專利名稱：修復輔助裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種修復輔助裝置，該修復輔助裝置在顯示裝置上顯示在對工件進行加工的機構、搬送機構等具有種種的驅動機構的裝置中發生的異常或故障等錯誤，并輔助該被顯示出的錯誤的修復的順序。
背景技術：
公知有如下的顯示裝置在對工件進行加工或搬送的具有各種驅動裝置的裝置、將它們組合起來的工序中，向操作者示出在各種驅動機構中發生的異常或故障等錯誤。例如，具有如下的顯示器在集成電路的搬送裝置中，在集成電路經過從裝載機到卸載機之間的各處理機構被搬送的過程中發生搬送錯誤的情況下，可以容易地確定其發生場所。
該顯示器顯示從裝載機到卸載機之間的主要工序，并且在發生錯誤的情況下，該工序部分閃爍。此外，在顯示區域的下方個別地顯示錯誤信息(參照日本特開平6-148251號公報的圖1)。
但是，在以往的顯示裝置中存在如下問題。
即，以往的顯示裝置在確定發生錯誤的工序上是有效的。但是，作為了解該工序的驅動機構在什么狀態下成為錯誤的手段，僅是顯示于顯示裝置上的文字信息。因而，存在如下問題為了根據該文字信息在短時間內確定驅動機構的哪個部位處發生錯誤，不是熟練的操作者就無法做到。
特別是，近年來裝置的自動化進步，操作者不需要經常管理，故熟練的操作者減少，往往是不熟練的操作者從事錯誤的修復處理。
因此，不得不參照操作手冊等書籍來了解對應于錯誤內容的修復順序，其結果，存在在錯誤的修復處理上花費較多時間這樣的問題。

發明內容
本發明是著眼于這樣的實際情況而提出的，主要目的在于提供一種修復輔助裝置，該修復輔助裝置可以高效率地確定在工件的加工或搬送工序中發生的包括在其工序中的驅動機構的錯誤發生部位、以及可高效率地對已發生的錯誤進行修復處理。
為了實現這種目的，本發明采用如下的結構。
一種修復輔助裝置，其用于修復包括在驅動機構中發生的異常、故障等錯誤，上述裝置包括以下的構成要素顯示單元，其顯示包括多個上述驅動機構的工作狀況等的各種信息；檢測單元，檢測在上述各種驅動機構的至少任何一個中發生的錯誤，作為檢測信號發送該檢測結果；存儲單元，其使在上述驅動機構可能產生的多種錯誤內容與由上述檢測單元檢測出的錯誤內容及錯誤發生部位的驅動機構的圖像數據相關聯，并將它們作為錯誤信息予以存儲；錯誤選擇單元，其從上述存儲單元中選擇并讀出與從上述檢測單元發送來的檢測信號相對應的錯誤信息，使基于該錯誤信息中所含有的錯誤內容和圖像數據的圖像顯示在上述顯示單元上；工作狀態確認單元，其使由上述錯誤選擇單元顯示的錯誤的發生部位是否正常地工作的狀態顯示在上述顯示單元上；第1圖像切換單元，其在可由上述工作狀態確認單元確認出錯誤發生部位的工作正常后，結束在上述顯示單元上所顯示的表示錯誤內容的圖像。
采用本發明的修復輔助裝置，則由檢測單元檢測各種驅動機構中發生的錯誤，由錯誤信息選擇機構從存儲單元中讀出基于其檢測信號的錯誤內容與發生部位的圖像數據。然后，作為已讀出的錯誤信息的錯誤內容和驅動機構的圖像被顯示在顯示單元上。因而，根據顯示單元上所顯示的內容可以容易地確定錯誤發生部位。即，由于不限于熟練的操作者可以容易地確定錯誤發生部位，所以可以在短時間內進行修復處理。
此外，在實施了錯誤發生部位的修復處理后，當操作工作狀態確認單元時，利用顯示單元的畫面可以容易地確認其錯誤發生部位是否處于正常的工作狀態。進而，當可以確認錯誤發生部位的工作狀態是正常時，顯示單元上所顯示的表示錯誤內容的圖像結束。即，基于顯示單元上所顯示的內容，實施了錯誤發生部位的修復處理之后，可以從顯示單元的畫面上容易地確認錯誤的修復狀況。
