載體襯底分離系統及方法
【專利摘要】公開了一種載體襯底分離系統和方法。載體襯底分離系統包括：加載設備，制造襯底被加載到該加載設備中，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結襯底被粘結至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，并且所述第一載體襯底或第二載體襯底在與所述粘結襯底分離后被加載到所述加載設備中；間隙形成設備，該間隙形成設備被構造成在第一面板襯底與第一載體襯底之間形成間隙，或在第二面板襯底與第二載體襯底之間形成間隙；分離設備，該分離設備被構造成使第一載體襯底或第二載體襯底與從間隙形成設備轉移的制造襯底分離；以及機械手，該機械手被構造成在加載設備、間隙形成設備和分離設備之間轉移制造襯底。
【專利說明】載體襯底分離系統及方法
[0001]相關申請的交叉引用
[0002]本申請要求2013年5月24日提交的韓國專利申請N0.10-的權益，該申請通過引用并入本文，如同完全在此提出。

【技術領域】
[0003]本發明涉及一種載體襯底分離系統以及通過將附接至粘結襯底的載體襯底與粘結襯底分離來制造薄顯示面板的方法。

【背景技術】
[0004]諸如液晶顯示(IXD)裝置、有機發光顯示裝置、等離子顯示面板(rop)、電泳顯示(EPD)裝置之類的顯示裝置通過各種工藝來制造。制造工藝包括形成薄膜晶體管(TFT)陣列的薄膜晶體管工藝、粘結面板襯底的工藝等。
[0005]在顯示裝置的領域中，為了減小重量、便于布置以及增強設計，近來對具有薄厚度的薄顯示裝置的需求日益增加。因此，近來積極地發展薄顯示裝置。
[0006]通過減小構造顯示裝置的顯示面板的厚度而制造的薄顯示面板應當被制造以實現薄顯示裝置。
[0007]如上所述，使用具有薄厚度的面板襯底的方法已經作為將顯示面板制造為薄的厚度的方法被提出。然而，面板襯底的耐久性被降低，這是因為面板襯底被成形為薄的厚度，并且出于該原因，面板襯底在包括TFT工藝和粘結工藝的制造工藝中容易被損壞。
[0008]為了解決這種問題，已經提出了一種方法，該方法通過使用厚度比包括在顯示裝置中的面板襯底的厚度厚的面板襯底來制造顯示面板，并且然后通過蝕刻面板襯底的一部分來制造薄顯示面板。韓國專利公開N0.10-(于2011年11月2日公開)中公開了這種相關技術。然而，該相關技術具有以下問題。
[0009]第一，大量蝕刻溶液被消耗用于蝕刻整個面板襯底,并且此外,蝕刻溶液被在蝕刻面板襯底時出現的異物污染。因此，蝕刻溶液應該被定期地更換。出于該原因，在相關技術中，消耗品的處理成本由于蝕刻溶液的使用而增加，從而使顯示面板的制造成本增加。
[0010]第二，在相關技術中，在其中執行蝕刻面板襯底的工藝的腔室的內部由于蝕刻溶液以及在蝕刻面板襯底時出現的異物而被污染，并且因此，需要定期清洗腔室的內部的工作。出于該原因，在相關技術中，工藝成本增加，這是因為定期地執行清洗工作，并且此外，當清洗工作正在執行時，制造顯示面板的工藝停止，引起加工時間的損失以及顯示面板的生產率的降低。
[0011]第三，在相關技術中，諸如氟化氫(HF)的環境污染物被用作蝕刻溶液，引起環境污染的問題。


【發明內容】

[0012]因此，本發明旨在提供一種載體襯底分離系統以及基本上解決由于相關技術的限制性和缺點而引起的一個或更多個問題的方法。
[0013]本發明的一方面旨在提供一種載體襯底分離系統以及自動地分離載體襯底與粘結襯底的方法，其中，載體襯底分別地被粘附至用于制造顯示面板的粘結襯底的兩個表面。
[0014]本發明的另外的優點及特征將部分地在后面的說明書中提出，并且部分地對本領域普通技術人員而言在閱讀下文之后將是顯而易見的，或者能夠從本發明的實踐中獲知。本發明的目的和其他優點能夠通過在說明書和權利要求書以及附圖中具體指出的結構來實現和獲得。
[0015]為了實現這些和其他優點，并且根據本發明的目的，如本文中所實施和大體描述的，提供一種載體襯底分離系統，該載體襯底分離系統包括:加載設備，在該加載設備中加載其中粘結襯底被粘結至載體襯底的制造襯底和與粘結襯底分離的第一載體襯底或第二載體襯底，該粘結襯底包括第一面板襯底和第二面板襯底，該載體襯底包括第一載體襯底和第二載體襯底；間隙形成設備,該間隙形成設備被構造成在第一面板襯底與第一載體襯底之間形成間隙，或在第二面板襯底與第二載體襯底之間形成間隙；分離設備，該分離設備被構造成使第一載體襯底或第二載體襯底與從間隙形成設備轉移的制造襯底分離；以及機械手，該機械手被構造成在加載設備、間隙形成設備以及分離設備之間轉移制造襯底。
[0016]在本發明的另一方面中，提供一種載體襯底分離方法，該方法包括:將制造襯底轉移至間隙形成設備，以在第一面板襯底與被粘附至第一面板襯底的第一載體襯底之間形成第一間隙，在該制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結襯底被粘結至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底；將其中形成有第一間隙的制造襯底轉移至分離設備，以使第一載體襯底與第一面板襯底分離；將與第一載體襯底分離的制造襯底轉移至間隙形成設備，以在第二面板襯底與被粘附至第二面板襯底的第二載體襯底之間形成第二間隙；以及將其中形成有第二間隙的制造襯底轉移至分離設備，以使第二載體襯底與第二面板襯底分離。
[0017]應當理解的是，本發明的前述一般性描述和下列詳細描述是示例性和說明性的，并且意欲提供所要求保護的本發明的進一步解釋。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]包括附圖以提供對本發明的進一步理解，并且附圖被結合在本申請中并構成本申請的一部分，附圖示出本發明的實施方式，并且與說明書一同用于解釋本發明的原理。在附圖中:
[0019]圖1是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的制造襯底的示意性橫截面圖；
[0020]圖2是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的制造襯底的示意性橫截面圖；
[0021]圖3是圖示根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的構造的圖；
[0022]圖4和圖5是用于描述被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的間隙形成設備的示意性橫截面圖；
[0023]圖6是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的制造襯底的示意性分解立體圖；
[0024]圖7是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的支撐部件的示意性立體圖；
[0025]圖8是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的示意性橫截面圖；
[0026]圖9是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的O形環的示意性橫截面圖；
[0027]圖10是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的示意性平面圖，并且是線1-1上的一部分的放大橫截面圖；
[0028]圖11是用于描述被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的示意性橫截面圖；
[0029]圖12至圖15是用于描述操作被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的方法的示例性視圖；
[0030]圖16是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的加熱機構的示意性橫截面圖；
[0031]圖17是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的間隙調節單元的示意性橫截面圖；
[0032]圖18是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的靜電去除單元的示意性橫截面圖；
[0033]圖19是圖示通過使用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法的流程圖；
[0034]圖20是在通過使用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中，用于將載體襯底聯接至粘結襯底的聯接設備的示意性橫截面圖；
[0035]圖21是在通過使用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中，用于將第一面板襯底粘結至第二面板襯底的粘結設備的示意性橫截面圖；以及
[0036]圖22是詳細地圖示根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0037]現在將詳細地參照本發明的示例性實施方式，其示例在附圖中圖示。在可能的情況下，將在全部附圖中使用相同的附圖標記來指示相同部件或類似部件。
[0038]在下文中，將參照附圖詳細地描述本發明的實施方式。
[0039]圖1是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I的制造襯底的示意性橫截面圖。圖2是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I的制造襯底的示意性橫截面圖。圖3是圖示根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I的構造的圖。
