技術編號：11060193
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及濺射靶材制造領域，尤其涉及一種靶材組件的制造方法。背景技術靶材是濺射技術的基礎材料，在液晶顯示器產業和信息存儲產業中具有顯著優勢。近年來，液晶顯示器大幅度取代以陰極射線管為主的電腦和電視機顯示器，使靶材的技術與市場需求大幅度增加。現有技術通常采用拼接方式制備液晶顯示器所使用的濺射靶材，即每個靶材組件可由多片靶材拼接而成。為了保證拼接靶材具有良好的導電和導熱性能，靶材在濺射前需要與背板(銅或鋁等材料)焊接到一起。半導體領域的發展對拼接靶材組件的焊接質量要求越來越高。但是，現有的拼接靶材組...
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