此外，優選是上述修復輔助裝置具有以下構成。
具有顯示控制單元，其進行如下控制在規定的驅動機構或多個驅動機構同時在多個部位發生錯誤的情況下，對基于從各檢測單元發送來的檢測信號的錯誤內容進行比較后，考慮修復處理的順序，以在表示優先度低的錯誤內容的圖像上疊加優先度高的圖像的狀態，將多個圖像顯示在上述顯示單元上；在可確認出錯誤發生部位正常工作時，上述第1圖像切換單元使在上述顯示單元上所顯示的該錯誤信息的顯示結束，再次依次向處于下層的其他錯誤信息的圖像切換。
采用該結構，在發生了多個錯誤的情況，顯示控制單元應該使優先進行修復處理的錯誤部位的信息顯示在顯示單元的畫面上。然后，當按照所顯示的錯誤內容實施修復處理，結束修復處理而操作第1圖像切換單元時，將必須優先在未處理的錯誤發生部位實施修復處理的部位的錯誤內容顯示在顯示單元上。因而，操作者僅靠按照顯示單元上所顯示的畫面的內容進行錯誤發生部位的修復處理，就不會因弄錯處理順序而給驅動機構或處理的工件等帶來損傷。此外，還消除了將在多個部位發生的錯誤的修復處理順序組合起來的必要。
而且，優選是上述本發明裝置是如下的結構。
上述存儲單元所存儲的圖像數據存儲有第1圖像數據和第2圖像數據；該第1圖像數據在表示上述驅動機構的結構的圖像上示出上述檢測單元的位置；該第2圖像數據用于強調顯示，該強調顯示用于以包含已檢測出錯誤的上述檢測單元與由該檢測單元所確定的錯誤發生部位的文字信息的狀態，對錯誤發生予以警告；該修復輔助裝置還包括圖像數據生成單元和第2圖像切換單元；上述圖像數據生成單元利用由上述錯誤選擇單元所選擇的錯誤信息，生成一對圖像數據，使得基于第2圖像數據所輸出顯示的第2圖像疊加在基于上述第1圖像數據所輸出顯示的第1圖像上；上述第2圖像切換單元在將基于由上述圖像數據生成單元所生成的圖像數據的圖像顯示于上述顯示單元上時，將顯示單元上所顯示的圖像從上層的第2圖像切換到下層的第1圖像；上述修復輔助裝置構成為當在由上述第2圖像切換單元將上述顯示單元上所顯示的圖像切換到第1圖像的狀態下，上述工作狀態確認單元被操作時，錯誤發生部位的檢測單元工作而進行工作確認，當上述驅動機構處于正常的工作狀態時、和在驅動機構為錯誤發生狀態不變時的任何一種情況下，強調顯示第1圖像上所示的上述檢測單元的位置。
采用該結構，當在某個驅動機構中發生錯誤時，作為示出錯誤的發生內容的文字信息的第2圖像被強調顯示在顯示單元上。然后，當操作者操作第2切換單元而將顯示單元的畫面從第2圖像切換顯示到第1圖像時，檢測到錯誤發生的檢測單元的位置被顯示在表示驅動機構的結構的圖像上。因而，錯誤發生部位的確定變得更加容易。
此外，在顯示了第2圖像的狀態下，如果操作工作狀態確認單元，則由檢測單元確認錯誤發生部位是否正常工作。然后，在正常狀態或錯誤發生狀態的某個情況，顯示單元上所顯示的正在發生錯誤的驅動機構上的檢測單元的位置顯示被強調顯示。因而，操作者沒有必要一邊使驅動機構工作一邊目視確認錯誤發生部位的工作，而僅靠看著顯示單元就可以容易地確認工作狀況。即，操作者不用參照操作手冊等，通過按照顯示單元上所顯示的內容來對錯誤實施修復處理，就可以不弄錯操作順序地在短時間內結束修復處理。
另外，本發明中的顯示單元是通過對與被顯示的圖像對應的部分進行接觸，來進行圖像指定的觸摸板式顯示單元。
上述第1和第2圖像切換單元，作為圖像用戶接口設在圖像上的規定部分上，優選上述工作狀態確認單元被構成為作為圖像用戶接口設在該第1圖像上的規定部分上，并且每次接觸該第1圖像上的規定部分的圖像用戶接口，就交替地切換強調顯示與非強調顯示。
