刷子清洗裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及刷子清洗裝置，更具體地涉及在使清洗刷子旋轉并以接觸方式清洗時，通過最大化接觸清洗力而提高清洗效率的刷子清洗裝置，上述清洗刷子使圓盤形狀的基板進行自旋旋轉的同時進行旋轉。
【背景技術】
[0002]在對用于顯示裝置的基板或半導體元件的制作中所采用的晶片(以下，統稱為“基板”)進行處理之后，將執行清洗工序，來去除在處理工序中附在表面的異物。
[0003]圖1表示在執行完成化學機械研磨工序之后去除在研磨工序中附著的異物的現有的基板清洗裝置9。根據現有的基板清洗裝置9，在借助基板移送部將基板W置于旋轉支撐體10的接觸部15的狀態下，通過使旋轉支撐體10的接觸部15旋轉，來使基板W自轉rl0
[0004]并且，清洗刷子99 一邊以與基板W的表面相接觸的狀態旋轉，一邊去除附在基板W的表面的異物。此時，清洗刷子99以固定于支撐臺90 —端或兩端的狀態進行設置，上述清洗刷子99以與借助驅動電機M來旋轉驅動99r的旋轉軸95相聯動的方式進行旋轉。
[0005]在清洗刷子99形成有多個清洗突起99a，輔助進行基板清洗。與此同時，向清洗刷子99或基板W涂敷含有清洗液成分的藥液(本行業也稱“化學藥品”)，提高從基板W的板面去除異物的效率。
[0006]但是，根據現有的刷子清洗裝置9，向清洗刷子99或基板W涂敷的藥液會隨意噴射，借助清洗刷子99而從基板W的表面分離的異物再次附著在基板W或者以固著于清洗刷子99的狀態來執行基板W和清洗刷子99的接觸清洗，由此，導致基板W的二次污染，或者因固著于清洗刷子的異物導致基板W出現劃痕的問題。
[0007]并且，以基板W的旋轉中心為基準，清洗刷子99的一半向與基板W的自轉方向rl相反的方向接觸，但隨著清洗刷子99的剩余一半向與基板W的自轉方向rl相同的方向接觸，而出現使在一半區域中存在基板W的接觸清洗效率低下的問題。
[0008]一方面，以可旋轉的方式設置的清洗刷子99以與基板W的表面相接觸的狀態進行旋轉的同時去除附在基板W的表面的異物。此時，向清洗刷子99或基板W涂敷含有清洗液成分的藥液(本行業也稱“化學藥品”)，從而提高從基板W的板面去除異物的效率。
[0009]但是，根據現有的刷子清洗裝置9，向清洗刷子99或基板W涂敷的藥液會隨意噴射，借助清洗刷子99而從基板W的表面分離的異物再次附著在基板W或者以固著于清洗刷子99的狀態來執行基板W和清洗刷子99的接觸清洗，由此，導致基板W的二次污染，或者因固著于清洗刷子的異物導致基板W出現劃痕的問題。
[0010]因此，從根本上解決在清洗工序中從基板W分離的異物再次附在基板W或者固著于清洗刷子99從而導致基板W的清洗效率低下或者基板W受損的問題的必要性越來越高。
【實用新型內容】
[0011]本實用新型是為了解決上述存在問題而提出的，本實用新型的目的在于提供如下的刷子清洗裝置:即，引導清洗刷子和基板的移動方向，使其相互呈相反方向，使得清洗刷子和基板之間的摩擦力最大化，更強有力地從基板分離異物，進而提高清洗效率。
[0012]并且，本實用新型的目的在于，使圓盤形狀的基板自轉的同時使刷子接觸清洗基板表面期間，借助刷子的接觸來從基板的表面分離出異物之后，防止所分離的異物再次附在基板的表面，進而提尚清洗效率。
[0013]并且，本實用新型的目的在于，以清洗刷子接觸清洗基板表面期間，防止借助清洗刷子來分離的異物再次附著在清洗刷子的表面，使得清洗刷子一邊旋轉一邊與基板接觸清洗時，因附在清洗刷子的表面的異物導致基板的表面受損。
