專利名稱：陣列測試器的制作方法
技術領域：
本發明涉及陣列測試器，更具體地，涉及一種測試平板顯示器面板上的 電缺陷的陣列測試器。
背景技術：
平板顯示器一般具有布置在上基歐與下M之間的電極.例如，薄膜晶
體管液晶顯示器(TFT-LCD )面板包括TFT面板、濾光器面板、在TFT面 板與濾光器面板之間插入的液晶、以及背光。在這種情況下，該TFT面板 具有下基昧和在該下基仗上形成的薄膜晶體管。此外，該濾光器面板包括上 M以;^該上J4i上形成的、朝向TFT面板的彩色濾光器和公用電極。
通過陣列檢測器iM^測諸如TFT面板之類的面板的缺陷。
圖1是根據傳統技術的陣列檢測器10的透視圖。如圖1所示，傳統的 陣列檢測器IO包括測試基底20、面板固定板30、模塊移動部件40、以及測 試模塊50。
面板固定板30被布置在測試基底20上，用于從底表面支撐至少一個要 測試的面板2。
測試模塊50檢測面板2的電極之間的缺陷。
模塊移動部件40被形成在測試基底20上，用于水平地移動測試模塊50。 模塊移動部件40包括x軸托臺(gantry)42和y軸托臺44。 y軸托臺44在測 試基底20的每一側沿y軸方向延伸，x軸托臺42具有與y軸托臺44相耦 合的兩端，并且沿x軸方向延伸。x軸托臺42可以沿著y軸托臺44在y軸 方向上移動。測試模塊50與x軸托臺相耦合，以沿著x軸移動。
因此，與x軸托臺44嚙合的測試模塊50沿著y軸移動，并且可以沿著 x軸托臺42在x軸方向上移動。
在圖1中，測試模塊50通過在面板2已被固定時沿x軸和y軸這兩個 方向移動來檢測面板2的缺陷。測試模塊50在移動時產生振動，該振動導致微粒立落在面板2上。
此外，以下操作是在面板固定板30上執行的將面板2加載到面板固 定板30上、檢測面板2的缺陷、以及從面板固定板30卸載面板2，因此不 可能同時執行這些操作。
此外，當面板2 #載到面板固定板30上或從面板固定板30卸載時， 測試模塊50需要處于不阻礙面板2的移動的位置。因此，陣列測試器10需 要花費更多的時間來測試面板2。
要測試的面板2被固定在面板固定板30上，并且測試模塊50沿著面板 2垂直地和水平地移動，以檢測面板2的缺陷。換言之，為了檢測面板2的 缺陷，布置在測試模塊50中的光源、調制器和^HI^L應當移動。為此，需 要光源、調制器和攝#4^之間的精確對準。然而，由于測試模塊50進行移 動以檢測面板2的缺陷，因此容易使得該對準偏離，并且在該對準偏離的情 況下，需要不便利地進行重新對準。

發明內容
本發明的目的是解決包括上述問題的各種問題，以及提供一種陣列測試 器，該陣列測試器可以削減測試時間，并且在該陣列測試器中不會4吏得形成 測試模塊的元件之間的對準偏離。
本發明的另一目的是提供一種陣列測試器，該陣列測試器具有測試模 塊，該測試模塊不需要進行移動以檢測面板的缺陷，或者僅移動很短的距離 以檢測面板的缺陷。
本發明的另一目的是提供一種陣列測試器，該陣列測試器具有允許容易 地和精確地部署面板的結構。
本發明公開了一種陣列測試器，該陣列測試器包括加載單元、測試單 元以及面板輸送組件。
加載單元包括支撐要測試的面板并Jbf目互間有間隔的多個加載板。測試 單元被布置成在笫一軸方向上接近于加載單元，并對面板進行測試以檢測電 缺陷。每個面板輸iHi且件將面板從加載單元輸送至測試單元，并且包括導軌、 第二移動部件和吸取塊。
導抓故沿第一軸方向安裝在加載板之間。第一移動部件可沿第一軸方向 移動地耦合到該導軌。第二移動部件可沿垂直于第一軸方向的第二軸方向移動地耦合到第一移動部件。吸取塊耦合到笫二移動部件，用于從下側支撐面 板。
