本發明涉(she)及濺射靶(ba)(ba)材制造(zao)領域(yu)，尤其涉(she)及一種靶(ba)(ba)材組件的制造(zao)方(fang)法(fa)。

背景技術：

靶材(cai)是濺射技術(shu)的(de)(de)基(ji)礎材(cai)料，在液晶顯(xian)示(shi)器(qi)產(chan)業和信息存(cun)儲產(chan)業中具有顯(xian)著優勢。近年來，液晶顯(xian)示(shi)器(qi)大幅(fu)度(du)取代以陰極射線管為(wei)主的(de)(de)電腦(nao)和電視機顯(xian)示(shi)器(qi)，使靶材(cai)的(de)(de)技術(shu)與市場(chang)需求大幅(fu)度(du)增加。

現有技(ji)術通常采用拼(pin)(pin)(pin)接方(fang)式制備液晶顯示器所使(shi)用的濺(jian)射靶材，即每個靶材組件(jian)可由多片靶材拼(pin)(pin)(pin)接而成。為了(le)保證拼(pin)(pin)(pin)接靶材具有良(liang)好的導電和導熱性能，靶材在(zai)濺(jian)射前(qian)需要(yao)與背板(銅或鋁等材料)焊(han)接到(dao)一起(qi)。半導體領(ling)域的發展對(dui)拼(pin)(pin)(pin)接靶材組件(jian)的焊(han)接質量要(yao)求(qiu)越來越高。

但是，現有的拼接靶(ba)材(cai)組件的制造工藝存在(zai)靶(ba)材(cai)易碎的問(wen)題。

技術實現要素：

本發明(ming)解決的問題是提供(gong)一種(zhong)靶材(cai)組件的制造方法，減小靶材(cai)破碎的幾率。

為(wei)解決(jue)上述(shu)問題，本發明(ming)提供一(yi)種靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)組件的(de)(de)(de)制(zhi)造方法，包(bao)括：提供靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)、背(bei)板(ban)和(he)保護(hu)(hu)板(ban)，所(suo)述(shu)保護(hu)(hu)板(ban)的(de)(de)(de)熱(re)膨(peng)脹(zhang)系數(shu)小于靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)熱(re)膨(peng)脹(zhang)系數(shu)，或者(zhe)保護(hu)(hu)板(ban)的(de)(de)(de)熱(re)膨(peng)脹(zhang)系數(shu)與(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)熱(re)膨(peng)脹(zhang)系數(shu)相同或相當；所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)用于焊(han)(han)接的(de)(de)(de)面(mian)為(wei)第(di)一(yi)焊(han)(han)接面(mian)，與(yu)第(di)一(yi)焊(han)(han)接面(mian)相對(dui)的(de)(de)(de)面(mian)為(wei)濺射(she)面(mian)，所(suo)述(shu)背(bei)板(ban)用于焊(han)(han)接的(de)(de)(de)面(mian)為(wei)第(di)二焊(han)(han)接面(mian)；將所(suo)述(shu)保護(hu)(hu)板(ban)粘貼于所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)濺射(she)面(mian)上；焊(han)(han)接所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)(de)第(di)一(yi)焊(han)(han)接面(mian)和(he)所(suo)述(shu)背(bei)板(ban)的(de)(de)(de)第(di)二焊(han)(han)接面(mian)；焊(han)(han)接后去除保護(hu)(hu)板(ban)。

可選(xuan)的(de)，所述靶材組(zu)件(jian)為(wei)拼接靶材組(zu)件(jian)，包(bao)括位(wei)于背(bei)板上的(de)多個靶材；

提(ti)供(gong)(gong)靶材、背板(ban)(ban)和(he)保護(hu)(hu)板(ban)(ban)的(de)步(bu)驟(zou)包括：提(ti)供(gong)(gong)多個靶材、一背板(ban)(ban)和(he)多個保護(hu)(hu)板(ban)(ban)；將(jiang)所述保護(hu)(hu)板(ban)(ban)粘貼(tie)于所述靶材的(de)濺射(she)面(mian)上的(de)步(bu)驟(zou)中，在(zai)每一靶材的(de)濺射(she)面(mian)上均(jun)粘貼(tie)一保護(hu)(hu)板(ban)(ban)；

焊(han)(han)(han)接(jie)所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材的(de)第(di)一焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)和所(suo)述(shu)背(bei)板(ban)(ban)的(de)第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)的(de)步驟包括：加熱所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材和背(bei)板(ban)(ban)；分別在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)多個靶(ba)(ba)材的(de)第(di)一焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)和背(bei)板(ban)(ban)的(de)第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)上(shang)涂覆焊(han)(han)(han)料(liao)(liao)；在(zai)(zai)(zai)所(suo)述(shu)背(bei)板(ban)(ban)的(de)第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)上(shang)依次放置(zhi)所(suo)述(shu)多個靶(ba)(ba)材，并在(zai)(zai)(zai)相鄰靶(ba)(ba)材之間(jian)插入支(zhi)撐條；冷卻且在(zai)(zai)(zai)焊(han)(han)(han)料(liao)(liao)未凝固時(shi)，去除所(suo)述(shu)支(zhi)撐條；冷卻后(hou)的(de)靶(ba)(ba)材第(di)一焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)和背(bei)板(ban)(ban)第(di)二焊(han)(han)(han)接(jie)面(mian)焊(han)(han)(han)接(jie)在(zai)(zai)(zai)一起。

可(ke)選(xuan)的，所(suo)述(shu)支撐條為不銹鋼片。

可選的，所述支撐條的長度等(deng)于靶材(cai)與支撐條相(xiang)鄰邊的邊長。

可(ke)選的(de)，所述支撐條(tiao)的(de)長度為135～165mm，寬度為9～11mm，厚度為0.2～0.4mm。

可選的(de)(de)，在相鄰(lin)靶(ba)材之間插入支(zhi)撐(cheng)(cheng)條的(de)(de)步驟之前，所述制造方法還包(bao)括，在支(zhi)撐(cheng)(cheng)條的(de)(de)側面(mian)粘(zhan)貼耐溫膠帶。

可選的，采(cai)用釬焊(han)焊(han)接所(suo)述靶材的第一焊(han)接面和(he)所(suo)述背(bei)板(ban)的第二焊(han)接面，所(suo)述焊(han)料為釬焊(han)料。

可選的，所(suo)述制造方法還(huan)包括：

分別在所述靶(ba)材(cai)的(de)第一焊接面(mian)和背(bei)板的(de)第二(er)焊接面(mian)上(shang)涂覆焊料的(de)步(bu)驟之后，在背(bei)板的(de)第二(er)焊接面(mian)上(shang)平行放(fang)置兩(liang)根銅絲；

