專利名稱：流體供給裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種可用于存儲流體并供給被存儲流體的流體供給裝置。
背景技術：
在半導體元件等電子組件、液晶顯示裝置(IXD :Liquid Crystal Display)等顯示裝置、生物產業、制藥產業、太陽能產業等的制造系統中使用流體供給裝置。例如，所述流體供給裝置可以向所述制造系統提供流體，即，在所述制造系統中使用的光刻膠、蝕刻劑、化學氣相沉積反應劑、溶劑、晶片及工具洗滌劑、化學機械拋光組合物等。圖I是現有技術涉及的流體供給裝置的概略剖視圖，圖2是示出在現有技術涉及的流體供給裝置上結合有密封件和蓋子的狀態的概略剖視圖。圖2是以圖I的放大圖為基準示出在現有技術涉及的流體供給裝置上結合有密封件和蓋子的狀態圖。 參照圖1，現有技術涉及的流體供給裝置10包括內部容器11、外部容器12、連接部13和汲取管14。在所述內部容器11中可存儲在所述制造系統100中使用的流體。所述內部容器11設置成位于所述外部容器12的內側。所述內部容器11與所述連接部13連通，從而存儲于所述內部容器11中的流體可以通過所述連接部13被供給所述制造系統100。所述外部容器12在內側設置有所述內部容器11。所述外部容器12包括供所述連接部12結合的通道構件121，通過所述通道構件121與所述連接部13連通。S卩，所述外部容器12整體可以形成為圓柱形，可以通過所述通道構件121 —側被開放。所述連接部13與所述外部容器12結合，且分別與所述外部容器12及所述內部容器11連通。在所述連接部13上分別結合有第一連接單元15和第二連接單元16，該第一連接單元15與所述內部容器11連通，該第二連接單元16與所述外部容器12連通。所述第一連接單元15與所述制造系統100連接，而存儲于所述內部容器11中的流體可通過所述汲取管14、所述連接部13和所述第一連接單元15被供給至所述制造系統100。所述第二連接單元16可以與氣體供給源200連接，從所述氣體供給源200供給的氣體通過所述第二連接單元16和所述連接部13供給至所述內部容器11的外側與所述外部容器12的內側之間的空間A。被供給到所述內部容器11與所述外部容器12之間的空間A的氣體可以對所述內部容器11施力，由此，所述內部容器11被壓縮，從而能夠使存儲于所述內部容器11中的流體被排出。所述連接部13包括結合構件131、連接構件132、支承構件133、探頭134和接頭構件 135。所述結合構件131以使所述通道構件121位于內側的方式緊固在所述外部容器12上。所述結合構件131通過在所述結合構件131的內周表面上形成的內螺紋和在所述外部容器12的外周表面上形成的外螺紋的結合來緊固在所述外部容器12上。所述結合構件131包括第一連接孔1311。從所述第二連接單元16供給的氣體可以通過所述第一連接孔1311供給至所述內部容器11與所述外部容器12之間的空間A。
所述連接構件132以使所述結合構件131位于內側的方式緊固在所述結合部件131上。所述連接構件132通過在所述連接構件132的內周表面上形成的內螺紋和在所述結合構件131的外周表面上形成的外螺紋的結合來緊固在所述結合構件131上。所述支承構件133被所述結合構件131支承地設置在所述連接構件132的內側，并支承所述探頭134。所述支承構件133包括第二連接孔1331。從所述第二連接單元16供給的氣體可以通過所述第二連接孔1331和所述第一連接孔1311供給至所述內部容器11與所述外部容器12之間的空間A。所述探頭134的一側與所述內部容器11連通，另一側與所述第一連接單元15連通。所述探頭134貫穿所述支承構件133和所述結合構件131，且一側與所述內部容器11連通，并且被所述支承構件133支承。存儲于所述內部容器11中的流體可以通過所述汲取管14、所述探頭134和所述第一連接單元15供給至所述制造系統100。在所述接頭構件135的一側結合有所述汲取管14，在另一側結合有所述探頭134。所述探頭134可以通過所述接頭構件135與所述汲取管14連通，并通過所述汲取管14與 所述內部容器11連通。所述汲取管14設置在所述內部容器11的內側。所述汲取管14可以從所述內部容器11的上側向下側(B箭頭方向)長長地形成。所述汲取管14與所述接頭構件135結合，使得一側與所述探頭134連通，而另一側位于所述內部容器11下側。存儲于所述內部容器11中的流體可從所述內部容器11的下側向所述汲取管14的內部移動，經由所述汲取管14和所述接頭構件135移動到所述探頭134之后，通過所述第一連接單元15供給至所述制造系統100。參照圖I和圖2，現有技術涉及的流體供給裝置10還包括密封件17和蓋子18。當將現有技術涉及的流體供給裝置10在所述內部容器11中存儲流體的狀態下搬運到所述制造系統100所處位置的過程中，所述密封件17和所述蓋子18防止流體從所述內部容器11排出。即，現有技術涉及的流體供給裝置10除了具有向所述制造系統100供給流體的功能之外，進一步為了實現存儲流體的功能和搬運流體的功能，包括所述密封件17和所述蓋子18。所述密封件17與所述結合構件131結合，從而進行密封使存儲于所述內部容器11中的流體不向外部排出。所述探頭134貫穿所述密封件17而與所述接頭構件135連接并連通，由此，現有技術涉及的流體供給裝置10可處于向所述制造系統100供給流體的狀態。所述蓋子18緊固在所述結合構件131上。所述蓋子18可以通過在所述蓋子18的內周表面上形成的內螺紋和在所述結合構件131的外周表面上形成的外螺紋的結合來緊固在所述結合構件131上。所述蓋子18以位于所述密封件17之上的方式緊固在所述結合構件131上，從而能夠防止所述密封件17因外力受損。在此，現有技術涉及的流體供給裝置10存在如下問題。第一、現有技術涉及的流體供給裝置10向所述制造系統100供給流體時，以使所述通道構件121朝向上側的方式設置在所述制造系統100所具有的設置面300上。