可調高度差的顯微鏡組合載物臺的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于一種顯微鏡載物臺，具體涉及一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺。
【背景技術】
[0002]光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡是失效分析及檢測領域常用的實驗設備。受成像原理所限，顯微鏡很難同時檢測到不同高度的多件樣品。尤其是在樣品觀察面高度差別很大的情況下，在高倍觀察下方樣品時，顯微鏡鏡頭容易與上方樣品發生磕碰甚至損壞。為避免這種情況的發生，必須要對樣品按照高度進行分類，相近高度的樣品編為一組，高度差別較大的樣品組只能分批觀察。常規掃描電子顯微鏡的樣品室需要在真空條件下運行，在更換樣品組時需要重復破真空、抽真空的過程，由于該過程時間相對較長，大大降低了檢測效率。如何同時檢測觀察面高度差別較大的多件樣品是該技術領域亟待解決的問題。

【發明內容】

[0003]本發明是為了克服現有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺。
[0004]本發明的技術方案是:
一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，包括套筒，在套筒內安裝固定樣品臺和移動樣品臺，套筒和固定樣品臺通過螺釘連接，套筒和移動樣品臺通過螺紋連接；
所述套筒內壁形成內螺紋，底部形成沉孔，內底面向上凸起形成內凸臺，內凸臺中部形成凹槽；
所述固定樣品臺由半圓柱型上部和圓柱型下部形成，下部向下形成凸臺，凸臺中間形成安裝螺孔，上部形成多個固定臺樣品槽；
所述移動樣品臺呈圓柱型，外圓周面形成外螺紋，上端形成凸緣，中間形成異形孔，異形孔縱截面呈反L形，上段為半圓孔，下段為圓孔，移動樣品臺未形成異形孔的位置形成多個移動臺樣品槽；
所述套筒、固定樣品臺、移動樣品臺和螺釘同軸。
[0005]所述半圓孔的孔徑及孔深與固定樣品臺的上部尺寸相配合，圓孔的孔徑及孔深與固定樣品臺的下部尺寸相配合。
[0006]所述固定樣品臺的下部外徑與內凸臺外徑相同。
[0007]所述固定臺樣品槽和移動臺樣品槽的橫截面形狀是圓形或者橢圓形或者多邊形的任意一種。
[0008]所述凸臺的形狀是圓臺型或者錐臺型或者半球型或者球冠型的任意一種。
[0009]本發明的有益效果是:
本發明結構簡單，操作方便，可以同時檢測高度差較大的多件樣品，避免了因樣品高度差帶來的反復換裝樣品、磕碰顯微鏡鏡頭等問題，有效地增加了單次檢測的樣品數量，提高了檢測效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發明的立體結構示意圖；
圖2是本發明的俯視圖；
圖3是圖2中沿A-A向的剖面圖；
圖4是本發明中套筒的剖面圖；
圖5是本發明中套筒的俯視圖；
圖6是本發明中固定樣品臺的俯視圖；
圖7是圖6中沿B-B向的剖面圖；
圖8是本發明中移動樣品臺的俯視圖；
圖9是圖8中沿C-C向的剖面圖。
[0011]其中:
I套筒2固定樣品臺
3移動樣品臺4螺釘
11凹槽12沉孔
13內凸臺21凸臺
22安裝螺孔23上部
24下部25固定臺樣品槽
31凸緣32異形孔
33移動臺樣品槽 321半圓孔 322 圓孔。
【具體實施方式】
[0012]下面結合說明書附圖及實施例對本發明可調高度差的顯微鏡組合載物臺進行詳細說明:
如圖1~3所示，一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，包括套筒1，在套筒I內安裝固定樣品臺2和移動樣品臺3，套筒I和固定樣品臺2通過螺釘4連接，套筒I和移動樣品臺3通過螺紋連接；所述套筒1、固定樣品臺2、移動樣品臺3和螺釘4同軸。
[0013]如圖4、5所示，所述套筒I內壁形成內螺紋，底部形成沉孔12，內底面向上凸起形成內凸臺13，內凸臺13中部形成凹槽11，沉孔12與凹槽11連通。
[0014]如圖6、7所示，所述固定樣品臺2由半圓柱型上部23和圓柱型下部24形成，下部24向下形成凸臺21，凸臺21中間形成安裝螺孔22，上部形成多個固定臺樣品槽25，本實施例為6個圓柱型樣品槽；
如圖8、9所示，所述移動樣品臺3呈圓柱型，外圓周面形成外螺紋，上端形成環形凸緣31，中間形成異形孔32，異形孔32縱截面呈反L形，上段為半圓孔321，下段為圓孔322，移動樣品臺3未形成異形孔32的位置形成多個移動臺樣品槽33，本實施例為7個圓柱型樣品槽；
