技術編號：3326561
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于靶材制造，具體涉及一種。鉻鋁合金靶材以鉻和鋁為主元素，該靶材還包含Co、Ti、Ta、W、Nb、Mo、Zr、V、B、Si、Y、La、Ce或Se中至少兩種元素。本發明通過多種元素的添加可形成多種形態的氮化、碳化、氮碳化的復合膜層材料；通過改進的熱處理工藝更有利于產品的進一步致密化；通過改進的混粉及脫氣工藝，有效地控制了氧含量。專利說明 [0001] 本發明屬于靶材制造，具體涉及一種。 背景技術 [0002] 鉻鋁合金靶材主要應用于刀具涂層行...
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