一種單晶圓承載腔室結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體集成電路制造領域，尤其涉及一種單晶圓承載腔室結構。
【背景技術】
[0002]機臺如果不跑貨，單晶圓承載室門(SWLL Door)在關閉的情況下超過3個小時，當產品晶片準備進入單晶圓承載室(SWLL)時便會發生單晶圓承載室開門超時(SWLL DoorOpen Timeout)的故障。首先由于單晶圓承載室門(SWLL Door)外是大氣環境，產品晶片遇到此故障，會停留在大氣環境，增加受粒子(Particle)影響的概率，從而影響產品的良率，甚至導致產品晶片報廢；其次此故障導致機臺停機，由于在機臺跑貨的間隙便會發生該問題，會浪費大量的跑貨時間和機臺正常運行時間(Uptime)，同時浪費人力處理。通過對單晶圓承載室開門超時(SWLL Door Open Timeout)故障的故障排除(Trouble Shooting),此故障的根本原因(Root Cause)為單晶圓承載室門(SWLL Door)在關閉的情況下時間過長，單晶圓承載室門(SWLL Door)組件被滑動導軌上的硬停機(Hard Stop)橡膠圈粘住，導致無法打開。單晶圓承載室門(SWLL Door)開關時對硬停機(Hard Stop)橡膠圈的擠壓和摩擦，硬停機(Hard Stop)橡膠圈磨損老化后容易產生粒子從而影響產品晶片。

【發明內容】

[0003]有鑒于此，本發明提出一種單晶圓承載腔室結構，以解決上述單晶圓承載室門長時間關閉，單晶圓承載室門上的組件被滑動導軌上的橡膠圈黏住，導致開門超時的問題。
[0004]為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的:
[0005]一種單晶圓承載腔室結構，包括單晶圓承載室、承載室門、夾鉗氣缸、開關氣缸和導軌，其中，所述承載室門安裝于所述單晶圓承載室的外表面，所述夾鉗氣缸安裝于所述承載室門上，所述承載室門通過所述夾鉗氣缸實現所述單晶圓承載室的密封和通氣，所述開關氣缸縱向地安裝于所述承載室門的下部，用于打開或關閉所述承載室門，所述導軌安裝于所述單晶圓承載室的左右兩端，每個所述導軌的上下兩端均安裝有特氟龍圈，所述特氟龍圈用于減小所述承載室門打開或關閉時產生的壓力和摩擦力。
[0006]上述單晶圓承載室結構，其中，所述導軌為滑動導軌。
[0007]上述單晶圓承載室結構，其中，還包括傳感器，所述傳感器設置于所述單晶圓承載室的一側。
[0008]上述單晶圓承載室結構，其中，所述傳感器包括:光感傳感器和磁感傳感器；
[0009]所述光感傳感器用于感應因所述單晶圓承載室密封和通氣之間的光線變化；
[0010]所述磁感傳感器用于感應所述承載室門打開或關閉而引起的磁場變化。
[0011]上述單晶圓承載室結構，其中，所述開關氣缸的一端通過氣缸導桿連接所述承載室門。
[0012]上述單晶圓承載室結構，其中，所述夾鉗氣缸包括兩個夾緊氣缸和兩個松開氣缸。
[0013]本發明由于采用了上述技術，產生的積極效果是:
[0014]本發明通過將特氟龍作為橡膠圈的材料，由于特氟龍的不粘性和耐磨損性，永久性解決黏附導致的開門超時故障，提升機臺的正常運行時間和節省人力；解決橡膠圈磨損老化后產生的一系列問題，提升了產品硅片的良率。
【附圖說明】
[0015]構成本發明的一部分的附圖用來提供對本發明的進一步理解，本發明的示意性實施例及其說明用于解釋本發明，并不構成對本發明的不當限定。在附圖中:
