專利名稱：用于真空濺射處理機的陰極的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種材料的陰極濺射的技術領域，特別是在一個真空處理設備中。
背景技術：
對本領域的技術人員而言，與一個陽極結合，利用陰極來從一個靶濺射一種材料是已知的。在一個傳統的陰極濺射設備中，濺射時，將負電壓施加在作為陰極的靶上，而正電壓源與一個分開的陽極連接，陽極例如在一個真空處理室中。
現有技術可以作為非限定的示例示于專利FR2492163中，該專利涉及一種陰極布置，用于在一個陰極濺射設備中從一個靶濺射材料。在該專利中，靶包括一個支撐板，支撐板具有使冷卻流體流動的裝置。靶通過一個擰在冷卻板的壁厚以及一個帶有冷卻板的底座壁厚中的外圍橋架保持就位。一般，在靶與冷卻板之間安裝一個薄膜。
在這類設備中，根據使用情況，需要非常頻繁地更換靶。
對于現有技術的方案，無論何種實施方式，靶的固定方式都不能很容易地操作和更換靶。
靶通常通過多個位于周邊的螺釘進行固定。如果考慮靶的固定所需要的非常多的螺釘數量，顯然安裝和拆卸的時間特別長。另外，可能出現卡住的危險。
還提出過結合螺釘，通過表面夾緊來固定靶。由于螺釘仍然直接參與靶的整體固定，這種方法還是不能令人滿意。例如上述專利FR2492163中描述了這種方法。

發明內容
本發明的目的是以簡單、可靠、有效、合理的方式克服這些缺點。本發明提出的解決問題是保證快速、有效地固定靶，因此可以迅速拆卸和安裝靶，以便進行更換。
為了解決該問題，已經開發了一種用于真空濺射處理機的陰極，這種陰極包括一個安裝在一個支座上的靶板，支座作為冷卻器，其特征在于，支座與一個框架固定在一起，框架限定一個用于靶的定位和對中的封閉空間；所述框架在周邊具有一個能夠與一組獨立夾持件配合的成型的卡合和互鎖邊緣，這些夾持件具有互補的卡合形狀，卡合形狀能夠使所述零件具有一種傾斜作用，這種傾斜作用由施加在一些部件上的一個夾緊動作引起，這些部件接合在零件壁厚中，并貼靠在框架的卡合邊緣的一部分上，使得在這種傾斜作用下，該組夾持件的一部分卡合形狀以表面貼靠在靶的周邊上，以使靶固定。
為了解決提出的保證可靠、有效地固定靶的問題，夾持件被適當切割，一旦它們相鄰地組裝后，形成一個包圍并完全封閉靶的四個邊的封閉周邊框架，限定一個用于濺射的自由中心區。
由于卡合形狀的特殊外形輪廓并且需要能夠迅速更換靶，夾持件或這些零件中的某一些有至少一個斜切邊，以便形成角部。而其它零件是直的，以便通過滑動插在兩個尤其預先相對框架定位的角部零件之間。
為了解決提出的使夾持件在鎖緊作用下傾斜的問題，部件是緊固螺釘。
為了解決提出的使靶在夾持件傾斜作用下固定的問題，框架的卡合和互鎖邊緣由一個限定一個直槽的偏置直線型材構成。夾持件的互補卡合形狀由一個與偏置直線型材配合的直槽構成，并且該直槽限定一個與溝槽配合的突出部，以便在鎖緊作用下產生傾斜作用。
本發明提出解決的另一個問題是能夠容易地在陰極組件上進行作業，以便更換濺射靶。
為了解決該問題，支座安裝在機器的一個容易取出的部分上。
另外，所考慮的機器部分構成一個門。


下面借助附圖更詳細地展示本發明，附圖如下
-圖1是濺射陰極的一部分在固定靶的夾持件就位前的平面圖。
-圖2是夾持件就位后與圖1對應的圖。
-圖3是陰極的實施例和夾緊靶的應用的剖面圖。
-圖4是用于夾緊靶的與圖3類似的圖。
-圖5是帶有薄膜的支座和夾持件的截面輪廓的部分立體圖。
具體實施例方式