加載單元可包括至少三個或更多個相互間有間隔的加載板，并且該面板 輸送組件中的至少 一個可包括第 一驅動部件和第二驅動部件，該第 一驅動部 件將第一移動部件移動至第一軸處，該第二驅動部件將第二移動部件移動至 笫二軸處。
加載單元可包括三個或更多個相互間有間隔的加載板，并且不包括第二 驅動部件的面板輸送組件的第二移動部件耦合到第一移動部件，以便沿第二 軸方向自由移動。
本發明還^^開了一種陣列測試器，該陣列測試器包括加載單元、測試 單元、部署確定單元、以及多個面板輸il!i且件。加載單元包括三個或更多個 加載板，加載^目互間有間隔并從下側支撐要測試的面板。測試單元被布置 成在第一軸方向上接近于加載單元，并對面板進行測試以檢測面板的電缺 陷。部署確定單元被布置在加載單元和測試單元的任一或兩者之上，并確定 面板是否被適當地部署。該多個面板輸illi且件中的每個面板輸送組件在從下 側支撐面板的同時將面板從加載單元輸送至測試單元，并根據部署確定單元 的確定結果來部署面板。每個面板輸送組件包括導軌，沿第一軸方向安裝 在加載板之間；第一移動部件，可沿第一軸方向移動地耦合到第一導軌；笫 一驅動部件，沿第一軸方向移動第一移動部件；第二移動部件，可沿垂直于 第一軸方向的第二軸方向移動地耦合到該驅動部件；第二驅動部件，沿第二 軸方向移動第二移動部件；以及多個吸取塊，每個吸取塊耦合到第二移動部 件，并且^^目互獨立地驅動。
第二驅動部件可包括缸式裝置，該缸式裝置被以使得活塞導桿(piston leader)可沿垂直于第一移動部件的移動方向的笫二軸方向移動的方式安裝 在第一移動部件中，并且第二移動部件的一端可以耦合到第一移動部件，而 另一端可以被可連同活塞導桿一起沿第二軸方向移動地耦合到吸取塊。第二 驅動部件可包括步進馬達，該步進馬達被安裝在第一移動部件中，并且具有 在垂直于笫一移動部件的移動方向的第二軸方向上形成的旋轉軸，并且第二 移動部件可通過#絲杠副(ball screw)而耦合到該步進馬達。
每個吸取塊可具有至少一個垂直地穿過該吸取塊的吸取孔，并且該陣列 測試器中還可包括負壓(negative pressure)提供裝置，用于向該吸取孔提供 負壓。導軌可以是線性運動導軌，并且第一移動部件可以是沿著該線性運動導
軌移動的滑行器塊(runner block)。
每個吸取塊可以可向上和向下移動地耦合到第二移動部件，并且每個面 板輸送組件還可包括驅動吸取塊上下移動的上下移動驅動部件。
部署確定單元可包括攝影單元，該攝影單元安裝在加載單元和測試單 元的任一或兩者上的至少兩個位置；以及中央處理單元，該中央處理單元基
于來自攝影單元的攝影信號來確定面板是否已被部署。
陣列測試器還可包括第二軸輸送組件，測試單元可沿第二軸方向移動地 耦合到該第二軸輸送組件。


附圖示出了本發明的示例性實施例，并且連同說明書一起用于說明本發 明的各方面，其中附圖被包括用于提供對本發明的進一步理解，其被包括在 本說明書的一部分中，并構成了本說明書的一部分。
圖l是根據傳統技術的陣列測試器的透視圖2是根據本發明的實施例的陣列測試器的透視圖3濕_從其上移除了加載板的、圖2的陣列測試器的透視圖4是圖3中的部分A的放大圖5是圖4中的面板移動組件的分解透視圖6和7是示出了面板輸送組件如何旋轉面板的每個過程的俯視圖8是圖2中的測試模塊的概念視圖。
具體實施例方式
圖2是根據本發明的實施例的陣列測試器100的透視圖，圖3是從其上 移除了加載板的、圖2的陣列測試器100的透視圖。在本實施例中，陣列測 試器100測試在面板2上形成的面板電極5 (參照圖8)，以測試電缺陷。面 板2可以是包括在電光設備中的面板，并且可以是TFT液晶顯示器(LCD) 狄的薄膜晶體管(TFT)面板。
