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外延片曝光裝置的制作方法

文(wen)檔序號(hao):11152889閱讀:738來源:國(guo)知局(ju)
外延片曝光裝置的制造方法

本(ben)發明涉及一(yi)種成(cheng)像(xiang)裝置(zhi),特別涉及一(yi)種外延(yan)片曝光(guang)裝置(zhi)。



背景技術:

在(zai)信息發展迅速的(de)(de)(de)(de)(de)時代,人們在(zai)其所從事的(de)(de)(de)(de)(de)大量社(she)會(hui)活(huo)動中發現,僅僅靠原(yuan)(yuan)(yuan)始(shi)(shi)資料和文件作(zuo)為唯一(yi)(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)(yuan)(yuan)始(shi)(shi)檔(dang)案保存(cun)、提供各種(zhong)利用(yong)服(fu)務已經不能滿(man)足(zu)當前需求了(le)。社(she)會(hui)的(de)(de)(de)(de)(de)團體和個人及各方(fang)都需要收(shou)集和獲得一(yi)(yi)些(xie)有力(li)的(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)(yuan)(yuan)始(shi)(shi)材料,這(zhe)些(xie)原(yuan)(yuan)(yuan)始(shi)(shi)材料是社(she)會(hui)活(huo)動中不可缺少的(de)(de)(de)(de)(de)法(fa)律憑證(zheng)、各種(zhong)活(huo)動和學習的(de)(de)(de)(de)(de)信息資源,而這(zhe)些(xie)信息資源可以通(tong)過縮微攝(she)像的(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)法(fa),然(ran)后制出原(yuan)(yuan)(yuan)件的(de)(de)(de)(de)(de)副本,縮微品上的(de)(de)(de)(de)(de)影像信息是原(yuan)(yuan)(yuan)件的(de)(de)(de)(de)(de)真實(shi)記(ji)錄,并可真實(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)再(zai)現原(yuan)(yuan)(yuan)始(shi)(shi)文件的(de)(de)(de)(de)(de)信息內容,是一(yi)(yi)種(zhong)非(fei)常(chang)先進的(de)(de)(de)(de)(de)保存(cun)方(fang)法(fa)。但一(yi)(yi)般(ban)的(de)(de)(de)(de)(de)影像裝(zhuang)置(zhi)無法(fa)實(shi)現這(zhe)一(yi)(yi)原(yuan)(yuan)(yuan)理,需要專門(men)的(de)(de)(de)(de)(de)外延片曝(pu)光裝(zhuang)置(zhi)才能更(geng)好的(de)(de)(de)(de)(de)進行曝(pu)光攝(she)像,以便作(zuo)出真實(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)影像,防(fang)患于(yu)未然(ran)。



技術實現要素:

本發明要解(jie)決的(de)(de)技術問(wen)題是:克服上述問(wen)題,提供一種提高(gao)了(le)設(she)(she)備的(de)(de)制動化和智能化程度,使得安全系數大幅度提高(gao),提高(gao)了(le)曝光精度,使其線條更(geng)加均(jun)勻(yun),同(tong)時(shi)延長了(le)曝光設(she)(she)備的(de)(de)使用(yong)壽命的(de)(de)外(wai)延片曝光裝置(zhi)。