優選顯示單元是通過接觸被顯示的圖像的規定部分來進行圖像確定的觸摸板式顯示單元。此外，優選第1和第2切換單元作為圖像用戶接口設在圖像上的規定部分上。而且，優選工作狀態確認單元設在第1圖像上的規定部分上，并且構成為每次接觸該第1圖像上的圖像用戶接口的顯示形態就交替地切換強調顯示與非強調顯示。
采用該結構，僅在顯示單元的圖像的顯示區域內就可以進行所有的確認操作。因而，可以消除不需要的動作而謀求處理作業效率的提高。此外，由于當操作切換機構時強調顯示顯示形態，所以可以確認顯示單元正常地動作的情況，并且也可以容易地確認錯誤發生部位是否正常。
另外，作為錯誤發生部位的文字信息，例如，或者至少構成為表示驅動機構的名稱與驅動機構的錯誤內容的警告文字，或者構成為包括登記于操作手冊或修復手冊的錯誤內容和與錯誤內容相關聯的錯誤編號中的至少錯誤編號。
此外，第1圖像上所顯示的檢測單元的位置和第2圖像的警告的強調顯示例如是使該部分的光強度變化。


圖1是表示本發明的一個實施例的整個保護帶粘貼裝置的立體圖。
圖2是表示粘貼單元的概略結構的側視圖。
圖3是表示本實施例的保護帶粘貼裝置的電氣構成的框圖。
圖4是表示錯誤顯示處理順序的流程圖。
圖5是表示對準臺的概略結構的側視圖。
圖6是表示第1錯誤內容的第1圖像的圖。
圖7是表示第1錯誤內容的第2圖像的圖。
圖8是表示第2錯誤內容的第1圖像的圖。
圖9是表示第2錯誤內容的第2圖像的圖。
具體實施例方式
為了說明本發明，雖然圖示了當前認為較佳的幾個方式，但是希望理解為本發明不限定于圖示的結構和方案。
以下參照

本發明的實施例。
另外，在本實施例中，以將保護帶粘貼于半導體晶圓上的保護帶粘貼裝置中具有修復輔助裝置的情況為例進行說明。
圖1是表示保護帶粘貼裝置的總體結構的立體圖。
該保護帶粘貼裝置具有晶圓供給·回收部1、晶圓搬送機構3、對準臺4、卡盤臺5、帶供給部6、分離片回收部7、粘貼單元8、帶切斷機構9、剝離單元10、帶回收部11以及操作部13等；上述晶圓供給·回收部1裝填有用于收容作為粘貼對象物的半導體晶圓W(以下，簡稱為“晶圓W”)的盒C1和用于收容粘貼保護帶后的晶圓W′的盒C2；上述晶圓搬送機構3具有機械手2；上述卡盤臺5用于放置并吸附保持晶圓W；上述帶供給部6向晶圓W供給保護帶T；上述分離片回收部7從帶有分離片的保護帶T剝離回收分離片s1，該保護帶T是從帶供給部6供給來的；上述粘貼單元8將保護帶T粘貼于放置于卡盤臺5而被吸附保持的晶圓W；上述帶切斷機構9沿著晶圓W的外形切斷粘貼于晶圓W上的保護帶T；上述剝離單元10將粘貼于晶圓W上的切斷處理后不需要的帶T′剝離；上述帶回收部11纏繞回收被剝離單元10剝離下的不需要的帶T′；上述操作部13進行對帶供給速度等各種的保護帶粘貼條件等的設定輸入等。以下說明關于各結構部和機構的具體結構。
在晶圓供給·回收部1可并列裝入盒C1及盒C2這兩個盒。在盒C1中以水平姿勢呈多層地插入收容有使布線圖案面朝上的多片晶圓W。此外，在盒C2中以水平姿勢呈多層地插入收容有粘貼保護帶后的晶圓W′。此外，在晶圓供給·回收部1具有檢測各盒C1及盒C2的位置的傳感器。該傳感器在不能檢測出各盒C1、C2的位置的情況下，向后述的控制部25發送信號。
晶圓搬送機構3所具有的機械手2被構成為能夠沿水平進退移動，并且其整體能夠進行驅動旋轉及升降。而且，在機械手2的前端具有未圖示的、做成馬蹄形的真空吸附式的保持部，將保持部插入到呈多層地收容于各盒C1、C2中的晶圓W彼此間的間隙中后，抽出晶圓并將其搬送到各機構，或將保持部插入到粘貼了保護帶后的晶圓W′彼此間的間隙中而進行收容。
在本實施例的情況下，機械手2從盒C1中取出了晶圓W時，按對準臺4、卡盤臺5、及盒C2的順序搬送晶圓W。另外，機械手2在驅動部、吸附機構等處具有檢測其工作狀況的傳感器。來自該傳感器的檢測信號被發送到后述的控制部25。
