本發明涉及(ji)具有(you)選擇柵(zha)極(ji)(ji)、浮動柵(zha)極(ji)(ji)、控制柵(zha)極(ji)(ji)和(he)擦除柵(zha)極(ji)(ji)的非(fei)易(yi)失性閃(shan)存單元。

背景技術：

具有(you)選擇柵(zha)(zha)極(ji)(ji)、浮(fu)動柵(zha)(zha)極(ji)(ji)、控制柵(zha)(zha)極(ji)(ji)和(he)擦除柵(zha)(zha)極(ji)(ji)的(de)分裂柵(zha)(zha)非(fei)易(yi)失性閃(shan)存單元是(shi)本領域熟知的(de)。參見例(li)如(ru)美(mei)國專(zhuan)利6,747,310和(he)7,868,375。在浮(fu)動柵(zha)(zha)極(ji)(ji)上具有(you)懸垂的(de)擦除柵(zha)(zha)極(ji)(ji)也(ye)是(shi)本領域熟知的(de)。參見例(li)如(ru)美(mei)國專(zhuan)利5,242,848。所(suo)有(you)這三篇專(zhuan)利出于所(suo)有(you)目的(de)均全文(wen)以引用方式并入本文(wen)。

圖1示出了形成(cheng)于半(ban)導體(ti)襯底(di)10上(shang)(shang)的(de)(de)一(yi)對常規存儲器單元。每個(ge)存儲器單元包括設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)襯底(di)10上(shang)(shang)面(mian)(mian)并通(tong)(tong)過(guo)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)12(如(ru)，二氧化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(“氧化(hua)(hua)(hua)物(wu)”))與該(gai)(gai)襯底(di)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)的(de)(de)浮(fu)動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)14。控(kong)(kong)制(zhi)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)18設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)浮(fu)動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)14上(shang)(shang)面(mian)(mian)并通(tong)(tong)過(guo)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)16(如(ru)，ono-氧化(hua)(hua)(hua)物(wu)-氮(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)-氧化(hua)(hua)(hua)物(wu))與該(gai)(gai)浮(fu)動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)。絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)20(如(ru)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)硅(gui)(“氮(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)”))設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)控(kong)(kong)制(zhi)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)10上(shang)(shang)面(mian)(mian)。絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)22(如(ru)，氧化(hua)(hua)(hua)物(wu))設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)20上(shang)(shang)面(mian)(mian)。絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)24(如(ru)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu))設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)22上(shang)(shang)面(mian)(mian)。選擇柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(字線柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji))26設(she)(she)置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)(zai)襯底(di)10上(shang)(shang)面(mian)(mian)并與該(gai)(gai)襯底(di)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)，且與浮(fu)動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)14和(he)控(kong)(kong)制(zhi)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)18橫向相鄰。間隔開的(de)(de)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)區(qu)28和(he)漏極(ji)(ji)(ji)區(qu)30分(fen)別形成(cheng)于襯底(di)中(具有與襯底(di)(或襯底(di)中形成(cheng)的(de)(de)阱)的(de)(de)導電(dian)類型(xing)不同的(de)(de)導電(dian)類型(xing))。擦除柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)32形成(cheng)于源(yuan)極(ji)(ji)(ji)區(qu)28上(shang)(shang)面(mian)(mian)并通(tong)(tong)過(guo)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)層(ceng)34(如(ru)，氧化(hua)(hua)(hua)物(wu))與該(gai)(gai)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)區(qu)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)。