因此，現有技術涉及的流體供給裝置10中，位于所述內部容器11下側的流體通過所述汲取管14向上側移動，并從所述內部容器11排出。即，存儲于現有技術涉及的流體供給裝置10中的流體向與重力方向(B箭頭方向)相反的方向移動，并從所述內部容器11排出。因此，現有技術涉及的流體供給裝置10將存儲于所述內部容器11中的流體供給所述制造系統100之后，在所述內部容器11中仍然殘留有相當多的流體，所以存在材料費損失等問題。第二、現有技術涉及的流體供給裝置10，利用所述汲取管14將存儲于所述內部容器11中的流體供給所述制造系統100，但是所述汲取管14是使用后需要更換或清洗的一次性消耗品。所以，現有技術涉及的流體供給裝置10存在需要進行更換、清洗所述汲取管14的作業等額外作業的問題，因此存在為了進行更換、清洗所述汲取管14的作業等而發生額外費用的問題。第三、現有技術涉及的流體供給裝置10，所述連接部13由相當數量的構件構成。所以現有技術涉及的流體供給裝置10存在組裝所述連接部13的作業復雜麻煩的問題。另夕卜，為了防止供給至所述制造系統100的流體和從所述第二連接單元16供給的氣體通過構成所述連接部13的構件之間泄漏，現有技術涉及的流體供給裝置10應具有與構成所述連 接部13的構件數量對應的數量的O形環(Ο-ring)等密封構件。第四、現有技術涉及的流體供給裝置10，在執行向所述制造系統100供給流體的功能時，需要在結合有所述連接部13的狀態下進行，而執行存儲流體和搬運流體的功能時，需要在結合有所述密封件17和蓋子18的狀態下進行。所以，現有技術涉及的流體供給裝置10存在所述制造系統100的操作人員需要進行取下所述蓋子18后結合所述連接部13的額外作業的問題。第五、現有技術涉及的流體供給裝置10，為了使存儲于所述內部容器11中的流體向與重力方向(B箭頭方向)的相反方向移動，被供給到所述內部容器11與所述外部容器12之間的空間A的氣體需向所述內部容器11施加相當大的力。因此，現有技術涉及的流體供給裝置10由于對所述內部容器11施加過大的力，從而存在所述內部容器11被損壞的危險。

發明內容
技術問題本發明是為了解決所述問題而提出的，本發明的目的在于提供一種流體供給裝置，能夠減少向制造系統供給流體之后殘留在內部容器中的流體量，并省略了作為一次性消耗品的汲取管結構，提高作業便利性和作業穩定性，可降低維護成本。本發明的另一目的在于提供一種流體供給裝置，能夠減少向制造系統供給流體所需的構成要素的數量，從而能夠減少用于防止流體和氣體從各構成要素之間泄漏的密封構件的數量。本發明的又另一目的在于提供一種流體供給裝置，在不必改變構成要素的情況下能夠實現存儲流體的功能、搬運流體的功能和向制造系統供給流體的功能，從而能夠降低存儲有流體的內部容器被損壞的危險。解決技術問題的方法為了實現如上所述的目的，本發明可以包括如下構件。本發明涉及的流體供給裝置可以包括內部容器，用于存儲制造系統所使用的流體；外部容器，所述內部容器位于其內側；連接部，與所述外部容器結合，并設置有用于將存儲于所述內部容器中的流體供給到制造系統的第一連接單元。所述外部容器可以包括通道機構，該通道機構使所述連接部和所述內部容器連通，向制造系統供給流體時，使所述通道機構沿著重力方向面向制造系統所具有的設置面。發明效果根據本發明，可獲得如下效果。本發明通過減少向制造系統供給流體之后殘留在內部容器中的流體量，能夠消減材料費損失等，并通過省略一次性消耗品的汲取管結構，可提高作業便利性的同時降低制造成本和維護成本。


圖I是現有技術涉及的流體供給裝置的概略剖視圖。圖2是表示在現有技術涉及的流體供給裝置上結合有密封件和蓋子的狀態的概 略剖視圖。圖3是本發明涉及的流體供給裝置的概略立體圖。圖4是本發明涉及的流體供給裝置的概略剖視圖。圖5是本發明涉及的流體供給裝置中結合機構和探頭機構的概略分解立體圖。圖6是本發明涉及的流體供給裝置中結合機構和探頭機構的概略分解剖視圖。圖7是本發明涉及的流體供給裝置中連接部的概略結合立體圖。圖8是本發明的變形實施例涉及的流體供給裝置中連接部的概略結合立體圖。圖9是表示本發明涉及的流體供給裝置中從第二連接單元供給的氣體所移動路徑的概略圖。圖10是本發明的一實施例涉及的內部容器的概略主視圖。圖11是圖10的G-G線剖視圖。圖12是本發明的另一實施例涉及的內部容器的概略主視圖。圖13是圖12的H-H線剖視圖。
具體實施例方式下面，參照附圖詳細說明本發明涉及的流體供給裝置的優選實施例。圖3是本發明涉及的流體供給裝置的概略立體圖，圖4是本發明涉及的流體供給裝置的概略剖視圖，圖5是本發明涉及的流體供給裝置中結合機構和探頭機構的概略分解立體圖，圖6是本發明涉及的流體供給裝置中結合機構和探頭機構的概略分解剖視圖，圖7是本發明涉及的流體供給裝置中連接部的概略結合立體圖，圖8是本發明的變形實施例涉及的流體供給裝置中連接部的概略結合立體圖，圖9是表示本發明涉及的流體供給裝置中從第二連接單元供給的氣體所移動路徑的概略圖，圖10是本發明的一實施例涉及的內部容器的概略主視圖，圖11是圖10的G-G線剖視圖，圖12是本發明的另一實施例涉及的內部容器的概略主視圖，圖13是圖12的H-H線剖視圖。參照圖3和圖4，本發明涉及的流體供給裝置I包括內部容器2、外部容器3和連接部4。所述內部容器2中可以存儲有在制造系統100中使用的流體。所述內部容器2設置在所述外部容器3的內側。所述內部容器2與所述連接部4連接并連通，從而存儲于所述內部容器2中的流體可以通過所述連接部4供給所述制造系統100。所述制造系統100可以是在半導體元件等電子組件、液晶顯示裝置等顯示裝置、生物產業、制藥產業、太陽能產業等中使用的制造系統100，本發明涉及的流體供給裝置I可以向所述制造系統100供給在所述制造系統100中使用的光刻膠、蝕刻劑、化學氣相沉積反應劑、溶劑、晶片及工具洗漆劑材料、化學機械拋光組合物等流體。在所述外部容器3的內側置有所述內部容器2。所述外部容器3可以由具有足夠的強度的材料形成，例如金屬材料、塑料材料等形成，以便能夠防止所述內部容器2因外力損壞。所述外部容器3可以包括通道機構31，該通道機構31用于使所述連接部4和所述內部容器2連接并連通。所述外部容器3整體可以形成為圓柱形，可以通過所述通道機構31 一側被開放地形成。本發明涉及的流體供給裝置I向所述制造系統100供給流體時，所