在所(suo)述背板的(de)第二(er)焊接面上依次放置所(suo)述多(duo)個靶材(cai)的(de)步驟包括，將多(duo)個靶材(cai)依次放置在背板第二(er)焊接面上的(de)兩(liang)根銅絲上，使所(suo)述銅絲支撐靶材(cai)。

可選的(de)(de)，所(suo)述(shu)加熱所(suo)述(shu)靶(ba)材和(he)背(bei)板的(de)(de)步驟包(bao)括：將所(suo)述(shu)靶(ba)材和(he)背(bei)板放在加熱平臺(tai)上，升溫至所(suo)述(shu)焊(han)料(liao)的(de)(de)熔點(dian)；所(suo)述(shu)焊(han)料(liao)為銦焊(han)料(liao)；

所述冷(leng)卻且在焊(han)料未凝固時(shi)，去除所述支(zhi)撐條(tiao)的步驟(zou)包括：將加(jia)熱平臺(tai)(tai)降溫至150～160攝氏度(du)，將支(zhi)撐條(tiao)抽出；關(guan)閉加(jia)熱平臺(tai)(tai)，使背板(ban)和(he)靶材(cai)隨加(jia)熱平臺(tai)(tai)冷(leng)卻；冷(leng)卻至80攝氏度(du)以下時(shi)，取出所述背板(ban)和(he)靶材(cai)；自熱冷(leng)卻至室(shi)溫。

可選的，所述(shu)背板為(wei)長方形，在長邊方向上包括兩(liang)個端(duan)部和位于兩(liang)端(duan)部之間(jian)的中間(jian)區(qu)域；

所(suo)述(shu)自(zi)然(ran)冷卻至室溫(wen)的步驟包括：支撐所(suo)述(shu)背(bei)板的兩端部，使背(bei)板的中(zhong) 間區域(yu)懸空，自(zi)然(ran)冷卻至室溫(wen)。

可選的，所述靶材(cai)和(he)保護板為(wei)矩形。

可選的，所(suo)述保護(hu)板的邊長比靶材相應邊的邊長小1～2mm。

可選的，所(suo)述靶材(cai)(cai)的材(cai)(cai)料為(wei)硅(gui)，所(suo)述背板的材(cai)(cai)料為(wei)銅；所(suo)述保護板的材(cai)(cai)料為(wei)硅(gui)或氧化(hua)硅(gui)。

可(ke)選的(de)，所(suo)述保(bao)護板(ban)的(de)熱(re)膨脹(zhang)系數與(yu)(yu)靶材的(de)熱(re)膨脹(zhang)系數相當是指保(bao)護板(ban)與(yu)(yu)靶材的(de)熱(re)膨脹(zhang)系數的(de)比值(zhi)在(zai)0.9～1.1的(de)范圍內。

可(ke)選的(de)(de)，所(suo)(suo)述靶材位(wei)于第一焊接面(mian)(mian)(mian)和(he)濺射面(mian)(mian)(mian)之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為第一側面(mian)(mian)(mian)，所(suo)(suo)述保護板用于與(yu)靶材粘(zhan)結的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為粘(zhan)貼(tie)面(mian)(mian)(mian)，與(yu)所(suo)(suo)述粘(zhan)貼(tie)面(mian)(mian)(mian)相對的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為背面(mian)(mian)(mian)，所(suo)(suo)述粘(zhan)貼(tie)面(mian)(mian)(mian)和(he)背面(mian)(mian)(mian)之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為第二側面(mian)(mian)(mian)；

將所述(shu)保(bao)(bao)護板粘(zhan)貼(tie)于所述(shu)靶材的濺射(she)面(mian)上(shang)的步驟包(bao)括：在靶材濺射(she)面(mian)與保(bao)(bao)護板粘(zhan)貼(tie)面(mian)之(zhi)(zhi)間設置耐(nai)(nai)溫(wen)(wen)膠(jiao)帶(dai)；在保(bao)(bao)護板第二側面(mian)和保(bao)(bao)護板露出的靶材濺射(she)面(mian)上(shang)粘(zhan)貼(tie)耐(nai)(nai)溫(wen)(wen)膠(jiao)帶(dai)，以使(shi)所述(shu)耐(nai)(nai)溫(wen)(wen)膠(jiao)帶(dai)覆蓋靶材和保(bao)(bao)護板之(zhi)(zhi)間的縫隙。

可選的(de)(de)，所(suo)述(shu)制造(zao)方法還(huan)包括：焊(han)接(jie)所(suo)述(shu)靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)第一焊(han)接(jie)面(mian)和(he)所(suo)述(shu)背(bei)板的(de)(de)第二焊(han)接(jie)面(mian)的(de)(de)步驟(zou)之前，通過(guo)噴(pen)砂設備對靶(ba)材(cai)(cai)的(de)(de)第一焊(han)接(jie)面(mian)和(he)背(bei)板的(de)(de)第二焊(han)接(jie)面(mian)進(jin)行(xing)噴(pen)砂處理。

可(ke)選的(de)(de)，所述(shu)制造方法還包括：將所述(shu)保(bao)護板粘貼于(yu)所述(shu)靶(ba)(ba)材的(de)(de)濺(jian)(jian)射(she)面(mian)(mian)上的(de)(de)步驟(zou)之(zhi)前，通過氣動拋(pao)光(guang)(guang)(guang)機(ji)對(dui)靶(ba)(ba)材濺(jian)(jian)射(she)面(mian)(mian)進行拋(pao)光(guang)(guang)(guang)；并(bing)在拋(pao)光(guang)(guang)(guang)后用異丙醇溶液清洗靶(ba)(ba)材濺(jian)(jian)射(she)面(mian)(mian)。

與現有技(ji)術相比，本(ben)發明的技(ji)術方案(an)具有以(yi)下優點(dian)：

本發明的(de)靶材(cai)(cai)組件的(de)制造方法中，在對靶材(cai)(cai)和背(bei)板進行加熱之前，將所述(shu)保(bao)護(hu)板粘貼于靶材(cai)(cai)濺射面上。在加熱和冷(leng)卻過程中，所述(shu)保(bao)護(hu)板能夠減小由于靶材(cai)(cai)和背(bei)板熱膨脹系數不匹配而在溫(wen)度(du)變(bian)化(hua)時引(yin)起的(de)熱沖(chong)擊，從而保(bao)護(hu)靶材(cai)(cai)，防(fang)止靶材(cai)(cai)破(po)碎。