[0040]根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I使載體襯底200與用于制造顯示面板的粘結襯底100分離。在描述根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I之前，將在下面描述粘結襯底100和載體襯底200。
[0041]首先，粘結襯底100被應用于諸如液晶顯示(IXD)裝置、有機發光顯示裝置、等離子顯示面板(PDP)、電泳顯示(EPD)裝置之類的顯示裝置。
[0042]粘結襯底100通過將第一面板襯底110粘結至第二面板襯底120的工藝來制造。中間層130形成在第一面板襯底110與第二面板襯底120之間。
[0043]中間層130能夠包括不同的成分，這取決于顯示裝置的種類。例如，當顯示裝置是IXD裝置時，中間層130能夠包括液晶。當顯示裝置是有機發光顯示裝置時，中間層130能夠包括熒光有機化合物。當顯示裝置是PDP時，中間層130能夠包括惰性氣體。當顯示裝置是EH)裝置時，中間層130能夠包括電子墨水。第一襯底110和第二襯底120能夠由玻璃、塑料或金屬形成。
[0044]粘結襯底100在處于被粘附至載體襯底200的狀態下被制造，并且如圖1所示，在其中粘結襯底100被粘結至載體襯底200的襯底被簡稱為制造襯底900。在這種情況下，制造襯底900包括構造載體襯底200的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者。
[0045]其中載體襯底200通過根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I與制造襯底900分離的粘結襯底100被簡稱為顯示面板。即，當構造制造襯底900的粘結襯底100已經與載體襯底200分離時，粘結襯底100是顯示面板。特別地，顯示面板被形成得較薄，并且因此被稱為薄顯示面板。
[0046]其次，載體襯底200被聯接至粘結襯底100，由此增強第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性。載體襯底200能夠包括被聯接至第一面板襯底110的第一載體襯底210以及被聯接至第二面板襯底120的第二載體襯底220。
[0047]第一載體襯底210幾乎匹配第一面板襯底110，或者被形成為厚度比第一面板襯底110的厚度厚，由此增強第一面板襯底110的耐久性。
[0048]第二載體襯底220幾乎匹配第二面板襯底120，或者被形成為厚度比第二面板襯底120的厚度厚，由此增強第二面板襯底120的耐久性。
[0049]第一襯底210和第二襯底220能夠由玻璃、塑料或金屬形成。
[0050]在制造顯示裝置的工藝完成之前，載體襯底200通過根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I與粘結襯底100分離，由此實現薄顯示面板以及包括薄顯示面板的薄顯示裝置。
[0051]為此，如圖3中所示，根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I包括:加載設備7，在該加載設備7中加載制造襯底900 (在該制造襯底900中，構造有第一面板襯底110和第二面板襯底120的粘結襯底100被粘結至構造有第一載體襯底210和第二載體襯底220的載體襯底200)和與粘結襯底100分離的第一載體襯底210或第二載體襯底220 ;間隙形成設備3，該間隙形成設備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成間隙，或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成間隙；分離設備2，該分離設備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220與從間隙形成設備3轉移的制造襯底900分離；以及多個機械手4和6，所述多個機械手4和6在加載設備7、間隙形成設備3以及分離設備2之間轉移制造襯底900。載體襯底分離系統I能夠進一步包括平臺5，從加載設備7轉移的制造襯底900、與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的一者分離的制造襯底900以及第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者被安置在該平臺5上。在這種情況下，機械手6和4能夠被分類成第一機械手6和第二機械手4,其中,第一機械手6被設置在加載設備7與平臺5之間，第二機械手4被設置在間隙形成設備3與分離設備2之間。
[0052]首先,通過預處理制造的制造襯底900被轉移至加載設備7。制造襯底900通過機械手被轉移至間隙形成設備3或分離設備2。
[0053]此外，通過分離設備2與制造襯底900分離的第一載體襯底210和第二載體襯底220被轉移至加載設備7。被轉移至加載設備7的第一載體襯底210和第二載體襯底220應用清洗工藝以便再次利用。
[0054]其次，當制造襯底900被輸入至間隙形成設備3時，在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙，或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。
[0055]然而，兩個間隙不同時形成。詳細地，首先，通過間隙形成設備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙的制造襯底900被轉移至分離設備2,并且第一載體襯底210在分離設備2中被分離。其次，與第一載體襯底210分離的制造襯底900再次被輸入至間隙形成設備3，并且在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。在其中形成有第二間隙的制造襯底900被再次轉移至分離設備2，并且第二載體襯底220在分離設備2中被分離。
[0056]下面將參照附圖詳細描述間隙形成設備3的構造和功能。
[0057]第三，如上所述，分離設備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220與通過間隙形成設備3在其中形成間隙的制造襯底900分離。
[0058]下面將參照附圖詳細描述分離設備2的構造和功能。
[0059]第四，從加載設備7轉移的制造襯底900、與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的一者分離的制造襯底900以及第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者被安置在平臺5上。
[0060]即，襯底中的至少一個襯底總是被安置在平臺5上，使得間隙形成設備3和分離設備2連續地執行其功能。
[0061]例如，從加載設備7轉移的制造襯底總是被安置在平臺5上。因此，當通過間隙形成設備3在其中形成間隙的第一制造襯底900被提供至分離設備2時，被安置在平臺5上的第二制造襯底900能夠被提供至間隙形成設備。
[0062]此外，通過分離設備2與第一制造襯底900分離的第一載體襯底210被安置在平臺5上、被轉移至加載設備7并且被卸載至外部。
[0063]此外，通過分離設備2與第一載體襯底210分離的第一制造襯底900能夠被安置在平臺5上，在這種情況下，通過間隙形成設備3在其中形成間隙的第二制造襯底900能夠被轉移至分離設備2。當第二制造襯底900被轉移至分離設備2時，被安置在平臺5上的第一制造襯底900能夠再次被轉移至間隙形成設備3。
[0064]另一方面，通過間隙形成設備3在其中形成間隙的第二制造襯底900能夠被安置在平臺5上，在這種情況下，通過分離設備2與第一載體襯底210分離的第一制造襯底900能夠被轉移至間隙形成設備3。當第一制造襯底900被轉移至間隙形成設備3時，被安置在平臺5上的第二制造襯底900能夠再次被轉移至分離設備2。
[0065]通過上述操作,平臺5能夠被分成至少三個或更多個空間。
[0066]第五，機械手將元件轉移至襯底。例如，機械手包括被設置在加載設備7與平臺5之間的第一機械手6以及被設置在間隙形成設備3與分離設備2之間的第二機械手4。
[0067]圖4和圖5是用于描述被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的間隙形成設備的示意性橫截面圖。圖6是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的制造襯底的示意性分解立體圖。圖7是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的支撐部件的示意性立體圖。
[0068]被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I的間隙形成設備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙,或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。即，間隙形成設備3使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結襯底100暫時地分離。
[0069]S卩，在分離設備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結襯底100分離之前，間隙形成設備3使第一載體襯底210或第二載體襯底220的一部分與粘結襯底100分離。
[0070]因此，載體襯底分離系統I減少分離設備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結襯底100分離所耗費的時間，由此提高薄顯示面板的生產率。