述外部容器3可以設置成，使所述通道機構31朝向所述制造系統100所具有的設置面300。因此，本發明涉及的流體供給裝置I向所述制造系統100供給流體時，所述通道機構31可以朝向重力方向(B箭頭方向)側。即，本發明涉及的流體供給裝置1，可以使所述通道機構31朝向下側方向(B箭頭方向)側的狀態下，向所述制造系統100供給流體。因此，存儲于所述內部容器2中的流體可以向重力方向(B箭頭方向)側移動，并從所述內部容器2排出，而且可以通過所述連接部4供給所述制造系統100。所以，本發明涉及的流體供給裝置I可以期待如下作用效果。第一、現有技術涉及的流體供給裝置，由于存儲于所述內部容器中的流體向與重力方向(B箭頭方向)相反的方向移動，并從所述內部容器排出，所以向所述制造系統100供給流體之后，在所述內部容器中殘留有相當多的流體，從而存在材料費損失等問題。與此不同，本發明涉及的流體供給裝置1，存儲于所述內部容器2中的流體向重力方向(B箭頭方向)移動，并從所述內部容器2排出。因此，本發明涉及的流體供給裝置I與現有技術涉及的流體供給裝置相比，能夠減少存儲于所述內部容器2中的流體供給所述制造系統100之后殘留在所述內部容器2中的流體量，從而能夠消減材料費損失等。第二、現有技術涉及的流體供給裝置，由于存儲于所述內部容器中的流體向與重力方向(B箭頭方向)相反的方向移動，并從所述內部容器排出，所以需要作為一次性消耗品的所述汲取管，從而存在需要進行更換、清洗所述汲取管等額外作業和額外費用的問題。與此相反，本發明涉及的流體供給裝置1，存儲于所述內部容器2中的流體向重力方向(B箭頭方向)移動，并從所述內部容器2排出，所以可以省略一次性消耗品的所述汲取管結構，還可以省略用于連接汲取管和所述連接部4的接頭構件結構。因此，本發明涉及的流體供給裝置I與現有技術涉及的流體供給裝置相比，可以提高作業便利性，并且能夠降低制造成本和維護費用。第三、現有技術涉及的流體供給裝置，為了使存儲于所述內部容器中的流體向與重力方向(B箭頭方向)相反的方向側移動，以對所述內部容器施加相當大的力進行壓縮，在該過程中，存在由于對所述內部容器施加過大的力而所述內部容器被損壞的危險。如果所述內部容器被損壞，則存儲于所述內部容器中的流體向所述外部容器泄漏，從而發生材料費損失等問題。另外，如果所述內部容器被損壞，則有可能向所述內部容器的內部流入異物，此時，與殘留在所述內部容器中的流體量無關地需要丟棄存儲于所述內部容器中的流體，所以還額外發生材料費損失等問題。例如，向所述制造系統供給規定量的液體時，如果所述內部容器被損壞，則氣體流入所述內部容器中，從而存儲于所述內部容器中的液體可能發生氣泡(bubble)等，因此，與殘留在所述內部容器中的流體量無關地需要丟棄存儲于所述內部容器中的流體。與此不同，本發明涉及的流體供給裝置1，存儲于所述內部容器2中的流體向重力方向(B箭頭方向)移動，并從所述內部容器2排出，所以不必壓縮所述內部容器2，或者對所述內部容器2施加較小的力進行壓縮，也能夠將存儲于所述內部容器2中的流體從所述內部容器2排出。因此，與現有技術涉及的流體供給裝置相比，本發明涉及的流體供給裝置I能夠降低對所述內部容器2施加過大的力導致所述內部容器2損壞的危險。而且，通過降低所述內部容器2被損壞的危險，本發明涉及的流體供給裝置I 能夠防止存儲于所述內部容器2中的流體向所述外部容器3泄漏，也能夠防止異物流入所述內部容器2，從而能夠防止異物流入而發生的所述氣泡等問題。因此，本發明涉及的流體供給裝置I能夠防止發生材料費損失等問題，可提高作業穩定性。第四、現有技術涉及的流體供給裝置如上所述的需要汲取管，如果所述汲取管被損壞，則通過所述汲取管向所述制造系統供給的流體中有可能混入異物，從而因異物混入可能發生如上所述的氣泡等問題。與此相反，本發明涉及的流體供給裝置1，如上所述，可以省略汲取管結構，所以從根源上杜絕汲取管發生損壞的問題。因此，本發明涉及的流體供給裝置I能夠防止發生材料費損失等問題，可提高作業穩定性。 第五、如圖I的放大圖所示，現有技術涉及的流體供給裝置10中，所述內部容器11與所述通道構件121結合，此時由于所述內部容器11中存儲的流體所具有的重量，所述內部容器11有可能從所述通道構件121分離。如果所述內部容器11從所述通道構件121分離，則存儲于所述內部容器11中的流體可能泄漏到所述外部容器12中，也有可能異物流入所述內部容器11，因此，所述內部容器11因異物流入可能發生如上所述的氣泡等問題。與此不同，本發明涉及的流體供給裝置1，如圖4的放大圖所示，能夠將存儲于所述內部容器2中的流體所具有的重量分散到所述通道機構31和所述內部容器2上，而且，所述內部容器2中位于所述通道機構31外側的部分可以被所述外部容器3支承，從而能夠減少因存儲于所述內部容器2中的流體所具有的重量而導致所述內部容器2從所述通道機構31分離的危險。因此，本發明涉及的流體供給裝置1，能夠防止因所述內部容器2從所述通道機構31分離而發生的材料費損失等問題，可提高作業穩定性。參照圖3和圖4，所述通道機構31可以包括第一緊固構件311、通道構件312和連接機構313。所述第一緊固構件311可以突出地形成在所述外部容器3的一側。所述第一緊固構件311整體可以形成為中空的圓柱形。所述外部容器3可以形成為一側通過所述緊固構件311被開放。所述第一緊固構件311上可以緊固有所述連接部4，且在所述第一緊固構件311的外表面上可以形成有外螺紋。所述通道構件312以位于所述第一緊固構件311內側的方式結合在所述第一緊固構件311上。