可選方案中，在相(xiang)鄰靶材之間(jian)插入支(zhi)撐條(tiao)，利(li)用支(zhi)撐條(tiao)對(dui)靶材進行對(dui)準(zhun)，以所(suo)述支(zhi)撐條(tiao)為基準(zhun)能夠(gou)較容易(yi)地(di)對(dui)靶材的(de)位置(zhi)進行校準(zhun)，從(cong)而(er)能夠(gou)較容易(yi)地(di)對(dui)靶材之間(jian)焊(han)縫的(de)寬度(du)和均勻性進行調節和控制。

附圖說明

圖(tu)1至圖(tu)8是(shi)本發(fa)明靶材組件的制造方法一實施例(li)各(ge)步驟的結構示意圖(tu)。

具體實施方式

現(xian)有的靶材組件(jian)的制造(zao)方(fang)法存在焊接過程中靶材易(yi)碎的問題。

現(xian)結合現(xian)有(you)技術(shu)的(de)(de)靶(ba)材組件的(de)(de)制造方法(fa)，分析(xi)焊接過程中靶(ba)材易碎的(de)(de)原因：

現(xian)有技術的(de)(de)靶(ba)材(cai)(cai)組(zu)件的(de)(de)制(zhi)造方法中，在對背板(ban)和靶(ba)材(cai)(cai)進行加熱和冷(leng)卻的(de)(de)過程中，溫度的(de)(de)變化使靶(ba)材(cai)(cai)和背板(ban)發(fa)生熱脹(zhang)冷(leng)縮現(xian)象(xiang)。然而，由于靶(ba)材(cai)(cai)和背板(ban)的(de)(de)熱膨脹(zhang)系數不匹配，靶(ba)材(cai)(cai)與背板(ban)產生變形不匹配，靶(ba)材(cai)(cai)會受(shou)到背板(ban)力的(de)(de)作(zuo)用，從(cong)而使靶(ba)材(cai)(cai)內產生應力，導致靶(ba)材(cai)(cai)破碎(sui)，焊接質量降(jiang)低(di)。

為解決(jue)所述技術(shu)問題，本發明(ming)(ming)提供(gong)了(le)一種靶(ba)(ba)材(cai)(cai)組(zu)(zu)件的制造方法(fa)，本發明(ming)(ming)的靶(ba)(ba)材(cai)(cai)組(zu)(zu)件的制造方法(fa)中(zhong)，在對(dui)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)和(he)背板(ban)進行加(jia)熱之前，將所述保(bao)(bao)護(hu)板(ban)粘貼于靶(ba)(ba)材(cai)(cai)濺(jian)射面上(shang)。在加(jia)熱和(he)冷卻過程中(zhong)，所述保(bao)(bao)護(hu)板(ban)能夠(gou)減(jian)小由于靶(ba)(ba)材(cai)(cai)和(he)背板(ban)熱膨脹(zhang)系(xi)數不匹配(pei)而(er)(er)在溫度變化時(shi)引起的熱沖擊，從而(er)(er)保(bao)(bao)護(hu)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，防止靶(ba)(ba)材(cai)(cai)破碎(sui)。同時(shi)，所述保(bao)(bao)護(hu)板(ban)能夠(gou)減(jian)少靶(ba)(ba)材(cai)(cai)與外界的直接接觸，從而(er)(er)減(jian)小靶(ba)(ba)材(cai)(cai)因為外界對(dui)其(qi)進行觸碰而(er)(er)導(dao)致破碎(sui)的可能性(xing)。

可選方案中，利用支(zhi)(zhi)撐(cheng)條對(dui)靶(ba)(ba)材進行對(dui)準，以(yi)所(suo)述支(zhi)(zhi)撐(cheng)條為基(ji)準能(neng)夠較(jiao)容(rong)易地對(dui)靶(ba)(ba)材的位置(zhi)進行校準，從而能(neng)夠較(jiao)容(rong)易地對(dui)靶(ba)(ba)材之間(jian)的焊(han)縫的寬度和均勻(yun)性進行調節和控(kong)制。

為(wei)使(shi)本(ben)發明(ming)的(de)上(shang)述目(mu)的(de)、特征和優點(dian)能夠更為(wei)明(ming)顯(xian)易(yi)懂，下面結合附(fu)圖(tu)對(dui)本(ben)發明(ming)的(de)具體實施例做(zuo)詳細的(de)說明(ming)。

參考圖(tu)1至圖(tu)8是本發明靶(ba)材(cai)組件的制造(zao)方法一實施(shi)例各步驟的結(jie)構示意(yi)圖(tu)。所述靶(ba)材(cai)組件的制造(zao)方法，包括(kuo)：

請參(can)考圖1，提(ti)供靶材(cai)101、背板100和保護板102，所(suo)述保護板102的熱膨(peng)脹系(xi)數(shu)(shu)與靶材(cai)101的熱膨(peng)脹系(xi)數(shu)(shu)相(xiang)同或(huo)相(xiang)當；所(suo)述靶材(cai)101用于焊(han)接(jie)的面為第(di)一焊(han)接(jie)面，與第(di)一焊(han)接(jie)面相(xiang)對的面為濺(jian)射(she)面，所(suo)述背板100用于焊(han)接(jie)的面為第(di)二焊(han)接(jie)面。

需要說明的(de)(de)是(shi)，在焊接過程中，靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101和(he)背(bei)板(ban)100會(hui)(hui)因(yin)為(wei)溫(wen)度(du)的(de)(de)變(bian)(bian)化而(er)(er)產生(sheng)變(bian)(bian)形(xing)(xing)，在靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)組件技術領域中，通常背(bei)板(ban)100的(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)(zhang)系數(shu)大于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)(zhang)系數(shu)，從而(er)(er)使(shi)背(bei)板(ban)100的(de)(de)變(bian)(bian)形(xing)(xing)大于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)變(bian)(bian)形(xing)(xing)。因(yin)此，在焊接過程發生(sheng)溫(wen)度(du)變(bian)(bian)化時，靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101除了自身熱脹(zhang)(zhang)冷縮產生(sheng)變(bian)(bian)形(xing)(xing)外還會(hui)(hui)因(yin)受到(dao)背(bei)板(ban)100力(li)(li)的(de)(de)作用而(er)(er)發生(sheng)進(jin)一步(bu)變(bian)(bian)形(xing)(xing)。粘貼(tie)于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101上的(de)(de)保護(hu)(hu)板(ban)102的(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)(zhang)系數(shu)小(xiao)于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)熱膨(peng)脹(zhang)(zhang)系數(shu)，或(huo)(huo)者與(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101熱膨(peng)脹(zhang)(zhang)系數(shu)相同或(huo)(huo)相近，因(yin)此，在發生(sheng)溫(wen)度(du)變(bian)(bian)化時保護(hu)(hu)板(ban)102的(de)(de)變(bian)(bian)形(xing)(xing)小(xiao)于(yu)或(huo)(huo)等于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)變(bian)(bian)形(xing)(xing)，從而(er)(er)對靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101產生(sheng)力(li)(li)的(de)(de)作用，且保護(hu)(hu)板(ban)102施加給靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)力(li)(li)與(yu)背(bei)板(ban)100施加給靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的(de)(de)力(li)(li)方向相反，從而(er)(er)使(shi)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101所受到(dao)的(de)(de)合力(li)(li)減(jian)小(xiao)，進(jin)而(er)(er)減(jian)小(xiao)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101內的(de)(de)應力(li)(li)，降低(di)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101破(po)碎的(de)(de)可(ke)能(neng)性(xing)。

