觸控面板隱形感測層的雷射圖案化設備及雷射圖案化網柵的制作方法【
技術領域：
】】[0001]本發明涉及一種雷射圖案化技術，特別涉及一種觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備及雷射圖案化網柵。【【
背景技術：
】】[0002]近年來，觸控技術已經逐漸廣泛應用在一般的消費性電子商品上，例如行動通訊裝置、數字相機、數字音樂播放器(MP3)、個人數字助理器(PDA)、衛星導航器(GPS)、掌上型計算機(hand-heldPC)、平板計算機(tablet),甚至薪新的超級行動計算機(UltraMobilePC,UMPC)等。觸控技術可以多種形式應用在顯示面板上，例如是外加觸控面板在顯示面板上(外掛式)，或是直接在顯示面板上制作觸控感測單元(內嵌式，又分為on-cell與in-cell兩種)。[0003]但是，制作觸控感測單元的工藝需經過成膜、曝光、顯影、蝕刻等工藝形成，其中在微影工藝的一連串步驟中，很容易在基板上殘留曝光階段使用的光阻和顯影液，而影響到后續進行的蝕刻或其它沉積工藝的質量。而且，光阻涂布、軟烤、曝光、顯影、硬烤、去光阻、回火等工藝過于繁復，例如回火通常需要進行烤箱回火步驟才能使非晶質轉變成多晶質材料，不但制作成本高、耗時，人為的疏失以及不當的工藝控制也都很容易造成基板彎曲、損壞或是污染。【【
發明內容】】[0004]本發明的目的在于提供一種觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備及雷射圖案化網柵，能夠簡化工藝而節省制作成本，并可得到較為準確的移轉圖案，同時避免公知將基板送到烤箱回火而容易造成基板彎曲、損壞或污染等問題。[0005]為達上述目的，本發明的一種觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備包括一加載單兀、一成膜單兀、一雷射單兀以及一蝕刻單兀，加載單兀提供一基板；成膜單兀形成一感測層在基板上；雷射單元將感測層以一具有一彎折的抗擾斑塊圖案與一感測層預定圖案進行一雷射回火處理，而形成一結構變化層；蝕刻單元去除抗擾斑塊圖案以外與感測層預定圖案以外的部分感測層，而形成觸控面板的隱形感測層。[0006]在一實施例中，感測層是透過濺鍍、蒸鍍、印刷、噴墨印刷、涂布、或旋轉涂布形成。[0007]在一實施例中，感測層是非晶銦錫氧化物層或奈米金屬層。[0008]在一實施例中，感測層是奈米金屬層時，奈米金屬層包括一基質及多個奈米金屬結構，多個奈米金屬結構設置在基質內。[0009]在一實施例中，感測層透過雷射單元去除基質而形成結構變化層。[0010]在一實施例中，蝕刻單元以濕式蝕刻方式去除抗擾斑塊圖案以外與感測層預定圖案以外的部分感測層。[0011]在一實施例中，濕式蝕刻是草酸蝕刻。[0012]在一實施例中，基板是玻璃基板、高分子基板、塑料基板、或藍寶石基板。[0013]在一實施例中，結構變化層是結晶銦錫氧化物層或奈米金屬導電層。[0014]在一實施例中，加載單元包括機械手臂、輸送帶、或滾輪組。[0015]在一實施例中，雷射圖案化設備還包括一輸出單元，以輸出具有隱形感測層的觸控面板。[0016]在一實施例中，雷射單元還包括一圖案化網柵，構成具有抗擾斑塊圖案與感測層預定圖案的圖案。[0017]為達上述目的，本發明的一種觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化網柵包括一透光基板以及一圖案化介電層，圖案化介電層設置在透光基板上。其中，圖案化介電層具有多個開口，多個開口構成具有一彎折的抗擾斑塊圖案與一感測層預定圖案的圖案。[0018]在一實施例中，透光基板的材料包括氧化硅。[0019]在一實施例中，圖案化介電層的材料包括氟化鎂、氧化鈦、氧化鋁、氧化鉭、鈰氟化物、硫化鋅、氟化鋁、氧化鉿、氧化鋯、或其組合。[0020]在一實施例中，圖案化介電層的介電常數大于30。[0021]在一實施例中，圖案化介電層的圖案尺寸小于觸控面板的隱形感測層的圖案尺寸。