基于聚合物的多層氣體阻隔膜的制作方法
【專利摘要】一種基于聚合物的多層膜包括所需性能如較高耐化學性和較好氣體阻隔性能的組合。具體地，在多種實施方案中，多層膜可以包括至少一個具有較高耐化學性的層和至少一個具有較好氣體阻隔性能的其他層。在一個特別的實施方案中，本發明涉及多層膜結構，其具有含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的核心層以及可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且包含全氟化的含氟聚合物的外層。核心層可以是含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的共混層，或核心層可以是具有至少一個含有氯的含氟聚合物的層及至少一個含有氯和氧的含氟聚合物的層的夾層結構。
【專利說明】基于聚合物的多層氣體阻隔膜發明領域
[0001]本發明涉及基于聚合物的多層氣體阻隔膜。特別地，本發明涉及具有較好耐化學性和較高氣體阻隔性能的基于聚合物的(polymer-based)或基于含氟聚合物的(fluoropolymer-based)多層膜(multilayer film)。更具體地,本發明涉及具有較好耐化學性和較高氣體阻隔性能的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜，其用于制造，例如但是不限于，用于基于襯里的儲存和分配系統的襯里。
[0002]發明背景
[0003]許多制造過程需要使用超純液體，如酸，溶劑，堿，光致抗蝕劑，漿料，清潔制劑，摻雜劑，無機、有機、金屬有機和生物溶劑，藥物，以及放射活性化學品。這樣的應用要求在超純液體中的粒子的數量和尺寸最小化。特別地，因為超純液體用在微電子制造工藝的許多方面中，所以半導體制造商對于工藝化學品和化學處理設備已經建立了嚴格的粒子濃度規范。需要這樣的規范，因為，如果在制造工藝中所用的液體含有高水平的粒子或氣泡，則該粒子或氣泡可能沉積在硅的固體表面上。這又可以導致產品故障以及降低的品質和可靠性。
[0004]因此，這樣的超純液體的儲存、運輸和分配需要能夠對所保持的液體提供充分保護的容器。基于可收縮(坍塌，collapsible)襯里的容器，如ARMI, Inc.銷售的NOWPak?分配系統，通過在分配的同時用氣體或流體在襯里上加壓，而不是直接在容器中的液體上加壓，能夠減少這樣的氣-液界面。具體地，這樣的分配系統可以包括間接壓力分配連接器，其包括加壓氣體入口，該加壓氣體入口通常允許管線內氣體壓力被插入通過分配連接器或者與分配連接器偶聯，并且與在襯里和外部第二層包裝(overpack)之間的環形空間流體連通。在這樣的系統中，加壓流體、氣體或其它合適的物質可以被引入到環形空間中，引起襯里遠離該第二層包裝壁收縮，從而推動襯里的內容物通過間接壓力分配連接器的液體出口流出。
[0005]在這樣的壓力分配應用中，氣體可以滲透或者以其他方式不期望地被弓丨導穿過襯里材料，從而隨時間污染所保持的液體，因為氣體將被允許進入溶液并且不期望地進入制造工藝中，例如，作為氣泡在半導體晶片上。此外，取決于在基于襯里的系統中儲存的內容物，襯里可能需要由具有高耐化學性的材料制造。例如，全氟烷氧基(PFA)是已知的對于危險材料如對于光致抗蝕劑具有極大耐化學性的含氟聚合物。然而，在需要氣體阻隔性能的情況下，如在上述的間接壓力分配應用中，PFA作為襯里材料的使用受到限制。聚三氟氯乙烯(PCTFE)是已知的具有相當好的氣體阻隔性能的含氟聚合物。然而，PCTFE具有較差的耐化學性和差的自身可焊性。使用聚乙烯或尼龍制得的其他常規襯里類似地提供相當好的氣體阻隔性能，但是具有較差的耐化學性。
[0006]因此，在本【技術領域】存在著對于基于聚合物的多層氣體阻隔膜、特別是具有較好耐化學性和較高氣體阻隔性能的基于含氟聚合物的多層膜的需要。更具體地，存在著對于具有較高氣體阻隔性能的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的需要，其用于制造，例如但是不限于，用于基于襯里的儲存和分配系統的襯里。通常，這樣的襯里的內容物包括可以非常昂貴，例如，高至約$2，500/L以上的物質。因此，即使是在耐化學性和/或在間接壓力分配應用期間降低氣體滲透進入襯里的量的能力上的小提高也可以是期望的。