為了實(shi)現上(shang)述(shu)目(mu)的,本發明采用的技(ji)術方案是這樣(yang)的:本發明的外(wai)延(yan)片曝(pu)光裝(zhuang)(zhuang)置(zhi),包括影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi),影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi)頂部設有(you)(you)數字電子(zi)偏振畫(hua)面(mian)(mian)捕捉(zhuo)結(jie)構,數字電子(zi)偏振畫(hua)面(mian)(mian)捕捉(zhuo)結(jie)構與(yu)(yu)影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi)之(zhi)(zhi)(zhi)間安裝(zhuang)(zhuang)有(you)(you)曝(pu)光燈(deng),數字電子(zi)偏振畫(hua)面(mian)(mian)捕捉(zhuo)結(jie)構與(yu)(yu)影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi)之(zhi)(zhi)(zhi)間通(tong)過(guo)可調(diao)節裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)連(lian)接,影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi)底部位于一操(cao)作(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)(tai)上(shang),影像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器(qi)與(yu)(yu)操(cao)作(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)(tai)之(zhi)(zhi)(zhi)間鉸接,操(cao)作(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)(tai)靠近兩(liang)側面(mian)(mian)下表面(mian)(mian)處安裝(zhuang)(zhuang)有(you)(you)云臺(tai)(tai)(tai),云臺(tai)(tai)(tai)與(yu)(yu)操(cao)作(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)(tai)之(zhi)(zhi)(zhi)間固定(ding)(ding)(ding)連(lian)接,兩(liang)云臺(tai)(tai)(tai)之(zhi)(zhi)(zhi)間連(lian)接有(you)(you)耗(hao)(hao)能(neng)板(ban)(ban)(ban),耗(hao)(hao)能(neng)板(ban)(ban)(ban)不止(zhi)一個(ge)(ge),耗(hao)(hao)能(neng)板(ban)(ban)(ban)上(shang)設有(you)(you)導(dao)軌,導(dao)軌豎向設置(zhi)在耗(hao)(hao)能(neng)板(ban)(ban)(ban)上(shang),導(dao)軌頂部位于操(cao)作(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)(tai)上(shang),導(dao)軌為兩(liang)個(ge)(ge),兩(liang)導(dao)軌之(zhi)(zhi)(zhi)間設有(you)(you)光源,光源固定(ding)(ding)(ding)在兩(liang)導(dao)軌之(zhi)(zhi)(zhi)間,光源上(shang)設有(you)(you)激光器(qi)。

進一(yi)步的,作為一(yi)種具體(ti)的結構形式,本(ben)發明(ming)所述光源采用冷(leng)光紫外(wai)線燈。

進一步的(de),作為一種(zhong)具體(ti)的(de)結(jie)構形式,本發明所述影像(xiang)定準器與(yu)數字電子偏振(zhen)畫面捕捉結(jie)構之間設有密封圈。

進一步的,作(zuo)為一種具體的結構(gou)形(xing)式,本發明所述影像定準器上(shang)設有(you)保護罩。

進一(yi)步(bu)的,作(zuo)為(wei)一(yi)種具體的結構形式(shi),本發明所述激光器為(wei)兩個圓形反射板(ban),且(qie)兩圓形反射板(ban)豎向(xiang)排列(lie)在光源上。

進一步(bu)的(de),作為一種具體(ti)的(de)結構(gou)形式,本發(fa)明所述操作平臺采(cai)用有機玻(bo)璃制成。

進一步的,作(zuo)(zuo)為一種(zhong)具體的結構(gou)形式(shi),本發明所述云(yun)臺通(tong)過玻璃膠與操(cao)作(zuo)(zuo)平臺連(lian)接。

進一(yi)步的,作(zuo)為一(yi)種具(ju)體的結構形式,本發(fa)明(ming)所述(shu)操作(zuo)平臺與(yu)影像定準器之間設(she)有支撐凸(tu)塊(kuai),支撐凸(tu)塊(kuai)由(you)金(jin)屬(shu)材料制成。

進一步的(de),作為一種具體(ti)的(de)結構形式,本發明所述(shu)導軌采(cai)用(yong)不銹鋼材(cai)料制成(cheng)。

進一(yi)步的,作為一(yi)種具體的結構形式(shi),本發明(ming)所述導軌(gui)內設有傳送皮帶。

與現(xian)有(you)技術(shu)相(xiang)比,本發明的優點(dian)在于:本外(wai)延片曝光裝(zhuang)置提高了(le)設備的制動化和智能化程(cheng)度(du),使得(de)安全系(xi)數大(da)幅度(du)提高,提高了(le)曝光精度(du),使其線(xian)條更加均勻,同時(shi)延長了(le)曝光設備的使用(yong)壽(shou)命,具有(you)良好的調節性,調試(shi)簡單,方便操作(zuo)。

附圖說明

下面(mian)結合附圖和實施(shi)例對本(ben)發明進一步說(shuo)明。

圖(tu)1為本(ben)發明的(de)結構示意圖(tu);

圖(tu)中:1.影像定準(zhun)器;2.數字(zi)電子偏振畫面捕捉結(jie)構;3.曝(pu)光(guang)燈(deng);4.操作平(ping)臺;5.云臺;6.耗能板;7.導軌(gui);8.光(guang)源;9.激光(guang)器。