如圖2和3所示，陣列測試器100包括加栽單元110、測試單元120和測試模塊150。
加栽單元110包括至少兩個或更多個加載板112。加載板112被布置成 相互間有距離，并且要測試的面板2救故置在加載板112上。加載板112使 得面板2能夠在被固定地加載到加載板112上或者被提升到加載板112上方 預定高度的同時被移動到測試單元120處。
測試單元120被布置在加載單元110的側方，并對已#>載板112移動 到測試單元120處的面板2進行檢測，以檢測電缺陷。測試單元120包括由 透明物質形成的測試板122。
測試模塊150被布置在測試板122上，用于檢測面板2的故障。稍后將 更詳細地描述測試模塊150。
根據本實施例的陣列測試器100還可包括部署確定單元170。部署確定 單元170被安裝在加載單元110和測試單元120的任一或兩者中，并確定面 板2是否被適當地部署。
部署確定單元170可包括攝影單元182和中央處理單元(未示出)。攝 影單元182被布置在加載單元110和測試單元120的至少一個之上，以對面 板2的部署狀態進行攝影。中央處理單元接收來自攝影單元182的攝影信號， 并確定面板2是否被適當地部署。
攝影單元182可被布置在加載單元110和測試單元120中的每個單元之上。
攝影單元182可被分別布置在加載單元110上的多個位置。如圖2所示， 在這種情況下，攝影單元182可被針對加栽單元110而言相互斜對地布置。 攝影單元182可被分別布置在面板2的對準標記8下方。如果加載單元110 在其上具有加栽板112，則攝影單元182可拔故置在加載板112的后表面。 在這種情況下，可以在與攝影單元182所處于的位置相對應的、加載板U2 上的位置形成對準孔117。對準孔117枕故置成與對準標記8相對應，以使 得面板2可被適當地對準。攝影單元182可被布置在面板2的上表面上，在 這種情況下，加載板112上的對準孔不是必需的。
然而，攝影單元182的位置并不限定于上述位置。例如，攝影單元182 可被分別布置在測試單元120上的多個位置。在這種情況下，攝影單元182 可被相互斜對地放置。通過斜對地放置攝影單元182,可以確定面板2是否 是扭曲的。
根據本發明的本實施例的陣列測試器100還可包括卸載單元130。卸載單元130枕故置在測試單元120的側方，并且為了在完成對面板2的測試后 卸載面板2,將面板2從測試單元120移動至卸載單元130處。卸載單元130 可包括卸載板132。卸載板132使得在完成對面板2的測試之后，面板2能 夠在被固定在卸載板132上或者被提升到卸載板132上方預定高度的同時被 移動。
面板2被至少一個面板輸送組件160從加載單元110移動至測試單元 120。具體地，如圖3所示，面板輸送部件160包括至少一個導軌162以及 至少一個面板移動部件163。面板移動部件163包括第一移動部件164和吸 取塊166。
導軌162被沿平行于面板2的移動方向的第一方向(圖3中的y軸方向) 而安裝在加載板112之間。第一移動部件164被可沿導軌162移動地安裝。 吸取塊166位于第一移動部件164的上部，并且面板2被從面板2的底表面 快速地吸取到吸取塊166處。
換言之，當要測試的面板2被加載到加載板112上時，吸取塊166在接 觸到面板2時從面板2的后表面支撐面板2。在該位置，第一移動部件164 沿著導軌162移動，以將面板2移動到測試單元120處。導軌162可以是線 性運動(LM)導軌，并且第一移動部件164可以是布置在該LM導軌上的 滑行器塊。因此，第一移動部件164可具有LM導向件并連接到導軌162。 通過該LM導向件，面板輸送組件160可以將面板2移動到精確的位置。
