一種應用于集成電路的測試探針卡的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種應用于集成電路的測試探針卡，包括探針座和檢測電路板，探針座上成型有探針孔，探針孔內插接有探針，探針包括中部的止擋部，止擋部的上端面檢測桿，檢測桿的上端露出探針座的上端面，其特征在于：止擋部的下端面成型有豎直的外螺紋套，外螺紋套的內孔內插接有倒置的T型導向桿，T型導向桿上插套有下永磁套，外螺紋套上插套有上永磁套,上永磁套下端面的磁極和下永磁套上端面的磁極相同，T型導向桿內插接固定有導電體，導電體由圓柱形的碳刷頭和碳刷柱組成，碳刷頭抵靠在外螺紋套的內孔壁上，碳刷柱的下端露出T型導向桿的下端面抵靠在檢測電路板上。它結構簡單，組裝方便，能避免因彈簧機械疲勞失效而造成的接觸不良。
【專利說明】
一種應用于集成電路的測試探針卡
技術領域
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[0001]本發明涉及集成電路檢測裝置的技術領域，更具體地說涉及一種應用于集成電路的測試探針卡。【背景技術】:
[0002]探針卡為半導體工藝中常使用于檢測電路的元件，其內排列設置有多個探針，探針的排列位置與此探針卡欲檢測的待測電路板上的電路配置相對應。探針卡通常設置在一檢測機臺之上，待測電路板以一工具夾持并且壓制于探針上。因此使得各探針導通待測電路板上的電路，藉由探針檢測待測電路板上的電路是否正常運作。現有的探針結構一般包含有一個套筒套筒內設有二個電極以及連接在二電極之間的一彈簧。其中一個電極固定于檢測機臺并且電性連接檢測機臺，另一個電極則可活動地位于套筒內用以導接欲檢測的待測電路板上的焊點。當待測電路板觸壓探針時，彈簧被壓縮而施力于活動的電極，藉此使此電極與待測電路板加壓接觸而確實導通。或者是只設置一個活動的電極，而藉由彈簧直接導接電極與檢測機臺。
[0003]探針為微小的元件，其結構復雜，零件制作及組裝皆不易。現有的探針以彈簧作為導接元件，其因此工藝中的誤差常會導致探針接觸不良而無法導通待測電路板與檢測機臺。
【發明內容】
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[0004]本發明的目的就是針對現有技術之不足，而提供了一種應用于集成電路的測試探針卡，其結構簡單，組裝方便，同時能避免傳統測試探針內因彈簧機械疲勞失效等而造成的接觸不良。
[0005]為實現上述目的，本發明的技術方案如下:
[0006]—種應用于集成電路的測試探針卡，包括探針座和檢測電路板，探針座上成型有探針孔，探針孔內插接有探針，探針包括中部的止擋部，止擋部的上端面檢測桿，檢測桿的上端露出探針座的上端面，其特征在于:止擋部的下端面成型有豎直的外螺紋套，外螺紋套的內孔內插接有倒置的T型導向桿，T型導向桿上插套有下永磁套，下永磁套抵靠在T型導向桿的下端，所述的外螺紋套上插套有上永磁套，上永磁套下端面的磁極和下永磁套上端面的磁極相同，所述的T型導向桿內插接固定有導電體，導電體由圓柱形的碳刷頭和碳刷柱組成，碳刷頭抵靠在外螺紋套的內孔壁上，碳刷柱的下端露出T型導向桿的下端面抵靠在檢測電路板上。
[0007]所述的永磁套螺接固定在探針的外螺紋套上，T型導向桿下端的外壁上成型有外螺紋，下永磁套螺接固定在T型導向桿上。
[0008]所述探針止擋部的底面上成型有外螺紋套內孔相連通的底部沉孔，底部沉孔的孔徑和外螺紋套的孔徑相同，底部沉孔的中心軸線和外螺紋套的中心軸線在同一直線上。