具體實施方式

現在(zai)結合附(fu)圖(tu)對(dui)本(ben)(ben)發(fa)明(ming)作進一步詳細的(de)說明(ming)。這(zhe)些附(fu)圖(tu)均為簡(jian)化的(de)示意(yi)圖(tu),僅(jin)以(yi)示意(yi)方式(shi)說明(ming)本(ben)(ben)發(fa)明(ming)的(de)基本(ben)(ben)結構(gou),因此其(qi)僅(jin)顯(xian)示與本(ben)(ben)發(fa)明(ming)有關的(de)構(gou)成。

如圖1所(suo)示的(de)本(ben)發(fa)明外延片曝(pu)(pu)光(guang)裝置(zhi)的(de)優選實施例,包括影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1,影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1頂部設(she)有(you)(you)數(shu)字(zi)電(dian)(dian)子(zi)偏(pian)(pian)振畫(hua)(hua)面(mian)捕捉(zhuo)結構(gou)(gou)(gou)2,數(shu)字(zi)電(dian)(dian)子(zi)偏(pian)(pian)振畫(hua)(hua)面(mian)捕捉(zhuo)結構(gou)(gou)(gou)2與(yu)(yu)影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1之(zhi)(zhi)間安裝有(you)(you)曝(pu)(pu)光(guang)燈3,數(shu)字(zi)電(dian)(dian)子(zi)偏(pian)(pian)振畫(hua)(hua)面(mian)捕捉(zhuo)結構(gou)(gou)(gou)2與(yu)(yu)影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1之(zhi)(zhi)間通(tong)過可調(diao)節裝置(zhi)連接,影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1底部位于(yu)一操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4上,影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1與(yu)(yu)操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4之(zhi)(zhi)間鉸接,操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4靠近(jin)兩(liang)(liang)(liang)側面(mian)下表(biao)面(mian)處安裝有(you)(you)云(yun)臺(tai)(tai)5,云(yun)臺(tai)(tai)5與(yu)(yu)操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4之(zhi)(zhi)間固(gu)定(ding)(ding)(ding)連接,兩(liang)(liang)(liang)云(yun)臺(tai)(tai)5之(zhi)(zhi)間連接有(you)(you)耗(hao)(hao)能板(ban)(ban)6,耗(hao)(hao)能板(ban)(ban)6不(bu)止一個,耗(hao)(hao)能板(ban)(ban)6上設(she)有(you)(you)導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7,導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7豎(shu)向設(she)置(zhi)在耗(hao)(hao)能板(ban)(ban)6上,導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7頂部位于(yu)操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4上,導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7為兩(liang)(liang)(liang)個,兩(liang)(liang)(liang)導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7之(zhi)(zhi)間設(she)有(you)(you)光(guang)源(yuan)(yuan)8,光(guang)源(yuan)(yuan)8固(gu)定(ding)(ding)(ding)在兩(liang)(liang)(liang)導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7之(zhi)(zhi)間,光(guang)源(yuan)(yuan)8上設(she)有(you)(you)激光(guang)器(qi)9,所(suo)述光(guang)源(yuan)(yuan)8采(cai)用(yong)冷光(guang)紫外線燈,所(suo)述影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1與(yu)(yu)數(shu)字(zi)電(dian)(dian)子(zi)偏(pian)(pian)振畫(hua)(hua)面(mian)捕捉(zhuo)結構(gou)(gou)(gou)2之(zhi)(zhi)間設(she)有(you)(you)密封圈,所(suo)述影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1上設(she)有(you)(you)保護(hu)罩,所(suo)述激光(guang)器(qi)9為兩(liang)(liang)(liang)個圓(yuan)形反射板(ban)(ban),且兩(liang)(liang)(liang)圓(yuan)形反射板(ban)(ban)豎(shu)向排列在光(guang)源(yuan)(yuan)8上,所(suo)述操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4采(cai)用(yong)有(you)(you)機玻璃制(zhi)(zhi)成(cheng),所(suo)述云(yun)臺(tai)(tai)5通(tong)過玻璃膠與(yu)(yu)操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4連接,所(suo)述操作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)平(ping)臺(tai)(tai)4與(yu)(yu)影(ying)像(xiang)定(ding)(ding)(ding)準(zhun)器(qi)1之(zhi)(zhi)間設(she)有(you)(you)支(zhi)撐(cheng)(cheng)凸塊(kuai)(kuai),支(zhi)撐(cheng)(cheng)凸塊(kuai)(kuai)由(you)金(jin)屬材(cai)料(liao)(liao)制(zhi)(zhi)成(cheng),所(suo)述導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7采(cai)用(yong)不(bu)銹鋼材(cai)料(liao)(liao)制(zhi)(zhi)成(cheng),所(suo)述導(dao)(dao)軌(gui)(gui)7內設(she)有(you)(you)傳送皮帶。