凸臺21置于凹槽11內，螺釘4穿過沉孔12和安裝螺孔22將固定樣品臺2與套筒I固定，移動樣品臺3外螺紋與套筒I內螺紋配合，固定樣品臺2伸入異形孔32中。
[0015]所述半圓孔321的孔徑及孔深與固定樣品臺2的上部23尺寸相配合，圓孔322的孔徑及孔深與固定樣品臺2的下部24尺寸相配合。
[0016]所述固定樣品臺2的下部24外徑與內凸臺13外徑相同。
[0017]所述固定釘4與固定高度樣品臺2之間的連接方式是螺紋連接、鉚接或膠接。
[0018]所述固定臺樣品槽25和移動臺樣品槽33的橫截面形狀是圓形或者橢圓形或者多邊形的任意一種。
[0019]所述凸臺21的形狀是圓臺型或者錐臺型或者半球型或者球冠型的任意一種。
[0020]本發明的使用方法:
使用時，可以將高度較高的樣品組放入固定樣品臺2表面的固定臺樣品槽25內，將較低的樣品組放置在移動樣品臺3的移動臺樣品槽33內，轉動移動樣品臺3上端的環狀凸緣31，根據兩組樣品的高度差，調節螺紋的旋入深度，使兩組樣品的觀察面保持在同一觀察平面附近。
【主權項】
1.一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:包括套筒(1)，在套筒(I)內安裝固定樣品臺(2)和移動樣品臺(3)，套筒(I)和固定樣品臺(2)通過螺釘(4)連接，套筒(I)和移動樣品臺(3 )通過螺紋連接； 所述套筒(I)內壁形成內螺紋，底部形成沉孔(12)，內底面向上凸起形成內凸臺(13)，內凸臺(13)中部形成凹槽(11); 所述固定樣品臺(2)由半圓柱型上部(23)和圓柱型下部(24)形成，下部(24)向下形成凸臺(21)，凸臺(21)中間形成安裝螺孔(22)，上部形成多個固定臺樣品槽(25); 所述移動樣品臺(3)呈圓柱型，外圓周面形成外螺紋，上端形成凸緣(31)，中間形成異形孔(32)，異形孔(32)縱截面呈反L形，上段為半圓孔(321)，下段為圓孔(322)，移動樣品臺(3)未形成異形孔(32)的位置形成多個移動臺樣品槽(33)。2.根據權利要求1所述的一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:所述套筒(I)、固定樣品臺(2)、移動樣品臺(3)和螺釘(4)同軸。3.根據權利要求1所述的一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:所述半圓孔(321)的孔徑及孔深與固定樣品臺(2)的上部(23)尺寸相配合，圓孔(322)的孔徑及孔深與固定樣品臺(2 )的下部(24 )尺寸相配合。4.根據權利要求1所述的一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:所述固定樣品臺(2 )的下部(24)外徑與內凸臺(13 )外徑相同。5.根據權利要求1所述的一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:所述固定臺樣品槽(25)和移動臺樣品槽(33)的橫截面形狀是圓形或者橢圓形或者多邊形的任意一種O6.根據權利要求1所述的一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，其特征在于:所述凸臺(21)的形狀是圓臺型或者錐臺型或者半球型或者球冠型的任意一種。
【專利摘要】本發明公開了一種可調高度差的顯微鏡組合載物臺，包括套筒，在套筒內安裝固定樣品臺和移動樣品臺，套筒和固定樣品臺通過螺釘連接，套筒和移動樣品臺通過螺紋連接；套筒內壁形成內螺紋，底部形成沉孔，內底面形成內凸臺，內凸臺中部形成凹槽；固定樣品臺由半圓柱型上部和圓柱型下部形成，下部向下形成凸臺，凸臺中間形成安裝螺孔，上部形成多個樣品槽；移動樣品臺呈圓柱型，外圓周面形成外螺紋，上端形成凸緣，中間形成異形孔。本發明結構簡單，操作方便，可以同時檢測高度差較大的多件樣品，避免了因樣品高度差帶來的反復換裝樣品、磕碰顯微鏡鏡頭等問題，有效地增加了單次檢測的樣品數量，提高了檢測效率。
【IPC分類】G02B21/34, G02B21/26
【公開號】CN105093512
【申請號】CN201510602051
【發明人】李昂, 吳雷, 趙凱, 韓秋良, 吳福, 高蔚, 鄭曉靜, 賀平
【申請人】核工業理化工程研究院
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年9月21日