用于硅片的清洗設備或濕法處理設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及硅片半導體材料加工技術領域，更具體地涉及一種主要用于硅片的清洗設備或濕法處理設備。
【背景技術】
[0002]在硅片材料等半導體工件的清洗工序中，太陽能清洗設備和濕法處理設備尤為重要。設備內部的各功能布局，是根據具體實施的工藝流程不同而設計，同時還要考慮到安裝空間的限制、工作環境的特殊性等變化因素。比如現有技術中，為了避免清洗液揮發的腐蝕性氣體對電氣元件造成腐蝕，故而將電氣元件都置于設備外部的電控柜內，這直接導致電控柜的體積過大，線路錯綜復雜，安裝麻煩，維護檢修困難等；現有設備內部的機械手驅動裝置通常水平安裝在清洗槽的下方，不僅占用的安裝空間大，且槽內清洗液很容易濺落到下方的驅動裝置上，導致機械手的使用壽命大大縮短；還有，清洗槽通常是通過其底部的底座固定在安裝區域對應的支撐板上，由于槽內裝有流動的清洗液，會導致底部受力不均，因而掛槽容易變形、破裂。
[0003]因此，為了優化設備內部的各功能布局，如何提出一種安全可靠、布局合理、維修方便的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，是業界亟待解決的技術問題。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的是為了解決上述的技術問題，提出一種模塊化布局的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，各功能模塊布局合理，維修方便且安全可靠。
[0005]本實用新型解決上述技術問題采用的技術方案是:一種用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，包括:兩側設有通口的設備箱體、設于箱體內部的掛槽、設于掛槽前方的機械手、設于掛槽后方上側的隔板容腔、及設于掛槽下方的管路及檢修區，所述隔板容腔內設有電氣安裝區，所述電氣安裝區與掛槽之間設有與掛槽連通的抽風系統。
[0006]所述掛槽的外側面設有擱置部，掛槽安裝區域的側面對應設有支撐架，所述擱置部與支撐架固定連接。
[0007]所述機械手包括設于掛槽上方的機械臂、及設于掛槽前方帶動機械臂水平和豎直移動的驅動裝置。
[0008]所述抽風系統包括設置在電氣安裝區與掛槽之間的抽風道、開設在掛槽后方的抽風口、及與抽風道連接的抽風機。
[0009]所述電器安裝區的后端設有后上門。
[0010]所述管路及檢修區的后端設有后下門。
[0011]與現有技術相比，本實用新型的有益效果:優化了清洗設備或濕法處理設備的內部結構，使設備內部劃分出相對獨立且連接緊密的各功能模塊，此結構:在功能上，大大提高設備的穩定性和安全性；在維修方面，大大減少工作量，降低難度系數；在外觀上，給人感覺簡潔大方，層次分明。電氣安裝區把部分電氣元件引入設備內部，并給予區域保護，操控便捷，線路簡化，減輕了外部電控柜的負荷，電氣元件后期的維護與檢修更簡便。前置的機械手驅動裝置，減少了濺落到上面的清洗液量，安裝合理占用空間小，因其靠近前端的觀察窗，便于維護和檢修。掛槽式的清洗槽受力均勻，不易變形、破裂，其管路排布靈活可變，維護與檢修方便。抽風系統置于電氣安裝區與掛槽之間，能第一時間排除廢氣，不僅保護電氣安裝區，而且免于對操作人員的損傷。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的側面內部結構示意圖；
[0013]圖2為本實用新型的正面結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面將結合附圖以及【具體實施方式】，對本實用新型做進一步描述。
[0015]請參見圖1和圖2，本實用新型涉及一種用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，包括:設備箱體1、設于箱體I內部的掛槽4、設于掛槽前方的機械手5、設于掛槽后方上側的隔板容腔、及設于掛槽下方的管路及檢修區7，所述隔板容腔內設有電氣安裝區2，所述電氣安裝區2與掛槽4之間設有與掛槽連通的抽風系統3。
[0016]箱體I的前端面上設有觀察窗6，觀察窗板采用耐酸堿的透明PVC材質，便于觀察設備運行的實時狀況，觀察窗采用合頁式安裝，便于開合，設備的整個前端面均可設計為觀察窗，使打開后可操作空間很大，便于對設備內部的掛槽和機械手等進行維護。箱體I的兩側設有與外部相通的通口，通口處可設有傳送裝置，通過傳送裝置把待清洗的硅片運送到上料臺位置，以及把清洗后的硅片從下料臺位置運送出去。箱體I的底端設有腳座11，用于支撐設備箱體。
[0017]電氣安裝區2采用PP隔板在箱體I內部的后端上側隔離出一塊獨立的空腔區域，與設備內其他功能模塊進行良好的隔離，電氣安裝區2內設有與其他部件連接最緊密的電氣單元和線路。電器安裝區I的后端面設置有后上門8，用來打開便于檢修內部構件。
