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一種直拉法生產單晶用多瓣拼接降氧裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:39446273

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本技術涉及直拉法生產單晶,更具體地說,本技術涉及一種直拉法生產單晶用多瓣拼接降氧裝置。背景技術、直拉法又稱為切克勞斯基法,它是年由切克勞斯基(czochralski)建立起來的一種晶體生長方法,簡稱cz法。cz法的特點是在一個直筒型的熱系統匯總,用石墨電阻加熱,將裝在高純度石英坩堝中的多晶硅熔化,然后將籽晶插入熔體表面進行熔接,將旋轉的籽晶下降與熔體浸潤接觸,逐步提升,經引頸、縮頸、放肩等徑控制、收尾等步驟完或拉晶。、中國專利公開了一種新型單晶爐降氧上保溫筒(cnu...
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