技術編號：10628164
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。液晶顯示裝置等中使用的有源矩陣基板，按每個像素設置有薄膜晶體管(ThinFilm Transistor，以下稱為“TFT”)等開關元件。作為這樣的開關元件，以往廣泛使用以非晶硅膜作為有源層(活性層)的TFT(以下稱為“非晶硅TFT”)和以多晶硅膜作為有源層的TFT(以下稱為“多晶硅TFT”)。近年來，進行了使用非晶硅和多晶硅以外的材料作為TFT的有源層的材料的嘗試。例如，在專利文獻I中，記載有利用InGaZnO(包含銦、鎵、鋅的氧化物)等氧化物半導體膜形成...
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