[0018]抽風系統3包括設置在電氣安裝區2與掛槽4之間的抽風道31、開設在掛槽4后方的抽風口 32、及與抽風道31連接的抽風機33，抽風系統3與廠區的廢氣處理系統相連，能夠自動或手動控制開關。在清洗過程中，及時的將掛槽4內產生的氣體抽入到廠區廢氣處理系統中，經處理后再排入大氣中，保護操作人員人身健康和減少氣體對設備的腐蝕，尤其是杜絕了氣體與電氣安裝區2的接觸。
[0019]掛槽4采用側掛式設計，掛槽安裝區域的側面固定設有突出的支撐架41，掛槽4的外側面對應支撐架設有擱置部42，擱置部42固定連接在支撐架41上。通過掛槽的側面連接固定，其底部不受支撐力的作用，使整個掛槽受力均勻。管路及檢修區7設有副槽、及各種運輸液路和氣路，副槽通過管路給掛槽4循環運送清洗液，在管路及檢修區7的后端面設置有后下門9，用來打開便于檢修內部構件。
[0020]機械手5采用前置式設計，機械手5包括設于掛槽4上方的機械臂51、設于掛槽4前端帶動機械臂51移動的驅動裝置52、及懸掛在機械臂51上的吊鉤53，吊鉤53下端掛有清洗籃，清洗籃用于承載硅片，機械臂51由一橫梁及一豎梁構成，吊鉤53設于橫梁上。機械手5能夠沿著觀察窗6水平移動，用于把清洗籃依次運送到每個掛槽4的上方，機械手5亦能夠沿著掛槽4豎直移動，用于把清洗籃放入、取出掛槽4內。驅動裝置52設置在掛槽的側面，減少清洗液的濺落腐蝕。前置式的機械手使整體結構更緊湊，為下方的副槽和管路預留了充裕的安裝空間，且在空間上更靠近觀察窗，便于觀察、安裝和維護，方便機械手的工作。為了穩固的掛起清洗籃，機械手5亦可平行的設置有兩組，兩組機械手之間可根據清洗籃大小相應調整間距。
[0021]在實際使用中，硅片材料需要經過多道清洗工序，為了便于設備的運輸和拆裝，以每道清洗工序為一單元，將設備設計為可分段式箱體結構，根據不同道數的清洗工序，設計為對應段數的清洗設備或濕法處理設備。清洗設備運行時，操作人員把裝有硅片的清洗籃放到傳送裝置上，按下上料確認按鈕，傳送裝置將清洗籃運送到上料臺；根據設定的程序，通過機械手5的上下及左右移動，自動把清洗籃按照順序依次放入各掛槽4中進行清洗工序，同時抽風系統3進行抽氣；所有清洗工序完成后，機械手5再將清洗籃放置到下料臺上，通過傳送裝置自動運送到出料口取料。
[0022]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，包括:兩側設有通口的設備箱體(1)、設于箱體內部的掛槽(4)、設于掛槽前方的機械手(5)、設于掛槽后方上側的隔板容腔、及設于掛槽下方的管路及檢修區(7)，所述隔板容腔內設有電氣安裝區(2)，所述電氣安裝區與掛槽之間設有與掛槽連通的抽風系統(3)。
2.根據權利要求1所述的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，所述掛槽(4)的外側面設有擱置部(42)，掛槽安裝區域的側面對應設有支撐架(41)，所述擱置部與支撐架固定連接。
3.根據權利要求1所述的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，所述機械手(5)包括設于掛槽(4)上方的機械臂(51)、及設于掛槽前方帶動機械臂水平和上下移動的驅動裝置(52)。
4.根據權利要求1所述的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，所述抽風系統(3)包括設置在電氣安裝區(2)與掛槽(4)之間的抽風道(31)、開設在掛槽后方的抽風口(32)、及與抽風道連接的抽風機(33)。
5.根據權利要求1至4任意一項所述的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，所述電氣安裝區(2)的后端設有后上門(8)。
6.根據權利要求1至4任意一項所述的用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，其特征在于，所述管路及檢修區(7)的后端設有后下門(9)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于硅片的清洗設備或濕法處理設備，包括：兩側設有通口的設備箱體、設于箱體內部的掛槽、設于掛槽前方的機械手、設于掛槽后方上側的隔板容腔、及設于掛槽下方的管路及檢修區，所述隔板容腔內設有電氣安裝區，所述電氣安裝區與掛槽之間設有與掛槽連通的抽風系統。優化了設備的內部結構，使設備內部劃分出相對獨立且連接緊密的各功能模塊，在功能上大大提高設備的穩定性和安全性，在維修方面大大減少工作量，降低難度系數。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204332921
【申請號】CN201520001294
【發明人】左國軍
【申請人】常州捷佳創精密機械有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年1月4日