對準臺4對形成于晶圓W周緣上的V形槽口、定位平面等檢測部位進行位置檢測，基于其結果進行對位。即，如圖3所示，具有檢測晶圓W的位置的傳感器26。該傳感器26的檢測信號被發送到后述的控制部25。
卡盤臺5對從晶圓搬送機構3轉移過來，并以規定的對位姿勢放置的晶圓W進行真空吸附。此外，為了使后述的帶切斷機構9所具有的切刀12沿晶圓W的外形旋轉移動來切斷保護帶T，在該卡盤臺5的上表面上形成有切刀行進槽。另外，卡盤臺5具有用于監視吸附機構的工作·停止狀態的傳感器。
如圖2所示，帶供給部6被構成為將從供給繞軸14放出的帶有分離片s1的保護帶T纏繞引導到導輥15組，將剝離了分離片s1的保護帶T引導到粘貼單元8，對供給繞軸14施加適度的旋轉阻力而使之不進行過度的帶放出。另外，帶供給部6具有進行保護帶T的放出的驅動機構，該驅動機構本身具有用于監視工作·停止狀態的傳感器。
分離片回收部7驅動纏繞從保護帶T剝離下的分離片s1的回收繞軸16，使其沿纏繞方向旋轉。
粘貼單元8具有向前水平的粘貼輥17。該粘貼輥17借助氣缸(或液壓缸)的伸縮動作，在推壓保護帶將其粘貼于晶圓W的作用位置與上方的待機位置之間而進行升降驅動，并且被未圖示的滑動引導機構及絲杠進給式的驅動機構沿圖中左右水平方向被往復驅動。另外，如圖2所示，在粘貼單元8具有對粘貼輥17是否在待機位置與作用位置之間而正常升降驅動進行檢測的第1傳感器27與第2傳感器28的組。來自這些第1傳感器27及第2傳感器28的檢測信號被發送到后述的控制部25。
位于作用位置的第1傳感器27檢測粘貼輥17在粘貼保護帶T時是否正常地下降到規定高度。
位于待機位置的第2傳感器28檢測粘貼輥17在結束了保護帶T的粘貼后，是否上升而返回到待機位置。
在剝離單元10具有向前水平的剝離輥19，該剝離輥19被未圖示的滑動引導機構及絲杠進給式的驅動機構沿左右水平地往復驅動。
帶回收部11的對不需要的帶T′進行纏繞的回收繞軸20被沿纏繞方向驅動旋轉。另外，在帶回收部11逐次由纏繞傳感器37檢測該旋轉驅動狀態及不需要的帶T′的纏繞是否纏滿。另外，來自纏繞傳感器37的檢測信號被發送到后述的控制部25。
帶切斷機構9被構成為在可驅動升降的未圖示的可動臺的下部，并列安裝有能夠繞著位于卡盤臺5中心上的縱軸心P驅動旋轉的一對支承臂22，并在該支承臂的自由端側所具有的切刀單元23上安裝有刀刃朝下的切刀12，通過使支承臂22繞著縱軸心P旋轉而使切刀12沿著晶圓W的外周行進來切斷保護帶T。
另外，帶切斷機構9具有檢測切刀單元23是否在切斷保護帶T的作用位置、與上方的待機位置之間而正常地進行升降驅動的傳感器、和監視旋轉驅動狀況的傳感器。來自這些傳感器的檢測信號被發送到后述的控制部25。
操作部13由觸摸板式的液晶顯示裝置構成，并由操作者通過在畫面上顯示的圖形文字來進行操作的接口(以下簡稱為GUI(圖像用戶接口))來構成。
如圖3所示，控制部25總括地控制晶圓供給·回收部1、搬送機構3、對準臺4、卡盤臺5、粘貼單元8、帶切斷機構9、及帶回收部11的動作，并接收從該各部分上具有的各傳感器發送來的信號，監視各部的工作狀況。當從各傳感器發送來表示異常的錯誤信號時，從存儲部選擇與該錯誤內容相應的各信息并顯示于操作部13的液晶顯示裝置。另外，關于控制部25的具體處理，將在下文敘述。
在本實施例的情況下，上述各部分具有的傳感器相當于本發明的檢測單元。
接下來，基于圖3所示的裝置結構的框圖、圖4所示的流程圖、和圖5～9所示的顯示畫面的圖，對在使用上述實施例裝置將保護帶T粘貼到晶圓W上的過程中的在驅動機構部分中發生異常、故障等錯誤直到修復為止的修復輔助裝置的處理進行說明。