吸取塊166可包括垂直地穿過該吸取塊的至少一個吸取孔167。在這種 情況下，面板輸送組件160還可包括負壓提供裝置。吸取塊166可由橡膠制 成。
卸載單元130可包括至少兩個或更多個卸載板132。卸載板132被相互 間具有間隔地部署，并且在完成對面板2的測試之后，面板2M置在卸載 板132上。面板輸送組件160可被插入在卸載板132之間。具體地，導軌162 被沿著平行于面板2的移動方向的第一軸方向而安裝在卸載板132之間，笫 一移動部件164被可沿著導軌162移動地安裝，并且吸取塊166被設于第一 移動部件164的上部，以便>^要測試的面板2的底表面吸取面板2。因此， 布置在加載單元110上的面板輸送組件160通過吸取面板2而將面板2輸送 到測試單元120處，并且布置在卸載單元130上的面板輸送組件160將面板 2從測試單元120移動到卸載單元130處。
因此，將面板2移動到測試單元120處的操作以及將面板2移動到卸載單元130處的操作可以一起執行。結果，可以提高陣列測試器100的工作速 度。
每個加載板112可以具有在其上表面上形成的多個吹風孔114。在這種 情況下，陣列測試器100還可包括正壓提供裝置(未示出)，該正壓提供裝 置通過經由M孔114而向面板2的下表面提供正壓力，來允許面板2被從 加載板112提升預定高度。
此外，卸載板132可具有在其上表面上形成的多個吹風孔134。在這種 情況下，陣列測試器100還可包括正壓提供裝置(未示出)，該正壓提供裝 置通過經由吹風孔134而向面板的下表面提供正壓力，來允許面板2被提升 到面板2的下表面上方的預定距離處。
因此，當經由吹風孔114或134而在加栽板112或卸栽板132上形成了 正壓力時，面板2被提升到加栽板112或卸載板132上方，并在被吸取塊166 支撐的同時被沿著笫一軸移動。根據本發明的本實施例，由于面板2在不接 觸加載板112或卸載板132的情況下被移動，因此不會產生面板2與加載板 112或卸載板132之間的接觸阻力(contact resistance)-結果，吸取塊166 可使用少量力量來移動面板2。
圖4是圖3中的部分A的放大圖，圖5是圖4中的面板移動組件的分解 透視圖。
參照圖3至5，每個面板移動部件163還可包括第二移動部件168。
第二移動部件168被耦合到第一移動部件164,并且可沿第二軸方向移 動預定距離。至少一個面板移動部件163還可包括第二驅動部件172。第二 驅動部件172驅動第二移動部件168沿第二軸方向移動。梯^據本發明的本實 施例，第二移動部件168可與多個第二驅動部件172相耦合。
與上述結構不同，可以不將笫二驅動部件172提供給面板移動部件163 的一部分。在這種情況下，未被沿第二軸方向驅動的第二移動部件168可以 以能夠沿第二方向執行自由運動的方式耦合到第一移動部件164。因此，當 在面板2被快速吸取到第二移動部件168的吸取塊166處的同時、第二驅動 部件163沿第二軸方向驅動第二移動部件168時，面板2被沿第二軸方向而 移動，并且執行自由運動的另一第二移動部件168也可以隨著面板2 —起沿 第二軸方向移動。