[0022]承上所述，在本發明將觸控面板的感測層以具有彎折的抗擾斑塊圖案與感測層預定圖案進行雷射回火處理，再去除抗擾斑塊圖案以外與感測層預定圖案以外的部分感測層，而形成觸控面板的隱形感測層，這種方式能夠簡化工藝而節省制作成本，并可得到較為準確的移轉圖案，同時避免公知將基板送到烤箱回火而容易造成基板彎曲、損壞或污染等問題。【【附圖說明】】[0023]圖1是本發明較佳實施例的觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備的功能方塊圖。[0024]圖2是雷射單元的功能方塊圖。[0025]圖3A是雷射回火處理的立體示意圖。[0026]圖3B是圖3A沿A_A線段的剖面圖。[0027]圖4是感測層在工作雷射光照射前后的示意圖。[0028]圖5A是本發明較佳實施例的雷射圖案化隱形感測層基板的部分剖面圖。[0029]圖5B是本發明較佳實施例的雷射圖案化隱形感測層基板的上視圖。[0030]圖6A是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在外掛式觸控顯示面板的不意圖。[0031]圖6B是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在有機發光二極管觸控顯示裝置的示意圖。[0032]圖6C是本發明一實施例的雷射圖案化隱形感測層基板應用在液晶觸控顯示裝置的示意圖。[0033]圖7是本發明一實施例的邊緣電場轉換型液晶觸控顯示面板的示意圖。[0034]圖8A是本發明一實施例的主動矩陣晶體管基板的布線示意圖。[0035]圖8B是圖8A的主動矩陣晶體管基板沿B_B線段的剖面示意圖。[0036]圖9A是本發明一實施例的主動矩陣晶體管基板的布線示意圖。[0037]圖9B是圖9A的主動矩陣晶體管基板沿C_C線段的剖面示意圖。【【具體實施方式】】[0038]以下將參考相關附圖，說明依本發明較佳實施例的觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備及雷射圖案化網柵，其中相同的元件將以相同的參考符號加以說明。[0039]圖1是本發明較佳實施例的觸控面板的隱形感測層的雷射圖案化設備的功能方塊圖。請參考圖1所示，雷射圖案化設備1可用以形成顯示面板的畫素電極、觸控面板的觸控電極(觸控感測結構)、或其它線路例如導線或接地線等導電結構。在本實施例中，是以形成觸控面板的隱形感測層(invisiblesensorlayer)為例進行說明。在此，雷射圖案化設備1包括一加載單元11、一成膜單元12、一雷射單元13以及一蝕刻單元14。[0040]加載單元11可提供一基板2(如圖2所示)，以將基板2運送到其它單元作后續工藝。實施上，加載單元11可以是機械手臂，以夾持基板2而運送，或者以吸附的方式運送基板2，例如機械手臂貼附在基板2并將空氣抽出而真空吸附，或是利用電磁鐵吸附基板2而運送。當然，以電磁鐵吸附的方式運送時，基板2需要是導磁性基材，或是事先貼合在一導磁元件以方便運送作業。除此之外，加載單元11也可以是滾輪組或輸送帶，以使基板2透過滾輪組或輸送帶運送到各單元的工作區。另外，當基板2是可撓性基板時，加載單元11也可使用多個滾動條(rolltoroll)來運送基板2。[0041]基板2是透光材料，例如是玻璃基板、高分子基板、塑料基板、或藍寶石基板，在此是以玻璃基板為例。基板2可以是剛性基板或可撓性基板，當是可撓性基板時，其可應用在可撓性顯示器。在應用上，基板2可以是透光蓋板(coverglass)，以減少應用在觸控面板的厚度。[0042]成膜(deposit1n)單元12可形成一感測層21在基板2上。在一些實施例中，成膜單元12可例如包括一腔室，以及一些容置在腔室內的沉積裝置，如沉積源或氣閥等。另夕卜，成膜單元12可透過調整氣閥的氣體供應而控制在大氣壓力環境、真空環境或鈍氣環境的狀態下作業。當基板2透過加載單元11運送到成膜單元12內，成膜單元12就可以濺鍛(sputtering)或蒸鍛(evaporat1n)形成感測層21在基板2上。在一些實施例中，成膜單元12可包括印刷機,透過印刷或噴墨印刷(ink-jetprinting)形成感測層21。在一些實施例中，成膜單元12可包括涂布機，透過涂布(coating)或旋轉涂布(spincoating)形成感測層21。[0043]圖當前第1頁1 2 3 4