具主動感測回饋功能的離子產生裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型是有關于一種離子產生裝置，特別是指一種具主動感測回饋功能的離子產生裝置。
【背景技術】
[0002]半導體的相關電子產品需求量的日益趨增，消費者對電子產品演進為追求輕、薄、短、小的訴求，且電子元件不斷的縮小尺寸，相對于半導體晶片的制程也隨之推陳出新，研發出突破現有的技術，以符合市場上電子產品的需求。
[0003]再者，半導體產品的制造成本與附加價值均屬高價，且產品的良率將為影響半導體晶片與相關電子商品成本的關鍵，所以半導體晶片制造過程中的每個階段、每一個半導體生產設備，都有著層層的測試及檢驗以為最終的電子產品的良率作把關。
[0004]當半導體制程越來越微型化，且制程進入22納米甚至20納米以下，今后半導體產品將更容易受環境中的靜電電荷影響而毀壞，所謂靜電是指由物體接觸與分離時負電離子的移動所造成物體偏正電或是負電的效應，使該體積小的半導體產品，因靜電放電(Electrostatic Discharge，ESD)被打穿、燒毀、劣化、破壞等等情況所毀壞而失效，因此靜電防護成為半導體產業需要克服的課題之一。
[0005]參閱圖1為現有的中國臺灣實用新型第1359235號一種機器設備的離子風扇檢知裝置，該機器設備設有控制各裝置作動的中央處理器23，并于外罩的內部設有至少一用以消除靜電的離子風扇24，該離子風扇24是連接有一檢知裝置25，該檢知裝置25內設有一微處理單元254及多個偵測單元251，該多個偵測單元251并以線路連接該離子風扇24，而可將該離子風扇24的偵測訊號傳輸至該微處理單元254，該微處理單元254進行比對后將偵測結果經由該中央處理器23傳輸至該顯示單元231顯示偵測結果。
[0006]現有所揭露的離子風扇檢知裝置雖可使工作人員便利于機器設備的外部，立即獲知該離子風扇的異常狀態，作相關應變處理以排除異常，但卻無法積極地達到主動控制該離子風扇24所輸出的正、負離子數量，將使得半導體的制程被迫中斷，影響生產時間。
[0007]由于靜電不會平白無故消失在環境之中，只要有靜電產生一定會造成破壞，且往往一次的靜電破壞所損失的產值往往是數百萬或數千萬，為了提高產品的可靠度及避免靜電破壞造成的危害，現有制程中主動排除靜電的裝置，實屬有必要再加以改進。
【實用新型內容】
[0008]因此，本實用新型的目的，即在提供一種具主動感測回饋功能的離子產生裝置，包含一主機單元、一感應單元，及一離子產生單元。
[0009]該主機單元包括一界定出一容置空間的殼體，及一設置于該容置空間中的控制器，該感應單元與該主機單元電性連接，并包括有一用以偵測離子量的偵測片，該離子產生單元與該主機單元電性連接，并包括有一電路板、一氣流產生器、一與該電路板電性連接的正離子產生電路，及一與該電路板電性連接的負離子產生電路，該正離子產生電路與該負離子產生電路的電路末端皆裝設有多個靠近該氣流產生器的放電針；
[0010]該偵測片會將所偵測到的離子量發出一感應訊號并回傳至該控制器，該主機單元依據該感應單元所偵測到的離子量發出一控制訊號給該離子產生單元，以分別調節該離子產生單元中的正離子產生電路與該負離子產生電路所產生的正負離子量，當該感應單元所偵測的正、負離子量不平衡且超出一范圍時，該控制器會控制該正離子產生電路與該負離子產生電路釋放出對應的正、負離子數量，以中和靜電電荷。
[0011]作為優選技術方案，該主機單元更包括一用以顯示該感應單元所偵測到的離子量的顯示器，其設置于該殼體上并與該控制器電性連接。
[0012]作為優選技術方案，該主機單元更包括一設置于該容置空間中并與該控制器電性連接的警報電路，該警報電路具有一設置于該殼體上的警報電壓設定界面，及多個設置于該殼體上的按鍵，該多個按鍵是用以供一使用者設定所欲監測的離子量，當該感應單元所偵測到的離子量大于該警報電壓設定界面所設定的數值，則該警報電路發出警報。
[0013]作為優選技術方案，該警報電路為一可發出警示音響的蜂鳴器。
[0014]作為優選技術方案，該警報電路為一可發出光源的發光器。
[0015]作為優選技術方案，該主機單元更包括一設置于該容置空間中并與該控制器電性連接的存儲器電路，該感應單元所偵測的離子量儲存于該存儲器電路內。
