探針式快速輸運測量系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及測量裝置領域，具體涉及一種探針式快速輸運測量系統。
【背景技術】
[0002]當電流垂直于外磁場方向通過導體時，在垂直于電流和磁場方向，該導體兩側產生電勢差，這一現象稱為霍爾效應，在通有電流的金屬或半導體上施加磁場時，其電阻值將發生變化，稱為磁電阻效應。霍爾測量用于研宄材料輸運性質，通過霍爾測量可以得到樣品的導電類型、霍爾系數，載流子濃度以及霍爾迀移率等，是半導體領域、材料領域重要的測量方法。
[0003]在產品研發的過程中，需要測量大量的不同組分，不同工藝的樣品，來獲得最佳的配比和工藝，例如對于組合薄膜，需要測量很多種組分連續變化的組合薄膜的輸運性質來獲得最佳的組分。目前實驗室普遍使用的商業化物性測量系統PPMS (Physical PropertyMeasurement System)，該系統每次最多只能測量3個樣品，測量效率低。
【實用新型內容】
[0004]根據本實用新型的一種探針式快速輸運測量系統，能夠同時對多個樣品進行輸運性質測量。該探針式快速輸運測量系統包括:
[0005]螺旋側位腔，所述螺旋側位腔內設有螺紋管筒；
[0006]測量腔，所述測量腔內設有至少一個樣品槽，用于放置樣品；
[0007]探針平臺；
[0008]傳動螺桿，所述傳動螺桿與所述螺紋管筒匹配，所述傳動螺桿的第一端連接所述探針平臺，第二端穿過所述螺紋管筒；
[0009]至少一個航空插頭，用于和外部電路之間的數據傳輸；
[0010]桿身，所述桿身的一端連接所述螺旋側位腔，另一端連接所述測量腔。
[0011]優選地，所述桿身包括一個連接桿。
[0012]優選地，所述桿身包括至少兩個連接桿，所述連接桿的長度不同，所述連接桿之間通過連接件連接，用于調整所述探針式快速輸運測量系統的長度。
[0013]優選地，所述傳動螺桿的第二端設有旋轉頭。
[0014]優選地，所述探針平臺上設有探針陣列。
[0015]優選地，所述探針平臺為可替換式。
[0016]優選地，所述探針陣列中的探針為可拆卸的彈簧探針。
[0017]優選地，所述傳動螺桿為鏤空結構。
[0018]優選地，所述傳動螺桿設有鏤空出口，所述探針平臺的導線從所述傳動螺桿的第一端穿入，從所述鏤空出口穿出連接到所述航空插頭。
[0019]優選地，所述鏤空出口位于所述螺旋側位腔內。
[0020]本實用新型提出的一種探針式快速輸運測量系統，通過探針陣列進行多通道測量，可以測量多個樣品；通過更換探針平臺可以實現不同樣品、不同輸運性質的測量；只需要轉動旋轉頭，將探針陣列壓到樣品表面即可測量，使用方便，效率高；適用于低溫、高溫、真空等測試平臺，應用范圍廣泛。
【附圖說明】
[0021]通過以下參照附圖對本實用新型實施例的描述，本實用新型的上述以及其它目的、特征和優點將更為清楚，在附圖中:
[0022]圖1示出根據本實用新型的探針式快速輸運測量系統的實施例的立體視圖；
[0023]圖2a和2b示出連接件的立體視圖、頂視圖；
[0024]圖3示出測量腔的立體視圖；
[0025]圖4示出探針平臺的立體視圖；
[0026]圖5a和5b示出用于磁阻測量和霍爾測量的樣品光刻版圖。
【具體實施方式】
[0027]以下基于實施例對本實用新型進行描述，但是本實用新型并不僅僅限于這些實施例。在下文對本實用新型的細節描述中，詳盡描述了一些特定的細節部分。對本領域技術人員來說沒有這些細節部分的描述也可以完全理解本實用新型。為了避免混淆本實用新型的實質，公知的方法、過程、流程、元件和電路并沒有詳細敘述。此外，本領域普通技術人員應當理解，在此提供的附圖都是為了說明的目的，并且附圖不一定是按比例繪制的。除非上下文明確要求，否則整個說明書和權利要求書中的“包括”、“包含”等類似詞語應當解釋為包含的含義而不是排他或窮舉的含義；也就是說，是“包括但不限于”的含義。
[0028]本實用新型涉及一種探針式快速輸運測量系統，所述輸運測量包括霍爾效應測量、磁阻測量、不同磁場和不同溫度下的1-V特性測量、R-T (固定磁場，電阻隨著溫度變化的特性)特性測量和R_H(固定溫度，電阻隨著磁場變化的特性)特性測量等。
[0029]圖1示出了根據本實用新型的探針式快速輸運測量系統的實施例的立體視圖，該探針式快速輸運測量系統包括:螺旋側位腔101、航空插頭102、桿身、傳動螺桿103、測量腔109以及探針平臺110。其中，桿身包括第一連接桿104、第二連接桿105、第三連接桿106、第四連接桿107以及連接桿之間的連接件108。
[0030]螺旋側位腔101連接在桿身的第一端，螺旋側位腔101和桿身通過螺孔螺母固定在一起。螺旋側位腔101內設有與傳動螺桿103相匹配的螺紋管筒。
[0031]傳動螺桿103的第一端連接探針平臺110，第二端穿過所述螺紋管筒并穿出螺旋側位腔101。傳動螺桿103的第二端設有旋轉頭113。轉動旋轉頭113，產生傳動螺桿103的直線運動，可以調整探針平臺110的位置。傳動螺桿103為鏤空的鋼管，傳動螺桿103還設有鏤空出口，所述鏤空出口位于螺旋側位腔101內。探針平臺110的導線從傳動螺桿103的第一端穿入，從鏤空出口穿出，連接到航空插頭102。
[0032]航空插頭102設置在螺旋側位腔101，一端連接探針平臺110的導線，另一端連接外部電路，用于探針式快速輸運測量系統和外部電路之間的數據傳輸。
[0033]桿身包括四個連接桿:第一連接桿104至第四連接桿107，每個連接桿分別包括三個螺桿。連接桿之間通過連接件連接，例如第一連接桿104和第二連接桿105之間通過連接件108連接。連接桿的長度可以相同也可以不同，靈活選用不同數量和