一種機械手互鎖控制方法
【專利摘要】本發明公開了一種離子注入機機械手的控制方法，包括：工控機(1)、PDI控制器(2)、機械手(3)、繼電器(4)、氣動模塊(5)、Loadlock(6)。說明書對一種離子注入機機械手運動控制方法做出了詳細說明，并給出具體實施方案。本發明涉及運動控制裝置，隸屬于半導體制造領域。
【專利說明】
一種機械手互鎖控制方法
技術領域
[0001]本發明涉及一種晶片傳輸控制系統，尤其涉及離子注入機的一種離子注入機機械手的控制方法。
【背景技術】
[0002]離子注入機靶室部分需要在真空下進行晶片傳輸，機械手需要將EFEM系統傳送至片庫中的晶片傳送至定向臺，然后傳送至靶臺注入，最后在將注入完成的晶片傳送回片庫。由于晶片傳送的成功與否直接影響到了注入機的整機穩定性，所以傳送過程對機械手運動的精準度和穩定性有很高的要求，機械手在整個晶片傳送過程中起著至關重要的作用。一種好的機械手控制方法可以通過精簡控制手法，顯著的提高傳片效率，有效的減少碎片率的發生。控制信號可以精確的將各個過程傳送至軟件界面中，同時防止通信出錯引起的各種誤動作，從而減少硬件損壞。本發明提供一種機械手互鎖控制方法，此方法控制方法簡單，信號傳輸準確，可靠性高。

【發明內容】

[0003]本發明公開了離子注入機系統中靶室機械手運動控制方法。該發明用于離子注入機，可實現準確快速的晶片傳送，控制效果穩定。
[0004]本發明通過以下技術方案實現:主要組成包括:工控機、PDI控制器、機械手、繼電器、氣動模塊、Loadlock。其中工控機通過10pmaster轉接板與PDI控制器之間進行光纖通信，PDI控制器得到光纖信號之后轉換為開關量信號，氣動模塊得到PDI開關量控制信號通過壓縮空氣控制Loadlock的開啟和關閉。Loadlock的氣缸通過到位傳感器向PDI發出反饋信號，再通過光纖傳送至上位機。機械手的運動控制是工控機通過PCL-741板卡提供的RS232接口與機械手相互連接通信，通過相應的控制字完成機械手運動。
[0005]機械手互鎖通過聯鎖PDI與氣動模塊之間的信號傳輸實現的。機械手使用的是books公司的Mag7系列。機械手除RS232 口進行通信控制外，還提供了一個DB50 口實現互鎖控制。
[0006]在使用機械手之前，根據靶臺及定向臺等位置通過機械手自帶的手柄對機械手可運動的幾個位置進行位置設定與校準。設定完成之后，上位機通過RS232發送相應控制字對機械手幾個位置的控制。本互鎖控制通過books提供的上位機軟件設定DB50相應的控制端口。DB50 口可以發送和接收開關量信號。PDI與氣動模塊之間通過繼電器雙向互鎖。當上位機通過PDI發送Loadlock開指令時，需要機械手在原始位置，并發送繼電器互鎖信號，PDI才可與Loadlock之間通信。同時，當Loadlock需要運動時，需要確認機械手不運動的信號，才可接收到PDI發送開關信號。
[0007]本發明具有如下顯著優點:
[0008]1.硬件連接和通信穩定，接線方式簡單，可靠性高。
[0009]2.互鎖控制可以防止當通訊環路斷開之后，PDI控制器發出的誤動作指令，雙向互鎖增加了可靠性。
【附圖說明】
[0010]圖1為離子注入機機械手互鎖控制模式圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖1對本發明作進一步的介紹，但不作為對本發明的限定。
[0012]如圖1中所示，本互鎖控制當中，保證繼電器信號與反饋信號的準確是非常重要的。工控機通過PDI控制器接收到的到位信號，判斷Loadlock的位置，根據Loadlock位置判斷是否可以發送機械手運動指令。當信號穩定時，機械手運動與Loadlock運動不會相互沖突。當出現通信斷開或者誤動作信號時，由于機械手運動之前需要判斷Loadlock反饋信號，所以不會發生運動沖突。同理，當Loadlock運動時，需要判斷機械手是否到位。當機械手到位信號傳送至上位機之后，上位機才可以發送運動指令于機械手。這樣的互鎖控制不僅可以避免誤操作，而且可以避免通信環路斷開和對設備部件造成損壞，同時也是設備聯鎖機制的一部分，提高設備的整體穩定性。
[0013]本發明專利的特定實施例已對本發明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【主權項】
1.本發明公開了一種離子注入機機械手的控制方法，包括:工控機(I)、PDI控制器(2)、機械手(3)、繼電器(4)、氣動模塊(5)、Loadlock(6)。其中工控機(I)與PDI控制器(2)之間是通過光纖進行通信，工控機(I)與機械手(3)是通過RS232通信，PDI控制器(2)的開關量信號與氣動模塊(5)之間通過繼電器(4)形成互鎖控制信號，氣動模塊(5)得到控制信號通過壓縮空氣控制Loadlock(6)的開啟和關閉，Loadlock(6)通過氣缸到位傳感器向PDI發出反饋信號，傳送至上位機。2.如權利要求1所述的一種離子注入機機械手互鎖控制方法，其特征在于:通過一個繼電器(4)就可以實現對機械手(3)的互鎖控制，大大降低了因為誤動作對機械手(3)及Loadlock (6)的損壞，同時減少了硬件資源，節約了成本。
【文檔編號】H01L21/67GK105895550SQ201410788932
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年12月18日
【發明人】姜翼展
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司