專利名稱:一種彈簧式引線防變形束源爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種彈簧式引線防變形束源爐。本實用新型屬于電阻加熱源【技術領域】。一種彈簧式引線防變形束源爐，其特點是：彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結構。本實用新型具有結構簡單，可靠性高，安全性好，有效防止加熱絲短路或者與屏蔽短路，可以延長加熱源的壽命，提供穩定的加熱時間，能為后續連續化生產提供有效保障等優點。
【專利說明】一種彈簧式引線防變形束源爐

【技術領域】
[0001]本實用新型屬于電阻加熱源【技術領域】，特別是涉及一種彈簧式引線防變形束源爐。

【背景技術】
[0002]目前，薄膜太陽能電池具有質量輕、弱光性能好、溫度功率系數好等優點，廣泛用在建筑、國防等領域。由于各種技術問題，目前國內薄膜太陽電池還沒有產業化，比如CIGS薄膜太陽電池，蒸發Cu元素需要高溫，溫度要超過銅的熔點1083°C，要求蒸發源具有高的可靠性，工作時間至少要1500小時。
[0003]蒸發源有電阻加熱、激光加熱、電弧加熱等，電阻式蒸發源簡單、經濟、可靠，被普遍應用。電阻加熱式蒸發源的發熱材料一般選用W、Mo等高熔點金屬及Ni和N1-Cr合金。把它們加工成各種形狀，把待蒸發的材料放在其上，然后通大電流蒸發。比如蒸發Cu材料的加熱絲到達1135°C時，電流穩定在9A的穩定值。加熱絲加工成各種形狀的過程中，加熱絲上存在殘余應力，以及熱脹冷縮現象的存在，長時間大電流通電導致加熱絲出現變形現象，致使蒸發源加熱絲短路或者與屏蔽短路，降低加熱源的壽命。
[0004]實用新型專利CN2425427公開了一種分子束源爐，其主要結構:由鉭筒、坩禍、加熱絲、爐座、測溫元件及支架組成，其中鉭筒為多層結構，最外層鉭筒置坩禍于上爐座內，最內層鉭筒無上下底；加熱絲位于坩禍和最里層鉭筒之間，經羅列安排兩兩依次穿插于絕緣環上的偏孔里。其主要優點是保溫效果穩定，生長薄膜質量好，但其不足之處是:加熱絲容易與屏蔽短路，并且上加熱絲底部容易變形，與底部加熱絲短路或者與屏蔽短路。


【發明內容】

[0005]本實用新型為解決公知技術中存在的技術問題而提供一種彈簧式引線防變形束源爐。
[0006]本實用新型的目的之一是提供一種具有結構簡單，可靠性高，有效防止加熱絲短路或者與屏蔽短路，可以延長加熱源的壽命，提供穩定的加熱時間，能為后續連續化生產打下一個好的基礎等特點的彈簧式引線防變形束源爐。
[0007]本束源爐加熱裝置的加熱爐分為上加熱爐和下加熱爐，上加熱爐加熱坩禍的上半部分，下加熱爐加熱坩禍的下半部分，上加熱爐的加熱溫度比下加熱爐高150 °C，加熱爐的外面是屏蔽，起到保溫作用。上加熱爐的加熱絲和下加熱爐的加熱絲都從底盤引出，品紅加熱絲引線是上加熱爐引線，虛線加熱絲引線是下加熱爐引線。上加熱爐加熱絲引線需要從下加熱爐的陶瓷固定片上引出。用三根支撐螺桿支撐加熱爐。底盤主要起到把束源爐固定在真空腔室壁上。
[0008]由于上下加熱爐存在溫差，容易引起上加熱絲引線變形，需要改變引線的引出結構。
[0009]本實用新型即改變頂部加熱爐兩根接電極的加熱絲的形狀，在穿出底部加熱爐之前，把部分頂部加熱爐兩根接電極的加熱絲的形狀改為彈簧結構。
[0010]將上加熱爐引線改為彈簧結構，可以吸收溫差引線的形變，防止上加熱爐引線在下加熱爐內部變形，可以有效屏蔽或者防止與下加熱爐爐絲短路。
[0011]本實用新型彈簧式引線防變形束源爐所采取的技術方案是:
[0012]一種彈簧式引線防變形束源爐，其特點是:彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結構。
[0013]本實用新型彈簧式引線防變形束源爐還可以采用如下技術方案:
[0014]所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特點是:底盤有三根支撐螺桿支撐加熱爐。
[0015]所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特點是:上加熱爐引線位于下加熱爐和底盤之間部分為彈簧式結構。
[0016]本實用新型具有的優點和積極效果是:
[0017]彈簧式引線防變形束源爐由于采用了本實用新型全新的技術方案，與現有技術相比，本實用新型具有以下特點:
[0018]1.與傳統的束源爐相比，束源爐加熱絲防變形防護，這在一定程度上有效防止了頂部加熱絲與屏蔽短路的現象。
[0019]2.與傳統的束源爐相比，束源爐加熱絲防變形防護，延長了束源爐的使用壽命，這為后續連續化生產打下一個好的基礎。

【附圖說明】

[0020]圖1是本實用新型彈簧式引線防變形束源爐結構示意圖；
[0021 ] 圖2是傳統束源爐結構示意圖。
[0022]圖中，1.坩禍位置，2.上加熱爐，3.外屏蔽，4.下加熱爐，5.支撐螺桿，6.上加熱爐引線，7.下加熱爐引線，8.底盤，9.傳統爐上加熱爐引線。

【具體實施方式】
[0023]為能進一步了解本實用新型的實用新型內容、特點及功效，茲例舉以下實施例，并配合附圖詳細說明如下:
[0024]實施例1
[0025]參閱附圖1。
[0026]彈簧式引線防變形束源爐，加熱爐分為上加熱爐和下加熱爐，上加熱爐加熱坩禍的上半部分，下加熱爐加熱坩禍的下半部分，上加熱爐的加熱溫度比下加熱爐高150°C，加熱爐的外面是屏蔽，起到保溫作用。上加熱爐的加熱絲和下加熱爐的加熱絲都從底盤引出。用三根支撐螺桿支撐加熱爐。底盤主要起到把束源爐固定在真空腔室壁上。
[0027]本實施例用的穿插加熱絲的絕緣材料都是氮化硼陶瓷，用的加熱絲是合金加熱絲，上加熱絲的直徑大約為1mm，下加熱絲的直徑大約為0.8mm。束源爐上加熱絲穿過下加熱爐，長時間加熱容易與下加熱絲接觸，為防止與下加熱絲和屏蔽接觸，上加熱絲穿過下加熱爐后的部分纏繞成彈簧結構，然后與外部的導線相連。
[0028] 本實施例具有結構簡單，可靠性高，可以延長加熱源的壽命，提供穩定的加熱時間，能為后續連續化生產打下一個好的基礎等積極效果。
【權利要求】
1.一種彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:彈簧式引線防變形束源爐包括上加熱爐和下加熱爐，下加熱爐下部為底盤，底盤有支撐桿支撐加熱爐；上加熱爐和下加熱爐內有加熱絲，上加熱爐加熱絲和下加熱爐加熱絲都有引線從底盤引出，上加熱爐引線為防止變形的彈簧式結構。2.根據權利要求1所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:底盤有三根支撐螺桿支撐加熱爐。3.根據權利要求1所述的彈簧式引線防變形束源爐，其特征是:上加熱爐引線位于下加熱爐和底盤之間部分為彈簧式結構。
【文檔編號】H01L31-18GK204271052SQ201420768168
【發明者】鄧朝文 [申請人]中國電子科技集團公司第十八研究所