[0016]圖1為本發明的一種單晶圓承載腔室結構的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。
[0018]實施例
[0019]請參見圖1所示，本發明的一種單晶圓承載腔室結構，包括單晶圓承載室8、承載室門1、夾鉗氣缸、開關氣缸4和導軌6，其中，承載室門1安裝于單晶圓承載室8的外表面，夾鉗氣缸安裝于承載室門1上，承載室門1通過夾鉗氣缸實現單晶圓承載室8的密封和通氣，開關氣缸4縱向地安裝于承載室門1的下部，用于打開或關閉承載室門1，導軌6安裝于單晶圓承載室8的左右兩端，每個導軌6的上下兩端均安裝有特氟龍圈7，特氟龍圈7用于減小承載室門打開或關閉時產生的壓力和摩擦力。
[0020]本發明在上述基礎上還具有以下實施方式，請繼續參見圖1所示，
[0021]本發明的進一步實施例中，導軌6為滑動導軌，滑動導軌的摩擦力小，使用壽命提聞。
[0022]本發明的進一步實施例中，還包括傳感器5，傳感器5設置于單晶圓承載室的一側。
[0023]本發明的進一步實施例中，傳感器5包括:光感傳感器和磁感傳感器；
[0024]光感傳感器用于感應因單晶圓承載室8密封和通氣之間的光線變化；
[0025]磁感傳感器用于感應承載室門1打開或關閉而引起的磁場變化。
[0026]本發明的進一步實施例中，開關氣缸4的一端通過氣缸導桿連接承載室門ο
[0027]本發明的進一步實施例中，夾鉗氣缸包括兩個夾緊氣缸2和兩個松開氣缸3。
[0028]使用者可根據以下說明進一步的認識本發明的特性及功能。
[0029]單晶圓承載室8打開或關閉承載室門1的過程如下:
[0030]首先系統會發出松開命令，松開氣缸3運動，承載室門1水平向外彈出，到達松開位置后磁感應傳感器5檢測到光線，于是反饋DI松開信號，系統收到DI信號后發出門打開命令，開關氣缸4運動，磁感應傳感器5因為氣缸運動檢測到磁場變化，于是反饋DI開關信號，系統收到DI信號判斷承載室門1已經打開。
[0031]使用新的設計前，安裝有單晶圓承載腔室結構的機臺在跑貨的間隙后會發生開門超時的故障，導致停機，影響產品晶片的良率和浪費大量的人力；承載室門1開關時對硬停機的橡膠圈的擠壓和摩擦，橡膠圈磨損老化后容易產生粒子從而影響產品晶片的良率。
[0032]使用新的設計后，由于特氟龍的不粘性和耐磨損性，永久性解決黏附導致的開門超時故障，提升機臺的正常運行時間和節省人力；解決橡膠圈磨損老化后產生的一系列問題，提升了產品硅片的良率，特氟龍圈7與原橡膠圈大小為1比1相同大小。
[0033]本實施例中使用Teflon (特氟龍，聚四氟乙烯)為制造材料替換橡膠，特氟龍具有以下優點:
[0034]不粘性:幾乎所有物質都不與聚四氟乙烯涂膜粘合，很薄的膜也顯示出很好的不粘附性能。已知的固體材料都不能粘附在表面上，是一種表面能最小的固體材料。
[0035]耐高低溫性:對溫度的影響變化不大，溫域范圍廣，可使用溫度-190?260°C。聚四氟乙烯涂膜具有優良的耐熱和耐低溫特性，短時間可耐高溫到300°C，一般在240°C?260°C之間可連續使用，具有顯著的熱穩定性，它可以在冷凍溫度下工作而不脆化，在高溫下不融化。
[0036]耐磨損性:在高負載下，具有優良的耐磨性能。在一定的負載下，具備耐磨損和不粘附的雙重優點。