如圖3、4所示，這種陰極用于真空濺射處理特別有益，但是這不是限定性的。這些圖非常示意性地示出整體用C代表的陰極例如與一個端板1連在一起。處于真空下的作為陽極的機器部件用A表示。
陰極C具有一個任何已知適當類型的濺射靶2。靶2安裝在一個可以作為冷卻器的支座3上。在不應看作是限定性的所示例子中，支座3帶有薄膜，并且有一個冷卻流體的入口E和一個出口S。支座的薄膜用4表示。
根據本發明，帶有薄膜的支座3-4與一個框架5固定在一起，框架5限定一個用于使靶2定位和對中的封閉空間6。例如當靶2的整體形狀為矩形時，框架5可以由四個切割的直線型材5A、5B、5C、5D構成，并且四個型材組裝在一起，形成一個封閉的框架。例如通過螺釘7把這樣形成的框架5固定在帶有薄膜的支座3-4的壁厚和端板1中。
框架5的周邊有一個成型的卡合和互鎖邊緣5d，該邊緣5d能夠與一組具有互補卡合形狀8a的夾持件8配合。
卡合輪廓5d和互補形狀8a的截面使夾持件8具有一個傾斜作用，該傾斜作用由一個對部件9的夾緊作用引起，部件9接合在所述零件8的壁厚中，并且貼靠在框架7的一部分卡合邊緣上。該組夾持件8的卡合形狀8a以表面貼靠在靶2的周邊上，以便如下所述地固定靶。
圖5示出框架5的卡合邊緣5d和夾持件8的互補卡合形狀8a截面輪廓的一個優選實施例。
卡合和互鎖邊緣5d由一個限定一個直槽5d2的偏置直線型材5d1構成。直線型材5d1通過一個傾斜面5d4與一個支承面5d3連接。
夾持件8的互補形狀由一個能夠卡在框架5的偏置直線型材5d1上的直槽8a1構成。直槽8a1限定一個與一個溝槽5d2配合的突出部8a2。突出部A2從一個用于與靶2的周邊配合的傾斜支承面8a3伸出。
在夾持件8的截面嵌在框架5的卡合和互鎖輪廓截面中之后(直槽8a1中的突出部8a2接合在型材5d的溝槽5d2中)，只要操作部件9，使夾持件8產生傾斜作用即可。為此，部件9由一些緊固螺釘構成，這些緊固螺釘結合在零件8的壁厚中，在卡合形狀8a的下面，并且貼靠在框架5的傾斜連接面5d4處。
圖3示出擰緊緊固螺釘9之前的零件8，而圖4示出擰緊緊固螺釘9以后的零件8。可以看到，擰緊和夾緊后，傾斜面8a3貼靠在靶2的周邊上。
如圖1、2所示，夾持件8被適當切割，一旦它們相鄰地組裝后，形成一個包圍并完全封閉靶2的四個邊的封閉周邊框架，限定一個用于濺射的自由中心區。換句話說，組裝后，零件8重新形成框架5的幾何形狀。
由于零件8和框架5的卡合輪廓形狀的重疊，不同的零件8是互相獨立的。某些零件8具有至少一個斜切邊，以便形成角部，而另一些零件是直的，以便通過滑動插在兩個尤其預先相對框架5定位的零件之間。
如果考慮圖1、2所示的例子，夾持件8由兩個零件8A和8B、四個零件8C和兩個零件8D構成。零件8A、8B與框架的兩個短邊對應，并且每一端被斜切。四個零件8C的其中一端被斜切，以便相對零件8A和8B定位。最后，在框架同一側的兩個零件8C在兩個零件8D安裝后插入。
由于這樣的布置，靶2的安裝和拆卸特別簡單、迅速。實際上，只需松開緊固螺釘9即可拆卸夾持件8。
同樣，新的靶2的安裝非常快。如已經指出的，使靶2在框架7內定位后，只需使夾持件8重新定位并擰緊緊固螺釘9即可，以便使所述零件8產生傾斜(圖4)。顯然，是夾持件8和框架5的匹配輪廓截面、而不是鎖緊螺釘固定了靶。
根據本發明的一個重要特征，根據本發明的特征限定的陰極組件安裝在端板1上，在機器的一個容易取出的部分上。機器的該部分可以有利地由一個門構成。