此外，所述(shu)保護板102能夠(gou)減少靶材(cai)101與外界(jie)的(de)直接接觸，從而(er)(er)減小靶材(cai)101因為(wei)外界(jie)對其進(jin)行(xing)觸碰而(er)(er)導致破碎的(de)可(ke)能性。

本(ben)實施例中(zhong)，所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)101為硅片。所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)101的形狀為矩(ju)形，矩(ju)形靶(ba)(ba)材(cai)(cai)101易(yi)于拼接和調(diao)節靶(ba)(ba)材(cai)(cai)101之間的焊縫(feng)。但(dan)是本(ben)發(fa)明(ming)對此(ci)不作限定，所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)101還可以為平行四邊形。

本(ben)(ben)實(shi)施例中，所述(shu)背(bei)板100的(de)材料(liao)為(wei)銅，本(ben)(ben)發(fa)明對此不作限定(ding)，所述(shu)背(bei)板100的(de)材料(liao)還可(ke)以為(wei)鋁(lv)。

本實(shi)施(shi)例(li)中，所(suo)述保護板102的材(cai)料(liao)為硅或氧(yang)化硅，硅或氧(yang)化硅的熱膨(peng)脹系數與所(suo)述靶材(cai)101的熱膨(peng)脹系數相同或相近。但是，本發明(ming)對所(suo)述保護板102的材(cai)料(liao)不做限(xian)定，所(suo)述保護板102的材(cai)料(liao)可以根據背板100和(he)靶材(cai)101的材(cai)料(liao)選(xuan)擇其他材(cai)料(liao)。

本實施例中(zhong)，所(suo)述保護板(ban)102也為矩形(xing)。但是(shi)本發明對(dui)此不作限定，所(suo)述保護板(ban)102的(de)形(xing)狀可以根據靶材101的(de)形(xing)狀進行選(xuan)擇(ze)。

需要說明的(de)是(shi)，如果所述(shu)保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102過(guo)大不利于保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102和靶材(cai)101的(de)粘(zhan)貼，所述(shu)保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102過(guo)小(xiao)(xiao)，很難在焊接(jie)過(guo)程(cheng)中起到減小(xiao)(xiao)靶材(cai)101內(nei)熱沖擊(ji)的(de)作用。因此(ci)，保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102的(de)邊(bian)長(chang)(chang)比(bi)靶材(cai)101相(xiang)應邊(bian)的(de)邊(bian)長(chang)(chang)小(xiao)(xiao)1～2mm。例(li)如，本實施例(li)中矩(ju)(ju)形保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102的(de)長(chang)(chang)邊(bian)比(bi)矩(ju)(ju)形靶材(cai)101的(de)長(chang)(chang)邊(bian)小(xiao)(xiao)1～2mm，矩(ju)(ju)形保(bao)護(hu)(hu)板(ban)(ban)(ban)102的(de)短邊(bian)比(bi)矩(ju)(ju)形靶材(cai)101的(de)短邊(bian)小(xiao)(xiao)1～2mm。

還需要(yao)說明的是(shi)，本實施(shi)例中，所述靶(ba)材(cai)組件為拼(pin)接靶(ba)材(cai)組件，包(bao)括(kuo)位 于背(bei)板100上的多個靶(ba)材(cai)101。

具體(ti)的，所述(shu)提供靶(ba)材101、背板(ban)100和(he)保(bao)護(hu)板(ban)102的步驟包括：提供多個(ge)靶(ba)材101(本實(shi)施例中為(wei)3個(ge))、一背板(ban)100和(he)多個(ge)保(bao)護(hu)板(ban)102(本實(shi)施例中為(wei)3個(ge))。

繼(ji)續(xu)參考(kao)圖1，將所(suo)(suo)述(shu)(shu)保護板102粘(zhan)貼(tie)于所(suo)(suo)述(shu)(shu)靶(ba)材(cai)101的(de)濺射(she)面上。所(suo)(suo)述(shu)(shu)保護板102能夠在焊(han)接(jie)過(guo)程中，減小靶(ba)材(cai)101和(he)背板100因熱(re)膨脹系數不(bu)匹配引起的(de)熱(re)沖擊。

本實施例中(zhong)，將(jiang)所(suo)述保(bao)護板(ban)102粘(zhan)(zhan)貼于所(suo)述靶材101的濺射(she)面(mian)上的步驟包括：在每一(yi)靶材101的濺射(she)面(mian)上均粘(zhan)(zhan)貼一(yi)保(bao)護板(ban)102。

具體的(de)(de)，所述靶材(cai)(cai)101位于(yu)第一(yi)焊接面(mian)(mian)(mian)和(he)濺射(she)面(mian)(mian)(mian)之間(jian)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為(wei)第一(yi)側(ce)面(mian)(mian)(mian)，所述保護(hu)板102用于(yu)與靶材(cai)(cai)101粘(zhan)貼(tie)(tie)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為(wei)粘(zhan)貼(tie)(tie)面(mian)(mian)(mian)，與所述粘(zhan)貼(tie)(tie)面(mian)(mian)(mian)相對(dui)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為(wei)背面(mian)(mian)(mian)，位于(yu)粘(zhan)貼(tie)(tie)面(mian)(mian)(mian)和(he)背面(mian)(mian)(mian)之間(jian)的(de)(de)面(mian)(mian)(mian)為(wei)第二(er)側(ce)面(mian)(mian)(mian)。將所述保護(hu)板102粘(zhan)貼(tie)(tie)于(yu)所述靶材(cai)(cai)101的(de)(de)濺射(she)面(mian)(mian)(mian)上的(de)(de)步驟包括：在靶材(cai)(cai)101濺射(she)面(mian)(mian)(mian)與保護(hu)板102粘(zhan)貼(tie)(tie)面(mian)(mian)(mian)之間(jian)設(she)置(zhi)耐溫膠(jiao)帶；在保護(hu)板102第二(er)側(ce)面(mian)(mian)(mian)和(he)保護(hu)板102露出的(de)(de)靶材(cai)(cai)101濺射(she)面(mian)(mian)(mian)上粘(zhan)貼(tie)(tie)耐溫膠(jiao)帶，以使所述耐溫膠(jiao)帶覆蓋(gai)靶材(cai)(cai)101和(he)保護(hu)板102之間(jian)的(de)(de)縫隙，并露出靶材(cai)(cai)101的(de)(de)第一(yi)焊接面(mian)(mian)(mian)和(he)第一(yi)側(ce)面(mian)(mian)(mian)。