圖(tu)2示出了此類存(cun)儲器(qi)單(dan)(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)陣列(lie)的(de)(de)(de)俯視(shi)平面圖(tu)。每(mei)(mei)行(xing)(xing)(xing)控(kong)制柵(zha)(zha)極(ji)18形(xing)成(cheng)為(wei)(wei)或(huo)連(lian)接(jie)成(cheng)沿(yan)行(xing)(xing)(xing)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)單(dan)(dan)線(xian)(即(ji)，電(dian)連(lian)接(jie)整行(xing)(xing)(xing)控(kong)制柵(zha)(zha)極(ji)18)。每(mei)(mei)行(xing)(xing)(xing)選(xuan)擇(ze)(字線(xian))柵(zha)(zha)極(ji)26形(xing)成(cheng)為(wei)(wei)或(huo)連(lian)接(jie)成(cheng)沿(yan)行(xing)(xing)(xing)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)單(dan)(dan)線(xian)(即(ji)，電(dian)連(lian)接(jie)整行(xing)(xing)(xing)選(xuan)擇(ze)柵(zha)(zha)極(ji)26)。存(cun)儲器(qi)單(dan)(dan)元(yuan)的(de)(de)(de)列(lie)通過(guo)沿(yan)列(lie)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)的(de)(de)(de)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)36彼此絕緣。例如，將(jiang)溝槽(cao)形(xing)成(cheng)到襯底表面中并用(yong)絕緣材料(例如sti氧(yang)化物)填(tian)充溝槽(cao)的(de)(de)(de)熟知技術可用(yong)于形(xing)成(cheng)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)36。每(mei)(mei)行(xing)(xing)(xing)源(yuan)極(ji)區(qu)(qu)(qu)(在(zai)(zai)列(lie)方(fang)向(xiang)上(shang)由兩個(ge) 相(xiang)鄰(lin)的(de)(de)(de)存(cun)儲器(qi)單(dan)(dan)元(yuan)共享(xiang))形(xing)成(cheng)為(wei)(wei)連(lian)續擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)，該連(lian)續擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)沿(yan)行(xing)(xing)(xing)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)穿過(guo)在(zai)(zai)列(lie)方(fang)向(xiang)上(shang)相(xiang)鄰(lin)的(de)(de)(de)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)36之間的(de)(de)(de)間隙g(即(ji)，電(dian)連(lian)接(jie)整行(xing)(xing)(xing)源(yuan)極(ji)區(qu)(qu)(qu)28)。導(dao)電(dian)擦除柵(zha)(zha)極(ji)線(xian)32(在(zai)(zai)圖(tu)2中以虛線(xian)顯示)在(zai)(zai)源(yuan)極(ji)擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)28上(shang)面延(yan)(yan)伸(shen)，并且(qie)還由在(zai)(zai)列(lie)方(fang)向(xiang)上(shang)相(xiang)鄰(lin)的(de)(de)(de)兩個(ge)存(cun)儲器(qi)單(dan)(dan)元(yuan)共享(xiang)。

隨(sui)著(zhu)器件幾何形狀繼續縮(suo)小，sti氧(yang)化(hua)(hua)物(源(yuan)極線(xian)擴散區從(cong)中延伸穿過(guo)(guo))的(de)彼此面對(dui)的(de)末端之間(jian)(jian)(jian)的(de)間(jian)(jian)(jian)隙g變得更難控制。另(ling)外，對(dui)于這種(zhong)構(gou)造，源(yuan)極線(xian)28和擦除柵(zha)極線(xian)32占用了過(guo)(guo)多的(de)空間(jian)(jian)(jian)，以確保相(xiang)鄰sti隔離區36(在列(lie)方向上)的(de)末端之間(jian)(jian)(jian)的(de)間(jian)(jian)(jian)隙g具(ju)有可行的(de)臨界尺(chi)寸，特(te)別是考慮到sti氧(yang)化(hua)(hua)物的(de)線(xian)-端圓化(hua)(hua)。

技術實現要素：

一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)種減小型(xing)非(fei)易失性(xing)存儲(chu)器(qi)單元(yuan)陣列以(yi)具有(you)多個(ge)平(ping)行(xing)、連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)半導體襯(chen)底(di)實現，每(mei)個(ge)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)沿(yan)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)延伸(shen)(shen)，有(you)源(yuan)(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)位(wei)于(yu)每(mei)對(dui)(dui)相(xiang)鄰的(de)(de)(de)(de)(de)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間，其(qi)(qi)(qi)中每(mei)個(ge)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)包括(kuo)形(xing)成到襯(chen)底(di)表面(mian)(mian)(mian)中的(de)(de)(de)(de)(de)溝(gou)槽(cao)和設(she)(she)置(zhi)于(yu)溝(gou)槽(cao)中的(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣材(cai)料。多個(ge)平(ping)行(xing)、連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)線擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)位(wei)于(yu)襯(chen)底(di)中，每(mei)個(ge)擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)沿(yan)正交于(yu)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)方向(xiang)延伸(shen)(shen)，其(qi)(qi)(qi)中每(mei)個(ge)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)線擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)跨(kua)每(mei)個(ge)有(you)源(yuan)(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)并(bing)在(zai)每(mei)個(ge)隔離(li)(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中的(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣材(cai)料之下延伸(shen)(shen)。多個(ge)存儲(chu)器(qi)單元(yuan)對(dui)(dui)形(xing)成于(yu)每(mei)個(ge)有(you)源(yuan)(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中。每(mei)個(ge)存儲(chu)器(qi)單元(yuan)對(dui)(dui)包括(kuo)：襯(chen)底(di)中的(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，該(gai)(gai)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)是連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)線擴(kuo)(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)；襯(chen)底(di)中的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和第(di)二(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，其(qi)(qi)(qi)中第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)在(zai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間延伸(shen)(shen)，并(bing)且(qie)(qie)(qie)第(di)二(er)(er)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)在(zai)第(di)二(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間延伸(shen)(shen)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)浮(fu)(fu)動柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)二(er)(er)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)浮(fu)(fu)動柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)二(er)(er)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)選擇柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)二(er)(er)溝(gou)道區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)二(er)(er)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)選擇柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)浮(fu)(fu)動柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)其(qi)(qi)(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)控制(zhi)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)置(zhi)在(zai)第(di)二(er)(er)浮(fu)(fu)動柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)其(qi)(qi)(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)二(er)(er)控制(zhi)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)；以(yi)及設(she)(she)置(zhi)在(zai)源(yuan)(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)上面(mian)(mian)(mian)并(bing)且(qie)(qie)(qie)與(yu)其(qi)(qi)(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)(jue)緣的(de)(de)(de)(de)(de)擦除(chu)柵(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)。

