yin)錫靶材110和背板 120在(zai)重物(wu)140的(de)(de)壓(ya)力下(xia)，隨第二加熱平(ping)臺冷(leng)卻，所(suo)述重物(wu)140能夠(gou)在(zai)冷(leng)卻過(guo)程中減小氧化銦(yin)錫靶材110的(de)(de)變形；去除重物(wu)140。

需要說明的是，在所述(shu)氧(yang)(yang)化銦錫(xi)靶材(cai)110上(shang)放置重物之(zhi)后，所述(shu)支撐(cheng)絲123能(neng)夠支撐(cheng)氧(yang)(yang)化銦錫(xi)靶材(cai)110，限制(zhi)焊(han)料(liao)130由于重物140的擠壓作用(yong)而(er)向氧(yang)(yang)化銦錫(xi)靶材(cai)110的第一(yi)焊(han)接(jie)面111外流淌，從而(er)能(neng)夠保(bao)證(zheng)第一(yi)焊(han)接(jie)面111和第二焊(han)接(jie)面121之(zhi)間(jian)的焊(han)料(liao)130厚度大于等于所述(shu)支撐(cheng)絲123的直徑(jing)。

需要(yao)說(shuo)明的(de)是(shi)，本實施例中(zhong)，焊接后進行冷卻的(de)步驟之后，所(suo)述靶(ba)材組(zu)件的(de)制(zhi)造方(fang)法還包括：通過(guo)機械加工將(jiang)所(suo)述靶(ba)材組(zu)件加工成為符合設計要(yao)求的(de)成品靶(ba)材組(zu)件。

具體的，所述機械加(jia)工(gong)(gong)包括(kuo)粗加(jia)工(gong)(gong)和精(jing)加(jia)工(gong)(gong)。所述粗加(jia)工(gong)(gong)包括(kuo)：通過(guo)銑刀銑削(xue)或車削(xue)的方(fang)法(fa)進行(xing)加(jia)工(gong)(gong)。所述精(jing)加(jia)工(gong)(gong)包括(kuo)通過(guo)拋光或研磨的方(fang)法(fa)進行(xing)加(jia)工(gong)(gong)。

還需要說(shuo)明的是，本實(shi)施例中，在(zai)所述(shu)(shu)加熱氧(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材110和(he)背板120的步驟之(zhi)后，將(jiang)所述(shu)(shu)焊(han)料(liao)130放置于所述(shu)(shu)第(di)一焊(han)接(jie)面(mian)111和(he)第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)121，這樣的順序(xu)可(ke)以縮短焊(han)料(liao)130從熔(rong)化(hua)到焊(han)接(jie)的時間(jian)，從而減少焊(han)料(liao)130的氧(yang)化(hua)程度(du)，提高焊(han)接(jie)強度(du)。但是本發明對(dui)此不做限定(ding)，在(zai)其他實(shi)施例中，還可(ke)以在(zai)所述(shu)(shu)加熱氧(yang)化(hua)銦錫(xi)靶材110和(he)背板120的步驟之(zhi)前，將(jiang)所述(shu)(shu)焊(han)料(liao)130放置于所述(shu)(shu)第(di)一焊(han)接(jie)面(mian)111和(he)第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)121。

相應地，本(ben)發明還(huan)提供一種靶(ba)材組件，具體的，所述靶(ba)材組件包括：

請參考圖9，背板220；位于(yu)背板220上的氧化銦(yin)錫靶材210；位于(yu)背板220和氧化銦(yin)錫靶材210之間的焊(han)料230，所述(shu)焊(han)料230為銦(yin)焊(han)料。

本(ben)實施例中(zhong)，所述(shu)銦(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)(liao)為純銦(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)(liao)，具體地說純銦(yin)(yin)焊(han)(han)料(liao)(liao)中(zhong)銦(yin)(yin)的(de)純度(du)大(da)于或等于99.9％。所述(shu)焊(han)(han)料(liao)(liao)230能夠(gou)很好的(de)浸潤(run)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)材(cai)210。此外，所述(shu)焊(han)(han)料(liao)(liao)230有較低(di)的(de)熔(rong)點，因此焊(han)(han)接溫度(du)較低(di)，焊(han)(han)接過程中(zhong)氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)材(cai)210內部組(zu)織不(bu)容(rong)易(yi)(yi)發生變化(例如，不(bu)易(yi)(yi)發生相變)，且第一焊(han)(han)接面211不(bu)容(rong)易(yi)(yi)被(bei)氧(yang)(yang)化，從而能夠(gou)使氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)材(cai)210與(yu)背板220緊密結合。

本實施例中，為(wei)保(bao)證氧化銦錫靶材(cai)(cai)210與(yu)背(bei)板220能夠緊密結合，且(qie)減少材(cai)(cai)料浪費，所(suo)述焊(han)料230的厚度為(wei)2～3mm。

本實(shi)施(shi)例中(zhong)，所(suo)述背(bei)板(ban)220的(de)材料為鉬。鉬背(bei)板(ban)能(neng)夠被所(suo)述焊料230浸潤。但是，本發明對此不(bu)做限定，所(suo)述背(bei)板(ban)120的(de)材料還(huan)可以為銅(tong)或鋁(lv)。