[0007]發明概述
[0008]在一個實施方案中，本發明涉及多層膜，其包括所需的或有利的性能，如較高耐化學性和較好氣體阻隔性能的組合。具體地，在本發明的各種實施方案中，多層膜可以包括至少一個具有較高耐化學性的層和至少一個具有較好氣體阻隔性能的其他層。更具體地，在本發明的各種實施方案中，多層膜可以包括至少一個具有較高耐化學性的外層和至少一個具有較好氣體阻隔性能的其他層，如但不限于內層。
[0009]在另一個實施方案中，本發明涉及具有核心層和外層的多層膜結構，所述核心層含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物，所述外層可操作地結合(粘結，bond)在所述核心層的一個側面上并且包含全氟化的含氟聚合物。在一些實施方案中，含有氯的含氟聚合物可以是PCTFE，且含有氯和氧的含氟聚合物可以是在添加PCTFE的聚合期間改性的PFA，如CPT。多層膜結構也可以包括可操作地結合在所述核心層的相反側上并且包含全氟化的含氟聚合物的第二外層。在一些實施方案中，所述外層之一或兩者的全氟化的含氟聚合物可以是PFA。核心層可以是含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的共混層，或核心層可以是具有至少一個含有氯的含氟聚合物的層及至少一個含有氯和氧的含氟聚合物的層的夾層結構。膜結構可以配置為使得滲透通過其的氮氣的流通率(flux rate)為小于7cc/天/m2/atm,且優選小于Icc/天/m2/atm。在一些實施方案中，核心層的約60%至約90%可以由含有氯的含氟聚合物組成，且核心層的約40%至約10%可以由含有氯和氧的含氟聚合物組成。同樣，多層膜的約60%至約90%可以由核心層組成，且多層膜的約40%至約10%可以由外層組成。多層膜結構可以具有約I密耳至約7密耳的總厚度。
[0010]在另外的實施方案中，本發明涉及用于制造上述類型的多層膜結構的方法。該方法可以包括擠出多個膜層以形成核心層和外層，所述核心層具有含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物，所述外層可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且具有全氟化的含氟聚合物。在一個實施方案中，多個膜層可以共擠出，以基本上同時地形成核心層和外層。含有氯的含氟聚合物可以是PCTFE和/或乙烯三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)。含有氯和氧的含氟聚合物可以是在添加PCTFE的聚合期間改性的PFA，如CPT。全氟化的含氟聚合物可以是PFA和/或氟化乙丙烯(FEP)。
[0011]在另一個實施方案中，本發明涉及具有多層膜內襯壁的襯里。該內襯壁包括具有含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的核心層，和可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且具有全氟化的含氟聚合物的外層。內襯壁可以配置為使得滲透通過其的氮氣的流通率小于7cc/天/m2/atm。核心層可以是含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的共混層，或核心層可以是具有至少一個含有氯的含氟聚合物的層及至少一個含有氯和氧的含氟聚合物的層的夾層結構。
[0012]盡管公開了多個實施方案，但是根據以下顯示和描述了本發明的說明性實施方案的詳細描述，本發明的的其他實施方案將對本領域技術人員來說變得明顯。如將認識到的，本發明的多種實施方案能夠在多個明顯的方面改變，所有都不脫離本發明的精神和范圍。因此，附圖和詳細描述將視為說明性的而不是限制性的。