所述通道構件312可以包括設置孔，該設置孔在所述通道構件312的中央貫穿所述通道構件312。所述連接機構313能夠以位于所述設置孔上的方式結合在所述通道構件312上。所述通道構件312可以包括連通孔3121。所述連通孔3121可貫穿所述通道構件312而形成，從而位于所述設置孔外側。所述連通孔3121可以與所述內部容器2的外側和所述外部容器3的內側之間的空間A連通，可以與緊固在所述第一緊固構件311上的所述連接部4連接并連通。在所述通道構件312上也可以形成有多個所述連通孔3121。所述連接機構313可結合在所述通道構件312上以便位于所述設置孔。所述連接機構313可以包括結合孔，該結合孔在所述連接機構313的中央貫穿所述連接機構313。所述連接部4可以通過所述結合孔貫穿所述連接機構313而與所述內部容器2連通。所述連接機構313上可以結合有所述內部容器2。所述內部容器2可以結合在所述連接機構313上，并使在所述內部容器2中存儲流體的內側空間C不與所述內部容器2的外側和所述外部容器3的內側之間的空間A連通。所述連接機構313可以由具有一定彈性的彈性材料形成，在所述連接部4中，可以彈性密接在貫穿所述結合孔的部分，以密封所述連接機構313與所述連接部4之間。
參照圖4至圖6，所述連接部4和所述內部容器2連通地結合在所述外部容器3上。在所述連接部4上設置有第一連接單元5，該第一連接單元5用于將存儲于所述內部容器2中的流體供給到所述制造系統100。存儲于所述內部容器2中的流體可以通過所述連接部4和所述第一連接單元5供給到所述制造系統100。所述連接部4可以包括結合機構41和探頭機構42。參照圖4至圖6，所述結合機構41可以結合在所述外部容器3上。在所述結合機構41上可以結合有所述探頭機構42。所述探頭機構42可以貫穿所述結合機構41而與所述內部容器2連通。為此，所述結合機構41可以包括貫穿孔411 (在圖5中示出)，所述貫穿孔411貫穿所述結合機構41而形成。所述結合機構41可以包括支承構件412和第二緊固構件413。所述支承構件412可以支承所述探頭機構42。所述支承構件412可以從所述結合機構41的內周表面向形成有所述貫穿孔411的方向突出，從而能夠對結合在所述結合機構41上的所述探頭機構42進行支承。所述探頭機構42可以被所述支承構件412支承的狀態下與所述結合機構41結合。所述第二緊固構件413可以緊固在所述第一緊固構件311上，由此所述結合機構41可以與所述外部容器3結合。所述第二緊固構件413可以形成在所述結合機構41的形成有所述貫穿孔411的內側表面上。所述結合機構41可以包括所述第二緊固構件413，在所述第二緊固構件413上形成有內螺紋，該內螺紋能夠與在所述第一緊固構件311上形成的外螺紋緊固。參照圖4至圖6，所述探頭機構42的一側可以與所述內部容器2連通，而另一側與所述第一連接單元5連通。所述探頭機構42可以結合在所述結合機構41上。所述探頭機構42可以包括第一流入孔421、通道孔422和突出構件423。所述第一流入孔421可以與所述通道孔422連通地形成，并形成在所述探頭機構42的一端42a上。存儲于所述內部容器2中的流體可以通過所述第一流入孔421向所述通道孔422移動。所述通道孔422可以與所述第一流入孔421連通地形成在所述探頭機構42的內偵U。所述通道孔422可以作為通過所述第一流入孔421流入的流體向所述第一連接單元5移動的流路而發揮作用。所述通道孔422可以沿所述探頭機構42的長度方向長長地形成，整體形成為圓柱形。所述連接單元5可以與所述通道孔422連通地結合在所述探頭機構42上。所述突出構件423可以被所述支承構件412支承。所述突出構件423可以向所述通道孔422的外側方向突出地形成。所述突出構件423整體可以形成為圓盤狀，但并不限定于此，只要能夠插入于所述貫穿孔411內且能夠被所述支承構件412支承的形狀，也可以由其它形狀形成。如圖4和圖7所示，本發明涉及的流體供給裝置I可以包括支承機構S，該支承機構S與所述結合機構41結合。通過所述突出構件423的一面被所述支承構件412支承而所述突出構件423的另一面被所述支承機構S支承，所述探頭機構42可以結合在所述結合機構41上。雖然未圖示，所述探頭機構42也可以與所述結合機構41緊固結合。此時，所述探頭機構42的外周表面上可形成有外螺紋，在所述結合機構41的內周表面上可形成有內螺紋。 如上所述，本發明涉及的流體供給裝置I與現有技術涉及的流體供給裝置相比，能夠減少構成所述連接部4的構件數量。具體地，如圖I所示，現有技術涉及的流體供給裝置10中，所述連接部13包括所述結合構件131、所述連接構件132、所述支承構件133、所述探頭134和所述接頭構件135。與此不同，如圖4所示，本發明涉及的流體供給裝置I中，所述連接部4包括所述結合機構41和所述探頭機構42，所以與現有技術涉及的流體供給裝置相比，能夠減少構成所述連接部4的構件數量。因此，本發明涉及的流體供給裝置I能夠簡單構成所述連接部4,從而能夠簡化組裝所述連接部4的作業,能夠縮減組裝所述連接部4所需的時間。另外，本發明涉及的流體供給裝置I能夠減少構成所述連接部4的構件數量，所以與現有技術涉及的流體供給裝置相比，能夠減少用于密封構成所述連接部4的結構之間的如O型環(Ο-ring)那樣的密封構件的數量。參照圖4至圖6，所述探頭機構42還可以包括第二流入孔424。所述第二流入孔424形成為與所述通道孔422連通，可貫穿所述探頭機構42的側壁。存儲于所述內部容器2中的流體可以通過所述第一流入孔421和所述第二流入孔424向所述通道孔422移動，經由所述通道孔422之后，可以通過所述第一連接單元5供給到所述制造系統100。所述第二流入孔424可以從所述探頭機構42的一端42a向另一端42b的方向(B箭頭方向)，與所述第一流入孔421隔著規定間距形成。