一(yi)(yi)種形(xing)(xing)成非易失(shi)性存(cun)儲(chu)(chu)器(qi)單元陣(zhen)列的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)法包括：在(zai)半導體襯(chen)底(di)(di)中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成多個(ge)(ge)平(ping)行、連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，其(qi)中(zhong)(zhong)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)沿(yan)(yan)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)，有源(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)位于(yu)每(mei)(mei)(mei)對(dui)(dui)相鄰的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間，并且(qie)其(qi)中(zhong)(zhong)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)形(xing)(xing)成包括在(zai)襯(chen)底(di)(di)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)表(biao)面(mian)中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成溝槽并在(zai)溝槽中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料；在(zai)襯(chen)底(di)(di)中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成多個(ge)(ge)平(ping)行、連(lian) 續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線(xian)擴(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)擴(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)沿(yan)(yan)正交于(yu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)方(fang)向(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)伸(shen)，其(qi)中(zhong)(zhong)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線(xian)擴(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)跨(kua)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)有源(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)并在(zai)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料之下延(yan)(yan)伸(shen)；以(yi)及在(zai)每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)有源(yuan)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)形(xing)(xing)成多個(ge)(ge)存(cun)儲(chu)(chu)器(qi)單元對(dui)(dui)。每(mei)(mei)(mei)個(ge)(ge)存(cun)儲(chu)(chu)器(qi)單元對(dui)(dui)包括：襯(chen)底(di)(di)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，該(gai)(gai)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)是(shi)連(lian)續(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線(xian)擴(kuo)散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)個(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)；襯(chen)底(di)(di)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，其(qi)中(zhong)(zhong)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)在(zai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間延(yan)(yan)伸(shen)，并且(qie)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)在(zai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)和源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)之間延(yan)(yan)伸(shen)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)浮動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)部(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)浮動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部(bu)分(fen)(fen)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)選擇(ze)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部(bu)分(fen)(fen)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)部(bu)分(fen)(fen)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)選擇(ze)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)浮動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)控制柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)浮動(dong)柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)控制柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；以(yi)及設(she)(she)(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)源(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)上(shang)(shang)面(mian)并且(qie)與(yu)(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)擦除柵(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)。

一(yi)(yi)(yi)(yi)種形成(cheng)非易失性存(cun)儲器(qi)單元(yuan)陣列的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)包括(kuo)：在(zai)(zai)(zai)半(ban)導體襯(chen)底(di)上(shang)(shang)形成(cheng)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)層；在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)層中(zhong)(zhong)形成(cheng)沿(yan)(yan)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)延(yan)(yan)(yan)伸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)槽；用不同于(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)填充(chong)所述(shu)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)槽；在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)層中(zhong)(zhong)形成(cheng)沿(yan)(yan)正(zheng)交于(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)方向(xiang)延(yan)(yan)(yan)伸的(de)(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)槽；將所述(shu)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)槽延(yan)(yan)(yan)伸至襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)；用第(di)(di)(di)(di)(di)(di)三絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)填充(chong)所述(shu)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)槽，其(qi)中(zhong)(zhong)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)三絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)將平行的(de)(de)(de)(de)(de)(de)隔離區(qu)(qu)(qu)限定于(yu)(yu)半(ban)導體襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)，有(you)源(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)位(wei)于(yu)(yu)每(mei)(mei)對(dui)(dui)相鄰的(de)(de)(de)(de)(de)(de)隔離區(qu)(qu)(qu)之(zhi)間(jian)(jian)，并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)其(qi)中(zhong)(zhong)隔離區(qu)(qu)(qu)不在(zai)(zai)(zai)襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)于(yu)(yu)所述(shu)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)槽之(zhi)下形成(cheng)；移除第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)材(cai)(cai)料(liao)；通(tong)過(guo)進行第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)槽注(zhu)入而(er)在(zai)(zai)(zai)半(ban)導體襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)形成(cheng)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)平行、連續的(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線擴散(san)區(qu)(qu)(qu)，其(qi)中(zhong)(zhong)每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線擴散(san)區(qu)(qu)(qu)沿(yan)(yan)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)方向(xiang)延(yan)(yan)(yan)伸，并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)跨過(guo)每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)有(you)源(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)；以(yi)及(ji)在(zai)(zai)(zai)每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)有(you)源(yuan)(yuan)區(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)形成(cheng)多(duo)(duo)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)存(cun)儲器(qi)單元(yuan)對(dui)(dui)。每(mei)(mei)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)存(cun)儲器(qi)單元(yuan)對(dui)(dui)包括(kuo)：襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)，該(gai)(gai)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)是連續的(de)(de)(de)(de)(de)(de)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)線擴散(san)區(qu)(qu)(qu)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)(ge)(ge)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分；襯(chen)底(di)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)和第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)，其(qi)中(zhong)(zhong)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)和源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)之(zhi)間(jian)(jian)延(yan)(yan)(yan)伸，并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)漏(lou)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)和源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)之(zhi)間(jian)(jian)延(yan)(yan)(yan)伸；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)部(bu)分絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)部(bu)分絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)選(xuan)擇柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)溝(gou)(gou)道(dao)區(qu)(qu)(qu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)該(gai)(gai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)部(bu)分絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)選(xuan)擇柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di) 一(yi)(yi)(yi)(yi)控(kong)制柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)(er)(er)控(kong)制柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)；以(yi)及(ji)設(she)置(zhi)在(zai)(zai)(zai)源(yuan)(yuan)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)上(shang)(shang)面(mian)(mian)并(bing)(bing)(bing)(bing)且(qie)與(yu)其(qi)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)擦除柵(zha)(zha)(zha)(zha)極(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)。