[0014]還有，本實用新型的目的在于，利用一個驅動電機，使清洗刷子的兩個部分向相反方向進行旋轉驅動，從而最大化清洗刷子與基板之間的摩擦力，進而提高從基板分離異物的效率。
[0015]一方面，本實用新型的目的在于提供如下的刷子清洗裝置:即，使圓盤形狀的基板自轉的同時以刷子接觸清洗基板表面期間，借助刷子的接觸來從基板的表面分離出異物之后，防止所分離的異物再次附在基板的表面，進而提高清洗效率。
[0016]尤其，本實用新型的目的在于，通過在清洗刷子和基板的移動方向正相反的區域中進行集中清洗，進而提高從基板分離異物的效率。
[0017]并且，本實用新型的目的在于，以清洗刷子接觸清洗基板表面期間，借助清洗刷子來分離的異物再次附著在清洗刷子的表面，使得清洗刷子一邊旋轉一邊與基板接觸清洗時，防止因附在清洗刷子的表面的異物導致基板的表面受損。
[0018]由此，本實用新型的目的在于，提高基板的清洗效率，并在執行基板的接觸清洗期間，防止基板出現劃痕等損傷。
[0019]為了解決如上所述的技術問題，本實用新型提供刷子清洗裝置，其特征在于，包括:基板支撐體，轉動上述基板，使得圓盤形狀的基板自轉；第一清洗刷子，向與上述基板的自轉方向的相反方向相接觸的第一旋轉方向進行旋轉驅動，接觸于上述基板的板面以清洗上述基板的板面；以及第二清洗刷子，以與上述基板的板面相接觸的狀態旋轉，從而以接觸方式清洗上述基板的板面，其旋轉方向被設定為，向與第一清洗刷子的相對于上述板面的旋轉方向相反方向進行旋轉驅動，從而與上述基板的自轉方向相反方向相接觸。
[0020]如此，將接觸清洗基板板面的清洗刷子分為第一清洗刷子和第二清洗刷子，第一清洗刷子和第二清洗刷子分別向相反方向旋轉，使得基板的自轉方向和清洗刷子的旋轉方向以相反方向形成接觸，使得借助清洗刷子和基板的摩擦的接觸清洗力最大化，相比現有的方式，從基板的板面去除異物所需的時間變短，進而具有能夠更加快速地完成清洗工序的效果。
[0021]再加上，本實用新型還可包括:第一藥液供給部，位于上述第一清洗刷子的一側，并向上述第一清洗刷子供給藥液；以及第一漂洗水噴射部，向通過了上述第一清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外側方向噴射漂洗水。
[0022]由此，當基板通過第一清洗刷子，借助強有力的摩擦接觸力而從基板的表面分離附著在基板的表面的異物時，從第一漂洗水噴射部向通過了第一清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外側方向噴射漂洗水，在上述基板的板面上的異物到達上述第二清洗刷子之前，引導上述異物向上述基板的外側排出，由此可獲得從根源上防止通過第一清洗刷子而從基板的板面分離的異物再次到達清洗刷子的效果。
[0023]因此，根據本實用新型，在第一清洗刷子中以最高的摩擦接觸力使得刷子和基板相接觸來從基板的表面分離異物時，執行漂洗工序，使使借助向基板的外側噴射的漂洗水而所分離出的異物，被及時推向基板的外側并排出，從而防止從基板的表面分離的異物再次附著在基板的表面，進而可提高清洗效率，同時還可以防止借助清洗刷子的接觸來分離的異物再次附著在清洗刷子的表面，以此來解決因異物導致基板受損的問題。