[0071]此外，載體襯底分離系統I允許分離設備2容易地使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結襯底100分離，并且因此能夠防止載體襯底200在使第二載體襯底210與粘結襯底100分離的操作中被損壞。因此，載體襯底分離系統I能夠將與粘結襯底100分離的載體襯底200再次使用在制造另一顯示面板的過程中，并且因此能夠降低載體襯底200的消耗量，由此降低工藝成本。
[0072]如圖4和圖5中所示，間隙形成設備3包括:支撐部件34以及分離單元30，該支撐部件34支撐制造襯底900，該分離單元30使第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a與粘結襯底100分離，突出部210a或突出部220a沿制造襯底900的外部方向比粘結襯底100突出更遠。
[0073]首先，分離單元30能夠包括:暫時分離機構31以及升降機構32，該暫時分離機構31接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220 ;該升降機構32升高/降低暫時分離機構31以便移動第一載體襯底210的一部分。
[0074]暫時分離機構31被聯接至升降機構32。暫時分離機構31接觸載體襯底200中從粘結襯底100突出的突出部210a和220a。暫時分離機構31穿過粘結襯底100接觸突出部210a和220a。在這種情況下，粘結襯底100能夠包括通槽10a (參見圖5)，暫時分離機構31穿過通槽100a。
[0075]載體襯底200能夠被聯接至粘結襯底100，使得突出部210a和220a分別被設置在與通槽10a對應的位置處。因此，暫時分離機構31能夠通過通槽10a接觸突出部210a和220a，并且移動突出部210a和220a以便使載體襯底200的一部分與粘結襯底100分離。
[0076]當第一載體襯底210和第二載體襯底220被聯接至粘結襯底100時，如圖6中所示，粘結襯底100能夠被聯接至載體襯底200。這將在下面進行詳細描述。
[0077]首先，第一面板襯底110能夠包括暫時分離機構31穿過的兩個第一通槽110a。并且，第二面板襯底120能夠包括暫時分離機構31穿過的兩個第二通槽120a。第一面板襯底110被粘結至第二面板襯底120以使第一通槽IlOa被連接至第二通槽120a。
[0078]第一載體襯底210能夠包括接觸暫時分離機構31的第一突出部210a以及暫時分離機構31穿過的第一連接槽210b。第一載體襯底210被聯接至第一面板襯底110，使得第一突出部210a被設置在第一通槽IlOa中的一個第一通槽IlOa中，并且第一連接槽210b被設置在另一個第一通槽IlOa中。
[0079]第二載體襯底220能夠包括接觸暫時分離機構31的第二突出部220a以及暫時分離機構31穿過的第二連接槽220b。第二載體襯底220被聯接至第二面板襯底120，使得第二突出部220a被設置在第二通槽120a中的一個第二通槽120a中，并且第二連接槽220b被設置在另一個第二通槽120a中。而且，第二載體襯底220被聯接至第二面板襯底120，使得第二突出部220a被設置在與第一連接槽對應的位置處，并且第二連接槽220b被設置在與第一突出部210a對應的位置處。
[0080]暫時分離機構31能夠在如上所述被聯接至彼此的粘結襯底100和載體襯底200上執行下列操作，以使第二載體襯底220與粘結襯底100暫時分離。
[0081]當使第一載體襯底210與第一面板襯底110暫時分離時，暫時分離機構31通過第二連接槽220b、第二通槽120a和第一通槽IlOa接觸第一突出部210a。因此，暫時分離機構31能夠移動第一突出部210a以使第一載體襯底210與第一面板襯底110暫時分離。
[0082]當使第二載體襯底220與第二面板襯底120暫時分離時，暫時分離機構31通過第一連接槽210b、第一通槽IlOa和第二通槽120a接觸第二突出部220a。因此，暫時分離機構31能夠移動第二突出部220a以使第二載體襯底220與第二面板襯底120暫時分離。
[0083]當第一載體襯底210被暫時分離、第一載體襯底210整體與粘結襯底100分離并且第二載體襯底220被暫時分離時，第一載體襯底210能夠不包括第一連接槽210b。這是因為當暫時分離第二載體襯底220時，粘結襯底100處于第一載體襯底210與粘結襯底100分離并且從粘結襯底100移除的狀態。當第二載體襯底220被暫時分離、第二載體襯底220整體與粘結襯底100分離并且第一載體襯底210被暫時分離時，第二載體襯底220能夠不包括第二連接槽220b。這是因為當暫時分離第一載體襯底210時，粘結襯底100處于第二載體襯底220與粘結襯底100分離并且從粘結襯底100移除的狀態。
[0084]此外，在圖6中，暫時分離機構31穿過的第一連接槽210b、第一通槽110a、第二通槽120a和第二連接槽220b被圖示為均形成為三角形板形狀，但也可以形成為各種形狀(例如，盤狀)，不限于此。
[0085]此外，在圖6中，第一突出部210a形成在第一載體襯底210處接觸暫時分離機構31的一部分形成為矩形形狀，但也可以形成為另一種形狀，不限于此。
[0086]此外，在圖6中，第二突出部220a形成在第二載體襯底220處接觸暫時分離機構31的一部分形成為矩形形狀，但也可以形成為另一種形狀，不限于此。
[0087]第一突出部210a和第二突出部220a能夠形成為相同的形狀，或者能夠形成為不同的形狀。
[0088]盡管未不出,但第一面板襯底110、第二面板襯底120、第一載體襯底210和第二載體襯底220能夠形成為所有角都被倒角的八邊形形狀。在這種情況下，與第一突出部210a和第二突出部220a對應的部分能夠被倒角為比其他角更小的尺寸，并且因此能夠形成為接觸暫時分離機構31的形狀。
[0089]升降機構32升高或降低暫時分離機構31，使得暫時分離機構31接觸突出部210a和220a，并且相對于粘結襯底100升高第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a。因此，如圖5中所示，載體襯底200的在其中形成突出部210a和220a的部分與粘結襯底100分離。
[0090]因此，間隙形成設備3能夠使第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a與粘結襯底100分離，并且因此能夠使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結襯底100暫時分離。
[0091]升降機構32能夠反復地升高或降低暫時分離機構31，使得暫時分離機構31接觸突出部210a和220a。升降機構32能夠反復地升高或降低暫時分離機構31預定的次數。預定的次數能夠由使用者預先設定。因此，間隙形成設備3提高了使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結襯底100暫時分離的工藝的精度。
[0092]升降機構32能夠改變暫時分離機構31的位置。即，當暫時分離機構31的位置與突出部210a和220a的位置不匹配時，升降機構32能夠根據從控制器(未示出)傳遞的控制信號來改變暫時分離機構31的位置。
[0093]間隙形成設備3還能夠包括測量機構33，該測量機構33測量當暫時分離機構31升高或降低突出部210a和220a時施加至暫時分離機構31的壓力。
[0094]測量機構33能夠被設置在暫時分離機構31與升降機構32之間。當暫時分離機構31升高突出部210a和220a時，突出部210a和220a由于載體襯底200與粘結襯底100之間的聯接力而擠壓暫時分離機構31。施加至暫時分離機構31的壓力隨著載體襯底200與粘結襯底100逐漸并暫時分離而逐漸減弱，并且因此聯接力被減弱。
[0095]因此，測量機構33能夠測量施加至暫時分離機構31的壓力，并且通過使用測量的壓力值來判定載體襯底200的暫時分離是否完成。測量機構33能夠通過使用有線通信和無線通信中的至少一者來將測量的壓力值提供至升降機構32。
[0096]升降機構32能夠反復地升高或降低暫時分離機構31，直到由測量機構33提供的壓力值達到預定壓力值。預定壓力值能夠由使用者預先設定。因此，間隙形成設備3提高了使載體襯底200與粘結襯底100暫時分離的工藝的精度。
[0097]第二，支撐部件34被緊密地粘附至制造襯底900。
[0098]支撐部件34支撐制造襯底900，在該制造襯底900中，載體襯底200被粘結至粘結襯底100。制造襯底900由支撐部件34支撐以使突出部210a和220a從支撐部件34突出。支撐部件34能夠被設置在腔室機構(未示出)中。在這種情況下，使載體襯底200與粘結襯底100暫時分離的工藝能夠在腔室機構中執行。腔室機構能夠形成為中空的矩形平行六面體形狀，但也能夠形成為提供在其中執行使載體襯底200與粘結襯底100暫時分離的工藝的工作空間的形狀，不限于此。
[0099]當載體襯底200與粘結襯底100暫時分離時，支撐部件34能夠固定制造襯底900。在這種情況下，制造襯底900能夠通過抽吸單元(未示出)被吸附并固定至支撐部件34。
[0100]如圖7中所示，支撐部件34能夠包括通孔34b，通孔34b用于傳遞從抽吸單元(未示出)供應至粘結襯底100的抽吸力。抽吸單元能夠被設置在支撐部件34處以便被連接至通孔34b。抽吸單元能夠被設置在腔室機構處以便被連接至通孔34b。通孔34b形成為穿過支撐部件34，與抽吸單元相連。
[0101]抽吸單元通過通孔34b抽吸流體，并且因此，制造襯底900被吸附并固定至支撐部件34。當制造襯底900由支撐部件34支撐處于被聯接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態時，抽吸單元吸附接觸支撐部件34的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，從而將制造襯底900固定至支撐部件34。
[0102]當制造襯底900由支撐部件34支撐處于被聯接至第一載體襯底210或第二載體襯底220的狀態時，抽吸單元吸附接觸支撐部件34的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，從而將制造襯底900固定至支撐部件34。如圖7中所示，支撐部件34能夠包括多個通孔34b。