[0013]附圖簡述
[0014]盡管說明書總結了具體指出并且清楚要求作為形成本發明的各種實施方案的主題的權利要求，但據信根據以下與附圖關聯的描述將更好地理解本發明，在附圖中:
[0015]圖1是依照本發明的一個實施方案的多層膜的示意圖。
[0016]詳細描述
[0017]本發明涉及新型且有利的基于聚合物的多層氣體阻隔膜。特別地，本發明涉及新型且有利的具有較好耐化學性和較高氣體阻隔性能的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜，其可以用于，例如但是不限于，制造用于基于襯里的儲存和分配系統的襯里。
[0018]根據本發明的多層膜可以包括常規的襯里材料的所需或有利的性能，如較高的耐化學性和較好氣體阻隔性能的組合。具體地，在本發明的各種實施方案中，多層膜可以包括至少一個具有較高耐化學性的層和至少一個具有較好氣體阻隔性能的其他層。更具體地，在本公開的各種實施方案中，多層膜可以包括至少一個具有較高耐化學性的外層和至少一個具有較好氣體阻隔性能的其他層，如但是不限于內層。在一個實施方案中，作為用于測量的基礎，通常用于壓力分配應用的滲透通過本發明的多層膜的氮(N2)氣的流通率可以為小于7cc/天/m2/atm,且在一些情況下優選小于4cc/天/m2/atm。
[0019]根據本發明的多層膜可以通過任何合適的方法制造。然而，在一個實施方案中，本發明的多層膜的多種實施方案可以使用擠出或共擠出工藝制造，以使材料的多層膜可以基本上同時地擠出。
[0020]如圖1中所示，在一個實施方案中，根據本發明的多層膜100可以包括核心層102和一個或多個外層104。核心層102可以被設計和制造為具有較好氣體阻隔性能。如上所述，在一些實施方案中，核心層102可以被設計為具有小于7cc/天/m2/atm、優選小于4cc/天/m2/atm、且更優選小于Icc/天/m2/atm的滲透通過核心層的N2氣體的流通率。一個或多個外層104可以被設計或選擇為具有較好或較高耐化學性。這樣，多層膜100 (由核心層102和一個或多個外層104組成)包括常規的襯里材料的所需或有利性能，如較高的耐化學性和較好氣體阻隔性能的組合。
[0021]在一個實施方案中，核心層102可以是材料的共混物或者本身可以是多種材料的多層結構，或兩者的組合。可以有選擇用于核心層102的任何合適數量的不同材料，并且，如果被制造為多層結構而不是共混物，核心層可以具有任何合適數量的層。共混的和/或層狀的核心層材料可以選自任何合適的材料，以使所得的核心層102具有較好的且在一些情況下較高的氣體阻隔性能，如上所述。在一個特別的實施方案中，核心層102可以包含含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物的共混物和/或層狀結構。在一個實施方案中，合適的含有氯的含氟聚合物可以是，但是不限于，聚三氟氯乙烯(PCTFE)。類似地，合適的含有氯和氧的含氟聚合物可以是，但是不限于，CPT,其是可商購自Daikin America, Inc.的改性的全氟烷氧基(PFA)，并且通常包含在聚合期間向PFA主鏈添加PCTFE側鏈，從而增加標準PFA的氣體和/或液體阻隔性能。然而，在制備CPT的工藝中，PFA的一些耐化學性性能受損。盡管關于PCTFE和CPT的共混物和/或層疊結構本文經常討論，然而應認識到，核心層102的PCTFE可以被其他合適的聚合物或材料，如但不限于聚偏二氟乙烯(PVDF)、乙烯三氟氯乙烯(ECTFE)或液晶聚合物(LCP)替代，并且關于PCTFE的討論不意味著限制。還應認識到，PCTFE(或其他合適的材料)和CPT不需要是形成核心層102的僅有的材料，并且可以在不脫離本發明的范圍的情況下另外引入其他材料。例如，在一個實施方案中，可以向核心層102中添加玻璃纖維。