第二驅動部件163可包括安裝在第一移動部件164中的步進馬達173， 并且第二移動部件168可借助于M絲杠副175而耦合到該步進馬達173。具體地，第二驅動部件163包括步進馬達173、驅動軸174和^K絲 杠副175。沿第二軸方向延伸的驅動軸174被耦合到步進馬達173，并通過 步進馬達173的驅動力而旋轉。耦合到驅動軸174的M絲杠副175隨著驅 動軸174的旋轉而前后移動，并被耦合到第二移動部件168的側方。第一移 動部件164可具有指導第二移動部件168的移動的線性運動(LM)標尺 (scale) 165。
上述滾珠絲杠副裝置比LM導向件裝置便宜，并且可以有利地容易和精 確地控制第二移動部件的位置。
然而，本發明的第二驅動部件172并不限定于滾珠絲杠副裝置，并且可 以^l:任何其它驅動裝置，例如LM導向件裝置或缸式裝置。
吸取塊166以可上下移動的方式耦合到第二移動部件168，并且面板輸 送組件160還可包括上下移動驅動部件180，該上下移動驅動部件180驅動 吸取塊166上下移動。該上下移動驅動部件180可以是包括釭式182和活塞 桿183的缸式裝置。缸式182耦合到第二移動部件168。活塞桿183包括在 缸式內的可上下移動的活塞、以及從活塞的下部垂直地延伸并且一端耦合到 吸取塊166的桿。在這種情況下，軸承184可插入在吸取塊與活塞桿之間，
上下移動驅動部件180將吸取塊166向上移動到加栽板112上方的面板 2所處于的位置，以使得吸取塊166可以支撐面板2。此外，當吸取塊不必 支撐面板2時，上下移動驅動部件180將吸取塊166向下移動預定距離。
吸取塊166可具有垂直地穿過該吸取塊166的至少一個吸取孔167。在 這種情況下，面板輸ilU且件160還可包括負壓提供裝置，該負壓提供裝置向 吸取孔168提供負壓。吸取塊可由橡膠制成。
如圖2所示，三個或更多個加栽板112被相互平行地部署，并且面板輸 送組件160可被分別布置在相鄰的加載板112之間的至少兩個位置。
如圖2和6所示，面板輸送組件160可包括至少兩個導軌162以及至少 兩個面板移動部件。導軌162被沿平行于面板2的移動方向的第一軸方向而 安裝在加載單元110上。面板移動部件163被可沿笫一軸方向(圖2中的y 軸方向)和第二軸方向(圖2中的x軸方向)移動地布置，其中第一軸方向 與導軌162的方向相同，第二軸方向垂直于第一軸方向。
圖6和7是示出了面板輸送組件如何旋轉面板的每個過程的俯視圖。
參照圖6和7，第一面板輸送組件160a被布置在加載單元110的左側， 第二面板輸送部件160b被布置在加載單元110的右側。在這種情況下，第一和笫二面板輸送組件160a和160b可以相互獨立地 移動。因此，第一面板輸送組件160a的吸取塊166a以及第二面板輸ii!i且件 160b的吸取塊166b可被放置在第一軸方向上的不同位置，并且因此可以旋 轉面板2。也就是說，如圖7所示，當在面板2被快速吸取到第一和第二面 板輸送組件160a和160b的吸取塊166a和166b處的同時、第一面板輸:UiM 件160a的吸取塊166a在第一軸方向上的輸i^巨離與第二面板輸送組件160b 的p及取塊166b在第一軸方向上的輸iiU巨離變得互不相同時，面板2可以被 旋轉。因此，通過面板輸送組件160可以使得面板2旋轉以及沿第一軸方向 和第二軸方向移動。
再參照圖2，測試單元120包括透明測試板122和測試模塊150。要測 試的面板2的一部分被定位到透明測試板122的頂表面上方，然后對面板2 執行測試。
測試模塊150檢測面板2的電缺陷。稍后將更詳細地描述測試模塊150。
在進行檢測時，測試模塊150可以在檢測期間位于固定位置，或者可以 沿著x軸托臺在第二軸方向上移動。這是由于通過面板輸送組件160使得面 板2沿第一軸方向移動，并且測試模塊150因而至少不需要沿第一軸方向移 動。x軸托臺可以是安裝到陣列測試器100的主體中的LM導向件。
