技術編號：10625641
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 分柵式閃存是一種常用的非易失性半導體存儲器，其以無過擦除效應、電路設計 相對簡單，以及低壓、高速的運作特點已成為存儲器件的主流技術，被廣泛應用于諸如智能 卡、S頂卡、微控制器、手機等電子產品中。 參考圖1所示，分柵式閃存半導體襯底10 ;位于半導體襯底10上的隧穿層11、位 于所述隧穿層11上的浮柵21，浮柵21上的絕緣層22、位于所述絕緣層22上的控制柵23， 以及位于所述隧穿層11上，且位于所述浮柵21和控制柵23 -側的選擇柵24。 先前工藝中，所...
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