通過查(cha)看說明書、權利(li)要求書和附圖，本發明的(de)(de)其(qi)他目的(de)(de)和特征(zheng)將變得顯(xian)而易見(jian)。

附圖說明

圖1是(shi)一對(dui)常規非易失性(xing)存儲器單(dan)元(yuan)的剖視圖。

圖(tu)2是常(chang)規非易失性存儲器單元的(de)陣列的(de)俯視(shi)平面(mian)圖(tu)。

圖3a-3g是沿y-列方向的側(ce)面(mian)剖視圖，其(qi)示出了本發明的存儲器單元(yuan)對(dui)的形(xing)成。

圖4a-4g是沿x-行方(fang)向的(de)側面剖視(shi)圖，其示出了本(ben)發明的(de)存儲(chu)器單元對(dui)的(de)形成。

圖(tu)(tu)5是本發(fa)明的(de)非(fei)易失(shi)性存儲(chu)器單元(yuan)陣列的(de)俯視(shi)平面(mian)圖(tu)(tu)。

圖6a-6d是沿y-列方(fang)向的側(ce)面剖視(shi)圖，其(qi)示出了在本發明的替代實施例中(zhong)存儲(chu)器單元(yuan)對(dui)的形成。

圖(tu)7a-7d是沿x-行方向的(de)側面剖視圖(tu)，其示出(chu)了在本發明的(de)替代實施例中(zhong)存儲(chu)器單元對的(de)形(xing)成。

圖8是本發(fa)明的替代(dai)實施例(li)的非易失性存(cun)儲(chu)器單元陣列的俯(fu)視平面圖。

具體實施方式

本(ben)發(fa)明是非易失性存(cun)儲器陣(zhen)(zhen)列以(yi)及利用兩個掩模(mo)步(bu)(bu)驟減(jian)小存(cun)儲器單(dan)(dan)元陣(zhen)(zhen)列的(de)大(da)(da)小的(de)技術。第一(yi)水(shui)平(ping)掩模(mo)步(bu)(bu)驟用于(yu)蝕刻(ke)將限定(ding)源極(ji)(ji)(ji)線的(de)氮(dan)化硅(gui)層。第二垂直掩模(mo)步(bu)(bu)驟用于(yu)蝕刻(ke)硅(gui)溝槽(cao)，以(yi)隔離(li)(li)相鄰的(de)位。該技術可(ke)在源極(ji)(ji)(ji)線得到(dao)呈(cheng)直角(jiao)的(de)sti轉角(jiao)，并避免(mian)常規單(dan)(dan)掩模(mo)sti形成(cheng)法導致的(de)sti線-端圓(yuan)化。因此，可(ke)減(jian)小兩個控制柵極(ji)(ji)(ji)之(zhi)間的(de)空間，從而減(jian)小存(cun)儲器單(dan)(dan)元陣(zhen)(zhen)列的(de)大(da)(da)小。或者，存(cun)儲器單(dan)(dan)元陣(zhen)(zhen)列的(de)大(da)(da)小可(ke)通過一(yi)個或多個注(zhu)入而實現，所述注(zhu)入滲透(tou)sti隔離(li)(li)區(qu)(qu)，以(yi)使得源極(ji)(ji)(ji)線擴散區(qu)(qu)在連續隔離(li)(li)區(qu)(qu)絕緣的(de)下面延伸。