[0016]作為優選技術方案，上述具主動感測回饋功能的離子產生裝置還包含一設備控制電路單元，該設備控制電路單元與該主機單元的控制器電性連接，并包括一停機電壓設定界面，當該感應單元所偵測的離子量達到該停機電壓設定界面所預設的數值時，該設備控制電路單元會向外發出一停機訊號，且同時發出一訊號通知該控制器關閉該離子產生單元，以停止繼續供應正、負離子。
[0017]作為優選技術方案，上述具主動感測回饋功能的離子產生裝置還包含一數據輸出單元，該數據輸出單元與該主機單元的控制器電性連接，該感應單元所偵測到的離子量經由該數據輸出單元輸出至外部的儲存設備。
[0018]作為優選技術方案，該數據輸出單元為一用以與外部的儲存設備電性連接并傳輸資料的有線數據傳輸器。
[0019]作為優選技術方案，該數據輸出單元為一用以與外部的儲存設備遠距離無線傳輸資料的無線數據傳輸器。
[0020]本實用新型的有益功效在于，該主機單元會依據該感應單元所偵測到的離子量，分別調節該離子產生單元中的正離子產生電路與該負離子產生電路所產生的正負離子量，當該感應單元所偵測的正、負離子量不平衡且超出一范圍時，該控制器會控制該正離子產生電路與該負離子產生電路釋放出對應的正、負離子數量，以中和靜電電荷，借以積極地達到主動控制該離子產生單元所輸出的正、負離子數量，確保產品的安全性。
【附圖說明】
[0021]圖1是一控制流程圖，說明現有中國臺灣實用新型第1359235號一種機器設備的離子風扇檢知裝置；
[0022]圖2是一方塊示意圖，說明本實用新型具主動感測回饋功能的離子產生裝置的第一較佳實施例；
[0023]圖3是一方塊示意圖，說明該第一較佳實施例中一主機單元的細部結構；
[0024]圖4是一前視示意圖，說明該第一較佳實施例中一離子產生單元的結構示意；及
[0025]圖5是一方塊示意圖，說明本實用新型具主動感測回饋功能的離子產生裝置的第二較佳實施例。
[0026]附圖標記說明:
[0027]4設備控制電路單元；
[0028]41 停機電壓設定界面；
[0029]5數據輸出單元；
[0030]6感應單元；
[0031]61 偵測片；
[0032]7主機單元；
[0033]70 容置空間；
[0034]71 殼體；
[0035]72 控制器；
[0036]73 顯示器；
[0037]74 警報電路；
[0038]741 警報電壓設定界面；
[0039]742 按鍵；
[0040]76存儲器電路；
[0041]8離子產生單元；
[0042]81 電路板；
[0043]82 氣流產生器；
[0044]83 正離子產生電路；
[0045]84 負離子產生電路；
[0046]85 放電針；
[0047]RX 感應訊號；
[0048]TX 控制訊號。
【具體實施方式】
[0049]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。
[0050]參閱圖2、3，及4，為本實用新型具主動感測回饋功能的離子產生裝置的第一較佳實施例，包含一感應單元6、一主機單元7，及一離子產生單元8。
[0051]該主機單元7包括一界定出一容置空間70的殼體71，及一設置于該容置空間70中的控制器72。該感應單元6與該主機單元7電性連接，并包括有一用以偵測離子量的偵測片61，在該第一較佳實施例中，該偵測片61會將所偵測到的離子量發出一感應訊號RX并回傳至該控制器72。
[0052]值得一提的是，該主機單元7更包括一設置于該殼體71上并與該控制器72電性連接的顯示器73，用以顯示該感應單元6所偵測到的離子量。
[0053]在該第一較佳實施例中，該主機單元7更包括一設置于該容置空間70中，并與該控制器72電性連接的警報電路74，該警報電路74具有一設置于該殼體71上的警報電壓設定界面741，及多個設置于該殼體71上的按鍵742，該多個按鍵742是用以供一使用者設定所欲監測的離子量，當該感應單元6所偵測到的離子量大于該警報電壓設定界面741所設定的數值，則該警報電路74發出警報。在此，應注意的是，該警報電路74為一可發出警示音響的蜂鳴器，或是一可發出光源的發光器，實際實施時，可依使用者的需求自行選擇該警報