[0103]盡管未示出，但是支撐部件34能夠是靜電卡盤。在這種情況下，制造襯底900能夠通過靜電力被固定至支撐部件34。支撐部件34能夠包括將制造襯底900粘附至支撐部件34的至少一個電極(未示出)。盡管未示出，但是支撐部件34能夠包括至少一個粘合橡膠(未示出)。在這種情況下，制造襯底900能夠通過粘合橡膠的粘性被固定至支撐部件34。
[0104]當間隙形成設備3暫時分離第一載體襯底210時，制造襯底900能夠由支撐部件34支撐以使第一突出部210a從支撐部件34突出。當間隙形成設備3暫時分離第二載體襯底220時，制造襯底900能夠由支撐部件34支撐以使第二突出部220a從支撐部件34突出。
[0105]如圖7中所示，暫時分離機構槽34a能夠形成在支撐部件34的與第一突出部210a或第二突出部220a對應并且設置暫時分離機構31的位置處。
[0106]能夠在支撐部件34的其中形成有暫時分離機構槽34a的一部分處形成粘合部34d，在粘合部34d中形成有比另一部分數量更多的通孔。即，當暫時分離機構31沿支撐部件34的上端方向推動突出部210a和220a時，當制造襯底900沒有被緊密地粘附至支撐部件34時，制造襯底900能夠與突出部210a和220a —起沿上端方向被推動和升高。在這種情況下，突出部210a和220a可能不與粘結襯底100分離。
[0107]因此，能夠在粘合部34d處形成比另一部分數量更多的通孔。
[0108]此外，用于支撐制造襯底900的提升銷34c能夠被設置在支撐部件34處。在機械手支撐制造襯底900的底部的狀態下，當制造襯底900被設置在支撐部件34處時，提升銷34c從支撐部件34的平面突出。在制造襯底900被設置在提升銷34c的上端處的狀態下，當機械手偏離支撐部件34時，提升銷34c能夠插入平面中，并且制造襯底900能夠被設置在支撐部件34的平面處。
[0109]第三，如圖4中所示，間隙形成設備3能夠包括對準單元50，該對準單元50使突出部210a和220a與分離單元30對準。
[0110]對準單元50能夠包括照相機51和控制器52。
[0111]照相機51采集突出部210a和220a的圖像。
[0112]控制器52分析圖像以確定突出部210a或220a的位置。控制器52將控制信號傳送至分離單元30，使得暫時分離機構31被設置在該位置處。
[0113]分離單元30根據控制信號來改變暫時分離機構31的位置，由此允許暫時分離機構31被準確地并且緊密地粘附至突出部210a和220a。
[0114]S卩，由于暫時分離機構31根據對準單元50的控制而被準確地并且緊密地粘附至突出部，因此使載體襯底200與制造襯底900分離的工藝能夠被自動地執行。
[0115]第四，如圖4和圖5中所示，間隙形成設備3能夠包括插入單元40，插入單元40通過分離設備2被插入在粘結襯底100與第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a之間形成的間隙中。
[0116]插入單元40包括被插入間隙中的間隙刀以及移動間隙刀的間隙刀移動單元42。
[0117]暫時分離機構31在預定時期期間接觸突出部210a或220a，并且當確定突出部與粘結襯底100分離時，基于通過通過分析由測量結構33獲得的信息來確定載體襯底200與粘結襯底100分離，或者通過各種方法來確定突出部與粘結襯底100分離，從而形成間隙，間隙刀移動單元42朝向該間隙移動。當間隙刀移動單元42朝向該間隙移動時，如圖5中所示，間隙刀被插入該間隙中。
[0118]間隙刀41被插入該間隙中，并且然后，當一定時間過去時，間隙刀移動單元42往回移動，并且因此，間隙刀41與間隙分離。
[0119]當間隙刀41被插入間隙中時，在突出部與粘結襯底100之間形成細槽。即使暫時分離機構31不再運行，該間隙仍能夠通過該細槽而被保持在突出部與粘結襯底100之間。
[0120]圖8是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的示意性橫截面圖。圖9是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的O形環的示意性橫截面圖。圖10是被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的示意性平面圖，并且是線1-1上的一部分的放大橫截面圖。圖11是用于描述被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的示意性橫截面圖。圖12至圖15是用于描述操作被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的O形環的方法的示例性視圖。圖16是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的加熱機構的示意性橫截面圖。圖17是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的間隙調節單元的示意性橫截面圖。圖18是圖示被應用于根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統的分離設備的靜電去除單元的示意性橫截面圖。
[0121]如圖3所示，根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I包括使載體襯底200與粘結襯底100分離的分離設備2。如圖8所示，分離設備2包括:支撐制造襯底900的第一平臺21 ;被設置成與第一平臺21分離的第二平臺22 ;吸附單元23，該吸附單元23被設置在第二平臺22處以便被連接至在第二平臺22中形成的吸附孔221，并且通過吸附孔221吸附載體襯底200以便使載體襯底200與粘結襯底100分離；以及抽吸單元300，該抽吸單元300被設置在第一平臺21處以便被連接至在第一平臺21處形成的抽吸孔211，并且通過該抽吸孔211抽吸制造襯底900以便將制造襯底900緊密地粘附至第一平臺21。
[0122]首先，第一平臺21支撐載體襯底200以及被粘結至粘結襯底100的制造襯底900。
[0123]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，其中，第一襯底210和第二襯底220被聯接至粘結襯底100。在這種情況下，第一載體襯底210被聯接至第一面板襯底110，并且第二載體襯底220被聯接至第二面板襯底120。
[0124]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，使得第一載體襯底210和第二載體襯底220中的將被分離的一者朝向第二平臺22。
[0125]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，其中，第一襯底210或第二襯底220被聯接至粘結襯底100。在這種情況下,制造襯底900能夠由第一平臺21支撐,使得第一襯底210或第二襯底220朝向第二平臺22。制造襯底900能夠通過機械手(例如，第二機械手4)從間隙形成設備轉移，并且被安置在第一平臺21上。
[0126]第一平臺21可以設置在腔室單元(未示出)中。在這種情況下，使載體襯底200與制造襯底900暫時分離的工藝能夠在腔室機構中執行。腔室機構能夠形成為中空的矩形平行六面體形狀，但也能夠形成為提供在其中執行使載體襯底200與粘結襯底100分離的工藝的工作空間的形狀，但不限于此。
[0127]當載體襯底200與制造襯底900分離時，第一平臺21能夠固定制造襯底900。為此，第一平臺21能夠包括抽吸孔211，抽吸孔211將從抽吸單元300提供的抽吸力傳遞至粘結襯底100。
[0128]抽吸單元300能夠設置在第一平臺21處以便被連接至抽吸孔211。抽吸單元300能夠設置在腔室單元處以便被連接至抽吸孔211。抽吸孔211形成為穿過第一平臺21與抽吸單元300連接。
[0129]抽吸單元300通過抽吸孔211抽吸流體，并且因此，制造襯底900被吸附并固定至第一平臺21。當制造襯底900由第一平臺21支撐處于粘結襯底100被聯接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態時，抽吸單元吸附接觸第一平臺21的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，由此將制造襯底900固定至第一平臺21。
[0130]當制造襯底900由第一平臺21支撐處于粘結襯底100被聯接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態時，抽吸單元300吸附接觸第一平臺21的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，由此將粘結襯底100固定至第一平臺21。第一平臺21能夠包括多個抽吸孔211。
[0131 ] 盡管未示出，但是第一平臺21能夠是靜電卡盤。在這種情況下，制造襯底900能夠通過靜電力被固定至支撐部件34。第一平臺21能夠包括將制造襯底900粘附至第一平臺21的至少一個電極(未示出)。盡管未示出，但是第一平臺21能夠包括至少一個粘合橡膠(未示出)。在這種情況下，制造襯底900能夠通過粘合橡膠的粘性被固定至第一平臺21。
[0132]第二，第二平臺22設置成與第一平臺21分離。制造襯底900能夠由第一平臺21支撐使得制造襯底900被設置在第二平臺22與第一平臺21之間。第二平臺22能夠設置在第一平臺21上。第二平臺能夠設置在腔室單元(未示出)中。
[0133]第二平臺22包括使載體襯底200與粘結襯底100分離的吸附孔221。該吸附孔221被連接至吸附單元23。吸附孔221形成為穿過第二平臺22使得從吸附單元23提供的抽吸力被傳遞至載體襯底200。
