放射線檢測裝置和放射線成像系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明一般涉及放射線檢測裝置和放射線成像系統，具體涉及檢測放射線的放射線檢測裝置和通過使用該放射線檢測裝置來獲得放射線圖像的放射線成像系統。
【背景技術】
[0002]近年來，平板型放射線檢測裝置已得到普及，該平板型放射線檢測裝置使用具有被布置成二維陣列的轉換元件的傳感器陣列，轉換元件中的每一個被設計為將放射線轉換成電信號。這種傳感器陣列一般包含對各像素在玻璃基板上形成的轉換元件和將由轉換元件轉換后的電信號傳遞到外面的諸如TFT的開關元件。這些元件被二維布置成陣列。日本專利N0.4018725公開了通過使用這種傳感器陣列來獲得圖像的技術。根據該技術，多個柵極驅動器被布置于玻璃基板外面或玻璃基板上，以經由驅動信號線驅動開關元件。另外，與柵極驅動器類似，用于電荷檢測的多個感測放大器被布置于玻璃基板外面或玻璃基板上，以檢測經由圖像信號線提取的電信號。然后根據這些檢測到的電信號形成圖像。
[0003]由于轉換元件檢測微小的電荷，這種放射線檢測裝置具有以下的問題。例如，醫院等中的成像室配備有用于發射放射線的裝置、另一診斷裝置等以及放射線檢測裝置。這些裝置有時使用大的電力。即，可能存在其中檢測微小電荷的裝置和使用大的電力的裝置共存的環境。在這種環境中，來自大電力裝置的不希望的電磁能量對其它的裝置來說變為磁場噪聲。這有時導致這些裝置發生故障或性能劣化。當從外面向放射線檢測裝置施加交流磁場噪聲時，在所獲得的圖像中出現被稱為線偽像的水平條帶圖案形式的圖像噪聲。這種噪聲具體而言是從大電力設備、X射線發生器的逆變器等中生成的，并且具有從約IkHz到約10kHz范圍的頻帶。另外，這種交流磁場噪聲可取決于放射線檢測裝置和大電力設備的安裝或使用狀態而從各種方向到達。一般難以采取針對這種交流磁場噪聲的抗噪聲措施。
[0004]常規上，已經提出了用于減小由這種交流磁場導致的圖像噪聲的各種技術。日本專利公開N0.公開了通過調整暗圖像和放射線圖像的讀出時間通過減算處理從最終圖像中消除具有特定頻率和特定振幅的外部到達的交流磁場的影響的技術。另外，日本專利公開N0.公開了通過從放射線檢測裝置的被放射線照射的一側依次布置導電部件、光電轉換單元和閃爍體來減小電磁噪聲的影響的技術。
[0005]但是，當交流磁場的頻率或振幅在獲得暗圖像時以及在獲得放射線圖像時改變時，在日本專利公開N0.中公開的技術不能通過減算處理來消除圖像噪聲。另夕卜，為了使得從開始獲得暗圖像到開始獲得放射線圖像的時間變為外部磁場周期的整數倍，必需根據外部磁場周期延遲圖像獲得間隔，從而導致成像速度的降低。并且，雖然在日本專利公開N0.中公開的技術可減小來自放射線入射方向的電磁噪聲，但是難以獲得相對于從水平方向到達放射線檢測裝置的交流磁場的效果。
[0006]本發明減小放射線檢測裝置中由從水平方向到達的具有未知的頻率和振幅的交流磁場所導致的圖像噪聲。

【發明內容】

[0007]根據本發明的一個方面，提供一種放射線檢測裝置，該放射線檢測裝置包括:平面檢測單元，該平面檢測單元具有獲得基于放射線的電信號的元件的二維陣列，該平面檢測單元被配置為在被照射時檢測放射線;驅動電路，其驅動用于使得這些元件輸出該電信號的開關;根據開關被驅動而從這些元件獲得電信號的獲得電路;其上布置有驅動電路和獲得電路的支撐底座;和具有在從用放射線執行照射的放射線源觀看時被布置于檢測單元的前面附近并且與驅動電路的接地和獲得電路的接地電連接的部分的導電部件。