本發(fa)明(ming)的外延片曝(pu)光(guang)裝置提高(gao)(gao)(gao)了設(she)(she)備的制(zhi)(zhi)動化和智能(neng)(neng)化程度,使得安全系數大幅(fu)度提高(gao)(gao)(gao),提高(gao)(gao)(gao)了曝(pu)光(guang)精度,使其(qi)(qi)線條更加(jia)均勻,同時延長(chang)了曝(pu)光(guang)設(she)(she)備的使用(yong)(yong)(yong)(yong)壽命,具有(you)(you)良好的調(diao)節性,調(diao)試簡單,方便操作(zuo)。所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)光(guang)源8采用(yong)(yong)(yong)(yong)冷光(guang)紫外線燈,曝(pu)光(guang)效(xiao)果更好;所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)影像定(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器1與數字(zi)電子偏振(zhen)畫面捕捉結構(gou)2之間設(she)(she)有(you)(you)密(mi)封圈,使其(qi)(qi)影像定(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器1與數字(zi)電子偏振(zhen)畫面捕捉結構(gou)2能(neng)(neng)進(jin)(jin)行緊密(mi)的連接;所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)影像定(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器1上設(she)(she)有(you)(you)保護(hu)罩(zhao),能(neng)(neng)夠(gou)對(dui)影像定(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器1起(qi)到保護(hu)作(zuo)用(yong)(yong)(yong)(yong);所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)激(ji)光(guang)器9為兩個圓形(xing)反(fan)射板(ban),且(qie)兩圓形(xing)反(fan)射板(ban)豎向排列在光(guang)源8上,反(fan)射效(xiao)果極佳;所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)操作(zuo)平臺4采用(yong)(yong)(yong)(yong)有(you)(you)機玻璃制(zhi)(zhi)成(cheng),不(bu)易開裂破損(sun);所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)操作(zuo)平臺4與影像定(ding)(ding)準(zhun)(zhun)器1之間設(she)(she)有(you)(you)支(zhi)(zhi)撐凸塊,支(zhi)(zhi)撐凸塊由(you)金屬(shu)材料制(zhi)(zhi)成(cheng),能(neng)(neng)起(qi)到良好的支(zhi)(zhi)撐作(zuo)用(yong)(yong)(yong)(yong);所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)導(dao)(dao)軌7采用(yong)(yong)(yong)(yong)不(bu)銹鋼(gang)材料制(zhi)(zhi)成(cheng),延長(chang)了導(dao)(dao)軌的使用(yong)(yong)(yong)(yong)壽命;所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)導(dao)(dao)軌7內設(she)(she)有(you)(you)傳送(song)皮帶(dai),方便進(jin)(jin)行傳送(song)。

以上述依據(ju)本發明的(de)(de)理想實施例為(wei)啟示,通過上述的(de)(de)說明內(nei)(nei)容,相關工作人員完全可以在不(bu)偏離本項發明技(ji)術(shu)思想的(de)(de)范(fan)圍(wei)內(nei)(nei),進行多樣(yang)的(de)(de)變更以及修改。本項發明的(de)(de)技(ji)術(shu)性范(fan)圍(wei)并(bing)不(bu)局限于說明書(shu)上的(de)(de)內(nei)(nei)容,必須要根(gen)據(ju)權利要求(qiu)范(fan)圍(wei)來確定(ding)其技(ji)術(shu)性范(fan)圍(wei)。

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