技術編號：39424871
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本揭露涉及一種mems(micro?electro?mechanical?system，微機電系統)元件及mems元件的制造方法。背景技術、已知有使用半導體微細加工技術而制造的mems(micro?electro?mechanicalsystem)傳感器。作為mems傳感器，在專利文獻中公開了加速度傳感器。專利文獻的加速度傳感器具備具有固定電極與可動電極的電容器部，通過檢測電容器部的靜電電容的變化來檢測加速度，所述電容器部的靜電電容的變化對應于與所作用的加速度相應的可動電極的移位。、[現...
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