如圖4所示，所述探頭機構42可以設置成使所述第一流入孔421和所述第二流入孔424位于所述內部容器2的內側，所述第二流入孔424可以形成在從所述第一流入孔421向下側方向(B箭頭方向)距離規定間距的位置。即，所述第二流入孔424與所述第一流入孔421相比，位于更接近所述通道機構31的位置。因此，本發明涉及的流體供給裝置I能夠進一步減少將存儲于所述內部容器2中的流體供給所述制造系統100之后殘留在所述內部容器2中的流體量。對其詳細說明如下。隨著存儲于所述內部容器2中的流體供給至所述制造系統100，存儲于所述內部容器2中的流體剩至低于所述第一流入孔421位置的量時，殘留在所述內部容器2中的流體很難流入到所述第一流入孔41。此時，殘留在所述內部容器2中的流體可以通過所述第二流入孔424向所述通道孔422移動，因此，本發明涉及的流體供給裝置I能夠進一步減少殘留在所述內部容器2中的流體量。所述探頭機構42可以包括多個所述第二流入孔424，所述第二流入孔424可以沿著所述探頭機構42的圓周方向彼此隔開規定間距而形成。在圖6中示出了所述探頭機構42包括三個第二流入孔424的情況，但是所述探頭機構42也可以包括兩個以下的第二流入孔424，也可以包括四個以上的第二流入孔424。參照圖6，所述第二流入孔424可以傾斜形成為，與所述內部容器2 (在圖4中示出)連通的入口 424a比與所述通道孔422連通的出口 424b更接近于所述探頭機構42 —端42a。由此，本發明涉及的流體供給裝置I (在圖4中示出)，能夠使存儲于所述內部容器2 (在圖4中示出)中的流體通過所述第二流入孔424容易移動到所述通道孔422。參照圖4和圖7，所述第一連接單元5的一側與所述探頭機構42連接，而另一側與所述制造系統100連接。所述第一連接單元5可以包括第一連接主體51、開閉構件52和彈性構件53。所述第一連接主體51可以包括排出孔511，該排出孔511用于將從所述內部容器 2排出的流體供給至所述制造系統100。存儲于所述內部容器2中的流體可以通過所述第一流入孔421和所述第二流入孔424向所述通道孔422移動，且經由所述通道孔422和所述排出孔511供給至所述制造系統100。所述開閉構件52可以選擇性地開閉所述排出孔511。所述開閉構件52結合在所述第一連接主體51上，以能夠在閉合所述排出孔511的第一位置E (在圖7中示出)和開放所述排出孔511的第二位置F (在圖7中示出)之間移動。當所述開閉構件52位于所述第一位置E時，如圖7的放大圖所示，所述開閉構件52可以與所述第一連接主體51接觸，從而閉合所述排出孔511。由此，所述開閉構件52能夠阻止存儲于所述內部容器2中的流體向所述制造系統100供給。當所述開閉構件52位于所述第二位置F時，所述開閉構件52從所述第一連接主體51分開，從而開放所述排出孔511。由此，所述開閉構件52能夠使存儲于所述內部容器2中的流體被供給至所述制造系統100。所述彈性構件53對所述開閉構件52提供使所述開閉構件52開閉所述排出孔511的方向(箭頭D方向)的彈力。因此，對所述開閉構件52無外力作用時，所述開閉構件52可以通過所述彈性構件53位于閉合所述排出孔511的第一位置E。雖然未圖示，所述開閉構件52可以通過所述制造系統100上所具有的連接裝置來推壓移動，由此所述開閉構件52從所述第一連接主體51分開，從而位于開放所述排出孔511的所述第二位置F。此時，所述彈性構件53可被彈性壓縮。根據上述第一連接單元5，本發明涉及的流體供給裝置I在未變更構成要素的情況下也能夠實現存儲流體的功能、搬運流體的功能和向所述制造系統100供給流體的功能，從而能夠提高作業便利性。對其更具體說明如下。首先，現有技術涉及的流體供給裝置，為了實現存儲流體的功能和搬運流體的功能，需要在流體供給裝置上結合有密封件和蓋子，而且，為了實現向所述制造系統100供給流體的功能，需要在流體供給裝置上結合有連接部。所以，流體供給裝置的供給者向所述內部容器填充流體之后，將密封件和蓋子結合在流體供給裝置上之后，搬運到所述制造系統100所處的位置，則制造系統100的操作人員需要進行額外作業，即、從流體供給裝置取下蓋子，之后將連接部和第一連接單元結合在流體供給裝置上，由此現有技術涉及的流體供給裝置處于能夠向所述制造系統100供給流體的狀態。
與此不同，本發明涉及的流體供給裝置1，在未變更構成要素的情況下也能夠實現存儲流體的功能、搬運流體的功能和向所述制造系統100供給流體的功能。所以，流體供給裝置的供給者向所述內部容器2填充流體之后，將設置有所述第一連接單元5的所述連接部4結合在所述流體供給裝置I上之后，搬運到所述制造系統100所處的位置，由制造系統100的操作人員將所述制造系統100上所具有的連接裝置與所述第一連接單元5連接，由此本發明涉及的流體供給裝置I處于能夠向所述制造系統100供給流體的狀態。本發明涉及的流體供給裝置I與現有技術涉及的流體供給裝置相比，能夠提高作業便利性。可以利用快速接頭(Quick Connector)作為所述第一連接單元5和所述制造系統100上所具有的連接裝置。所述快速接頭可以由母接頭和公接頭構成。所述母接頭和公接頭結合時彼此可連通，分開時分別處于閉合狀態。如圖7所示，可以使用所述公接頭作為所述第一連接單元5。此時，可以使用所述母接頭作為所述制造系統100上所具有的連接裝置。如圖8所示，可以使用所述母接頭作為所述第一連接單元5。此時，作為所述制造系統100上所具有的連接裝置，可以使用所述公接頭。