需要(yao)說(shuo)明(ming)的是，本實施(shi)例(li)中，所述靶(ba)(ba)材(cai)組(zu)件還包括：位于背板220和氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)(ba)材(cai)210之間的支(zhi)(zhi)撐(cheng)絲(si)223，所述支(zhi)(zhi)撐(cheng)絲(si)223能夠支(zhi)(zhi)撐(cheng)氧化(hua)銦(yin)錫靶(ba)(ba)材(cai)210，為焊料230提供空間。

具體的，本(ben)實施例中，所(suo)述(shu)支(zhi)撐絲223為(wei)(wei)平行放置(zhi)的兩(liang)根(gen)，但是本(ben)發明對此(ci)不做限(xian)定，所(suo)述(shu)支(zhi)撐絲223還可以(yi)為(wei)(wei)三根(gen)支(zhi)撐絲123或四根(gen)支(zhi)撐絲123。多根(gen)支(zhi)撐絲223可以(yi)平行放置(zhi)于背板220上，或者多根(gen)支(zhi)撐絲兩(liang)兩(liang)垂直設置(zhi)(例如(ru)：四根(gen)支(zhi)撐絲123圍成(cheng)矩形)。

需要說明的(de)是，本(ben)實(shi)施例中(zhong)，為了通過銦焊(han)(han)料實(shi)現焊(han)(han)接，所述(shu)氧化銦錫靶材210第一(yi)焊(han)(han)接面(mian)211和背板220第二(er)焊(han)(han)接面(mian)221之間的(de)焊(han)(han)料230厚度在2～3mm范(fan)圍內。相應地，本(ben)實(shi)施例中(zhong)，所述(shu)支撐(cheng)絲223的(de)直徑(jing)為2～3mm。

還需(xu)要說(shuo)明的(de)是，本實施例中，所述(shu)靶(ba)材組件還包括：位于(yu)背(bei)板220和焊料230之(zhi)間的(de)浸(jin)(jin)潤(run)(run)層222。所述(shu)浸(jin)(jin)潤(run)(run)層122能(neng)(neng)夠(gou)提高(gao)所述(shu)焊料230與背(bei)板220的(de)浸(jin)(jin)潤(run)(run)融(rong)合(he)能(neng)(neng)力，提高(gao)焊接強度(du)。

具體的，本(ben)實施例中(zhong)，所采用的焊料(liao)(liao)230為(wei)銦(yin)焊料(liao)(liao)，所述浸潤層222的材料(liao)(liao)為(wei)鎳，鎳與銦(yin)焊料(liao)(liao)的結合(he)能(neng)力(li)強，能(neng)夠提高所述焊料(liao)(liao)230與背(bei)板(ban)220的浸潤融合(he)能(neng)力(li)。

本實(shi)施例中，為了提高所(suo)述焊料230與背板(ban)220的(de)(de)浸(jin)潤融(rong)合能力，且盡量減少材(cai)料浪費，所(suo)述浸(jin)潤層222的(de)(de)厚度(du)為6～10μm。

綜上，本發(fa)明(ming)提(ti)供一種靶(ba)(ba)(ba)材組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)及其制造(zao)方法，其中，通(tong)過銦(yin)(yin)焊料對氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)材和背板(ban)進行焊接(jie)(jie)，銦(yin)(yin)焊料能(neng)夠(gou)(gou)(gou)很好地(di)浸潤氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)材。因(yin)此能(neng)夠(gou)(gou)(gou)提(ti)高(gao)靶(ba)(ba)(ba)材組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)的(de)(de)焊接(jie)(jie)強度。此外(wai)，銦(yin)(yin)焊料的(de)(de)熔點較(jiao)(jiao)低(di)，焊接(jie)(jie)溫度較(jiao)(jiao)低(di)，從而(er)焊接(jie)(jie)過程中氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)材內部組(zu)(zu)(zu)(zu)織不(bu)容(rong)易發(fa)生變(bian)(bian)化(例如，不(bu)易發(fa)生相變(bian)(bian))，且氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)材的(de)(de)第一焊接(jie)(jie)面不(bu)容(rong)易被(bei)氧(yang)(yang)化，進而(er)能(neng)夠(gou)(gou)(gou)使氧(yang)(yang)化銦(yin)(yin)錫靶(ba)(ba)(ba)材與背板(ban)結合更緊密。因(yin)此，本發(fa)明(ming)的(de)(de)靶(ba)(ba)(ba)材組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)的(de)(de)制造(zao)方法能(neng)夠(gou)(gou)(gou)提(ti)高(gao)靶(ba)(ba)(ba)材組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)的(de)(de)焊接(jie)(jie)強度，可以(yi)使靶(ba)(ba)(ba)材組(zu)(zu)(zu)(zu)件(jian)(jian)的(de)(de)焊接(jie)(jie)結合率達到95％以(yi)上。

雖然本發(fa)(fa)明披露如(ru)上，但(dan)本發(fa)(fa)明并非限定(ding)于此。任何本領域技(ji)術人員(yuan)， 在不(bu)脫離本發(fa)(fa)明的精神和范圍(wei)內，均可作各種更動(dong)與修改(gai)，因此本發(fa)(fa)明的保(bao)護范圍(wei)應當(dang)以權(quan)利(li)要求所限定(ding)的范圍(wei)為準(zhun)。