[0022]用于核心層102的PCTFE(或其他合適的材料)與CPT (或其他合適的材料)的比率可以如對于特定應用和/或規格所需地進行選擇。即，核心層可以包含從接近0%直至接近100%的PCTFE并相應地可以分別包含從接近100%到接近0%的CPT。然而，在一個特別的實施方案中，核心層102可以包含約60%至約90%的PCTFE和約40%至約10%的CPT0甚至更特別地，在一個實施方案中，核心層102可以包含約80%的PCTFE和約20%的CPT0通常，本文公開的任何范圍應當解釋為不僅包括明確指出的具有規定端點值的范圍，而且包括在所指出范圍內的個體值和子范圍。這個原則同樣適用于僅限定一個數值的范圍(如“小于7cc/天/m2/atm〃)。此外，這種解釋應當與范圍的寬度或描述的特性無關地適用。
[0023]由于PCTFE具有約0.1cc/天/m2/atm的N2的滲透率并且CPT具有約0.9cc/天/m2/atm的N2的滲透率，所以在一個實施方案中，包含PCTFE和CPT的共混的核心層可以具有在約0.1和0.9cc/天/m2/atm之間的某處的所得滲透率。在包含多層結構而非共混物的核心層102的實施方案中，應認識到，層的數量和/或每個層的厚度可以對核心層102的所得阻隔性能具有總的作用。例如，多層膜通常可以由例如通過熔接由保持在一起的單個膜的若干層形成。隨著層的數量增加，阻隔性能的有效性也可以增加。類似地，每個層的厚度可以明顯地影響各個層之間的粘著強度以及多層膜的總體阻隔性能。具體地，隨著層厚度變得越小，在單個的層狀膜中的晶體更好地排列而對氣體分子形成更曲折或迂回的路徑，例如，從而增加多層膜的總體阻隔強度。在這點上，核心層102可以包括任何合適數量的層，并且考慮對于每個層的任何合適厚度，并且在各種情況下可以取決于所得多層膜100的所需應用或規格。在一個特別的實施方案中，核心層102可以包括多至4096個層或更多。甚至更特別地，在一個實施方案中，核心層102可以包括3至128個層。同樣，每個單個層可以具有從約I納米多至若干微米，如但是不限于，約100微米的厚度。
[0024]如上所述，多層膜100可以包括一個或多個外層104。外層材料可以選自任何合適的材料，以使外層104具有較好的并且在一些情況下較高的耐化學性，作為多層膜的至少一個側面，取決于意圖的用途，可以鄰接危險或腐蝕性的化學品。在一個特別的實施方案中，外層104可以包含全氟化的含氟聚合物。在另外的實施方案中，合適的全氟化的含氟聚合物可以是但不限于，PFA。盡管關于PFA本文經常討論，然而應認識到，外層104的PFA可以被其他合適的聚合物或材料，如但是不限于氟化乙丙烯(FEP)或乙烯四氟乙烯(ETFE)替代，并且關于PFA的討論不意味著限制。還應認識到，PFA (或其他合適的材料)不需要是形成外層104的僅有的材料，并且可以在不脫離本發明的范圍的情況下另外引入其他材料。
[0025]多層膜100可以僅在核心層102的一個側面上具有外層104，或者可以在核心層102的每一個側面上具有外層104。在另外的實施方案中，每個外層104本身可以由材料的共混物或材料的層狀結構、或兩者的組合組成。類似地，每個外層104不需要是由與其他外層相同的一種或多種材料組成。
[0026]多層膜100的核心層102與外層(一個或多個)104的比率可以如對于特定應用和/或規格所需進行選擇。即，多層膜100可以包含從接近O %直至接近100%的核心層102并相應地可以分別包含從接近100%到接近O %的外層(一個或多個)104。然而，在一個特別的實施方案中，多層膜100可以包含約60%至約90%的核心層102和約40%至約10%的外層(一個或多個)104。甚至更具體地，在一個實施方案中，多層膜100可以包含約80%的核心層102和約20%的外層(一個或多個)104。
[0027]在多層膜100的其他實施方案中，按期望或按需要，例如但是不限于，滿足想要的規格或提供各層之間的粘著，可以包含任何合適的其他層。例如，在一個實施方案中，核心層102可以由高百分比的PCTFE和低百分比的CPT組成。因為PCTFE可能單獨不能夠與CPT或PFA良好地粘結或層壓，所以在一些實施方案中，在核心層102和一個或多個外層104之間包括一個或多個連接層(tie layer) 106可能是期望的或有利的。連接層106可以選自具有或能夠提供以下想要的特性如但是不限于粘著的任何合適的材料。在一個實施方案中，例如，在核心層102包含PCTFE和CPT的共混物或多層結構并且外層(一個或多個)104包含PFA的情況下，取決于核心層的PCTFE與CPT的比率或多層PCTFE-CPT核心的結構，包含CPT的連接層對于幫助核心層102與外層(一個或多個)104結合可能是期望的或有利的。