當對保護帶粘貼裝置的初始設定完成，從控制部25發出工作指令時，自動重復進行如下的處理由晶圓搬送機構3取出收容于盒C1的晶圓W，在對其粘貼了保護帶T后，直到再次將晶圓W回收到某個盒為止(步驟S1)。
具體地說，機械手2向放置裝填于晶圓供給·回收部1的盒C1或盒C2移動，前端的保持部吸附保持收容于某個盒中的晶圓W并將其搬出。機械手2將取出的晶圓W移放到對準臺4。
在對準臺4對所放置的晶圓W進行對位。晶圓W的對位結束時，機械手2再次吸附保持著晶圓W對其進行搬送，然后將該晶圓W放置于卡盤臺5上。
在卡盤臺5上，粘貼單元的粘貼輥17下降，在保護帶T上進行推壓滾動，將該保護帶T逐漸粘貼到晶圓W上。粘貼輥17到達粘貼結束端時就上升。然后，帶切斷機構9的切刀單元23下降到切斷作用位置，由其前端具有的切刀12沿著晶圓W的外周切斷保護帶T。切刀單元23在切斷結束時上升并返回到待機位置。
當切刀單元23返回到待機位置時，剝離單元10向圖中右方移動而剝離切斷后的不需要的帶T′。當剝離單元10到達剝離結束端時，該剝離單元10與粘貼單元8返回到粘貼初始位置。此時，上升了的粘貼輥17返回到待機位置。
被粘貼了保護帶T的晶圓W由機械手2吸附搬送，回收到盒C1或盒C2。在該保護帶T被粘貼于晶圓W上的期間，作為下一個保護帶粘貼對象的晶圓W被機械手2從盒中取出而放置到對準臺4上。重復進行這一系列的處理。
在該處理過程中，例如，當假定以發生作為粘貼輥17的升降異常的第1錯誤(步驟S2)、發生作為對準臺4上的晶圓W的位置檢測異常的第2錯誤(步驟S3)的順序，大致同時發生了錯誤時，從檢測到錯誤的各傳感器依次發送錯誤信號到控制部25的錯誤信息選擇部29。即，經過以下的處理，錯誤內容顯示在液晶顯示裝置13的畫面上。另外，錯誤信息選擇部29相當于本發明的錯誤信息選擇單元。
首先，在步驟S1，粘貼輥17在進入保護帶T的粘貼動作前從待機位置下降到作用位置。但是，在第1傳感器27無法檢測到從開始下降時刻起在規定時間內下降到作用位置這一情況的情況下，該第1傳感器27將錯誤信號發送到控制部25的錯誤信息選擇部29。
此外，在將被先行處理的晶圓W放置到卡盤臺5后，機械手2從盒C1中取出新的晶圓W將其放置到對準臺4的保持臺。
當放置有晶圓W時，構成對準臺4的保持臺30以吸附保持著晶圓W的狀態繞中心縱軸線P旋轉。在該旋轉過程中進行晶圓W的槽口的檢測處理。即，傳感器26是受光傳感器，如圖5所示，該傳感器26與保持臺繞著中心縱軸線P旋轉驅動連動地工作，在隔著晶圓W與光源31相對配置的位置接受從上方的光源31向晶圓外周照射的光。因此，傳感器26與從控制部25向保持臺30發送旋轉驅動信號同時進行工作，從傳感器26將光強度的信號發送到控制部25。
控制部25根據該信號通過比較運算求出光強度變化的位置。在運算的結果無法求出光強度的變化的情況下，判斷為保持臺30的旋轉驅動機構的工作錯誤，將錯誤信號發送到錯誤信息選擇部29(步驟S2)。
錯誤信息選擇部29從預先存儲于存儲部32的錯誤信息選擇并讀出與錯誤信號相應的信息。即，在存儲部32中預先存儲著表示基于來自裝置具有的各傳感器的錯誤信號確定的錯誤內容與錯誤發生部位的圖像數據(步驟S3)。另外，存儲部相當于本發明的存儲單元。
由錯誤信息選擇部29讀出的兩個錯誤信息被送到顯示控制部33。相當于顯示控制單元的顯示控制部33判斷應該優先修復哪個錯誤。在該情況下，例如，從驅動機構具有的各傳感器取得驅動部的當前位置信息，判斷按哪種順序修復才不會有驅動部彼此間接觸而遭受損傷等情況。在本實施例的情況下，判斷為在粘貼輥17發生的錯誤的優先度比在對準臺4發生的錯誤的優先度高(步驟S4)。