參(can)見圖(tu)3a-3g和圖(tu)4a-4g，其(qi)示出了制造本發(fa)明的(de)存儲(chu)器單(dan)元陣列的(de)工藝步驟(zou)的(de)剖視圖(tu)(分別沿y-列方(fang)向(xiang)和x-行方(fang)向(xiang))。該工藝始(shi)于在硅襯 底40上(shang)形成二氧化(hua)硅(氧化(hua)物(wu)(wu))層(ceng)42。然后在氧化(hua)物(wu)(wu)層(ceng)42上(shang)形成氮化(hua)硅(氮化(hua)物(wu)(wu))層(ceng)44。將光致抗蝕劑(ji)材料涂覆在結構(gou)上(shang)，并進(jin)行光刻掩模步驟(zou)，從而(er)暴露光致抗蝕劑(ji)材料的(de)所(suo)選部(bu)分。使光致抗蝕劑(ji)顯影，并將光致抗蝕劑(ji)用作掩模，蝕刻該結構(gou)，以使得溝(gou)槽46形成到氮化(hua)物(wu)(wu)層(ceng)44中，所(suo)述溝(gou)槽沿x-行方(fang)向(xiang)延伸，如(ru)圖(tu)3a和圖(tu)4a所(suo)示(在光致抗蝕劑(ji)移(yi)除后)。具(ju)體地講，各向(xiang)異性(xing)地蝕刻氮化(hua)物(wu)(wu)層(ceng)44，直到暴露氧化(hua)物(wu)(wu)層(ceng)42。

使(shi)(shi)用氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物沉積和cmp或(huo)回蝕(shi)(shi)(shi)(shi)來(lai)以氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物47填充溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)46。將(jiang)光致(zhi)抗(kang)(kang)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)劑(ji)材料涂(tu)覆在結構(gou)上(shang)，并進(jin)(jin)行(xing)光刻(ke)掩模(mo)步驟，從而暴(bao)露(lu)光致(zhi)抗(kang)(kang)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)劑(ji)材料的(de)所(suo)(suo)選部(bu)分。使(shi)(shi)光致(zhi)抗(kang)(kang)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)劑(ji)顯影，并選擇性移(yi)除，以暴(bao)露(lu)出氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)物層(ceng)44的(de)多(duo)個部(bu)分。然后(hou)使(shi)(shi)用氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)物蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)將(jiang)溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)48形(xing)成到氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)物層(ceng)44中，所(suo)(suo)述溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)沿(yan)y-列方(fang)向(xiang)延(yan)伸(shen)。使(shi)(shi)用各(ge)向(xiang)異(yi)性蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)來(lai)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)刻(ke)溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)48底部(bu)的(de)暴(bao)露(lu)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物42和硅40(即(ji)，使(shi)(shi)溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)48延(yan)伸(shen)通過氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物層(ceng)42進(jin)(jin)入襯底40中)，如圖3b和圖4b所(suo)(suo)示(在光致(zhi)抗(kang)(kang)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)劑(ji)移(yi)除后(hou))。厚絕緣材料(如，氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物)層(ceng)形(xing)成于(yu)結構(gou)上(shang)面，從而填充溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)48。然后(hou)使(shi)(shi)用氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)物44作(zuo)為刻(ke)蝕(shi)(shi)(shi)(shi)阻擋層(ceng)，進(jin)(jin)行(xing)化(hua)(hua)(hua)(hua)學-機械拋光，溝(gou)(gou)槽(cao)(cao)48保持被sti氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物50填充，如圖3c和圖4c所(suo)(suo)示。sti氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)物50限定沿(yan)y-列方(fang)向(xiang)延(yan)伸(shen)的(de)隔(ge)離(li)區49，有源區51在所(suo)(suo)述隔(ge)離(li)區之間(以交替(ti)方(fang)式(shi))。