[0028]本文公開的多層膜100的多個實施方案可以被設計或構造為具有任何合適的厚度，這可以取決于想要的應用或規格。類似地，核心層102、外層(一個或多個)104、任何連接層106或任何其他層中的每一個可以為任何合適的厚度并且可以具有與任何其他層都不同的厚度，這同樣可以取決于想要的應用或規格。在特定的實施方案中，總體的多層膜100可以為約I至7密耳(mil)厚。甚至更特別地，在一些實施方案中，總體的多層膜100可以為約3至5密耳厚。
[0029]如上所述，本文公開的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的多種實施方案可以用于制造用于基于襯里的儲存和分配系統的襯里。具體地，本文公開的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的多種實施方案可以用于制造用于基于襯里的儲存和分配系統的襯里，在所述系統中采用間接壓力或壓力輔助分配系統或技術，以保護襯里內的內容物免于施加在襯里外表面的壓力分配氣體的滲透的影響。然而，這樣的示例性用途是非限制性的，并且應認識到，本文公開的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的多種實施方案可以用于任何合適的目的，包括用于制造任何其他合適的基于聚合物的或基于含氟聚合物的制品。
[0030]使用本文公開的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的多種實施方案制得的襯里可以是任何合適的類型或構造、尺寸和形狀的襯里，包括但是不限于，常常被稱為枕式襯(或二維襯里)、三維襯里或保形襯的那些襯里，其可以總體構造為更加大體上或甚至顯著地符合或配合由第二層包裝壁限定的更加剛性的第二層包裝的內部，和吹塑的襯里，包括但不限于擠出吹塑的襯里、注射吹塑的襯里和拉伸吹塑的襯里，其可以進一步采用共吹塑(例如，將兩個預成型件一起吹塑)或雙吹塑(例如，預成型件直接在外部襯里或第二層包裝中而非模具中吹塑)技術。
[0031]多種合適的示例性襯里和用于它們的制造方法更加詳細地進一步描述于:國際PCT申請號PCT/US11/55558，標題為“基本上剛性的可收縮襯里、容器和/或用于替換玻璃瓶的襯里，和增強的接性襯里(Substantially Rigid Collapsible Liner, Containerand/or Liner for Replacing Glass Bottles, and Enhanced Flexible Liners)，，,提交于2011年10月10日；國際PCT申請號PCT/US11/55560，標題為“嵌套吹塑的襯里和第二層包裝及其制備方法(Nested Blow Molded Liner and Overpack and Methods of MakingSame)”，提交于2011年10月10日；國際PCT申請號PCT/US11/64141，標題為“用于壓力分配系統中的總體圓筒形形狀的襯里及其制造方法(Generally Cy I indr ical Iy-ShapedLiner for Use in Pressure Dispense Systems and Methods of Manufacturing theSame)”，提交于2011年12月9日；美國臨時申請號61/468，832，標題為“基于襯里的分配器(Liner-Based Dispenser) ”，提交于2011年3月29日；美國臨時申請號61/525，540，標題為“基于襯里的分配系統(Liner-Based Dispensing