一種藍寶石6寸晶片貼片裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，包括底板、壓片機構、真空吸盤機構、轉盤機構和PLC控制器，所述壓片機構包括壓片支撐柱、可調行程氣缸和壓片，所述真空吸盤機構包括第一轉軸支撐座、軸承座、第一轉軸、壓桿、真空吸盤、真空泵、抽真空管、第一主動齒輪、第一從動齒輪、第一電機，所述轉盤機構包括圓形的陶瓷盤、第二轉軸、第二主動齒輪、第二從動齒輪、第三從動齒輪、第四從動齒輪、傳動桿、第二電機，自動化操作，保證了貼片的穩定性和平坦度，提高了產品質量。
【專利說明】
一種藍寶石6寸晶片貼片裝置
技術領域
[0001] 本實用新型涉及一種貼片工裝，具體涉及一種藍寶石6寸晶片貼片裝置。
【背景技術】
[0002] 針對藍寶石6寸晶片的貼片，一般采用手動貼片或自動壓片兩種方式；由于晶片尺 寸較大，在傳統的貼片方式中存在兩點風險：
[0003] 1.無法保證晶片在陶瓷盤上位置的一致性；
[0004] 2.晶片貼于陶瓷盤上平坦度較差。 【實用新型內容】
[0005] 本實用新型的目的在于克服現有技術缺點提供一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，自 動化操作，保證了貼片的穩定性和平坦度，提高了產品質量。
[0006] 為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：
[0007] -種藍寶石6寸晶片貼片裝置，包括底板、壓片機構、真空吸盤機構、轉盤機構和 PLC控制器；
[0008] 所述壓片機構包括壓片支撐柱、可調行程氣缸和壓片，截面為倒L形結構的壓片支 撐柱固定在底板上，可調行程氣缸固定在壓片支撐柱的頂部，壓片固定在可調行程氣缸的 推桿上，所述壓片為圓臺形結構；
[0009] 所述真空吸盤機構包括第一轉軸支撐座、軸承座、第一轉軸、壓桿、真空吸盤、真空 栗、抽真空管、第一主動齒輪、第一從動齒輪、第一電機，所述第一轉軸支撐座的數量為兩 個，相互對稱的固定在底板上，每個第一轉軸支撐座上固定一個軸承座，第一轉軸可旋轉的 固定在兩個軸承座之間，第一從動齒輪固定在第一轉軸一端，壓桿一端固定在第一轉軸上， 另一端上設有真空吸盤，真空栗固定在底板上，真空吸盤與真空栗之間通過抽真空管相連 接，所述第一主動齒輪固定在第一電機上，第一主動齒輪與第一從動齒輪相嚙合；
[0010] 所述轉盤機構包括圓形的陶瓷盤、第二轉軸、第二主動齒輪、第二從動齒輪、第三 從動齒輪、第四從動齒輪、傳動桿、第二電機，所述陶瓷盤通過第二轉軸固定在底板上，第四 從動齒輪固定在第二轉軸上，傳動桿的兩端分別固定第二從動齒輪和第三從動齒輪，第二 主動齒輪固定在第二電機上，所述第二主動齒輪與第二從動齒輪相嚙合，第三從動齒輪與 第四從動齒輪相嚙合；
[0011] 所述真空吸盤機構和壓片機構分別設置在轉盤機構的兩側，陶瓷盤上設有四個圓 形結構的貼片工位，壓片機構的壓片位于其中一個貼片工位的上方，在壓片機構中，壓桿的 長度為L1，第一轉軸與其相鄰的貼片工位的圓心之間的距離為L2，L1=L2;
[0012] 所述第一電機、第二電機、真空栗、可調行程氣缸分別與PLC控制器相連接。
[0013] 上述一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，其中，所述軸承座的外壁上水平的設有一個限 位擋板，第一轉軸上設有限位桿，限位擋板與限位桿相互配合起限位作用。
[0014] 本實用新型的有益效果為：