參照圖9，在所述連接部4上可以設置有第二連接單元6，該第二連接單元6為了向所述內部容器2施加力而供給氣體。在圖9中用虛線表示的箭頭表示從第二連接單元供給的氣體的移動路徑。所述第二連接單元6可以連接于氣體供給源200。從所述氣體供給源200供給的氣體可以通過所述第二連接單元6和所述連接部4供給至所述內部容器2的外側與所述外部容器3的內側之間的空間A，因此，可以通過對所述內部容器2施加力來壓縮所述內部容器2。隨著所述內部容器2被壓縮，存儲于所述內部容器2中的流體容易向所述探頭機構42移動。為了使從所述第二連接單元6供給的氣體通過所述連接部4被供給至所述內部容器2的外側與所述外部容器3的內側之間的空間A，所述結合機構41和所述探頭機構42可以包括如下結構。所述結合機構41可以包括第一連接孔414，該第一連接孔414與所述內部容器2和所述外部容器3之間的空間A連通。由此，從所述第二連接單元6供給的氣體可以通過所述連接部4向所述內部容器2和所述外部容器3之間的空間A移動。對其詳細說明如下。如圖6所示，在所述結合機構41上形成的貫穿孔411可以包括第一設置空間41 la、第二設置空間41 Ib和第三設置空間411c，在該第一設置空間41 Ia上形成有所述支承構件412，在該第二設置空間411b上形成有所述第二緊固構件413，該第三設置空間411c形成在所述第一設置空間411a和所述第二設置空間411b之間。參照圖6和圖9，從所述第二連接單元6供給的氣體流入到所述第一設置空間411a，但是由于設置在所述探頭機構42、所述結合機構41和所述通道機構31之間的密封構件，因此不能通過所述第三設置空間411c (在圖6中示出)移動到所述第二設置空間411b。因此，為了使自所述第二連接單元6供給的氣體從所述第一設置空間411a移動到所述第二設置空間411b，所述結合機構41可以包括第一連接孔414，該第一連接孔414分別與所述第一設置空間411a和所述第二設置空間411b連通。所述結合機構41也可以包括多個所述第一連接孔414。從所述第二連接單元6供給的氣體經由所述第一設置空間411a、所述第一連接孔414和所述第二設置空間411b之后，通過在所述通道構件312上形成的連通孔3121向所述內部容器2和所述外部容器3之間的空間A供給。
參照圖6和圖9，所述探頭機構42可以包括第二連接孔425，該第二連接孔425與所述第二連接單元6和所述第一連接孔414連通。所述第二連接孔425可以貫穿所述突出構件423而形成。所述第二連接孔425的一側可以與所述第二連接單元6連通，而另一側與所述第一設置空間411a連通。如圖9的虛線表示的箭頭，從所述第二連接單元6供給的氣體可經由所述第二連接孔425、所述第一設置空間411a、所述第一連接孔414、所述第二設置空間411b和所述連通孔3121之后，向所述內部容器2和所述外部容器3之間的空間A供給。雖然未圖示，所述探頭機構42也可以包括多個所述第二連接孔425。下面，參照附圖進一步詳細地說明本發明涉及的內部容器的優選實施例。參照圖4和圖9，所述內部容器2可用于存儲在所述制造系統100中使用的流體，并隨著流體填充其內部而可膨脹。所述內部容器2可通過所述第二連接單元6供給的氣體而被壓縮而壓扁，從而存儲于所述內部容器2中的流體能夠容易供給到所述制造系統100。參照圖4、圖10和圖11，所述內部容器2可以包括第一容器構件21、第二容器構 件22和密封部23。在所述第一容器構件21和第二容器構件22之間可以形成有存儲部C，該存儲部C用來存儲在所述制造系統100中使用的流體。所述第一容器構件21可以由流體填充所述存儲部C時能夠膨脹并通過所述第二連接單元6供給的氣體被壓縮的材料形成。例如，所述第一容器構件21可以由聚乙烯(PE Polyethylene)形成。所述第一容器構件21整體可以形成為矩形。所述第二容器構件22可以由流體填充所述存儲部C時能夠膨脹而通過所述第二連接單元6供給的氣體被壓縮的材料形成。例如，所述第二容器構件22可以由聚乙烯(PE Polyethylene)形成。所述第二容器構件22整體也可以形成為矩形。所述密封部23可用于結合所述第一容器構件21和第二容器構件22，從而在所述第一容器構件21和第二容器構件22之間形成所述存儲部C。所述密封部23在使所述第一容器構件21和第二容器構件22彼此疊加的狀態下，沿所述存儲部C的外周面進行加熱形成。所述存儲部C可以通過所述密封部23進行密封。所述內部容器2可以包括注入口 24。所述注入口 24可以形成為，貫穿所述第一容器構件21或所述第二容器構件22中的任一個，并與所述存儲部C連通。所述內部容器2可以通過所述注入口 24與所述連接機構313 (在圖4中示出)結合。所述探頭機構42 (在圖4中示出)可以通過所述注入口 24插入到所述內部容器2的內部，并且可以與所述存儲部C連通。在所述制造系統100中使用的流體可以通過所述注入口 24填充到所述存儲部C0在此，如圖10所示，本發明的一實施例涉及的內部容器2可以包括矩形形狀形成的所述密封部23。由此，所述存儲部C (在圖11中示出)可以形成為具有四個邊。這種本發明的一實施例涉及的內部容器2存在如下問題。第一、當在所述制造系統100中使用的流體填充滿所述存儲部C時，所述內部容器2處于膨脹狀態。隨著所述內部容器2膨脹，本發明的一實施例涉及的內部容器2，因所述存儲部C所具有的四個角被施加相當大的力，所以存在被損壞的危險。第二、所述內部容器2由于所述第二連接單元6供給的氣體而被壓縮壓扁，從而能夠使存儲于所述存儲部C中的流體容易供給到所述制造系統100。本發明涉及的流體供給裝置I可以向所述制造系統100供給規定量的液體，但是隨著所述內部容器2被壓縮而壓扁，殘留在所述存儲部C的四個角部分的氣體產生氣泡等。如果產生氣泡，與殘留在所述存儲部C中的液體量無關地需要丟棄存儲于所述內部容器2中的液體，所以本發明的一實施例涉及的內部容器2，存在發生材料費損失等問題。參照圖12和圖13，為了解決如上所述的問題，本發明的另一實施例涉及的內部容器2可以包括具有N (N是大于4的整數)個邊的所述存儲部C。即，所述密封部23可以形成為，所述存儲部C具有5個以上的邊。所以，本發明的另一實施例涉及的內部容器2可達到如下的作用效果。第一、本發明的另一實施例涉及的內部容器2與上述的一實施例相比，所述存儲部C具有更多個邊。即，本發明的另一實施例涉及的內容容器2與上述的一實施例相比，所述存儲部C具有更多個角。因此，本發明的另一實施例涉及的內部容器2，能夠將由存儲于所述存儲部C中的流體所施加的力分散到更多個的角，從而能夠降低被損壞的危險。