[0134]吸附孔221的一側能夠形成為穿過第二平臺22并且面向載體襯底200，并且另一側能夠形成為穿過第二平臺22并且被連接至吸附單元23。吸附孔221的一側能夠形成為多個以穿過第二平臺22使得從吸附單元23提供的抽吸力作為表面壓力被傳遞至載體襯底200。
[0135]第二平臺22能夠包括多個吸附孔221使得從吸附單元23提供的抽吸力作為表面壓力被傳遞至載體襯底200。在這種情況下，分離設備2能夠包括多個吸附單元23。
[0136]在制造襯底900由第一平臺21支撐的情況下，能夠執行將載體襯底200 (其將與制造襯底900分離)的位置與第二平臺22的位置對準的工藝。將載體襯底200與第二平臺22的位置對準的工藝能夠通過移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者來執行。盡管未示出，分離設備2能夠包括移動單元，該移動單元移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者，以便將載體襯底200與第二平臺22的位置對準。移動單元能夠通過利用如下方法來移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者:使用液壓缸或氣缸的柱體法；使用滾珠絲杠的滾珠絲杠法；使用馬達和齒條的傳動方法；使用馬達、帶輪和皮帶的皮帶方法；以及使用線圈和永磁體的線性馬達。
[0137]吸附單元23被設置成被連接至吸附孔221。吸附單元23能夠被設置在第二平臺22處以便被連接至吸附孔221。吸附單元23能夠被設置在腔室單元處以便被連接至吸附孔 221。
[0138]吸附單元23能夠通過吸附孔221吸附流體以吸附載體襯底200。因此，吸附單元23能夠使載體襯底200與粘結襯底100分離。與粘結襯底100分離的載體襯底200能夠通過從吸附單元23提供的抽吸力被粘附至第二平臺22。
[0139]當制造襯底900由第一平臺I支撐使得第一載體襯底210朝向第二平臺22時，吸附單元23能夠吸附第一載體襯底210以使第一載體襯底210與第一面板襯底110分離。
[0140]當制造襯底900由第一平臺I支撐使得第二載體襯底220朝向第二平臺22時，吸附單元23能夠吸附第二載體襯底220以使第二載體襯底220與第二面板襯底120分離。
[0141]因此，根據本發明的實施方式的載體襯底分離系統I在第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性通過載體襯底200增強的狀態下執行制造顯示面板的工藝，并且因此，盡管第一面板襯底110和第二面板襯底120被形成為較薄的厚度，但是在制造顯示面板的工藝中能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120被容易地損壞。
[0142]此外，與相關技術不同，即使在不使用蝕刻溶液的情況下，載體襯底分離系統I仍能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120，從而制造薄顯示面板。因此，與相關技術相比，載體襯底分離系統I能夠降低生產成本，提供生產率，并且防止環境污染。
[0143]吸附單元23能夠以快的抽吸速度吸附載體襯底200，使得載體襯底200立即被吸附。例如，吸附單元23能夠以比制造襯底900被粘結至第一平臺21的粘結速度更快的抽吸速度吸附載體襯底200。
[0144]吸附單元23能夠在第二平臺22與載體襯底200分離一定距離的狀態下通過吸附孔221吸附流體。在這種情況下，通過吸附單元23產生的抽吸力泄漏在第二平臺22與載體襯底200之間，并且為此，使載體襯底200與粘結襯底100分離所花費的時間增加。
[0145]為了解決這種問題，在載體襯底分離系統I中，如圖9所示，分離設備2能夠包括O形環24。
[0146]第三，O形環24被聯接至第二平臺22以沿第一平臺21的外部方向從第二平臺22突出，并且沿著第二平臺22的外部部分形成閉環。
[0147]即，O形環24被聯接至第二平臺22。O形環24能夠被聯接至第二平臺22以沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。O形環24接觸載體襯底200以在載體襯底200與第二平臺22之間形成封閉空間B。
[0148]O形環24被聯接至第二平臺22使得吸附孔221被設置在封閉空間B中。因此，吸附單元23通過吸附孔221從封閉空間B抽吸流體以吸附載體襯底200，由此使載體襯底200與粘結襯底100分離。在這種操作中，O形環24防止由吸附單元23產生的抽吸力從封閉空間B泄漏，并且因此增加了被傳遞至載體襯底200的抽吸力(由吸附單元23產生)的量。因此，分離設備2減少了使載體襯底200與粘結襯底100分離所花費的時間，從而提高了薄顯示面板的生產率。
[0149]如圖9至圖11所示，O形環24能夠包括被聯接至第二平臺22的聯接構件241、被形成為穿過O形環24的封閉孔242以及接觸載體襯底200的接觸構件243。
[0150]聯接構件241被插入第二平臺22中。因此，O形環24能夠被聯接至第二平臺22以使接觸構件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。聯接構件241能夠被形成為所有角均被圓整的四邊形環的形狀，但也能夠被形成為其他形狀，不限于此。
[0151]封閉孔242被設置在聯接構件241和接觸構件243中。O形環24被聯接至第二平臺22使得吸附孔221被設置在封閉孔242中。因此，由吸附單元23產生的抽吸力能夠通過吸附孔221和封閉孔242被傳遞至載體襯底200。封閉孔242能夠被形成為具有與載體襯底200的尺寸近似匹配或比載體襯底200的尺寸更小的尺寸。
[0152]接觸構件243接觸載體襯底200以在第二平臺200與載體襯底200之間形成封閉空間B。接觸構件243能夠被形成為例如翼狀。
[0153]接觸構件243接觸載體襯底200，并且因此，封閉孔242由接觸構件243、載體襯底200和第二平臺200封閉，由此形成封閉空間B。因此，接觸構件243接觸載體襯底200，并且防止由吸附單元23產生的抽吸力從封閉空間B泄漏。因此，接觸構件243增大被傳遞至載體襯底200的抽吸力(由吸附單元23產生)的量，由此減少使載體襯底200與粘結襯底100分離所花費的時間。
[0154]接觸構件243能夠被形成為在封閉孔242的外部方向上是傾斜的并且沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。即，接觸構件243能夠被形成為在封閉孔242的外部方向上是傾斜的以使封閉孔22的尺寸沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)增大。
[0155]為了提供另外的描述，接觸構件243能夠被聯接至第二平臺22以從第二平臺22沿第一平臺21的外部方向突出。
[0156]因此，當載體襯底200與粘結襯底100分離并且接觸構件被擠壓時，接觸構件243被擠壓至與粘結襯底100分離的載體襯底200，并且因此，如圖11所示，接觸構件243能夠沿封閉孔242的外部方向被折疊。在這種情況下，第二平臺22包括容納接觸構件243的容納槽222。容納槽222能夠被形成為與接觸構件243對應的形狀。容納槽222能夠被形成為具有與接觸構件243的尺寸近似匹配或比接觸構件243的尺寸更大的尺寸，以便容納接觸構件243。
[0157]接觸構件243被擠壓至載體襯底200并且被折疊，并且因此被插入容納槽222中，由此接觸構件243不從第二平臺22突出。因此，載體襯底200與粘結襯底100分離并且被第二平臺22吸附，并且因此，分離設備2能夠防止載體襯底200被接觸構件損壞。現在將對此詳細描述。
[0158]首先，即使接觸構件243被擠壓至載體襯底200并且因此沒有被折疊，或者接觸構件243被擠壓至載體襯底200并且因此被折疊，在第二平臺22不包括容納槽222的情況下，即使在載體襯底200與粘結襯底100分離并且被第二平臺22吸附時，接觸構件243仍保持從第二平臺22突出的狀態。因此，載體襯底200的接觸接觸構件243的一部分比被第二平臺22吸附的一部分突出得更遠，并且為此，載體襯底200被彎曲或損壞。
[0159]當接觸構件243被擠壓至載體襯底200，被折疊，并且被插入容納槽222中時，接觸構件243不從第二平臺22突出。因此，當載體襯底200與粘結襯底100分離并且被第二平臺22吸附時，能夠防止載體襯底200被彎曲或損壞。因此，分離設備2防止載體襯底200在使載體襯底200與粘結襯底100分離的工藝中被損壞，并且因此，與粘結襯底100分離的載體襯底200能夠被重新利用以制造另一顯示面板。因此，分離設備2減少了在制造顯示面板的工藝中載體襯底200的消耗量，由此降低了工藝成本。
[0160]接觸構件243能夠被形成為當接觸構件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出時減小尺寸。接觸構件243能夠被形成為當接觸構件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出時尺寸減小并且具有尖端。即，接觸構件243的端部能夠被形成為尖的。因此，接觸構件243能夠被擠壓至與粘結襯底100分離的載體襯底200并且容易被折疊，并且因此能夠被插入容納槽222中以便不從第二平臺22突出。另外，接觸構件243減小接觸載體襯底200的一部分的面積，由此降低載體襯底200被損壞的可能性。
[0161]O形環24能夠被安裝在第一平臺21上。在這種情況下，被安裝在第一平臺21上的O形環能夠與被安裝在第二平臺22上的O形環對稱地形成。這將在下面參照圖12至圖15來描述。
[0162]將參照圖12至圖15簡要地描述操作O形環24的方法。
[0163]參照圖12，首先，制造襯底900被設置在第一平臺21處。O形環24被安裝在第一平臺21上，并且制造襯底900被安裝在呈翼狀的O形環24的頂部上。