下面將描述^^據本發明的實施例的陣列測試器的操作。
面板2被用戶或加栽裝置移動到加載板112的頂表面。此時，通過^^X 孔114在加載板112的頂表面上形成正壓力，由于該正壓力，面板2被>^ 栽板112的頂表面提升預定距離。在該狀態下，吸取塊166吸取面板2并使 得面板2朝測試單元120移動。通過包括在測試單元120中的測試模塊150 對到達測試單元120處的面板2進行測試，以測試該面板2是否具有電缺陷。 測試模塊150在處于固定位置或者被x軸托臺沿第二軸方向(x軸方向)移 動的同時對面板2的缺陷進行檢測。然后，面板2在測試完成后被移動到卸 載單元130的卸載板132的頂表面。此時，通過 tX孔134在卸載板132的 頂表面上形成正壓力，因此面板2被提升到卸載板132上方。當面板2的預 定部分到達卸栽單元130時，面板輸送組件160在支撐面板2的同時移動面 板2的前端。然后，通過操作者或卸栽裝置從陣列測試器100卸載面板2。
圖8是圖2中的測試模塊150的概念視圖。參照圖8，測試模塊150包 括光源151、調制器152和缺陷檢測單元157。在這種情況下，光源151被 布置在面板2的前面表或后表面，并且調制器152和缺陷檢測單元157被布置成針對面板2而言與光源151相對。
光源151向在面板2的前表面上形成的測試面板電極5發射光束。光源 151可被布置在面板2的后表面上。光源151可發射諸如氙、鈉、水晶鹵素 燈、以及激光等的光束。
調制器152被布置成針對面板2而言與光源151相對。在圖7中，由于 光源151枕故置在面板2的后表面，因此調制器152被布置在面板2的前表 面2b (參照圖8)。
調制器152包括光入射表面152a、調制器電極層155、電光材料層154、 以;SJC光表面152b。從光源151經過面板1的后表面2a而入射到面板2的 前表面lb的光束最終入射到:^射表面152a。
調制器電極層155被并行于面板電極5地布置，以便連同面板電極5 — 起形成電場。更具體地，調制器電Ml55用作公用電極，從外部電源向該 公用電極施加恒定電壓。因此，調制器電極層155被布置成枕故置在距離面 板2少于預定距離處，并且當向面板電極5和調制器電極層155施加預定量 的電壓時，在面板電極5與調制器電極層155之間產生電場。
電光材料層154被插入在調制器電極層155與面板電極5之間，并根據 電場的量值來改變經由光入射表面152a入射的光的透射量。為此，電光材 料層154可包括根據電場的量值而^A^射光偏振的物質。電光材料層154可 以是聚合物^t型液晶。
發光表面152b耦合到光透射基板156,以使得光透射基板156可以支撐 電光材料層154。此外，itX射表面152a可覆蓋有保護層153,用于保護電 光材料層154。
發光表面152b將已經過電光材料層154的;JUL射到外部。
缺陷檢測單元157基于經由發光表面152b發射的光的量來檢測在面板5 上是否存在面板電極5的電缺陷。在這種情況下，缺陷檢測單元157可包括 視覺裝置158和與該視覺裝置158連接的監視器159，從而允許用戶在視覺 上檢測面板電極5的缺陷。監視器159可被裝配在計算機上。
面板2用于電光裝置，并且具有布置在面板2的前表面上的面板電極5。 面板2可用于平板顯示器，例如，可以是LCD的TFT面板。
根據本發明的本實施例，從光源151發射的光入射到面板2的后表面， 并M射到面板電極5被布置于其上的前表面。然后，；3tAJN"到調制器152,然后光的量被控制。其量已被調節的光被經由調制器152的發光表面152b 而發射到外部。對經由發光表面152b發射的光進行檢查。