第二、本發明的另一實施例涉及的內部容器2與上述的一實施例相比，能夠增大所述存儲部C所具有的邊之間的夾角(included angle)。上述一實施例中,所述存儲部C具有4個邊，所以各邊具有90°的夾角23a (在圖10中示出)，但是本發明的另一實施例涉及的內部容器2，因所述存儲部C具有更多個邊，所以各邊具有大于90°的夾角23b (在圖12中示出)。例如，如圖12所示，當所述存儲部C具有8個邊時，各邊具有135°的夾角23b。因此，本發明的另一實施例涉及的內部容器2，能夠防止在所述存儲部C所具有的角部分殘留氣體，從而能夠防止通過所述第二連接單元6供給的氣體被壓縮而壓扁的過程中產生氣泡等，由此能夠防止發生材料費損失等。圖12是示出了本發明的另一實施例涉及的內部容器2包括八角形形狀形成的所述密封部23的情況，但并不限定于此，所述密封部23也可以形成為，所述存儲部C具有5個以上8個以下的邊，或者所述存儲部C具有9個以上的邊。而且，圖12中示出了所述內部容器2具有八角形形狀形成的第一容器構件21 (在圖13中示出)和第二容器構件22 (在圖13中示出)的情況，但并不限定于此，所述第一容器構件21 (在圖13中示出)和第二容器構件22 (在圖13中示出)也可以形成為與所述存儲部C相對應的形狀，也可以與所述存儲部C的形狀無關地，形成為矩形形狀等其它形狀。參照圖13，本發明涉及的內部容器2還可以包括如下結構。所述第一容器構件21可以包括第一外部層211和第一內部層212，該第一外部層211形成所述內部容器2的外側一表面，該第一內部層212位于所述第一外部層211的內偵U。在所述第一外部層211與所述第一內部層212之間可形成有第一輔助存儲部21a。所述第二容器構件22可以包括第二外部層221和第二內部層222，該第二外部層221形成所述內部容器2外側的另一表面，該第二內部層222位于所述第二外部層221的內偵U。在所述第二外部層221與所述第二內部層222之間可形成有第二輔助存儲部22a。所述存儲部C可以形成在所述第一內部層212與所述第二內部層222之間。因此，本發明涉及的內部容器2，即使所述第一內部層212或所述第二內部層222被損壞，也能夠通過所述第一外部層211和所述第二外部層221來防止存儲于所述存儲部C中的流體向外部泄漏。而且，本發明涉及的內部容器2，即使所述第一外部層211和所述第二外部層221被損壞，也能夠通過所述第一內部層212和所述第二內部層222來防止異物等流入所述存儲部C。所以，本發明涉及的流體供給裝置1，能夠雙重防止存儲于所述存儲部C的流體向所述內部容器2的外部泄漏或異物等流入所述存儲部C，從而能夠防止發生材料費損失等，可提高作業穩定性。雖然未圖不，所述第一外部層211、第一內部層212、第二外部層221和第二內部層222分別可以由結合多個層的多層結構形成。例如，所述第一外部層211和所述第二外部層221可以由三個層結合的三層結構形成，所述第一內部層212和所述第二內部層222可以由五個層結合的五層結構形成。因此，本發明涉及的流體供給裝置I可以提高所述內部容器2所具有的強度，從而能夠降低所述內部容器2因外力損壞的危險。另外，本發明涉及的流體供給裝置1，由于具有多層結構形成的所述第一外部層211、第一內部層212、第二外部層221和第二內部層222，能夠降低所述內部容器2所具有的透濕性，從而能夠防止流體從所述內部容器2泄漏，也能夠防止異物等滲透至所述內部容器2。所述第一外部層211和所述第二外部層221可以形成為，將聚乙烯(PE)材質的多個薄膜結合而成的多層結構，所述第一內部層212和所述第二內部層222可以形成為，將聚乙烯(PE)材質的多層薄膜和尼
龍(nylon)材質的多層薄膜結合而成的多層結構。雖然未圖示，本發明涉及的內部容器2還可以包括輔助層。所述輔助層可以位于所述第一外部層211與所述第一內部層212之間，也可以位于所述第二外部層221和所述第二內部層222之間。所以，本發明涉及的流體供給裝置I能夠雙重防止存儲于所述存儲部C的流體向所述內部容器2的外部泄漏或異物等流入所述存儲部C，從而能夠防止發生材料費損失等，可進一步提高作業穩定性。參照圖3和圖4，本發明涉及的流體供給裝置I可以包括第一殼體7和第二殼體8。所述第一殼體7以使所述連接部4位于其內側的方式結合在所述外部容器3上。所述第一殼體7也可以與所述外部容器3 —體形成。所述第一殼體7可以包括第一支承面71、連接凹槽72和第一把持孔73。所述第一支承面71可以被所述制造系統100所具有的設置面300支承。所述第一支承面71被所述制造系統100所具有的設置面300支承時，本發明涉及的流體供給裝置I設置成使所述通道機構31位于重力方向(B箭頭方向)側。即，本發明涉及的流體供給裝置I能夠設置成使存儲于所述內部容器2中的流體向重力方向(B箭頭方向)移動并從所述內部容器2排出的形態。所述連接凹槽72可以貫穿所述第一殼體7的側壁而形成。在所述第一支承面71被所述制造系統100所具有的設置面300支承的狀態下，所述第一連接單元5通過所述連接凹槽72與所述制造系統100所具有的連接裝置結合。所述第一把持孔73可以貫穿所述第一殼體7的側壁而形成。所述第一把持孔73在與形成有所述連接凹槽72的位置不同的位置貫穿所述第一殼體7的側壁。本發明涉及的流體供給裝置I可以通過所述第一把持孔73容易搬運。所述第一殼體7也可以包括多個所述第一把持孔73，所述第一把持孔73可以沿所述第一殼體7的圓周方向彼此隔開規定間距形成。所述第二殼體8與所述外部容器3結合。在所述外部容器3的一側可結合有所述第一殼體7，在另一側結合有所述第二殼體8。所述第二殼體8也可以與所述外部容器3 —體形成。所述第二殼體8可以包括第二支承面81和第二把持孔82。