[0164]再參照圖13，制造襯底900通過驅動抽吸單元300而被第一平臺21真空吸附。制造襯底900被第一平臺21真空吸附并且被緊密地粘附至第一平臺21，并且因此，在隨后的工藝中，即使當第二平臺22吸附第一載體襯底210或第二載體襯底220時，除去第一載體襯底210或第二載體襯底220的制造襯底900實際上仍能夠被設置在第一平臺處。在描述中，真空吸附工藝能夠通過與對安裝在第二平臺22上的O形環24的描述相同的方法執行。
[0165]參照圖14，第二平臺22被降低，并且因此，形成為翼狀并且被安裝在第二平臺22上的O形環24接觸制造襯底900的頂部，即，第一載體襯底210或第二載體襯底220。在這種情況下，第二平臺22不會通過壓縮第一載體襯底210或第二載體襯底220而接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220。S卩，第二平臺22在其間存在微小間隔的情況下接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220，使得第一載體襯底210或第二載體襯底220與制造襯底900分離并且被移動至第二平臺22。
[0166]參照圖15，通過驅動吸附單元23，第一載體襯底210或第二載體襯底220被第二平臺22吸附。第一載體襯底210或第二載體襯底220被粘附至第二平臺22，并且因此，第一載體襯底210或第二載體襯底220與制造襯底900分離。通過間隙形成設備3在第一載體襯底210或第二載體襯底220與第一面板襯底110或第二面板襯底120之間形成間隙，并且因此，第一載體襯底210或第二載體襯底220能夠從間隙G附近分離。即，分離操作由于通過間隙形成設備3形成的間隙G而能夠通過分離設備2平穩地執行。
[0167]在這種情況下，第一平臺21能夠通過將在下面描述的加熱機構來加熱。
[0168]第四，分離設備2能夠包括豎直地移動第二平臺22的移動單元25。
[0169]移動單元25被聯接至第二平臺22。移動單元25能夠被設置在腔室單元處。移動單元25能夠沿第二平臺22更靠近第一平臺21的方向以及沿第二平臺22更遠離第一平臺21的方向移動第二平臺22。當第二平臺22被設置在第一平臺21上方時，移動單元25能夠提升或降低第二平臺22。移動單元25能夠通過利用如下方法來移動第二平臺22:使用液壓缸或氣缸的柱體法；使用滾珠絲杠的滾珠絲杠法；使用馬達和齒條的傳動方法；使用馬達、帶輪和皮帶的皮帶方法；以及使用線圈和永磁體的線性馬達。
[0170]在制造襯底900被安裝在第一平臺21上之前，如圖12所示，移動單元25沿偏離第一平臺21的方向移動第二平臺22。因此，移動單元25擴大了第一平臺21與第二平臺22之間的間隔，并且因此，在制造襯底900被安裝在第一平臺21上的工藝中，制造襯底900容易地被安裝在第一平臺21上，而不與第二平臺22和O形環24碰撞。
[0171]當制造襯底900被安裝在第一平臺21上時，如圖14所示，移動單元25沿更靠近第一平臺21的方向移動第二平臺22。移動單元25能夠朝向由第一平臺21支撐的粘結襯底100移動第二平臺22，使得O形環24接觸載體襯底200以形成封閉空間B。在這種情況下，當接觸構件243接觸載體襯底200以便形成封閉空間B時，移動單元25能夠停止第二平臺22的運動。在這種情況下，吸附單元23通過吸附孔221從封閉空間B抽吸流體，并且因此，如圖15所示，吸附單元23能夠吸附載體襯底200以使載體襯底200與制造襯底900分離。
[0172]盡管未示出，當載體襯底200與制造襯底900分離時，移動單元25能夠沿偏離第一平臺21的方向移動第二平臺22，使得制造襯底900和載體襯底200容易被卸載。
[0173]第五，如圖16所示，分離設備2還能夠包括加熱第一平臺21的第一加熱機構26。
[0174]第一加熱機構26加熱第一平臺21，由此加熱由第一平臺21支撐的粘結襯底100和載體襯底200。因此，第一加熱機構26使粘結襯底100與載體襯底200之間的聯接力減弱，并且因此能夠使載體襯底200與粘結襯底100容易地分離。因此，分離設備2減少使載體襯底200與粘結襯底100分離所花費的時間，由此提高了薄顯示面板的生產率。另外，分離設備200能夠使載體襯底200與粘結襯底100容易地分離，由此在使載體襯底200與粘結襯底100分離的工藝中防止載體襯底200被損壞。
[0175]第一加熱機構26能夠被聯接至第一平臺21。第一加熱機構26能夠被設置在腔室單元處。第一加熱機構26能夠包括被設置在第一平臺21中的第一加熱絲(未示出)。第一加熱機構26能夠允許第一加熱絲發熱，從而加熱第一平臺21。云母加熱器能夠被用作第一加熱機構26。
[0176]第一加熱機構26能夠在110攝氏度至180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21。當第一加熱機構26在低于110攝氏度的溫度下加熱第一平臺21時，粘結襯底100與載體襯底200之間的聯接力沒有被減弱到載體襯底200與粘結襯底100容易分離的程度。當第一加熱機構26在高于180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21時，粘結襯底100和載體襯底200可能被損壞。第一加熱機構26在110攝氏度至180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21，并且因此能夠防止粘結襯底100和載體襯底200被損壞，并且提高了使載體襯底200與粘結襯底100分離的工藝的可用性。
[0177]第一加熱機構26能夠將第一平臺21分成N個區域(其中，N為大于一的整數)，并且針對所述區域中的每個區域來調節加熱溫度。因此，即使當第一平臺21由于工藝環境而不處于完全一致的溫度下時，第一加熱機構26能夠以不同的溫度加熱第一平臺21的區域，并且因此能夠完全并且一致地調節第一平臺21的溫度。因此，第一加熱機構26能夠在完全一致的溫度下加熱粘結襯底100和載體襯底200，并且因此完全且一致地減弱粘結襯底100與載體襯底200之間的聯接力。因此，由于粘結襯底100和載體襯底200以部分不同的溫度被加熱，因此部分地產生聯接力差,并且因此,載體襯底200部分地沒有與粘結襯底100分離，從而防止粘結襯底100和載體襯底200被部分地損壞。
[0178]例如，第一加熱機構26能夠將第一平臺21分成五個區域，并且針對五個區域中的每個區域調節加熱溫度。在這種情況下，第一加熱機構26能夠單獨地調節第一平臺21的中央區域的加熱溫度以及被設置成圍繞中央區域的四個角區域的加熱溫度。盡管未示出，但是第一加熱機構26能夠將第一平臺21分成兩個、三個、四個或六個區域，并且針對所述區域中的每個區域調節加熱溫度。第一加熱機構26能夠從分別被設置在第一平臺21的多個區域處的多個溫度傳感器(未示出)接收若干條溫度信息，并且通過利用所接收的若干條溫度信息來調節區域的加熱溫度。
[0179]分離設備2能夠包括加熱第二平臺22的第二加熱機構27。
[0180]第二加熱機構27能夠在與第一加熱機構26加熱第一平臺21的溫度近似匹配的溫度下加熱第二平臺22。因此，當通過第一加熱機構26加熱的載體襯底200被第二平臺22吸附時，第二加熱機構27能夠防止第二平臺22由于溫度差而被損壞。
[0181]第二加熱機構27能夠被聯接至第二平臺22。第二加熱機構27能夠被設置在腔室單元處。第二加熱機構27能夠包括被設置在第二平臺22中的第二加熱絲(未示出)。第二加熱機構27能夠允許第二加熱絲發熱，從而加熱第二平臺22。云母加熱器能夠被用作第二加熱機構27。
[0182]由于第二加熱機構27加熱第二平臺22，因此粘結襯底100與載體襯底200之間的聯接力能夠被減弱。這是因為當使載體襯底200與粘結襯底100分離時第二平臺22與載體襯底200之間的間隔狹窄，并且因此，當第二加熱機構27加熱第二平臺22時產生的熱量通過對流和輻射被傳遞至由第一平臺21支撐的粘結襯底100和載體襯底200。
[0183]盡管未示出，但是第二加熱機構27能夠將第二平臺22分成N個區域，并且針對所述區域中的每個區域調節加熱溫度。因此，即使當第二平臺22由于工藝環境而不處于完全一致的溫度下時，第二加熱機構27能夠以不同的溫度加熱第二平臺22的區域，并且因此能夠完全地且一致地調節第二平臺22的溫度。第二加熱機構27能夠將第二平臺22分成數量與第一加熱機構26將第一平臺21分成的區域的數量相等的多個區域，并且針對所述區域中的每個區域調節加熱溫度。第二加熱機構27能夠單獨地加熱第二平臺22的區域，第二平臺22的區域處于與通過第一加熱機構26加熱的第一平臺21的區域的布置相同的布置。第二加熱機構27能夠從分別被設置在第二平臺22的多個區域處的多個溫度傳感器(未示出)接收若干條溫度信息，并且通過利用所接收的若干條溫度信息來調節區域的加熱溫度。
[0184]第六，如圖17所示，分離設備2能夠包括間隙調節單元28，該間隙調節單元28被插入第一平臺21與第二平臺22之間，并且保持第一平臺21與第二平臺22之間的恒定間隔。
[0185]如上所述，當接觸構件243接觸載體襯底200以便形成封閉空間B時，移動單元25能夠停止第二平臺22的運動。
[0186]由于制造襯底的厚度和封閉空間B的高度也較小，因此移動單元25難以將第二平臺22停止在精確位置處。
[0187]因此，分離設備2能夠包括間隙調節單元28。
[0188]間隙調節單元28能夠包括間隙調節器28b和移動件28a，其中，間隙調節器28b具有與第一平臺21與第二平臺22之間的間隔距離對應的高度以用于形成封閉空間B，移動件28a移動間隙調節器28b。
[0189]當制造襯底900被設置在第一平臺21處時，如圖17所示，移動件28a將間隙調節器28b移動至第一平臺21與第二平臺22之間的空間。
[0190]當間隙調節器28b被設置在第一平臺21與第二平臺22之間時，第二平臺22朝向第一平臺21下降。朝向第一平臺21下降的第二平臺22通過間隙調節器28b而不再被降低。因此，第一平臺21與第二平臺22之間的高度與預定高度精確地匹配，并且能夠形成封閉空間B。