需要指出的是，夾持件8可以由或不由與濺射靶相同的材料制成。
從以上描述可以清楚地看到本發明的優點。
權利要求
1.用于真空濺射處理機的陰極，它包括一個安裝在一個支座(3)上的靶板(2)，支座(3)作為冷卻器，其特征在于，支座(3)與一個框架(5)連接在一起，框架(5)限定一個用于靶(2)的定位和對中的封閉空間(6)；所述框架(5)在周邊具有一個成型的卡合邊緣(5d)，卡合邊緣能夠與一組具有互補卡合形狀(8a)的獨立夾持件(8)配合，互補卡合形狀(8a)可允許所述零件(8)具有一個傾斜作用，該傾斜作用由施加在部件(9)上的一個夾緊動作而引起，部件(9)接合在零件的壁厚中，并貼靠在框架(5)的一部分卡合邊緣的上，使得在所述傾斜作用下，該組夾持件(8)的一部分卡合形狀以表面貼靠在靶(2)的周邊上，以使靶固定。
2.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，該組夾持件(8)被適當切割，一旦它們相鄰地組裝后，形成一個包圍并完全封閉靶的四個邊的封閉周邊框架，限定一個用于濺射的自由中心區。
3.如權利要求2所述的陰極，其特征在于，一些零件(8)具有至少一個斜切邊，以便形成角部，而另一些零件(8)是直的，以便通過滑動插在兩個尤其預先相對框架定位的角部零件之間。
4.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，部件(9)是緊固螺釘。
5.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，框架(5)的卡合和互鎖邊緣由一個限定一個直槽(5d2)的偏置直線型材構成。
6.如權利要求1或5所述的陰極，其特征在于，夾持件(8)的互補卡合形狀由一個與框架(5)的偏置直線型材配合的直槽(8a1)構成，并且直槽(8a1)限定一個與溝槽(5d2)配合的突出部，以便在鎖緊作用下產生傾斜作用。
7.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，支座具有薄膜(4)。
8.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，支座(3)安裝在機器的一個容易取出的部分上。
9.如權利要求8所述的陰極，其特征在于，機器的該部分構成一個門。
10.如權利要求1所述的陰極，其特征在于，夾持件(8)由或不由與濺射靶(2)相同的材料制成。
全文摘要
本發明涉及一種用于真空濺射處理機的陰極，包括一個安裝在一個支座(3)上的靶板(2)，支座(3)作為冷卻器，其特征在于，支座(3)與一個框架(5)連接，框架(5)限定一個用于靶(2)的定位和對中的封閉空間(6)，所述框架(5)在周邊具有一個成型的卡合邊緣(5d)，卡合邊緣能夠與一組具有互補卡合形狀(8a)的獨立夾持件(8)配合，卡合形狀(8a)允許所述零件(8)具有一個傾斜作用，該傾斜作用由施加在部件(9)上的鎖緊動作引起，部件(9)接合在零件的壁厚中，并貼靠框架(5)的一部分卡合邊緣，使得該組夾持件(8)的一部分卡合形狀在傾斜作用下以表面貼靠在靶(2)的周邊上，以固定靶。
文檔編號H01J37/34GK1679137SQ03819910
公開日2005年10月5日 申請日期2003年7月8日 優先權日2002年7月10日
發明者M·奧拉涅, L·拉巴爾姆 申請人:泰克瑪西納股份有限公司