通常，在LCD的情況下，來自放置在TFT面板的后表面的背光的光經 過TFT面板，然后M射到濾光器面板的前表面，其中該濾光器面板附著 在TFT面板的前表面，并且在其上形成有4S用電極。然后該^L射到濾光 器面板的前表面的光變得可見。
在實踐中，當觀看者正在觀看LCD屏幕時，觀看者位于濾光器面板的 前面。因此，根據本發明的陣列測試器100具有與用于觀看者觀看LCD屏 幕的機構的配置基;^目同的配置。通過使用這種配置，陣列測試器100可以 更精確ilM^測缺陷。
此外，陣列檢測器100不具有布置在缺陷檢測單元157與調制器152之 間的光程上的附加部件，例如面板電極5。
如果缺陷檢測單元157被放置在每個面板電極5的后表面，并且光從光 源151發射并在經過調制器152后被缺陷檢測單元157接收，則缺陷檢測單 元157可以檢測調制器152中的偏振度以及面板2中的光學失真。換言之， 當已經過調制器152的光經過面板2時，該光被再次嘲L射或反射，以使得不 可能直接檢測該已經過調制器152的光的偏振度。因此，當該光入射到調制 器152然后M射到外部時，缺陷檢測單元157難以精確地檢測取決于面板 2上的缺陷的、^LiL射的光的量。此外，為了精確的檢測，需要去除經過調 制器152的光以及另 一 因素的附加工作，從而導致耗費更多時間。
根據本發明，缺陷檢測單元157可以直楱接收經過調制器152的光。結 果，不必通過附加元件來散射該光，因此可以快速和精確地檢測到面板電極 5上的缺陷。
在這種情況下，光源151、要測試的面板2上的面板電極5、調制器152、 以及視覺裝置158可被布置成排成一行，并且不必附加地提供諸如鏡子之類 的用于改變光程的元件。
根據本發明，測試模塊不必沿笫一軸方向移動以檢測面板上的缺陷，因 此可以避免測試模塊的移動所導致的微塵的出現、以及該微塵所導致的面板 上的損壞。
此外，由于面板輸送組件同時地移動面板和將面板部署在正確位置，因 此可以容易地和快速地部署面板。
對于本領域的技術人員而言，顯然可以在本發明中進行各種修改和變化，而不背離本發明的精神和范圍。因此，本發明旨在覆蓋在所附的權利要 求及其等價物的范圍之內的、對本發明的修改和變化。
權利要求
1.一種陣列測試器，包括加載單元，該加載單元包括多個加載板，該多個加載板支撐要測試的面板并且相互間有間隔；測試單元，該測試單元被布置成在第一軸方向上接近于加載單元，并且該測試單元對面板進行測試以檢測電缺陷；以及多個面板輸送組件，每個所述面板輸送組件將面板從加載單元輸送至測試單元，其中所述面板輸送組件包括導軌，該導軌被沿第一軸方向安裝在所述加載板之間；第一移動部件，該第一移動部件被可沿第一軸方向移動地耦合到該導軌；第二移動部件，該第二移動部件被可沿垂直于第一軸方向的第二軸方向移動地耦合到第一移動部件；以及吸取塊，該吸取塊耦合到第二移動部件，用于從下側支撐面板。
2. 根據權利要求1所述的陣列測試器，其中所述加載單元包括至少 三個或更多個相互間有間隔的加載板，并且所述面板輸送組件中的至少一 個包括第 一驅動部件和第二驅動部件，其中該第 一驅動部件將第 一移動部 件移動至所述第一軸處，該第二驅動部件將第二移動部件移動至所述第二 軸處。
3. 根據權利要求2所述的陣列測試器，其中所述加載單元包括三個 或更多個相互間有間隔的加載板，并且不包括第二驅動部件的面板輸送組 件的第二移動部件耦合到第一移動部件，以^^沿第二軸方向自由移動。
