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快速硬化溶膠材料的制作方法技術資料下載

技術編號:3727054

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本發明涉及一種劑型溶膠材料,具體涉及一種利用溶膠合成法所制成的快速硬化溶膠材料,其可適用于鍍膜工藝上以形成低介電系數(low k)的介電膜。一般鍍膜用材料的合成均必須經過長時間的膠化與老化過程(一天~一月),才能得到在后續干燥工藝中不會收縮、翹曲、裂化的凝膠(gel);或者在薄膜凝膠形成后再對多孔性材料的表面進行改質,以改善上述所描述的問題。一般在合成溶膠(sol)后,靜置的時間越久將會增加所形成凝膠的骨架強度,并可抵抗因干燥過程中毛細壓力造成的結構破壞現...
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