Systems) ”,提交于2011年8月19日；美國專利申請號11/915，996，標題為“流體儲存和分配系統和方法(Fluid Storage andDispensing Systems and Processes)，，，提交于 2006 年 6 月 5 日；國際 PCT 申請號 PCT/US10/51786，標題為“具有脫氣裝置的材料儲存和分配系統和方法(Material Storage andDispensing System and Method With Degassing Assembly)，，，提交于 2010 年 10 月 7 日，國際PCT申請號PCT/US10/41629，美國專利號7，335，721，美國專利申請號11/912，629，美國專利申請號12/302，287和國際PCT申請號PCT/US08/85264，其各自以其整體通過引用結合在此。根據本發明的襯里可以包括在上述申請中公開的任何實施方案、特征和/或強化，包括但是不限于，撓性的、剛性可收縮的、2-維的、3-維的、焊接的、模制的、裝有三角襯的(gusseted)和未裝三角襯的襯里，和/或含有折疊的襯里和/或包含用于限制或消除中止進行(choke-off)的方法的襯里以及例如由ATMI, Inc.以商標名NOWpak?市售的襯里。在其他實施方案中，根據本發明的基于襯里的系統可以被配置為使得它與NOV/Pak?壓力分配系統兼容，如在于2006年6月5日提交的美國專利申請號11/915，996，標題為“流體儲存和分配系統和方法(Fluid Storage and Dispensing Systems and Processes) ”中描述的系統，將該申請的內容以其整體通過引用結合于此。
[0032]這樣的襯里的示例性用途可以包括運輸、儲存和/或分配這樣的材料，如但是不限于:超純化學品或材料，如酸，溶劑，堿，光致抗蝕劑，防暴沸劑(bump resists),楽;料,去污劑，清潔制劑，摻雜劑，無機、有機、金屬有機、TEOS和生物溶液，DNA和RNA溶劑和試劑，藥物，可印刷的電子無機和有機材料，鋰離子和其他電池型電解液，納米材料(包括例如富勒烯、無機納米粒子、溶膠-凝膠和其他陶瓷)，TARC/BARC (頂側抗反射涂料/底側抗反射涂料)，放射活性化學品，和低重量酮類和/或銅化學品，其用于諸如微電子制造、半導體制造和平板顯示器制造的工業；殺蟲劑/肥料；油漆/上光劑/溶劑/涂層-材料等；動力洗衣液；用于例如汽車或航空工業的潤滑劑；例如食品，如但是不限于，調味品，烹調油和軟飲料；用于生物醫學或研究行業的試劑或其他材料；例如，軍隊使用的危險材料；聚氨酯；農用化學品；工業化學品；化妝品化學品；石油和潤滑劑；密封劑；健康和口腔衛生產品和化妝品產品；或例如可以通過壓力分配的任何其他材料。本領域技術人員將認識到這樣的基于襯里的系統和制造襯里的方法的益處，并因此將認識到襯里對于在多種工業并對于多種產品的運輸和分配的合適性。
[0033]因為本發明的基于襯里的系統的實施方案可以用于儲存、運輸和或分配超純的、和/或較昂貴的、且在一些情況下極其昂貴的材料，所以由本發明的基于聚合物的或基于含氟聚合物的多層膜的任何實施方案制得的襯里與常規襯里相比可以提供明顯的優勢，因為這樣的實施方案可以提供高度有效的氣體阻隔，如上文所述的，在間接壓力分配應用期間用于禁止或基本上禁止壓力氣體滲透通過襯里而進入襯里的內容物中，同時保持對于可以儲存于其中的特定內容物如光致抗蝕劑的高耐化學性。例如，考慮利用本發明的基于襯里的系統的一些超純材料可以花費高至約$2，500/L以上。因此，即使滲透到內容物中的氣體的量的小減少也可以是理想的。
[0034]在前面的描述中，為了說明和描述的目的，已經提供了本發明的多種實施方案。它們不意在是窮舉的或將本發明限制在所公開的精確形式中。在上述教導的啟發下，明顯的變更或變形是可能的。選擇和描述多種實施方案以提供對本發明原理及其實際應用的最佳舉例說明，并且使得本領域普通技術人員能夠在多種實施方案中利用本發明并且當適合于所考慮的特定用途時連同各種變更。所有這樣的變更和變形屬于如當按照所附權利要求以公平、合法且合理地享有的寬度解釋時通過它們所確定的本發明范圍內。