[0024]同樣，本實用新型還可包括:第二藥液供給部，位于上述第二清洗刷子的一側，并向上述第二清洗刷子供給藥液；以及第二漂洗水噴射部，向通過了上述第二清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外側方向噴射漂洗水。由此，當基板經過第二清洗刷子的同時，使得附著在基板的表面的異物借助強有力的摩擦接觸力而從基板的表面分離時，從第二漂洗水噴射部向經通過第二清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外側方向噴射漂洗水，在上述基板的板面上的異物到達上述第一清洗刷子之前，引導上述異物向上述基板的外側排出，由此，可以將通過第二清洗刷子的同時從基板的板面分離的異物立即確實地向基板的外側排出，與此同時，可以獲得防止從板面分離的異物再次附著在其它清洗刷子而導致基板受損的效果。
[0025]在此情況下，上述第一清洗刷子和第二清洗刷子中的任意一個延伸到圓形基板的中心，即便構成兩個以上的清洗刷子，也能夠徹底清洗基板的中心。
[0026]一方面，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子中的至少一個在清洗工序中向軸線方向進行往復移動或者以指定旋轉角度進行往復旋回運動，由此，借助形成于清洗刷子的表面的清洗突起，相對于晶片而向半徑方向的方向移動。由此，即便清洗突起規則性地排列，也能夠接觸晶片的整體表面，使異物不會聚集在晶片的表面的局部，而整體上均勻地進行清洗。
[0027]一方面，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子可不配置于同軸上，也可以補充第三清洗刷子。與此相反，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子可配置于同軸上。
[0028]在第一清洗刷子和第二清洗刷子配置于同軸上的情況下，可從第二清洗刷子接收上述第一清洗刷子的旋轉驅動力而向與第一清洗刷子相反的方向進行旋轉驅動。
[0029]為此，上述第一清洗刷子可包括:驅動電機，用于旋轉驅動上述第一清洗刷子；上述第一清洗刷子具有中空部及環，其中，上述中空部形成在上述第一清洗刷子的軸線方向，而上述環形成在上述中空部的周圍并形成有內螺紋；用于旋轉驅動上述第二清洗刷子的第二旋轉軸可插入于上述中空部并由軸承進行旋轉支撐，形成于上述第二旋轉軸的外螺紋設置于上述第二清洗刷子；連接齒輪，可旋轉地設置在從上述軸承向軸線方向延伸的軸上，同時嚙合于上述內螺紋和上述外螺紋進行旋轉。
[0030]或者，上述第一清洗刷子可包括:驅動電機，用于旋轉驅動上述第二清洗刷子；上述第二清洗刷子具有中空部及環，其中，上述中空部形成在上述第二清洗刷子的軸線方向，而上述環形成在上述中空部的周圍并形成有內螺紋；用于旋轉驅動上述第一清洗刷子的第一旋轉軸可插入于上述中空部并由軸承進行旋轉支撐，形成于上述第一旋轉軸的外螺紋設置于上述第一清洗刷子；連接齒輪，可旋轉地設置在從上述軸承向軸線方向延伸的軸上，同時嚙合于上述內螺紋和上述外螺紋進行旋轉。
[0031]此時，優選地，上述連接齒輪形成有三個以上，沿著圓周方向以保持規定位置的方式設置。
[0032]為了解決如上所述的技術問題，本實用新型提供刷子清洗裝置，其特征在于，包括:基板支撐體，轉動上述基板，使得圓盤形狀的基板自轉；清洗刷子，以與上述基板的板面相接觸的狀態旋轉，從而接觸清洗上述基板的板面；第一藥液供給部，位于上述清洗刷子的一側，向第一區域的上述清洗刷子供給藥液；以及漂洗水噴射部，向通過了上述第一區域的上述基板的板面朝上述基板的外側方向噴射漂洗水，在上述基板的板面上的異物到達上述清洗刷子之前，推出異物，使得異物向上述基板的外側排出。
[0033]由此，根據本實用新型，當基板通過第一區域的同時附