使(shi)(shi)(shi)用氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)蝕(shi)刻(ke)(ke)移(yi)(yi)除(chu)氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)44。將(jiang)多(duo)晶(jing)硅(多(duo)晶(jing))沉積于(yu)(yu)結構(gou)上，然后(hou)使(shi)(shi)(shi)用氧(yang)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)47和(he)50作為蝕(shi)刻(ke)(ke)阻(zu)擋層(ceng)(ceng)(ceng)，進行(xing)多(duo)晶(jing)化(hua)(hua)(hua)學機械拋光(cmp)(其中多(duo)晶(jing)層(ceng)(ceng)(ceng)52有(you)效代(dai)替氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)層(ceng)(ceng)(ceng)44)，如(ru)(ru)圖(tu)3d和(he)圖(tu)4d所(suo)示(shi)。絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)54(如(ru)(ru)ono，具有(you)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)和(he)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)亞層(ceng)(ceng)(ceng))形成(cheng)于(yu)(yu)結構(gou)上面(mian)。多(duo)晶(jing)層(ceng)(ceng)(ceng)56形成(cheng)于(yu)(yu)ono層(ceng)(ceng)(ceng)54上面(mian)。一(yi)個或多(duo)個絕(jue)緣層(ceng)(ceng)(ceng)(如(ru)(ru)，氧(yang)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)58和(he)氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)60)形成(cheng)于(yu)(yu)多(duo)晶(jing)層(ceng)(ceng)(ceng)56上面(mian)。使(shi)(shi)(shi)光致(zhi)抗蝕(shi)劑(ji)(ji)在氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)層(ceng)(ceng)(ceng)60上面(mian)形成(cheng)、顯影，并(bing)除(chu)了沿(yan)x-行(xing)方向(xiang)行(xing)進的條紋之(zhi)外選(xuan)擇性移(yi)(yi)除(chu)。使(shi)(shi)(shi)用一(yi)系列(lie)蝕(shi)刻(ke)(ke)移(yi)(yi)除(chu)氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)60、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)58、多(duo)晶(jing)56和(he)ono54(除(chu)了它(ta)們的被光致(zhi)抗蝕(shi)劑(ji)(ji)的條紋保護的部(bu)分之(zhi)外)的多(duo)個部(bu)分，從而保留有(you)源區(qu)51中此類層(ceng)(ceng)(ceng)的疊堆對s1和(he)s2。在光致(zhi)抗蝕(shi)劑(ji)(ji)移(yi)(yi)除(chu)之(zhi)后(hou)，沿(yan)疊堆s1和(he)s2的側面(mian)形成(cheng)(如(ru)(ru)，通過氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)沉積和(he)蝕(shi)刻(ke)(ke))絕(jue)緣間(jian)隔物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu)61(如(ru)(ru)，氮(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)物(wu)(wu)(wu)(wu)(wu))。光致(zhi)抗蝕(shi)劑(ji)(ji)部(bu)分地形成(cheng)于(yu)(yu)疊堆s1和(he)s2上面(mian)以及所(suo)述疊堆間(jian)的區(qu)域(yu)上面(mian)，但暴露出疊堆對s1和(he)s2之(zhi)外的區(qu)域(yu)。然后(hou)使(shi)(shi)(shi)用多(duo)晶(jing)蝕(shi)刻(ke)(ke)移(yi)(yi)除(chu)多(duo)晶(jing)層(ceng)(ceng)(ceng)52的暴露部(bu)分，如(ru)(ru)圖(tu)3e和(he)圖(tu)4e所(suo)示(shi)(在光致(zhi)抗蝕(shi)劑(ji)(ji)移(yi)(yi)除(chu)后(hou))。

進行氧(yang)(yang)化(hua)物蝕刻(ke)，以移(yi)除有源(yuan)區51中(zhong)的氧(yang)(yang)化(hua)物47，和(he)(he)(he)氧(yang)(yang)化(hua)物42的暴露部(bu)分，以及隔(ge)(ge)離區49中(zhong)的氧(yang)(yang)化(hua)物50的上部(bu)(即(ji)，減小隔(ge)(ge)離區49中(zhong)氧(yang)(yang)化(hua)物50的高度)。使用對溝(gou)槽46的注入(ru)在襯(chen)底(di)中(zhong)在疊堆s1和(he)(he)(he)s2之間形成源(yuan)極(ji)區62。所得的結構如圖(tu)3f和(he)(he)(he)圖(tu)4f所示。

存(cun)儲器(qi)單(dan)元(yuan)(yuan)的形成(cheng)(cheng)(cheng)通過以下步驟完成(cheng)(cheng)(cheng)：鄰近浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)52和(he)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)52上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)的控(kong)制柵(zha)(zha)極(ji)(ji)56形成(cheng)(cheng)(cheng)選擇(ze)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)70(通過多(duo)晶沉積和(he)蝕刻)，在(zai)(zai)(zai)襯底表面(mian)(mian)(mian)上(shang)(shang)于源極(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)62上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)形成(cheng)(cheng)(cheng)氧化(hua)物(wu)72，在(zai)(zai)(zai)氧化(hua)物(wu)72上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)形成(cheng)(cheng)(cheng)擦(ca)除(chu)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)74(通過多(duo)晶沉積和(he)蝕刻)，以及在(zai)(zai)(zai)襯底中(zhong)鄰近選擇(ze)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)70通過注入形成(cheng)(cheng)(cheng)漏極(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)76。最(zui)終結構如圖(tu)3g和(he)圖(tu)4g所(suo)示。最(zui)終構造包括沿列方向首(shou)尾相連(lian)延伸的存(cun)儲器(qi)單(dan)元(yuan)(yuan)對，每個存(cun)儲器(qi)單(dan)元(yuan)(yuan)對共享共同的源極(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)62。溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)78在(zai)(zai)(zai)源極(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)62和(he)漏極(ji)(ji)區(qu)(qu)(qu)76之間延伸。每個存(cun)儲器(qi)單(dan)元(yuan)(yuan)具有設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第一(yi)溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)的浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)52、設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)第二溝道(dao)區(qu)(qu)(qu)部(bu)分上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)的選擇(ze)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)70以及設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)浮(fu)動(dong)(dong)柵(zha)(zha)極(ji)(ji)52上(shang)(shang)面(mian)(mian)(mian)的控(kong)制柵(zha)(zha)極(ji)(ji)56。

