技術編號：5293383
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及金屬膜和該金屬膜的形成方法。 背景技術通過圖案—智能(pattern-wise)蝕刻在基板上形成的金屬膜己用于各 種電子產品。關于在基板上(金屬基板)形成的金屬膜，通過對基板進行 表面粗糙處理使其具有錨固效應(anchoreffect)獲得基板和金屬膜間的粘 附性質。結果，形成的金屬膜的基板界面變得粗糙，在使用金屬膜作為電 氣布線的情況中，會導致高頻特性劣化的問題。此外，在形成金屬基板時， 為進行表面粗糙處理，需要用諸如鉻酸之類的強酸處理基板的復...
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