需要說明的(de)是，本(ben)實(shi)施例(li)中，將所述保(bao)護板(ban)(ban)102粘貼(tie)于所述靶(ba)材(cai)101的(de)濺(jian)射(she)面(mian)上的(de)步驟(zou)之(zhi)前(qian)，所述制造方法還包括：通過氣動拋光機對(dui)靶(ba)材(cai)101濺(jian)射(she)面(mian)進(jin)行拋光并利用異丙醇溶液(ye)擦拭靶(ba)材(cai)101表(biao)面(mian)，使靶(ba)材(cai)101濺(jian)射(she)面(mian)平坦并保(bao)證靶(ba)材(cai)101濺(jian)射(she)面(mian)清潔，從而降低靶(ba)材(cai)101與保(bao)護板(ban)(ban)102粘貼(tie)的(de)難度。

請參(can)考圖2至圖5，焊(han)接所述靶(ba)材101的(de)第一焊(han)接面和所述背(bei)(bei)板100的(de)第二焊(han)接面；在焊(han)接過程中，所述保(bao)護(hu)板102減小靶(ba)材101和背(bei)(bei)板100因熱(re)膨脹(zhang)系數不匹配(pei)引起的(de)熱(re)沖擊。

本實(shi)施(shi)例中，焊(han)接(jie)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)靶(ba)(ba)材(cai)101的(de)第(di)一(yi)(yi)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)和所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)背(bei)板100的(de)第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)的(de)步驟包括：加熱(re)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)靶(ba)(ba)材(cai)101和背(bei)板100；分別在所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)靶(ba)(ba)材(cai)101的(de)第(di)一(yi)(yi)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)和背(bei)板100的(de)第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)上(shang)涂(tu)覆焊(han)料(liao)；在所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)背(bei)板100的(de)第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)上(shang)依次(ci)放置所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)多個(ge)靶(ba)(ba)材(cai)101，并在相鄰靶(ba)(ba)材(cai)101之(zhi)間插入支(zhi)撐條(tiao)104，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)支(zhi)撐條(tiao)104用于調節(jie)相鄰靶(ba)(ba)材(cai)101之(zhi)間的(de)焊(han)縫；冷(leng)卻且(qie)在焊(han)料(liao)未凝固(gu)時(shi)，去(qu) 除所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)支(zhi)撐條(tiao)104；冷(leng)卻后，靶(ba)(ba)材(cai)101第(di)一(yi)(yi)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)和背(bei)板100第(di)二(er)焊(han)接(jie)面(mian)(mian)(mian)焊(han)接(jie)在一(yi)(yi)起。

本實施例(li)中(zhong)，采用(yong)釬焊焊接所(suo)述(shu)靶材(cai)(cai)101和(he)所(suo)述(shu)背板100，所(suo)述(shu)焊料為(wei)釬焊料，釬焊料對銅背板和(he)硅(gui)靶材(cai)(cai)具有很好的浸潤(run)性，且可以使背板100重復利用(yong)，節約成本。具體的，所(suo)述(shu)焊料為(wei)銦(yin)焊料。銦(yin)焊料的熔(rong)點低，焊接溫度低，焊接過程對靶材(cai)(cai)101的熱沖擊小，靶材(cai)(cai)101不易碎。

本實施例(li)中(zhong)，所述(shu)加(jia)熱所述(shu)背板(ban)(ban)(ban)100和(he)(he)保(bao)護板(ban)(ban)(ban)102的(de)步驟包括(kuo)：將背板(ban)(ban)(ban)100、與保(bao)護板(ban)(ban)(ban)102粘合的(de)靶(ba)材101、支撐條(tiao)104和(he)(he)壓塊103放置于加(jia)熱平臺(tai)上，將加(jia)熱平臺(tai)升溫至190～200攝氏(shi)度，焊(han)料(liao)熔化。

需(xu)要(yao)說明的(de)是，所述(shu)將加(jia)熱平臺升溫至(zhi)190～200攝氏度的(de)過程應緩慢進行，升溫過快(kuai)會增大靶材101內的(de)熱沖擊，容(rong)易(yi)引(yin)起靶材101破碎。

還需要說(shuo)明的(de)是，本(ben)實施例中，所述背板(ban)100的(de)側面具有螺(luo)紋(wen)孔(kong)，所述螺(luo)紋(wen)孔(kong)在后續靶材(cai)組件(jian)的(de)使用過程固定所述靶材(cai)組件(jian)。在加(jia)熱所述靶材(cai)101和背板(ban)100之(zhi)前(qian)，在背板(ban)100側面粘貼耐溫膠帶，所述耐溫膠帶用于保護所述螺(luo)紋(wen)孔(kong)，防止焊料浸入。

本實施(shi)例中，所述(shu)分別在(zai)所述(shu)靶材(cai)(cai)101的(de)第(di)一(yi)焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)和背板(ban)100的(de)第(di)二焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)上涂覆(fu)焊(han)料(liao)的(de)步驟包括：通過超聲波處理裝置(zhi)在(zai)所述(shu)靶材(cai)(cai)101的(de)第(di)一(yi)焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)和背板(ban)100的(de)第(di)二焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)上涂覆(fu)焊(han)料(liao)，使(shi)焊(han)料(liao)浸潤所述(shu)第(di)一(yi)焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)和第(di)二焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)。并(bing)用(yong)異(yi)丙醇溶液檢測所述(shu)焊(han)料(liao)對第(di)一(yi)焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)和第(di)二焊(han)接(jie)(jie)(jie)面(mian)的(de)浸潤性(xing)。

如圖2所(suo)(suo)示(shi)，本實施例中，在所(suo)(suo)述背板100的第(di)二焊接(jie)面(mian)上依次(ci)放置所(suo)(suo)述多個(ge)靶材(cai)101的步驟之前，還(huan)包括：在所(suo)(suo)述背板100的焊接(jie)面(mian)上平行放置兩根銅(tong)絲(si)107，所(suo)(suo)述銅(tong)絲(si)107用于保存背板100的第(di)二焊接(jie)面(mian)上的焊料。

