技術編號：8854786
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。拉制一定型號和一定電阻率的單晶，選擇適當的摻雜劑是很重要的。五族元素常用作硅單晶的N型摻雜劑，主要有磷、砷、銻，三族元素常用作硅單晶的P型摻雜劑，主要有硼、鋁、鎵。拉制硅單晶的電阻率范圍不同，摻雜劑的形態也不一樣，拉制電阻率低的硅單晶(10_2?10 _3歐姆.厘米)，一般摻三族或五族純元素；拉制電阻率較高硅單晶(I?10 2歐姆?厘米)，采用母合金作摻雜劑，所謂“母合金”，就是雜質單質元素與硅的合金。多晶硅熔化后放入較多摻雜元素，拉制成晶，然后切片、分級...
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