當由顯示控制部33確定錯誤顯示的優先度時，該優先信息被發送到圖像數據生成部34。圖像數據生成部34基于存儲于存儲部32的錯誤信息和優先信息，對每個錯誤信號生成由第1圖像和第2圖像構成的一組圖像，該第1圖像是用文字顯示錯誤警告，該第2圖像表示錯誤發生部位的驅動機構的概略結構。即，如圖6所示，在液晶顯示裝置13的畫面上，第1圖像35a是例如在用紅色強調的面上顯示“錯誤”的文字、錯誤編號(圖中的1507)、錯誤發生部位與作為錯誤內容的“粘貼輥下降錯誤”的文字、以及檢測出錯誤的傳感器編號(L091)。另外，錯誤編號是被登記過的，使得在欲更詳細地了解錯誤內容時，可以參照操作·修復手冊等。
此外，在第1畫面內設有多個GUIa～g，當接觸這些部位時，畫面切換而在畫面上顯示適當的信息。在這些GUI之中，當接觸右上的記載為“信息區”的GUIa時，根據錯誤警告顯示，顯示第2圖像36a，該第2圖像36a是圖7所示的、顯示錯誤發生部位的驅動機構的概略結構、和設在各驅動部的傳感器的位置。另外，記載為“信息區”的GUIa作為本發明的第2圖像切換單元發揮作用。
具體地說，在中央顯示粘貼單元8的結構，顯示有設于粘貼輥17上的第1傳感器27和第2傳感器28、以及用于檢測不需要的帶T′的纏繞成為纏滿狀態的情況的傳感器37。另外，由于粘貼單元8因發生錯誤而停止驅動，所以這些各傳感器的顯示為空白顯示。在各機構正常動作著的情況下，傳感器部分例如強調顯示為紅色。
此外，在畫面的左右，顯示有各驅動部分的名稱與編碼編號，編碼編號成為GUI顯示(步驟S5)。
操作者看著在第2圖像36a所顯示的錯誤發生部位的粘貼輥17的位置和第1傳感器27的位置來確定錯誤發生部位，著手修復作業(步驟S6)。
當操作者判斷為完成了修復作業時，從設在液晶顯示裝置13的畫面下區域的具有文字顯示的GUI的“錯誤”、“CORRECT(糾正)”、“主”及“前頁”之中，選擇接觸“CORRECT”而進行接觸。該部分在每次接觸時被交替地切換成內部背景色為紅色的強調顯示與空白的非強調顯示。即，當進行接觸操作時，工作信號被從控制部25發送到粘貼單元8，粘貼單元8進行工作。同時，當各驅動部正常工作時，傳感器被強調顯示成紅色。如果，即使操作“CORRECT”，檢測出錯誤發生部位的第2傳感器36也未被強調顯示的情況下，意味著在第2傳感器部分為非強調顯示的狀態下，修復尚未結束。因此，重復進行修復處理及修復確認的操作(步驟S7)。另外，該記載為“CORRECT”的GUI相當于本發明的工作狀態確認單元。
當確認到粘貼輥17的下降錯誤的修復結束時，由控制部25所具有的判定部38，在經過規定時間后、例如幾秒后完全消除關于粘貼單元7的錯誤內容的顯示畫面，在液晶顯示裝置13的畫面上顯示下一個錯誤內容。即，如圖8所示，在強調顯示成紅色的面上顯示記載有“錯誤”的文字、錯誤編號、錯誤發生部位與錯誤內容、以及檢測出錯誤的傳感器編號的第1圖像35b(步驟S8)。
與上述步驟S5同樣，當與記載為“信息區”的GUIa接觸時，顯示對對準臺的結構與傳感器位置予以表示的第2圖像36b。操作者根據該第2圖像36b確定錯誤發生部位，著手修復作業(步驟S9)。
當判斷為修復作業完成了時，操作者操作設在液晶顯示裝置的畫面下區域的“CORRECT”來確認是否已修復正常。在該時刻，若錯誤的修復完成，則由判定部38在數秒后完全消除液晶顯示裝置13的畫面上所顯示的錯誤內容。然后，返回到通常的自動運行的畫面，開始粘貼保護帶T的自動運行。然后，確認保護帶T的粘貼對象的晶圓W是否達到規定數量(步驟S10)。若達到規定數量則結束粘貼處理；若未達到規定數，則繼續自動運行的處理。通過以上步驟，結束了錯誤發生時的一系列的錯誤警告顯示和修復處理。另外，判定部38作為本發明的第1圖像切換單元而發揮作用。