所述第二支承面81可以被地面(未圖示)支承。本發明涉及的流體供給裝置1，在執行向所述制造系統100供給流體的功能時，如圖4所示，所述第一支承面71被所述制造系統100所具有的設置面300支承，但在其他情況下，所述第二支承面81也可以被地面支承。例如，搬運本發明涉及的流體供給裝置I時，所述第二支承面81也可以被地面支承。所述第二把持孔82可以貫穿所述第二殼體8的側壁而形成。本發明涉及的流體供給裝置I可以通過所述第二把持孔82容易搬運。所述第二殼體8也可以包括多個所述第二把持孔82，所述第二把持孔82可以沿所述第二殼體8的圓周方向彼此隔開規定間距形成。
以上說明的本發明并不僅限于上述的實施例和附圖，對于本發明所屬技術領域的普通技術人員來說，在不超出本發明的技術思想的范圍內，可以進行各種替換、變形和變更。
權利要求
1.一種流體供給裝置，其特征在于，包括 內部容器，用于存儲制造系統中所使用的流體； 外部容器，在其內側設置有所述內部容器； 連接部，與所述外部容器結合，并設置有用于將存儲于所述內部容器中的流體供給到制造系統的第一連接單元；以及 第一殼體，包括第一支承面，該第一支承面被制造系統所具有的設置面支承； 所述外部容器包括通道機構，該通道機構將所述連接部和所述內部容器連通，當向制造系統供給流體時，使所述通道機構沿著重力方向面向制造系統所具有的設置面， 所述第一殼體以所述連接部位于內側的方式與上述外部容器結合。
2.根據權利要求I所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述連接部包括，與所述外部容器結合的結合機構以及與所述結合機構結合的探頭機構； 所述探頭機構包括第一流入孔，使存儲于所述內部容器中的流體流入；通道孔，與所述第一流入孔連通，用于使通過所述第一流入孔流入的流體向所述第一連接單元移動； 所述第一連接單元以與所述通道孔連通的方式結合在所述探頭機構上。
3.根據權利要求2所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述結合機構包括用于支承所述探頭機構的支承構件， 所述探頭機構包括用于被所述支承構件支承的突出構件。
4.根據權利要求2所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述通道機構包括用于緊固在所述結合機構的第一緊固構件， 所述結合機構包括用于緊固在所述第一緊固構件的第二緊固構件。
5.根據權利要求2所述的流體供給裝置，其特征在于， 在所述連接部設置有第二連接單元，通過該第二連接單元供給氣體以向所述內部容器施力； 所述結合機構包括第一連接孔，該第一連接孔與所述內部容器和所述外部容器之間的空間連通，從而將通過所述第二連接單元供給的氣體供給到所述內部容器和所述外部容器之間的空間； 所述探頭機構包括第二連接孔，該第二連接孔分別與所述第二連接單元和所述第一連接孔連通。
6.根據權利要求I所述的流體供給裝置，其特征在于，所述第一連接單元包括 第一連接主體，形成有排出孔，該排出孔用于向制造系統供給從所述內部容器排出的流體； 開閉構件，與所述第一連接主體結合，并且能夠在閉合所述排出孔的第一位置和開放所述排出孔的第二位置之間移動； 彈性構件，對所述開閉構件提供向閉合所述排出孔的方向的彈力。
7.根據權利要求I所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述連接部包括探頭機構，該探頭機構的一側與所述內部容器連通，而另一側與所述第一連接單元連通； 所述探頭機構包括通道孔，用于使存儲于所述內部容器中的流體向所述第一連接單元移動；第一流入孔，與所述通道孔連通，用于使存儲于所述內部容器中的流體流入；第二流入孔，與所述通道孔連通，用于使存儲于所述內部容器中的流體流入； 所述第一流入孔形成在所述探頭機構的一端上，所述第二流入孔形成在從所述探頭機構的一端向另一端的方向上并與所述第一流入孔隔開的位置上。
8.根據權利要求7所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述探頭機構被設置成，使所述第二流入孔位于所述內部容器的內側， 所述第二流入孔傾斜形成為，與所述內部容器連通的入口比與所述通道孔連通的出口更接近于所述探頭機構的一端。
9.根據權利要求I所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述內部容器包括第一容器構件、第二容器構件以及密封部，該密封部使所述第一容器構件和所述第二容器構件結合，并在所述第一容器構件和所述第二容器構件之間形成用于存儲制造系統所使用的流體的存儲部； 所述密封部形成為，使所述存儲部具有N個邊，其中N是大于4的整數。
10.根據權利要求9所述的流體供給裝置，其特征在于， 所述第一容器構件包括第一外部層和第一內部層，該第一外部層形成所述內部容器的外側的一表面，該第一內部層位于所述第一外部層的內側； 所述第二容器構件包括第二外部層和第二內部層，該第二外部層形成所述內部容器的外側的另一表面，該第二內部層位于所述第二外部層的內側； 所述存儲部形成在所述第一內部層和所述第二內部層之間。
全文摘要
本發明涉及一種流體供給裝置，其包括內部容器，用于存儲在制造系統中使用的流體；外部容器，在內側設置有所述內部容器；連接部，與所述外部容器結合，并設置有用于將存儲于所述內部容器中的流體供給到制造系統的第一連接單元；所述外部容器包括通道機構，該通道機構將所述連接部和所述內部容器連通，當向制造系統供給流體時，使所述通道機構朝向重力方向并面向制造系統所具有的設置面上。本發明能夠減少向制造系統供給流體之后殘留在內部容器中的流體量，從而能夠消減材料費損失等，并通過省略作為一次性消耗品的汲取管結構，提高作業便利性和作業穩定性的同時，可降低制造成本和維護成本。
文檔編號H01L21/205GK102844837SQ201180018944
公開日2012年12月26日 申請日期2011年4月11日 優先權日2010年4月12日
發明者李普煐 申請人:Lds公司