[0191]具有不同高度的兩個或更多個間隙調節器28b能夠被安裝在移動件28a上。即，制造襯底900的高度能夠根據顯示裝置的模型和種類而不同地改變，并且因此，第一平臺與第二平臺之間的高度也能夠被不同地設定。因此，具有不同高度的多個間隙調節器28b能夠被安裝在移動件28a上。在這種情況下，移動件28a能夠將多個間隙調節器28a中高度與制造襯底900的高度對應的間隙調節器移動至第一平臺21與第二平臺22之間的空間。
[0192]第七，如圖18所示，分離設備2能夠包括靜電去除器29，該靜電去除器29被插入第一平臺21與第二平臺22之間，接觸與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結襯底100，并且從粘結襯底100去除靜電。
[0193]在分離設備2中，靜電可以存在于與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者分離的粘結襯底100上，并且損壞在隨后的工藝中使用的粘結襯底100和裝置。
[0194]因此，在分離設備2中，靜電去除器29接觸與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者分離的粘結襯底100，并且將粘結襯底100的靜電發射至外部。
[0195]為此，靜電去除器29能夠包括接觸粘結襯底100的觸頭29a以及驅動觸頭29a的驅動器29b。
[0196]在下文中，將參照附圖對根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法的示例進行詳細描述。
[0197]圖19是圖示通過利用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法的流程圖。圖20是在通過利用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中用于將載體襯底聯接至粘結襯底的聯接設備的示意性橫截面圖。圖21是在通過利用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中用于將第一面板襯底粘結至第二面板襯底的粘結設備的示意性橫截面圖。圖22是詳細地圖示根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法的流程圖。
[0198]通過利用根據本發明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法能夠包括下列操作。
[0199]首先，在一工藝(SlO)中，載體襯底200被聯接至第一面板襯底110和第二面板襯底120。該工藝(SlO)能夠將第一載體襯底210聯接至第一面板襯底110，并且將第二載體襯底220聯接至第二面板襯底120。如圖20所示，聯接載體襯底200的工藝(SlO)能夠通過將載體襯底200聯接至第二面板襯底120的聯接設備400來執行。
[0200]例如，如圖20所示，聯接設備400能夠包括腔室模塊410、第一表面板420、第二表面板430和壓力調節器440。第一面板襯底110通過第一表面板420支撐，并且第一載體襯底210通過利用吸附力、靜電力和粘附力中的至少一者被粘附至第二表面板430。在這種狀態下，當第一載體襯底210與第二表面板430分離并且接觸第一面板襯底110時，壓力調節器440將腔室模塊410的內壓降低至真空壓力。因此，第一載體襯底210通過分子的鍵合而被聯接至第一面板襯底110。
[0201]此外，盡管未示出，第一載體襯底210能夠通過利用密封劑而被聯接至第一面板襯底110。
[0202]此外，盡管未示出，聯接設備400能夠通過利用朝向第一面板襯底110推動第一載體襯底210的結構來將第一載體襯底210聯接至第一面板襯底110。該結構能夠是加壓銷或膜片。
[0203]此外，聯接設備400能夠將氣體噴射至第一載體襯底210以將第一載體襯底210聯接至第一面板襯底110。
[0204]聯接設備400能夠通過利用上述各種方法來將第二在體襯底220聯接至第二面板襯底120。
[0205]隨后，在一工藝(S20)中，制造粘結襯底100。工藝(S20)包括將第一面板襯底110粘結至第二面板襯底120的粘結工藝。該粘結工藝能夠在第一載體襯底210被聯接至第一面板襯底110并且第二載體襯底220被聯接至第二面板襯底120的狀態下執行。
[0206]因此，由于粘結工藝在第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性通過載體襯底200增強的狀態下執行，盡管第一面板襯底110和第二面板襯底120被形成為較薄的厚度，但是在執行粘結工藝的過程中能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120被容易地損壞。粘結工藝能夠通過如圖21所示的粘結設備500來執行。
[0207]例如，如圖21所示，粘結設備500能夠包括腔室設備510、第一工作臺520和第二工作臺530。第一面板襯底110通過第一工作臺520支撐以使第一載體襯底210接觸第一工作臺520。用于將第一面板襯底110粘結至第二面板襯底120的密封劑(未示出)被涂覆在第一面板襯底110上。
[0208]第二面板襯底120通過利用吸附力、靜電力和粘附力中的至少一者被第二工作臺530支撐，以使第二載體襯底220接觸第二工作臺530。
[0209]在這種狀態下，第二面板襯底120接觸第一面板襯底110，第一面板襯底110和第二面板襯底120通過密封劑的吸附力粘結，從而制造粘結襯底100。在這種情況下，粘結設備500能夠通過利用朝向第一面板襯底110推動第二面板襯底120的結構來將第一面板襯底110聯接至第二面板襯底120。該結構能夠是第二工作臺530、加壓銷或膜片。粘結設備500能夠將氣體噴射至第二面板襯底120以將第二面板襯底120聯接至第一面板襯底110。在粘結設備500中，當第二面板襯底120接觸第一面板襯底110時，壓力調節機構將腔室模塊410的內壓降低至真空壓力，從而將第一面板襯底110粘結至第二面板襯底120。
[0210]制造粘結襯底100的工藝(S20)能夠包括在第一面板襯底110和第二面板襯底120中的每個中形成電極的工藝，需要該電極用于驅動顯示面板。例如，制造粘結襯底100的工藝(S20)能夠包括在第一面板襯底110上形成TFT陣列的TFT工藝、在第二面板襯底120上形成濾色器陣列的濾色器(CF)工藝以及形成中間層130的工藝。
[0211 ] 這些工藝能夠在第一載體襯底210被聯接至第一面板襯底110并且第二載體襯底220被聯接至第二面板襯底120的狀態下執行。因此，能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120在執行上述工藝的過程中被容易地損壞，并且因此，能夠提高制造薄顯示面板的工藝的收益率,并且能夠增強薄顯示面板的質量。
[0212]如上所述，在其中載體襯底200被粘附至粘結襯底100的襯底被稱為制造襯底900。即，制造襯底900包括粘結襯底100和被粘附至粘結襯底100的載體襯底200，在這種情況下，載體襯底200能夠包括第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者。
[0213]隨后，在一工藝(S30)中，載體襯底200與粘結襯底100分離。該工藝(S30)能夠通過將載體襯底200與粘結襯底100分離的載體襯底分離系統I來執行。載體襯底200在該工藝(S30)中與粘結襯底100分離，并且因此，粘結襯底100能夠被實施為薄顯示面板。下面將參照圖1至圖22對使載體襯底200與粘結襯底100分離的方法進行詳細描述。在下列描述中，簡要地說明或不提供重復的描述。
[0214]首先,制造襯底900被轉移至間隙形成設備2,在該制造襯底900中,被構造有第一面板襯底110和第二面板襯底120的粘結襯底100被粘結至被構造有第一載體襯底210和第二載體襯底220的載體襯底200，并且在工藝(S31)中在第一面板襯底110與被粘附至第一面板襯底110的第一載體襯底210之間形成第一間隙G。現在將詳細描述這一操作。
[0215]在制造載體襯底200被聯接至其的粘結襯底100的工藝(S20)中制造的制造襯底900被轉移至加載設備7并且被安置在加載設備7上。
[0216]被安置在加載設備7上的制造襯底900通過第一機械手6被轉移至平臺5并且被安置在平臺5上。
[0217]被安置在平臺5上的制造襯底900通過第二機械手4被轉移至間隙形成設備3。在這種情況下，第二機械手4轉移處于支撐第二載體襯底220的底部的狀態的制造襯底900。提升銷34c被設置在間隙形成設備3的支撐部件34處，并且制造襯底900被設置在提升銷34c處。然后，提升銷34c下降，并且因此，制造襯底900被設置在支撐部件34處。
[0218]制造襯底900通過抽吸單元(未示出)和通孔34b被緊密地粘附至支撐部件34。
[0219]對準單元50核查在第一載體襯底210處形成的第一突出部210a的位置，并且然后將分尚單兀30移動至與第一突出部210a對應的位置。
[0220]分離單元30被驅動，并且沿第一突出部210a與第一面板襯底110分離的方向擠壓第一突出部210。
[0221]當在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成第一間隙G時，間隙刀41被插入第一間隙G中。
[0222]當由于間隙刀41而在第一間隙G中出現脫離時，間隙刀41與第一間隙G分離。
[0223]在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成的第一間隙G能夠通過工藝來保持。
[0224]已經對下述情況進行了描述:從平臺5將制造襯底900提供至間隙形成設備3，使得第二載體襯底220被設置在支撐部件34處。即，當制造襯底900從平臺5被提供至間隙形成設備3使得第二載體襯底220被設置在支撐部件34處時，能夠在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成第一間隙G。