如上所述，當在任何一個驅動機構中發生由故障、異常引起的錯誤時，在液晶顯示裝置13的畫面上，在第1圖像中顯示文字信息的錯誤內容及檢測出錯誤發生的傳感器。在用該第1圖像確認了錯誤內容后，由于通過切換成處于第1圖像下層的第2圖像，發生了錯誤的部位在表示驅動機構的結構的圖案之中示出，所以即使是不熟練的操作者也可以容易地確定錯誤的發生部位。
此外，對錯誤發生部位進行了修復作業后，若操作液晶顯示裝置13的畫面上所顯示的“CORRECT”的GUI，則驅動機構成為工作狀態，錯誤發生部位的傳感器對錯誤發生部位的動作進行確認。該動作確認的結果，修復成正常的情況下，由于傳感器的部分被強調顯示，所以操作者沒有必要目視驅動裝置本身而進行錯誤的修復是否已正常地完成的動作檢查。即，操作者僅靠操作液晶顯示裝置13就能夠容易地確認錯誤內容及修復完成。
此外，在多個錯誤同時或大致同時發生的情況，確定修復順序的優先度，以便使驅動部彼此不會在進行錯誤修復的過程中相沖撞或相干涉，按優先度高的錯誤內容的順序在液晶顯示裝置13的畫面上予以顯示。如果按照其內容進行修復處理，則可不給予驅動部等損傷地高效率地進行修復處理。此外，由于僅確認畫面上的內容、并根據畫面上進行各種操作即可，所以沒有必要參照操作手冊等。即，即使是不熟練的操作者也不會弄錯處理順序，從而可縮短處理時間而謀求作業效率的提高。
另外，本發明還可用如下的方式進行實施。
(1)在上述各實施例中，雖然是在同時在多個部位發生錯誤的情況下，考慮修復的優先度而確定錯誤的顯示順序，但是不限于該方式，例如，也可以是錯誤的發生順序。
(2)在上述實施例中，雖然以在保護帶粘貼裝置中具有修復輔助裝置的情況為例進行了說明，但也可以應用于具有驅動機構的其他裝置。
(3)在上述實施例中，如果操作第2圖像的記載為“糾正”的GUI，則在經過規定時間后，液晶顯示裝置13的畫面基于判定部38的指令而恢復到了自動運行用的畫面，但也可以設置可操作的GUI，使得可通過與判定部38的判定分開的、操作者的操作使其恢復到自動運行用的畫面。
(4)在上述實施例中，雖然每當畫面上所顯示的錯誤的修復完成，就使其錯誤內容的顯示結束，但也可以是如下的結構。
例如，構成為錯誤修復處理后，即使在液晶顯示裝置13的畫面上顯示下一個錯誤顯示畫面，如果進行接觸畫面右下方的記載為“前頁”的GUI的操作，則可以依次追溯確認先前結束了的錯誤內容等。
在不脫離本發明的思想或本質的情況下，能以其他的具體的方式來實施本發明，因此，表示發明的范圍的不是以上的說明，而應該參照本申請的權利要求書。
權利要求
1.一種修復輔助裝置，其用于修復包括在驅動機構中發生的異常、故障等錯誤，其中，上述裝置包括以下的構成要素顯示單元，其顯示包括多個上述驅動機構的工作狀況等的各種信息；檢測單元，檢測在多個上述驅動機構的至少任何一個中發生的錯誤，作為檢測信號發送該檢測結果；存儲單元，其使在上述驅動機構可能產生的多種錯誤內容與由上述檢測單元檢測出的錯誤內容及錯誤發生部位的驅動機構的圖像數據相關聯，并將它們作為錯誤信息予以存儲；錯誤選擇單元，其從上述存儲單元中選擇并讀出與從上述檢測單元發送來的檢測信號相對應的錯誤信息，使基于該錯誤信息中所含有的錯誤內容和圖像數據的圖像顯示在上述顯示單元上；工作狀態確認單元，其使由上述錯誤選擇單元顯示的錯誤的發生部位是否正常工作的狀態顯示在上述顯示單元上；第1圖像切換單元，其在可由上述工作狀態確認單元確認出錯誤發生部位的工作正常后，結束在上述顯示單元上所顯示的表示錯誤內容的圖像。