【權利要求】
1.一種多層膜結構,所述多層膜結構包括: 核心層，所述核心層包含含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物；和 外層，所述外層可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且包含全氟化的含氟聚合物。
2.權利要求1所述的多層膜結構，其中所述含有氯的含氟聚合物包含聚三氟氯乙烯(PCTFE)。
3.權利要求2所述的多層膜結構，其中所述含有氯和氧的含氟聚合物包含在添加PCTFE的聚合期間改性的全氟烷氧基(PFA)。
4.權利要求1所述的多層膜結構，所述多層膜結構還包含第二外層，所述第二外層可操作地結合在所述核心層的相反側面上并且包含全氟化的含氟聚合物。
5.權利要求4所述的多層膜結構，其中所述外層中的至少一個的所述全氟化的含氟聚合物包含全氟烷氧基(PFA)。
6.權利要求4所述的多層膜結構，其中所述外層中的另一個的所述全氟化的含氟聚合物也包含PFA。
7.權利要求1所述的多層膜結構，其中所述核心層是包含所述含有氯的含氟聚合物及所述含有氯和氧的含氟聚合物的共混層。
8.權利要求1所述的多層膜結構，其中所述核心層包含至少一個所述含有氯的含氟聚合物的層及至少一個所述含有氯和氧的含氟聚合物的層。
9.權利要求1所述的多層膜結構，所述多層膜結構還包括小于7cc/天/m2/atm的滲透通過其的氮氣的流通率。
10.權利要求9所述的多層膜結構，所述多層膜結構還包括小于Icc/天/m2/atm的滲透通過其的氮氣的流通率。
11.權利要求1所述的多層膜結構，其中所述核心層的約60%至約90%由所述含有氯的含氟聚合物組成，并且所述核心層的約40%至約10%由所述含有氯和氧的含氟聚合物組成。
12.權利要求4所述的多層膜結構，其中所述多層膜的約60%至約90%由所述核心層組成，且所述多層膜的約40%至約10%由所述外層組成。
13.權利要求1所述的多層膜結構，所述多層膜結構還包括約I密耳至約7密耳的厚度。
14.一種用于制造多層膜結構的方法，所述方法包括擠出多個膜層以形成核心層和外層，所述核心層包含含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物，所述外層可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且包含全氟化的含氟聚合物。
15.權利要求14所述的方法，其中所述多個膜層被共擠出以基本上同時地形成所述核心層和所述外層。
16.權利要求14所述的方法，其中所述含有氯的含氟聚合物包含聚三氟氯乙烯(PCTFE)和乙烯三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)中的至少一種，其中所述含有氯和氧的含氟聚合物包含在添加PCTFE的聚合期間改性的全氟烷氧基(PFA)，并且所述全氟化的含氟聚合物包含全氟烷氧基(PFA)和氟化乙丙烯(FEP)中的至少一種。
17.一種具有多層膜內襯壁的襯里，所述內襯壁包含: 核心層，所述核心層包含含有氯的含氟聚合物及含有氯和氧的含氟聚合物；和 外層，所述外層可操作地結合在所述核心層的一個側面上并且包含全氟化的含氟聚合物。
18.權利要求17所述的襯里，其中滲透通過所述內襯壁的氮氣的流通率小于Icc/天/m2/atm0
19.權利要求17所述的襯里，其中所述核心層是包含所述含有氯的含氟聚合物及所述含有氯和氧的含氟聚合物的共混層。
20.權利要求17所述的襯里，其中所述核心層包含至少一個所述含有氯的含氟聚合物的層及至少一個所述含有氯和氧的含氟聚合物的層。
【文檔編號】B32B37/02GK104144785SQ201380009927
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2013年2月15日 優先權日:2012年2月17日
【發明者】維什瓦斯·維安卡特奧·派特 申請人:先科材料有限公司