[0225]第二，在其中形成有第一間隙G的制造襯底900被轉移至分離設備2，并且在工藝(S32)中第一載體襯底210與第一面板襯底110分離。現在將詳細描述該工藝。
[0226]第二機械手4抽吸制造襯底900的頂部，即，第一載體襯底210，并且然后將制造襯底900轉移至分離設備2。
[0227]第二機械手4將制造襯底900設置在分離設備2的第一平臺21處。在這種情況下，第二載體襯底220被設置在第一平臺21處。
[0228]抽吸單元300強有力地抽吸制造襯底900，并且因此，第二載體襯底220被緊密地粘附至第一平臺21。
[0229]間隙調節器28b被插入第一平臺21與第二平臺22之間。
[0230]第二平臺22朝向第一平臺21下降，并且然后通過間隙調節器28b停止在特定位置處。
[0231]當第二平臺22停止在特定位置處時，第一載體襯底210通過吸附單元23朝向第二平臺22移動，并且被緊密地粘附至第二平臺22。因此，第一載體襯底210與第一面板襯底110分離。
[0232]當分離工藝正在被執行時，能夠在間隙形成設備3中執行用于另一制造襯底的間隙形成工藝(S31)。
[0233]第三，與第一載體襯底210分離的制造襯底900被轉移至間隙形成設備3，并且在工藝(S33)中在第二面板襯底120與被粘附至第二面板襯底120的第二載體襯底220之間形成第二間隙。現在將詳細描述該工藝。
[0234]第二機械手4能夠將制造襯底900暫時設置在平臺5處，將另一制造襯底900 (被設置在間隙形成設備3處)移動至分離設備2，并且將被暫時設置在平臺5處的制造襯底900轉移至間隙形成設備3。另外，第二機械手4能夠將其他制造襯底900(被設置在間隙形成設備3處)暫時設置在平臺5處，將制造襯底900 (與第一載體襯底210分離)從分離設備2移動至間隙形成設備3，并且將被暫時設置在平臺5處的其他制造襯底900轉移至分離設備2。在這種情況下，第二機械手4能夠使制造襯底900旋轉，使得與第一載體襯底210分離的制造襯底900的第一面板襯底110被設置在間隙形成設備3的支撐部件34處。
[0235]第一面板襯底110被設置在支撐部件34處，并且因此，在被粘附至第二面板襯底120的第二載體襯底220處形成的第二突出部220a被設置在與分離單元30對應的位置處。
[0236]分離單元30在第二突出部220a與第二面板襯底120之間形成第二間隙的工藝能夠通過與分離單元30在第一突出部210a與第一面板襯底110之間形成第一間隙的工藝(S31)相同的工藝執行。
[0237]第四，在其中形成有第二間隙的制造襯底900被轉移至分離設備2，并且在工藝(S34)中第二載體襯底220與第二面板襯底120分離。現在將詳細描述該工藝。
[0238]第二機械手4將其中形成有第二間隙的制造襯底900轉移至分離設備2的方法能夠通過以上已經在將與第一載體襯底210分離的制造襯底900轉移至間隙形成設備3的方法中描述的工藝執行。
[0239]其中形成有第二間隙的制造襯底900被設置在分離設備2處以使第一面板襯底110面向第一平臺21。
[0240]分離設備2將第二載體襯底220與第二面板襯底120分離的工藝能夠通過與分離設備2將第一載體襯底210與第一面板襯底110分離的工藝(S32)相同的工藝執行。
[0241]最后，當載體襯底200與粘結襯底100分離時，執行刻劃與載體襯底200分離的粘結襯底100的工藝(S40)。
[0242]即，當第一載體襯底210和第二載體襯底220與粘結襯底100分離時，刻劃粘結襯底100的工藝(S40)能夠通過刻劃與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結襯底100來執行。
[0243]在上述顯示面板制造方法中，刻劃工藝可以不針對第一載體襯底210和第二載體襯底220執行，并且因此，與粘結襯底100分離的第一載體襯底210和第二載體襯底220能夠被再次用于制造另一顯示面板。因此，根據本發明的實施方式，能夠減少制造薄顯示面板的工藝中載體襯底200的消耗量，從而降低工藝成本。
[0244]刻劃粘結襯底100的工藝(S40)能夠通過刻劃設備(未示出)來執行，該刻劃設備傳遞與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結襯底100。刻劃設備能夠通過利用切割輪或激光來切割粘結襯底100。
[0245]當粘結襯底100是其中形成有多個顯示面板的母襯底時，刻劃粘結襯底100的工藝(S40)能夠通過切割粘結襯底100來執行以使粘結襯底100被分成多個顯示面板。
[0246]當粘結襯底100是其中形成有一個顯示面板的襯底時，刻劃粘結襯底100的工藝(S40)能夠通過切割粘結襯底100的諸如虛擬區域的非顯示區域來執行。
[0247]如上所述，通過使載體襯底與粘結襯底自動分離，本發明能夠簡化并快速執行薄顯示面板的制造工藝，從而降低薄顯示面板的制造成本。
[0248]此外，本發明制造較薄厚度的第一面板襯底和第二面板襯底，并且防止第一面板襯底和第二面板襯底在載體襯底分離工藝中被容易地損壞，從而提高了薄顯示面板制造工藝中的收益率并且增強了薄顯示面板的質量。
[0249]對于本領域技術人員而言顯而易見的是，在不背離本發明的精神或范圍的情況下，能夠在本發明中做出各種改型和變型。因此，本發明旨在覆蓋落入所附權利要求及其等同物的范圍內的本發明的改型和變型。
【權利要求】
1.一種載體襯底分離系統，其包括: 加載設備，制造襯底被加載到所述加載設備中，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結襯底被粘結至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，并且所述第一載體襯底或第二載體襯底在與所述粘結襯底分離后被加載到所述加載設備中； 間隙形成設備，所述間隙形成設備被構造成在所述第一面板襯底與所述第一載體襯底之間形成間隙，或者在所述第二面板襯底與所述第二載體襯底之間形成間隙； 分離設備，所述分離設備被構造成使所述第一載體襯底或所述第二載體襯底與從所述間隙形成設備轉移的所述制造襯底分離；以及 機械手，所述機械手被構造成在所述加載設備、所述間隙形成設備和所述分離設備之間轉移所述制造襯底。
2.根據權利要求1所述的載體襯底分離系統，其還包括平臺，從所述加載設備轉移的所述制造襯底、與所述第一載體襯底和所述第二載體襯底中的一者分離后的所述制造襯底以及與所述粘結襯底分離后的所述第一載體襯底和所述第二載體襯底中的至少一者被安置在所述平臺上， 其中，所述機械手包括第一機械手和第二機械手，所述第一機械手被設置在所述加載設備與所述平臺之間，所述第二機械手被設置在所述間隙形成設備與所述分離設備之間。
3.根據權利要求1所述的載體襯底分離系統，其中，所述間隙形成設備包括: 支撐部件，所述支撐部件被構造成支撐所述制造襯底；以及 分離單元，所述分離單元被構造成使所述第一載體襯底或所述第二載體襯底的突出部與所述粘結襯底分離，所述突出部沿所述制造襯底的外部方向比所述粘結襯底突出得更遠。
4.根據權利要求3所述的載體襯底分離系統，其中，所述間隙形成設備還包括對準單元，所述對準單元被構造成使所述突出部與所述分離單元對準。
5.根據權利要求3所述的載體襯底分離系統，其中，所述間隙形成設備還包括插入單元，所述插入單元通過所述分離設備被插入在所述粘結襯底與所述第一載體襯底或所述第二載體襯底的所述突出部之間形成的間隙中。
6.根據權利要求1所述的載體襯底分離系統，其中，所述分離設備包括: 第一平臺，所述第一平臺被構造成支撐所述制造襯底； 第二平臺，所述第二平臺被設置成與所述第一平臺分離； 吸附單元，所述吸附單元被設置在所述第二平臺處以被連接至在所述第二平臺中形成的吸附孔，并且被構造成通過所述吸附孔吸附所述載體襯底以使所述載體襯底與所述粘結襯底分離；以及 抽吸單元，所述抽吸單元被設置在所述第一平臺處以被連接至在所述第一平臺處形成的抽吸孔，并且被構造成通過所述抽吸孔抽吸所述制造襯底以將所述制造襯底緊密地粘附至所述第一平臺。
7.根據權利要求6所述的載體襯底分離系統，其中，所述分離設備還包括O形環，所述O形環被聯接至所述第二平臺以沿所述第一平臺的外部方向從所述第二平臺突出，并且被構造成沿所述第二平臺的外部部分形成閉環。
8.根據權利要求6所述的載體襯底分離系統，其中，所述分離設備還包括間隙調節單元，所述間隙調節單元被插入所述第一平臺與所述第二平臺之間，并且被構造成保持所述第一平臺與所述第二平臺之間的恒定間隔。
9.根據權利要求6所述的載體襯底分離系統，其中，所述分離設備還包括靜電去除器，所述靜電去除器被插入所述第一平臺與所述第二平臺之間，并且被構造成接觸與所述第一載體襯底和所述第二載體襯底分離的所述粘結襯底并從所述粘結襯底去除靜電。
10.一種載體襯底分離方法，其包括: 將制造襯底轉移至間隙形成設備，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結襯底被粘結至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，以在所述第一面板襯底與被粘附至所述第一面板襯底的所述第一載體襯底之間形成第一間隙； 將其中形成有所述第一間隙的所述制造襯底轉移至分離設備，以使所述第一載體襯底與所述第一面板襯底分離； 將與所述第一載體襯底分離的所述制造襯底轉移至所述間隙形成設備，以在所述第二面板襯底與被粘附至所述第二面板襯底的所述第二載體襯底之間形成第二間隙；以及將其中形成有所述第二間隙的所述制造襯底轉移至所述分離設備，以使所述第二載體襯底與所述第二面板襯底分離。
【文檔編號】H01L21/00GK104183468SQ201410225354
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年5月26日 優先權日:2013年5月24日
【發明者】姜起福, 金興善, 李承厚 申請人:樂金顯示有限公司