[0008]根據本發明的另一方面，提供一種放射線成像系統，該放射線成像系統包括:放射線檢測裝置;被配置為用放射線照射該放射線檢測裝置的照射單元;和被配置為形成放射線照相圖像的形成單元，放射線檢測裝置包含:平面檢測單元，該平面檢測單元具有獲得基于放射線的電信號的元件的二維陣列，該平面檢測單元被配置為在被照射時檢測放射線；驅動電路，其驅動用于使得這些元件輸出電信號的開關;根據開關被驅動而從這些元件獲得電信號的獲得電路;其上布置有驅動電路和獲得電路的支撐底座;和具有在從用放射線執行放射的放射線源觀看時被布置于檢測單元的前面附近并且與驅動電路的接地和獲得電路的接地電連接的部分的導電部件，以及形成單元基于由獲得電路獲得的電信號形成放射線照相圖像。
[0009](參照附圖)閱讀示例性實施例的以下描述，本發明的進一步特征將變得十分清
/H- ο
【附圖說明】
[0010]包含于說明書中并構成其一部分的附圖示出本發明的實施例，并與說明一起用于解釋本發明的原理。
[0011]圖1A和圖1B是表示放射線檢測裝置的結構的第一例子的視圖；
[0012]圖2A和圖2B是表示當導電部件不與圖1A和圖1B中的放射線檢測裝置連接時的放射線檢測裝置的結構的例子的視圖；
[0013]圖3是表示放射線檢測裝置的結構的第二例子的視圖；
[0014]圖4是表示放射線檢測裝置的結構的第三例子的視圖。
【具體實施方式】
[0015]現在將參照附圖詳細描述本發明的示例性實施例。應當注意，除非另外詳細陳述，否則在這些實施例中闡述的組件的相對布置、數值表達和數值不限制本發明的范圍。
[0016]根據本發明的放射線檢測裝置被用于例如放射線成像系統中，該放射線成像系統包括發射放射線的放射線源，并且根據與從已檢測所發射的放射線的放射線檢測裝置中輸出的放射線檢測結果對應的電信號形成放射線照相圖像。注意，放射線成像系統可以是包括所有以上的放射線源和放射線照相圖像形成功能的單個裝置，或者該系統的至少一部分可作為分立和獨立的裝置存在。另外，放射線可以是X射線或另一類型的放射線。
[0017]〈〈第一實施例》
[0018]圖1A和圖1B表示放射線檢測裝置的結構的第一例子。圖1A是放射線檢測裝置的透視圖。圖1B是沿圖1A中的a-a'截取的截面圖。注意，參照圖1A和圖1B，單頭箭頭分別將三維坐標指定為X軸、Y軸和Z軸，并且裝置被來自圖1A和圖1B中的下部(即從Z軸的原點側)的放射線照射。另外，從Z方向到達的作為噪聲源的交流磁場將被稱為垂直交流磁場，并且從X方向或Y方向到達的作為噪聲源的交流磁場將被稱為水平交流磁場。
[0019]通過在例如從其中裝置被放射線照射的方向觀看時層疊導電部件13、傳感器陣列2和支撐底座12，形成放射線檢測裝置。
[0020]傳感器陣列2是由諸如玻璃基板的具有絕緣表面的基板形成的平面放射線檢測單元，并且具有二維布置的分別與一個像素對應的多個轉換元件I和開關3。傳感器陣列2與用于驅動開關元件3的驅動信號線4和用于輸出由轉換元件I獲得的放射線檢測結果的圖像信號線5連線。注意，寄生電容器14可作為在傳感器陣列2中意外形成的靜電電容器存在，這些靜電電容器源自各開關元件3和驅動信號線4與圖像信號線5之間的相交的結構。
[0021]各轉換元件I是將放射線轉換成電信號的元件。各開關元件3由TFT等形成。如以上所描述的，各對轉換元件I與開關元件3與一個像素對應。這些對在傳感器陣列2上被二維布置成陣列。得到的結構用作放射線檢測單元，該放射線檢測單元用于獲得由多個像素構成的放射線照相圖像。驅動信號線4與其上布置有轉換元件I和開關元件3的對的二維陣列的各行對應地被布置，并且向各行上的開關元件3供給驅動導通偏壓或驅動關斷偏壓。注意，驅動關斷偏壓需要至少是能夠關斷各開關元件3的電勢，并且是與接地相同的電勢。圖像信號線5與以上的二維陣列的