2.根據權利要求1所述的修復輔助裝置，其中，具有顯示控制單元，其進行如下控制在規定的驅動機構或多個驅動機構同時在多個部位發生錯誤的情況下，對基于從各檢測單元發送來的檢測信號的錯誤內容進行比較后，考慮修復處理的順序，以在表示優先度低的錯誤內容的圖像上疊加優先度高的圖像的狀態，將多個圖像顯示在上述顯示單元上；在可確認出錯誤發生部位正常工作時，上述第1圖像切換單元使在上述顯示單元上所顯示的該錯誤信息的顯示結束，再次依次向處于下層的其他錯誤信息的圖像切換。
3.根據權利要求2所述的修復輔助裝置，其中，上述存儲單元所存儲的圖像數據存儲有第1圖像數據和第2圖像數據；該第1圖像數據在表示上述驅動機構的結構的圖像上示出上述檢測單元的位置；該第2圖像數據用于強調顯示，該強調顯示以包含已檢測出錯誤的上述檢測單元與由該檢測單元所確定的錯誤發生部位的文字信息的狀態，對錯誤發生予以警告；該修復輔助裝置還包括圖像數據生成單元和第2圖像切換單元；上述圖像數據生成單元利用由上述錯誤選擇單元選擇的錯誤信息，生成一對圖像數據，使得基于第2圖像數據所輸出顯示的第2圖像疊加在基于上述第1圖像數據所輸出顯示的第1圖像上；上述第2圖像切換單元在將基于由上述圖像數據生成單元生成的圖像數據的圖像顯示于上述顯示單元上時，將顯示單元上所顯示的圖像從上層的第2圖像切換到下層的第1圖像；上述修復輔助裝置構成為當在由上述第2圖像切換單元將上述顯示單元上所顯示的圖像切換到第1圖像的狀態下，上述工作狀態確認單元被操作時，錯誤發生部位的檢測單元工作而進行工作確認，當上述驅動機構處于正常的工作狀態時、和在驅動機構為錯誤發生狀態不變時的任何一種情況下，強調顯示第1圖像上所示出的上述檢測單元的位置。
4.根據權利要求3所述的修復輔助裝置，其中，上述顯示單元是通過對與被顯示的圖像對應的部分進行接觸，來進行圖像指定的觸摸板式顯示單元；上述第1和第2圖像切換單元，作為圖像用戶接口設在圖像上的規定部分上；上述工作狀態確認單元被構成為作為圖像用戶接口設在該第1圖像上的規定部分上，并且每次接觸該第1圖像上的規定部分的圖像用戶接口，就交替地切換強調顯示與非強調顯示。
5.根據權利要求3所述的修復輔助裝置，其中，上述錯誤發生部位的文字信息至少構成為表示驅動機構的名稱與驅動機構的錯誤內容的警告文字。
6.根據權利要求3所述的修復輔助裝置，其中，上述錯誤發生部位的文字信息構成為包括登記于操作手冊或修復手冊中的錯誤內容和與錯誤內容相關聯的錯誤編號中的至少錯誤編號。
7.根據權利要求3所述的修復輔助裝置，其中，上述第2圖像的強調顯示和第1圖像上所顯示的上述檢測單元的位置的強調顯示是表示檢測單元的部分的顏色變化。
8.根據權利要求3中所述的修復輔助裝置，其中，上述第1圖像上所顯示的上述檢測單元的位置和第2圖像的警告的強調顯示是該部分的光強度變化。
全文摘要
一種修復輔助裝置，當傳感器檢測到在驅動機構中發生的故障等錯誤時，將錯誤信號發送到控制部。控制部從存儲單元中選擇并讀出表示對應于錯誤信號的錯誤內容的文字信息、和表示發生了錯誤的驅動機構與該驅動機構中具有的傳感器的位置的圖像。在液晶顯示裝置上顯示使文字信息的第1圖像與驅動機構的錯誤發生部位的圖案的第2圖像相疊合而構成一組的錯誤信息。然后，按照畫面上所顯示的最上層的錯誤內容依次進行修復處理。
文檔編號H01L21/677GK1987497SQ20061016779
公開日2007年6月27日 申請日期2006年12月18日 優先權日2005年12月19日
發明者山本雅之, 長田典祥 申請人:日東電工株式會社