如圖5所(suo)示(shi)，源極(ji)線62所(suo)需的間距通過使(shi)該間距由(you)溝槽46限定而減小，從而由(you)于(yu)相(xiang)鄰的控(kong)制柵極(ji)線56可更(geng)靠近在一起而使(shi)陣列大小減小，由(you)于(yu)隔離區49僅(jin)以線條圖案形成而更(geng)好地控(kong)制臨界(jie)尺寸，并且隔離區49的源極(ji)線側無末(mo)端效應。

圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6a-6d和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7a-7d示(shi)出(chu)了替代實(shi)(shi)施(shi)例，其中形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)在(zai)連(lian)續sti氧化物(wu)線(xian)(xian)(xian)之下延(yan)(yan)(yan)伸的(de)連(lian)續源極(ji)線(xian)(xian)(xian)。具(ju)體(ti)地講，進行(xing)(xing)上文結(jie)(jie)合(he)(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)3a-3b和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)4a-4b描述(shu)的(de)處(chu)理，不同的(de)是不形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)溝槽46(因而不形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)氧化物(wu)47)。這(zhe)得到sti氧化物(wu)50的(de)連(lian)續線(xian)(xian)(xian)，如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6a和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7a所(suo)(suo)(suo)示(shi)。如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)上文結(jie)(jie)合(he)(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)3c-3e和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)4c-4e所(suo)(suo)(suo)討(tao)論(lun)繼續所(suo)(suo)(suo)述(shu)處(chu)理，得到如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6b和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7b所(suo)(suo)(suo)示(shi)的(de)結(jie)(jie)構(gou)(即，疊堆s1和(he)s2之間無氧化物(wu)47)。然后使用一(yi)(yi)個(ge)(ge)或多個(ge)(ge)注(zhu)入(ru)(ru)形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)源極(ji)線(xian)(xian)(xian)62，所(suo)(suo)(suo)述(shu)注(zhu)入(ru)(ru)具(ju)有(you)(you)足夠的(de)能量以滲透(tou)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)49中的(de)sti氧化物(wu)50，因此形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)平行(xing)(xing)、連(lian)續的(de)源極(ji)擴散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)擴散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)沿x-行(xing)(xing)方(fang)向(xiang)延(yan)(yan)(yan)伸跨過有(you)(you)源區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)51和(he)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)49(即，在(zai)sti氧化物(wu)50的(de)下面)(即，作(zuo)為(wei)每行(xing)(xing)的(de)源極(ji)擴散(san)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)的(de)部分的(de)所(suo)(suo)(suo)有(you)(you)源極(ji)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)62連(lian)接在(zai)一(yi)(yi)起(qi))。在(zai)優(you)選的(de)非限(xian)制(zhi)性實(shi)(shi)施(shi)例中，可執行(xing)(xing)三個(ge)(ge)單獨的(de)注(zhu)入(ru)(ru)，第(di)一(yi)(yi)注(zhu)入(ru)(ru)具(ju)有(you)(you)第(di)一(yi)(yi)深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)64，第(di)二(er)注(zhu)入(ru)(ru)具(ju)有(you)(you)延(yan)(yan)(yan)伸得比(bi)第(di)一(yi)(yi)深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)64更深(shen)(shen)的(de)第(di)二(er)深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)66，并且第(di)三注(zhu)入(ru)(ru)66具(ju)有(you)(you)延(yan)(yan)(yan)伸得比(bi)第(di)一(yi)(yi)深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)64和(he)第(di)二(er)深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)66更深(shen)(shen)的(de)第(di)三深(shen)(shen)度(du)范(fan)圍(wei)68，以使得所(suo)(suo)(suo)形(xing)(xing)成(cheng)(cheng)的(de)源極(ji)線(xian)(xian)(xian)在(zai)隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)49中的(de)sti氧化物(wu)50下連(lian)續延(yan)(yan)(yan)伸，如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6c和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7c 所(suo)(suo)(suo)示(shi)。如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)上文結(jie)(jie)合(he)(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)3g和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)4g所(suo)(suo)(suo)述(shu)繼續這(zhe)種處(chu)理，得到如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)6d和(he)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)7d所(suo)(suo)(suo)示(shi)的(de)最終結(jie)(jie)構(gou)。如(ru)(ru)(ru)(ru)(ru)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)8所(suo)(suo)(suo)示(shi)，該技(ji)術(shu)得到隔(ge)離(li)區(qu)(qu)(qu)(qu)(qu)49的(de)線(xian)(xian)(xian)條(tiao)圖(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)(tu)案，并且源極(ji)線(xian)(xian)(xian)62在(zai)sti氧化物(wu)50的(de)下面延(yan)(yan)(yan)伸。