[0015] 為避免在貼片后測量中造成誤差，需取表面無雜質且每片厚度差小于2微米的藍 寶石6寸晶片進行貼片作業，本實用新型使用時，開啟真空栗，先將待貼片的6寸晶片的中心 位置吸在真空吸盤上，以此保證晶片的傳動過程中的穩定性，不會出現晃動或掉落，在晶片 背面涂抹膠水，啟動第一電機，使晶片能夠隨著轉軸和壓桿進行180度翻轉，并反壓與陶瓷 盤的貼片工位上，關閉真空栗，反向轉動第一電機移開真空吸盤，啟動可調行程氣缸，將貼 于陶瓷盤上晶片壓平，待5~10分鐘后，保證晶片完全貼于陶瓷盤上，抬升壓片裝置，啟動第 二電機，使陶瓷盤轉動90°，重復進行下一次貼片，貼完后，將陶瓷盤取下，測量晶片的平坦 度;本實用新型采用自動化操作，保證了貼片的穩定性和平坦度，提高了產品質量。
【附圖說明】
[0016] 圖1為本實用新型俯視圖。
[0017] 圖2為本實用新型側視圖。
[0018] 圖3為本實用新型轉盤機構結構圖。
[0019] 圖4為本實用新型控制圖。
【具體實施方式】
[0020] 如圖所示一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，包括底板1、壓片機構2、真空吸盤機構3、 轉盤機構4和PLC控制器5;
[0021] 所述壓片機構2包括壓片支撐柱6、可調行程氣缸7和壓片8,截面為倒L形結構的壓 片支撐柱6固定在底板1上，可調行程氣缸7固定在壓片支撐柱6的頂部，壓片8固定在可調行 程氣缸7的推桿上，所述壓片8為圓臺形結構；
[0022]所述真空吸盤機構3包括第一轉軸支撐座9、軸承座10、第一轉軸11、壓桿12、真空 吸盤13、真空栗14、抽真空管15、第一主動齒輪16、第一從動齒輪17、第一電機18,所述第一 轉軸支撐座9的數量為兩個，相互對稱的固定在底板1上，每個第一轉軸支撐座9上固定一個 軸承座10,第一轉軸11可旋轉的固定在兩個軸承座10之間，第一從動齒輪16固定在第一轉 軸11一端，壓桿12-端固定在第一轉軸11上，另一端上設有真空吸盤13,真空栗14固定在底 板1上，真空吸盤13與真空栗14之間通過抽真空管15相連接，所述第一主動齒輪16固定在第 一電機18上，第一主動齒輪16與第一從動齒輪17相嚙合，所述軸承座10的外壁上水平的設 有一個限位擋板19,第一轉軸11上設有限位桿20,限位擋板19與限位桿20相互配合起限位 作用；
[0023] 所述轉盤機構4包括圓形的陶瓷盤21、第二轉軸22、第二主動齒輪23、第二從動齒 輪24、第三從動齒輪25、第四從動齒輪26、傳動桿27、第二電機28，所述陶瓷盤通過第二轉軸 固定在底板上，第四從動齒輪固定在第二轉軸上，傳動桿的兩端分別固定第二從動齒輪和 第三從動齒輪，第二主動齒輪固定在第二電機上，所述第二主動齒輪與第二從動齒輪相嚙 合，第三從動齒輪與第四從動齒輪相嚙合；
[0024] 所述真空吸盤機構3和壓片機構2分別設置在轉盤機構4的兩側，陶瓷盤21上設有 四個圓形結構的貼片工位29,壓片機構的壓片8位于其中一個貼片工位29的上方，在壓片機 構2中，壓桿12的長度為L1，第一轉軸11與其相鄰的貼片工位29的圓心之間的距離為L2，L1 = L2；
[0025] 所述第一電機18、第二電機28、真空栗14、可調行程氣缸7分別與PLC控制器5相連 接，PLC控制器為三菱FX5U-64MR/ES型PLC控制器。
[0026] 為避免在貼片后測量中造成誤差，需取表面無雜質且每片厚度差小于2微米的藍 寶石6寸晶片30進行貼片作業，本實用新型使用時，開啟真空栗，先將待貼片的6寸晶片的中 心位置吸在真空吸盤上，以此保證晶片的傳動過程中的穩定性，不會出現晃動或掉落，在晶 片背面涂抹膠水，啟動第一電機，使晶片能夠隨著轉軸和壓桿進行180度翻轉，并反壓與陶 瓷盤的貼片工位上，關閉真空栗，反向轉動第一電機移開真空吸盤，啟動可調行程氣缸，將 貼于陶瓷盤上晶片壓平，待5~10分鐘后，保證晶片完全貼于陶瓷盤上，抬升壓片裝置，啟動 第二電機，使陶瓷盤轉動90°，重復進行下一次貼片，貼完后，將陶瓷盤取下，測量晶片的平 坦度;本實用新型采用自動化操作，保證了貼片的穩定性和平坦度，提高了產品質量。