具體(ti)的，本實(shi)(shi)施例中，在所(suo)述背板100的第(di)(di)二焊接面上依次(ci)放(fang)置所(suo)述多(duo)個(ge)靶(ba)(ba)材(cai)101的步驟中，所(suo)述多(duo)個(ge)靶(ba)(ba)材(cai)101依次(ci)放(fang)置于(yu)(yu)所(suo)述兩(liang)根銅絲(si)107上，使(shi)所(suo)述銅絲(si)107支撐靶(ba)(ba)材(cai)101，為焊料提供空間(jian)，使(shi)第(di)(di)一焊接面和第(di)(di)二焊接面之間(jian)的焊料厚度大于(yu)(yu)等(deng)于(yu)(yu)所(suo)述銅絲(si)107的直徑。本實(shi)(shi)施例中，所(suo)述多(duo)個(ge)靶(ba)(ba)材(cai)101沿所(suo)述兩(liang)個(ge)銅絲(si)107延伸方向依次(ci)排(pai)列(lie)。

本實施例(li)中(zhong)，如(ru)果所(suo)述(shu)銅絲107的直徑過(guo)小，很難(nan)起到保(bao)存焊料的作用，如(ru)果所(suo)述(shu)銅絲107的直徑過(guo)大(da)，容易使第(di)一焊接面和第(di)二焊接面之間產生縫隙(xi)，而導致焊接強度下降。具體(ti)的，所(suo)述(shu)銅絲107的直徑在0.2～0.3mm的范圍內。

如圖3和圖4所(suo)(suo)(suo)示，本實施例中，所(suo)(suo)(suo)述(shu)調(diao)節相鄰(lin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101之(zhi)間焊(han)縫(feng)的步驟包括(kuo)：在(zai)所(suo)(suo)(suo)述(shu)背板100的第二(er)(er)焊(han)接面(mian)上依次(ci)放置所(suo)(suo)(suo)述(shu)多(duo)個(ge)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101之(zhi)后，在(zai)第一塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101上放置壓(ya)(ya)塊103，所(suo)(suo)(suo)述(shu)壓(ya)(ya)塊103用于固定(ding)所(suo)(suo)(suo)述(shu)第一塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101。將支(zhi)撐條104插入第一塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101和第二(er)(er)塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101之(zhi)間，所(suo)(suo)(suo)述(shu)支(zhi)撐條104用于控制靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101之(zhi)間焊(han)縫(feng)的寬(kuan)度，增(zeng)加焊(han)縫(feng)的均勻性；調(diao)節第二(er)(er)塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101的位置，使(shi)第二(er)(er)塊靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)101貼(tie)近支(zhi)撐條104，從而對焊(han)縫(feng)的寬(kuan)度進(jin)行調(diao)節。重(zhong)復上述(shu)步驟至(zhi)所(suo)(suo)(suo)有焊(han)縫(feng)調(diao)節完畢。

具體(ti)的(de)，本實施例中，所述支撐(cheng)條104的(de)材料為(wei)不銹鋼。

需要說(shuo)明(ming)的(de)(de)(de)是，所述支(zhi)撐(cheng)條104的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)H用于控制焊(han)縫(feng)的(de)(de)(de)寬度(du)，如(ru)果(guo)所述支(zhi)撐(cheng)條104的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)H過大會導致焊(han)縫(feng)過大，如(ru)果(guo)支(zhi)撐(cheng)條104的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)H過小很難阻止(zhi)被壓(ya)塊(kuai)103壓(ya)住的(de)(de)(de)靶材101下方焊(han)料向焊(han)縫(feng)流淌，而使焊(han)縫(feng)中(zhong)焊(han)料增加，阻礙焊(han)縫(feng)的(de)(de)(de)調(diao)節。具(ju)體的(de)(de)(de)，本實施例中(zhong)，所述支(zhi)撐(cheng)條104的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)H為(wei)0.2～0.4mm。

本實施(shi)(shi)例(li)中(zhong)，為了滿足后(hou)續利(li)用夾具(ju)固定所(suo)述(shu)靶材(cai)101的(de)(de)需要(yao)，所(suo)述(shu)支(zhi)撐(cheng)條(tiao)(tiao)104的(de)(de)長度(du)L等于(yu)靶材(cai)101與支(zhi)撐(cheng)條(tiao)(tiao)104相鄰邊(bian)的(de)(de)邊(bian)長。具(ju)體的(de)(de)，所(suo)述(shu)支(zhi)撐(cheng)條(tiao)(tiao)104的(de)(de)長度(du)L(如圖5所(suo)示)為135～165mm，寬度(du)W為9～11mm。但(dan)是本發(fa)明(ming)對此不作(zuo)限定，在其他(ta)實施(shi)(shi)例(li)中(zhong)，所(suo)述(shu)支(zhi)撐(cheng)條(tiao)(tiao)104的(de)(de)長度(du)L還可以大于(yu)靶材(cai)101與支(zhi)撐(cheng)條(tiao)(tiao)104相鄰邊(bian)的(de)(de)邊(bian)長。

本實施例中，在相鄰(lin)靶材(cai)101之間(jian)插入(ru)支撐(cheng)條104的步(bu)驟之前，在所(suo)述(shu)支撐(cheng)條104側面粘貼耐溫(wen)膠帶。所(suo)述(shu)耐溫(wen)膠帶能夠(gou)防止(zhi)支撐(cheng)條104劃傷靶材(cai)101，此外還有(you)利于焊縫調節完成(cheng)后較(jiao)容易地抽(chou)出所(suo)述(shu)支撐(cheng)條104。

如圖5所(suo)(suo)示，本實(shi)施(shi)例中，在相鄰靶(ba)材101之(zhi)間(jian)插入(ru)支撐(cheng)條104的(de)(de)步驟之(zhi)后，去(qu)除所(suo)(suo)述支撐(cheng)條104的(de)(de)步驟之(zhi)前，所(suo)(suo)述制造(zao)方法還包(bao)括：提供夾具(ju)(ju)105，所(suo)(suo)述夾具(ju)(ju)105為(wei)環(huan)形(xing)，用(yong)于(yu)固定靶(ba)材101并(bing)使靶(ba)材101相鄰邊平行；將(jiang)所(suo)(suo)述 夾具(ju)(ju)105放(fang)置于(yu)靶(ba)材101露出的(de)(de)背(bei)板(ban)100第(di)二焊(han)(han)接面上(shang)，并(bing)使焊(han)(han)接于(yu)背(bei)板(ban)100上(shang)的(de)(de)所(suo)(suo)有靶(ba)材101置于(yu)環(huan)形(xing)夾具(ju)(ju)105內；通(tong)過螺(luo)栓(shuan)106將(jiang)靶(ba)材101固定于(yu)所(suo)(suo)述夾具(ju)(ju)105上(shang)。

