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非瓷片結構的硅壓阻式壓力傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:6151909

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本實用新型涉及的是一種采用硅敏感芯片來感受壓力的非瓷片結構的硅壓阻式壓力傳感器,硅敏感芯片被封裝在316L不銹鋼外殼中,外加壓力從不銹鋼膜片通過硅油傳遞到硅敏感芯片,屬于儀器、儀表。附圖是本實用新型的結構示意圖圖中的1是焊環、2是硅油、3是壓力芯片、4是特氟龍、5是膜片、6是玻璃絕緣子、7是底座、8是補償板、9是引線、10是引腳。硅壓阻式壓力傳感器是一次壓力測量產品,它可以很方便裝配成標準信號輸出的變送器,廣泛應用于石油、化工、冶金、電力、航空、航天、醫療...
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