4. 一種陣列測試器，包括加載單元，該加載單元包括三個或更多個加載板，所述加載板相互間 有間隔并從下側支撐要測試的面板；測試單元，該測試單元被布置成在第一軸方向上接近于加載單元，并 且該測試單元對面板進行測試以檢測該面板的電缺陷；部署確定單元，該部署確定單元被布置在加載單元和測試單元的任一 或兩者之上，并確定面板是否被適當地部署；以及多個面板輸件，每個所述面板輸送組件在從下側支撐面板的同時 將面板從加載單元輸送至測試單元，并根據部署確定單元的確定結果來部署面板，其中每個所述面板輸送組件包括導軌，該導M沿第一軸方向安裝在所述加載板之間；第一移動部件，該第一移動部件被可沿第一軸方向移 動地耦合到第一導軌；第一驅動部件，該第一驅動部件沿第一軸方向移動 第一移動部件；第二移動部件，該第二移動部件被可沿垂直于第一軸方向 的第二軸方向移動地耦合到該驅動部件；笫二驅動部件，該第二驅動部件 沿第二軸方向移動笫二移動部件；以及多個吸取塊，每個吸取塊耦合到第 二移動部件，并且被相互獨立地驅動。
5. 根據權利要求4所述的陣列測試器，其中所述部署確定單元包括 攝影單元，所述攝影單元安裝在加載單元和測試單元的任一或兩者上的至 少兩個位置；以及中央處理單元，該中央處理單元基于來自攝影單元的攝 影信號來確定面板是否已被部署。
6. 根據權利要求2-5之一所述的陣列測試器，其中所述第二驅動部件 包括釭式裝置，該缸式裝置被以使得活塞導桿可沿垂直于第一移動部件的 移動方向的第二軸方向移動的方式安裝在第一移動部件中，并且第二移動 部件的 一端耦合到第 一移動部件，另 一端被可連同活塞導桿一起沿第二軸 方向移動地耦合到吸取塊。
7. 根據權利要求2-5之一所述的陣列測試器，其中所述第二驅動部件 包括步進馬達，該步進馬達被安裝在第一移動部件中，并且該步進馬達具 有在垂直于第一移動部件的移動方向的第二軸方向上形成的旋轉軸，并且 第二移動部件通過滾珠絲杠副而耦合到該步進馬達。
8. 根據權利要求1-5之一所述的陣列測試器，其中所述吸取塊具有至 少一個垂直地穿過該吸取塊的吸取孔，并且該陣列測試器中還包括負壓提 供裝置，用于向該吸取孔提供負壓。
9. 根據權利要求1-5之一所述的陣列測試器，其中所述導軌是線性運 動導軌，并且所述第一移動部件是沿著該線性運動導軌移動的滑行器塊。
10. 根據權利要求l-5之一所述的陣列測試器，其中所述吸取塊被可 向上和向下移動^合到第二移動部件，并且每個所述面板輸送組件還包 括驅動所述吸取塊上下移動的上下移動驅動部件。
11. 根據權利要求l-5之一所述的陣列測試器，還包括 第二軸輸送組件，所述測試單元被可沿第二軸方向移動地^到該第二軸輸送組件。
全文摘要
本發明提供了一種陣列測試器，該陣列測試器包括加載單元，該加載單元包括多個加載板，該多個加載板支撐要測試的面板，并且相互間有間隔；測試單元，該測試單元被布置成在第一軸方向上接近于加載單元，并且該測試單元對面板進行測試以檢測電缺陷；以及多個面板輸送組件，每個面板輸送組件將面板從加載單元輸送至測試單元，其中面板輸送組件包括導軌，該導軌被沿第一軸方向安裝在加載板之間；第一移動部件，該第一移動部件被可沿第一軸方向移動地耦合到導軌；第二移動部件，該第二移動部件被可沿垂直于第一軸方向的第二軸方向移動地耦合到第一移動部件；以及吸取塊，該吸取塊耦合到第二移動部件，用于從下側支撐面板。
文檔編號H01L21/66GK101299125SQ20081012647
公開日2008年11月5日 申請日期2008年7月3日 優先權日2008年7月3日
發明者丁東澈, 潘俊浩, 鄭永珍 申請人:塔工程有限公司