[0027] 將經本實用信息貼片后的陶瓷盤與正常貼片后陶瓷盤進行單晶片厚度分布的測 量對比，測量方法如下(測量單位:微米）：
[0028] (1)在晶片上選取5個點，中心點及邊緣4個點；
[0029] (2)以陶瓷盤表面為0基準面，測量晶片上選取的點與陶瓷盤表面的高度差，及得 出晶片的厚度；
[0030] (3)計算晶片最大厚度與最低厚度的差值，及得出貼片的平坦度值。
[0031]測量數據如下：
[0033] 從數據分析，該新型貼片明顯比正常貼片工藝平坦度值要好。
[0034] 這里本實用新型的描述和應用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上 述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均 在本實用新型保護的范圍內。
【主權項】
1. 一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，其特征為，包括底板、壓片機構、真空吸盤機構、轉盤 機構和PLC控制器； 所述壓片機構包括壓片支撐柱、可調行程氣缸和壓片，截面為倒L形結構的壓片支撐柱 固定在底板上，可調行程氣缸固定在壓片支撐柱的頂部，壓片固定在可調行程氣缸的推桿 上，所述壓片為圓臺形結構； 所述真空吸盤機構包括第一轉軸支撐座、軸承座、第一轉軸、壓桿、真空吸盤、真空栗、 抽真空管、第一主動齒輪、第一從動齒輪、第一電機，所述第一轉軸支撐座的數量為兩個，相 互對稱的固定在底板上，每個第一轉軸支撐座上固定一個軸承座，第一轉軸可旋轉的固定 在兩個軸承座之間，第一從動齒輪固定在第一轉軸一端，壓桿一端固定在第一轉軸上，另一 端上設有真空吸盤，真空栗固定在底板上，真空吸盤與真空栗之間通過抽真空管相連接，所 述第一主動齒輪固定在第一電機上，第一主動齒輪與第一從動齒輪相嚙合； 所述轉盤機構包括圓形的陶瓷盤、第二轉軸、第二主動齒輪、第二從動齒輪、第三從動 齒輪、第四從動齒輪、傳動桿、第二電機，所述陶瓷盤通過第二轉軸固定在底板上，第四從動 齒輪固定在第二轉軸上，傳動桿的兩端分別固定第二從動齒輪和第三從動齒輪，第二主動 齒輪固定在第二電機上，所述第二主動齒輪與第二從動齒輪相嚙合，第三從動齒輪與第四 從動齒輪相嚙合； 所述真空吸盤機構和壓片機構分別設置在轉盤機構的兩側，陶瓷盤上設有四個圓形結 構的貼片工位，壓片機構的壓片位于其中一個貼片工位的上方，在壓片機構中，壓桿的長度 為L1，第一轉軸與其相鄰的貼片工位的圓心之間的距離為L2，L1=L2; 所述第一電機、第二電機、真空栗、可調行程氣缸分別與PLC控制器相連接。2. 如權利要求1所述的一種藍寶石6寸晶片貼片裝置，其特征為，所述軸承座的外壁上 水平的設有一個限位擋板，第一轉軸上設有限位桿，限位擋板與限位桿相互配合起限位作 用。
【文檔編號】B28D5/00GK205674382SQ201620529028
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月3日 公開號201620529028.9, CN 201620529028, CN 205674382 U, CN 205674382U, CN-U-205674382, CN201620529028, CN201620529028.9, CN205674382 U, CN205674382U
【發明人】陸昌程, 孫敦陸, 王祿寶
【申請人】江蘇吉星新材料有限公司