具體的(de)，所(suo)述夾具105為方(fang)環形(xing)(xing)，具有矩(ju)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)，所(suo)述矩(ju)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)用于容納(na)焊(han)接(jie)在一(yi)起的(de)靶(ba)材(cai)101，將所(suo)述夾具105放(fang)置于靶(ba)材(cai)101露出的(de)背板100第二焊(han)接(jie)面(mian)上的(de)過程中(zhong)，使所(suo)述焊(han)接(jie)在一(yi)起的(de)靶(ba)材(cai)101放(fang)置于所(suo)述矩(ju)形(xing)(xing)開(kai)口(kou)中(zhong)。

本(ben)實施例(li)中(zhong)，所(suo)述(shu)夾(jia)具(ju)(ju)105在(zai)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)的(de)兩側壁上(shang)具(ju)(ju)有螺(luo)(luo)孔(kong)，夾(jia)具(ju)(ju)105相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)側壁上(shang)的(de)螺(luo)(luo)孔(kong)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)。所(suo)述(shu)螺(luo)(luo)孔(kong)貫穿(chuan)所(suo)述(shu)夾(jia)具(ju)(ju)105的(de)側壁。通過螺(luo)(luo)栓106將(jiang)靶(ba)(ba)材(cai)101固(gu)定(ding)于所(suo)述(shu)夾(jia)具(ju)(ju)105上(shang)的(de)步驟包(bao)括：使螺(luo)(luo)栓106分別穿(chuan)過夾(jia)具(ju)(ju)105側壁上(shang)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)的(de)兩個螺(luo)(luo)孔(kong)并與靶(ba)(ba)材(cai)101接(jie)觸(chu)，從而(er)將(jiang)所(suo)述(shu)靶(ba)(ba)材(cai)101固(gu)定(ding)于夾(jia)具(ju)(ju)105上(shang)，同時(shi)使靶(ba)(ba)材(cai)101與夾(jia)具(ju)(ju)105接(jie)觸(chu)的(de)邊與夾(jia)具(ju)(ju)105的(de)相(xiang)(xiang)應(ying)邊平行，從而(er)使靶(ba)(ba)材(cai)101的(de)相(xiang)(xiang)鄰邊相(xiang)(xiang)互(hu)平行。

需要說明的(de)(de)是，本實施例中，用夾具105固定靶材101的(de)(de)過程是在加(jia)(jia)熱平臺上(shang)(shang)進(jin)行的(de)(de)。在將所述夾具105放(fang)置(zhi)于靶材101露出的(de)(de)背板(ban)100第(di)二焊接面上(shang)(shang)之前，將夾具105在加(jia)(jia)熱平臺上(shang)(shang)加(jia)(jia)熱至190～200攝(she)氏度。

如圖4至圖6所(suo)(suo)(suo)示，本實施例中，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)焊(han)料為銦焊(han)料，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)冷(leng)卻(que)且在焊(han)料未凝固時(shi)，去除(chu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)支(zhi)撐條104的步驟包括：將加(jia)(jia)熱(re)平(ping)臺(tai)降溫至150～160攝氏度，將支(zhi)撐條104抽出(chu)；關閉加(jia)(jia)熱(re)平(ping)臺(tai)，使背板(ban)100和靶材101隨加(jia)(jia)熱(re)平(ping)臺(tai)冷(leng)卻(que)；冷(leng)卻(que)至80攝氏度以下時(shi)，取出(chu)；自熱(re)冷(leng)卻(que)至室溫。

需要(yao)說(shuo)明(ming)的是(shi)，將(jiang)加(jia)熱平臺(tai)(tai)降(jiang)溫至150～160攝氏度(du)，將(jiang)所(suo)述支(zhi)撐(cheng)條104抽(chou)出(chu)(chu)的過(guo)(guo)程中(zhong)，如果(guo)支(zhi)撐(cheng)條104取出(chu)(chu)過(guo)(guo)晚，焊(han)(han)料(liao)(liao)凝(ning)固(gu)(gu)，支(zhi)撐(cheng)條104會粘(zhan)貼在(zai)靶材101之間(jian)的焊(han)(han)縫中(zhong)而(er)不(bu)易抽(chou)出(chu)(chu)；支(zhi)撐(cheng)條104取出(chu)(chu)過(guo)(guo)早(zao)，在(zai)支(zhi)撐(cheng)條104取出(chu)(chu)到焊(han)(han)料(liao)(liao)凝(ning)固(gu)(gu)的過(guo)(guo)程中(zhong)，靶材101容易發生移動而(er)使焊(han)(han)縫寬度(du)發生變化。因此，本實施例中(zhong)，當加(jia)熱平臺(tai)(tai)降(jiang)溫至150～160攝氏度(du)時(shi)焊(han)(han)料(liao)(liao)開始凝(ning)固(gu)(gu)，在(zai)焊(han)(han)料(liao)(liao)即將(jiang)凝(ning)固(gu)(gu)尚未(wei)完全凝(ning)固(gu)(gu)時(shi)將(jiang)所(suo)述支(zhi)撐(cheng)條104取出(chu)(chu)。

本實施例中(zhong)(zhong)，所述(shu)背板(ban)為長方形，在長邊方向上包括(kuo)兩個端部和位于(yu)兩端部之間(jian)的(de)(de)中(zhong)(zhong)間(jian)區域述(shu)自然(ran)(ran)冷卻至室(shi)溫的(de)(de)步驟包括(kuo)：支撐所述(shu)背板(ban)100的(de)(de)兩端部，使(shi)背板(ban)100的(de)(de)中(zhong)(zhong)間(jian)區域懸空，自然(ran)(ran)冷卻至室(shi)溫。這樣能夠使(shi)靶(ba)(ba)材101 和背板(ban)100的(de)(de)中(zhong)(zhong)間(jian)區域在冷卻的(de)(de)過程(cheng)中(zhong)(zhong)自由收縮，從(cong)而減(jian)小(xiao)靶(ba)(ba)材101和背板(ban)100在加熱過程(cheng)中(zhong)(zhong)因膨(peng)脹(zhang)產生的(de)(de)彎曲變(bian)形。

具體的(de)，本實施例中，將(jiang)固定在一起的(de)靶材101、背板100和(he)夾(jia)具105放(fang)置(zhi)于貨架(jia)上，使中間懸(xuan)空。