[0037]耐腐蝕性:聚四氟乙烯幾乎不受藥品侵蝕，能夠承受除了熔融的堿金屬，氟化介質以及高于300°C氫氧化鈉之外的所有強酸(包括王水)、強氧化劑、還原劑和各種有機溶劑的作用，可以保護零件免于遭受任何種類的化學腐蝕。
[0038]運用特氟龍的這些優點我們可以永久性解決黏附導致的開門超時故障和橡膠圈磨損老化后產生的一系列問題。
[0039]使用原硬停機橡膠圈的模具尺寸和大小，使用特氟龍為制作材料，制作出與原硬停機橡膠圈1比1大小的硬停機特氟龍圈，安裝在安裝有單晶圓承載腔室結構的機臺上替換原有橡膠圈，安裝完成后，檢查開關門正常，測量粒子通過后，就能完美替換和不影響機臺生產制造。
[0040]綜上所述，本發明通過將特氟龍作為橡膠圈的材料，由于特氟龍的不粘性和耐磨損性，永久性解決黏附導致的開門超時故障，提升機臺的正常運行時間和節省人力；解決橡膠圈磨損老化后產生的一系列問題，提升了產品硅片的良率。
[0041]以上所述僅為本發明較佳的實施例，并非因此限制本發明的實施方式及保護范圍，對于本領域技術人員而言，應當能夠意識到凡運用本發明說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應當包含在本發明的保護范圍內。
【主權項】
1.一種單晶圓承載腔室結構，包括單晶圓承載室、承載室門、夾鉗氣缸、開關氣缸和導軌，其特征在于，所述承載室門安裝于所述單晶圓承載室的外表面，所述夾鉗氣缸安裝于所述承載室門上，所述承載室門通過所述夾鉗氣缸實現所述單晶圓承載室的密封和通氣，所述開關氣缸縱向地安裝于所述承載室門的下部，用于打開或關閉所述承載室門，所述導軌安裝于所述單晶圓承載室的左右兩端，每個所述導軌的上下兩端均安裝有特氟龍圈，所述特氟龍圈用于減小所述承載室門打開或關閉時產生的壓力和摩擦力。2.根據權利要求1所述的單晶圓承載腔室結構，其特征在于，所述導軌為滑動導軌。3.根據權利要求1所述的單晶圓承載腔室結構，其特征在于，還包括傳感器，所述傳感器設置于所述單晶圓承載室的一側。4.根據權利要求3所述的單晶圓承載腔室結構，其特征在于，所述傳感器包括:光感傳感器和磁感傳感器； 所述光感傳感器用于感應因所述單晶圓承載室密封和通氣之間的光線變化； 所述磁感傳感器用于感應所述承載室門打開或關閉而引起的磁場變化。5.根據權利要求1所述的單晶圓承載腔室結構，其特征在于，所述開關氣缸的一端通過一氣缸導桿連接所述承載室門。6.根據權利要求1所述的單晶圓承載腔室結構，其特征在于，所述夾鉗氣缸包括兩個夾緊氣缸和兩個松開氣缸。
【專利摘要】本發明公開了一種單晶圓承載腔室結構，承載室門安裝于單晶圓承載室的外表面，夾鉗氣缸安裝于承載室門上，承載室門通過夾鉗氣缸實現單晶圓承載室的密封和通氣，開關氣缸縱向地安裝于承載室門的下部，用于打開或關閉承載室門，磁感應傳感器安裝于單晶圓承載室的一側，導軌安裝于單晶圓承載室的左右兩端，每個導軌的上下兩端均安裝有特氟龍圈，特氟龍圈用于減小承載室門打開或關閉時產生的壓力和摩擦力；本發明通過將特氟龍作為橡膠圈的材料，由于特氟龍的不粘性和耐磨損性，永久性解決黏附導致的開門超時故障，提升機臺的正常運行時間和節省人力；解決橡膠圈磨損老化后產生的問題，提升了產品硅片的良率。
【IPC分類】H01L21/683
【公開號】CN105336656
【申請號】CN201410273894
【發明人】張嘯, 劉瑋, 徐伯山, 邰曉東, 黃曉強, 朱亮
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年2月17日
【申請日】2014年6月18日