應(ying)當理解，本(ben)(ben)發(fa)明不限(xian)于(yu)上述的(de)(de)和(he)(he)本(ben)(ben)文中(zhong)(zhong)示(shi)出(chu)的(de)(de)實施例(li)，而是(shi)涵蓋(gai)落在所(suo)(suo)附權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求書(shu)的(de)(de)范(fan)圍內的(de)(de)任(ren)何和(he)(he)所(suo)(suo)有(you)(you)變(bian)型形(xing)式。舉例(li)來(lai)(lai)說，本(ben)(ben)文中(zhong)(zhong)對(dui)本(ben)(ben)發(fa)明的(de)(de)提及并不意(yi)在限(xian)制(zhi)任(ren)何權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求或(huo)權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求術語的(de)(de)范(fan)圍，而是(shi)僅涉及可(ke)由(you)這些權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求中(zhong)(zhong)的(de)(de)一項或(huo)多項權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求涵蓋(gai)的(de)(de)一個或(huo)多個特征。上文所(suo)(suo)述的(de)(de)材(cai)料(liao)、工(gong)藝(yi)和(he)(he)數值的(de)(de)例(li)子僅為(wei)示(shi)例(li)性的(de)(de)，而不應(ying)視為(wei)限(xian)制(zhi)權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求。另外，根(gen)據權(quan)(quan)利(li)(li)(li)要求和(he)(he)說明書(shu)中(zhong)(zhong)顯而易見(jian)的(de)(de)是(shi)，并非所(suo)(suo)有(you)(you)方法(fa)步驟都(dou)需(xu)要以所(suo)(suo)示(shi)出(chu)或(huo)所(suo)(suo)聲稱(cheng)的(de)(de)精確順(shun)序來(lai)(lai)執行(xing)，而是(shi)需(xu)要以允許本(ben)(ben)發(fa)明的(de)(de)存儲器單元(yuan)的(de)(de)適當形(xing)成(cheng)的(de)(de)任(ren)意(yi)順(shun)序來(lai)(lai)執行(xing)。例(li)如，源極(ji)線(xian)注入中(zhong)(zhong)的(de)(de)一者或(huo)多者可(ke)在工(gong)藝(yi)的(de)(de)更(geng)早階(jie)段進行(xing)(如，第一源極(ji)線(xian)注入可(ke)在溝槽48形(xing)成(cheng)之(zhi)后，但(dan)在sti氧化(hua)物50形(xing)成(cheng)之(zhi)前進行(xing))。最后，單個材(cai)料(liao)層(ceng)(ceng)可(ke)以被形(xing)成(cheng)為(wei)多個這種或(huo)類似材(cai)料(liao)層(ceng)(ceng)，反之(zhi)亦然。

應該(gai)指出的是，如(ru)本(ben)文所用，術語“在(zai)(zai)(zai)(zai)…上(shang)面(mian)”和“在(zai)(zai)(zai)(zai)…上(shang)”兩者(zhe)包容(rong)地包含“直(zhi)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)在(zai)(zai)(zai)(zai)…上(shang)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)沒有(you)(you)設(she)(she)置中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))和“間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)在(zai)(zai)(zai)(zai)…上(shang)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)設(she)(she)置有(you)(you)中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))。類似地，術語“相鄰(lin)”包括(kuo)“直(zhi)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)相鄰(lin)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)沒有(you)(you)設(she)(she)置中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))和“間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)相鄰(lin)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)設(she)(she)置有(you)(you)居間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))，“被(bei)安(an)裝到(dao)”包括(kuo)“被(bei)直(zhi)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)安(an)裝到(dao)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)沒有(you)(you)設(she)(she)置中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))和“被(bei)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)安(an)裝到(dao)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)設(she)(she)置有(you)(you)中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)、元件(jian)(jian)或(huo)空(kong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian))，并且(qie)“被(bei)電(dian)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)到(dao)”包括(kuo)“被(bei)直(zhi)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)電(dian)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)到(dao)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)沒有(you)(you)將(jiang)元件(jian)(jian)電(dian)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)在(zai)(zai)(zai)(zai)一起的中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)或(huo)元件(jian)(jian))和“被(bei)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)電(dian)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)到(dao)”(之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)有(you)(you)將(jiang)元件(jian)(jian)電(dian)連(lian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)在(zai)(zai)(zai)(zai)一起的中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)或(huo)元件(jian)(jian))。例如(ru)，“在(zai)(zai)(zai)(zai)襯(chen)底上(shang)面(mian)”形成(cheng)(cheng)元件(jian)(jian)可(ke)包括(kuo)在(zai)(zai)(zai)(zai)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)沒有(you)(you)中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)/元件(jian)(jian)的情(qing)況(kuang)下在(zai)(zai)(zai)(zai)襯(chen)底上(shang)直(zhi)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)形成(cheng)(cheng)元件(jian)(jian)，以(yi)及在(zai)(zai)(zai)(zai)之(zhi)(zhi)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)有(you)(you)一個或(huo)多個中(zhong)(zhong)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)材(cai)料(liao)(liao)/元件(jian)(jian)的情(qing)況(kuang)下在(zai)(zai)(zai)(zai)襯(chen)底上(shang)間(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)接(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)形成(cheng)(cheng)元件(jian)(jian)。