需(xu)要說明的是，本(ben)實施例中，焊(han)(han)(han)接(jie)所(suo)述靶(ba)材(cai)101的第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)面和所(suo)述背板100的第(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)接(jie)面的步驟之(zhi)(zhi)前，所(suo)述制(zhi)造方(fang)法還(huan)包括：通(tong)過噴砂(sha)裝置對靶(ba)材(cai)101的第(di)(di)一(yi)焊(han)(han)(han)接(jie)面和背板100的第(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)接(jie)面進(jin)行噴砂(sha)處(chu)理。所(suo)述噴砂(sha)處(chu)理能夠增加(jia)第(di)(di)一(yi)、第(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)接(jie)面的粗糙度，從(cong)而增加(jia)第(di)(di)一(yi)、第(di)(di)二(er)焊(han)(han)(han)接(jie)面之(zhi)(zhi)間的摩擦力，增加(jia)焊(han)(han)(han)接(jie)后的焊(han)(han)(han)接(jie)強度。

具體(ti)的，所(suo)述(shu)噴(pen)砂裝(zhuang)置包(bao)括噴(pen)槍和沙粒(li)。如果(guo)所(suo)述(shu)噴(pen)砂的力(li)度過(guo)大(da)容易導致靶(ba)材101破碎，所(suo)述(shu)噴(pen)砂的力(li)度不能過(guo)大(da)。

本實施例中，所述沙粒為125號碳化硅，噴砂壓力為1～4kgf/cm²，所述噴槍到靶材101第(di)一焊(han)接面(mian)和(he)背(bei)板(ban)100第(di)二焊(han)接面(mian)的距離(li)為18～22cm。噴砂至第(di)一、第(di)二焊(han)接面(mian)無明顯紋路，表面(mian)均一粗糙即(ji)可。

本實施例中，所述噴砂(sha)處理(li)之后，所述靶材組(zu)件制(zhi)造(zao)方法還包括：用空氣槍吹(chui)干凈(jing)第(di)一、第(di)二焊接面，并用異(yi)丙醇(chun)溶(rong)液擦拭所述第(di)一、第(di)二焊接面。

請參(can)考圖7和圖8，焊接后(hou)去除保護板102(如圖6所示(shi))。

具體(ti)的(de)，如圖7所示(shi)，本實(shi)施例中(zhong)，焊接后(hou)去除保護板(ban)102的(de)步(bu)驟(zou)包(bao)括：去除保護板(ban)102和靶材101表面的(de)耐(nai)溫膠帶，從而使(shi)保護板(ban)102和靶材101分離。

本實施(shi)例中，所述去(qu)(qu)除保護板(ban)102的(de)步(bu)驟之前，還包括去(qu)(qu)除所述壓塊103(參考圖(tu)6)。

如圖(tu)8所(suo)示，本實施例(li)中，所(suo)述焊接后(hou)去除(chu)保護板102的(de)步驟(zou)之(zhi)后(hou)，所(suo)述制造方法還包括，去除(chu)所(suo)述夾具105(參考(kao)圖(tu)7)。

本實(shi)施例中(zhong)，所述(shu)(shu)焊(han)接(jie)(jie)后去除(chu)(chu)保護板102的(de)(de)(de)步驟之(zhi)(zhi)后，所述(shu)(shu)制造方法(fa)還包(bao)括：去除(chu)(chu)所述(shu)(shu)夾(jia)具105之(zhi)(zhi)后，在靶材101和背(bei)板100上粘(zhan)貼(tie)防(fang)(fang)(fang)水(shui)膠(jiao)帶(dai)，使所述(shu)(shu)防(fang)(fang)(fang)水(shui)膠(jiao)帶(dai)覆(fu)蓋(gai)靶材101和背(bei)板100之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)縫隙，并在靶材101的(de)(de)(de)焊(han)接(jie)(jie)面 上粘(zhan)貼(tie)防(fang)(fang)(fang)水(shui)膠(jiao)帶(dai)，使所述(shu)(shu)防(fang)(fang)(fang)水(shui)膠(jiao)帶(dai)覆(fu)蓋(gai)相鄰(lin)靶材101之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)焊(han)縫；通(tong)過超聲波檢測(ce)焊(han)接(jie)(jie)的(de)(de)(de)缺陷率，如果焊(han)接(jie)(jie)結合率大于97％，且單個缺陷面積(ji)小于等于2％，則(ze)焊(han)接(jie)(jie)合格，否(fou)則(ze)返焊(han)；去除(chu)(chu)所述(shu)(shu)防(fang)(fang)(fang)水(shui)膠(jiao)帶(dai)和背(bei)板100側(ce)面的(de)(de)(de)耐(nai)溫膠(jiao)帶(dai)。

本實施例中，焊接(jie)后去除(chu)保護(hu)板(ban)102的(de)步(bu)驟之后，所述(shu)制造方法還包括：對所述(shu)靶(ba)材101和(he)背板(ban)100進行機(ji)械加(jia)工(gong)，加(jia)工(gong)成(cheng)為符合設(she)計要求的(de)靶(ba)材組(zu)件。

綜(zong)上，本發明(ming)的(de)(de)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)組(zu)件的(de)(de)制(zhi)造方(fang)法(fa)中(zhong)，在對(dui)(dui)(dui)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)和背(bei)(bei)板(ban)進(jin)行加熱之(zhi)前，將所述(shu)保護板(ban)粘貼于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)的(de)(de)濺射面上。在加熱和冷卻過程(cheng)(cheng)中(zhong)，所述(shu)保護板(ban)能夠減(jian)小由于(yu)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)和背(bei)(bei)板(ban)熱膨脹系數不匹配而在溫(wen)度(du)變化引起的(de)(de)熱沖(chong)擊，從(cong)而保護靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，防止靶(ba)(ba)(ba)材(cai)破(po)碎。此外，本發明(ming)利用支撐條(tiao)對(dui)(dui)(dui)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)進(jin)行對(dui)(dui)(dui)準，以(yi)所述(shu)支撐條(tiao)的(de)(de)位置(zhi)為(wei)基準能夠較容易地對(dui)(dui)(dui)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)的(de)(de)位置(zhi)進(jin)行校準，從(cong)而對(dui)(dui)(dui)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)之(zhi)間焊(han)縫的(de)(de)寬度(du)和均勻(yun)性進(jin)行調節和控制(zhi)。從(cong)而，能夠實(shi)現在焊(han)接過程(cheng)(cheng)中(zhong)對(dui)(dui)(dui)焊(han)縫的(de)(de)調節。

雖然本發明(ming)披(pi)露如上，但本發明(ming)并非限定于此(ci)。任何本領(ling)域技(ji)術人員，在不脫(tuo)離本發明(ming)的精神和(he)范(fan)(fan)圍(wei)(wei)內，均(jun)可作各種更動與修改，因(yin)此(ci)本發明(ming)的保護范(fan)(fan)圍(wei)(wei)應當以權利要求所限定的范(fan)(fan)圍(wei)(wei)為準。