[0009]所述上永磁套外壁的直徑和下永磁套外壁的直徑相等。
[0010]所述探針檢測桿的上端成型有若干錐形的針頭，針頭繞檢測桿上端面的中心呈環形均勻分布在檢測桿上。
[0011]本發明的有益效果在于:
[0012]它為一種結構簡單、組裝方便的測試探針，同時測試探針內彈性結構由相同磁極的永磁體代替傳統的彈簧，則能避免傳統測試探針內因彈簧機械疲勞失效等而造成的接觸不良。【附圖說明】:[0〇13]圖1為發明的結構不意圖；
[0014]圖2為發明探針座內部零件的結構示意圖。
[0015]圖中:1、探針座；11、探針孔;2、探針;21、止擋部;211、底部沉孔;22、檢測桿;221、 針頭;23、外螺紋套;3、上永磁套;4、T型導向桿;5、下永磁套;6、導電體;61、碳刷頭;62、碳刷柱;7、檢測電路板。【具體實施方式】:
[0016]實施例:見圖1、2所示，一種應用于集成電路的測試探針卡，包括探針座1和檢測電路板7，探針座1上成型有探針孔11，探針孔11內插接有探針2，探針2包括中部的止擋部21， 止擋部21的上端面檢測桿22,檢測桿22的上端露出探針座1的上端面，其特征在于:止擋部 21的下端面成型有豎直的外螺紋套23，外螺紋套23的內孔內插接有倒置的T型導向桿4，T型導向桿4上插套有下永磁套5,下永磁套5抵靠在T型導向桿4的下端，所述的外螺紋套23上插套有上永磁套3,上永磁套3下端面的磁極和下永磁套5上端面的磁極相同，所述的T型導向桿4內插接固定有導電體6,導電體6由圓柱形的碳刷頭61和碳刷柱62組成，碳刷頭61抵靠在外螺紋套23的內孔壁上，碳刷柱62的下端露出T型導向桿4的下端面抵靠在檢測電路板7上。
[0017]所述的永磁套3螺接固定在探針2的外螺紋套23上，T型導向桿4下端的外壁上成型有外螺紋，下永磁套5螺接固定在T型導向桿4上。
[0018]所述探針2止擋部21的底面上成型有外螺紋套23內孔相連通的底部沉孔211，底部沉孔211的孔徑和外螺紋套23的孔徑相同，底部沉孔211的中心軸線和外螺紋套23的中心軸線在同一直線上。
[0019]所述上永磁套3外壁的直徑和下永磁套5外壁的直徑相等。
[0020]所述探針2檢測桿22的上端成型有若干錐形的針頭221，針頭221繞檢測桿22上端面的中心呈環形均勻分布在檢測桿22上。
[0021]工作原理:本發明為檢測集成電路的測試探針，屬于探針卡的一種，主要特點在于整改了探針卡內部的結構，通過上永磁套3和下永磁套5相同磁極產生的斥力提供彈力，并采用與上永磁套3和下永磁套5同軸的導電體6實現探針2與測電路板7電連接，同時在T型導向桿4的作用下永磁套3和下永磁套5受到約束，斥力達到最大，則可以相應的減小下永磁套 3和下永磁套5的尺寸，便于探針卡的組裝，而導電體6由碳刷頭61和碳刷柱62組成，碳刷頭 61耐磨損，則能保持良好的接觸。
【主權項】
1.一種應用于集成電路的測試探針卡，包括探針座(1)和檢測電路板(7)，探針座(1)上 成型有探針孔(11)，探針孔(11)內插接有探針(2)，探針(2)包括中部的止擋部(21)，止擋部 (21)的上端面檢測桿(22)，檢測桿(22)的上端露出探針座(1)的上端面，其特征在于:止擋 部(21)的下端面成型有豎直的外螺紋套(23)，外螺紋套(23)的內孔內插接有倒置的T型導 向桿(4)，T型導向桿(4)上插套有下永磁套(5)，下永磁套(5)抵靠在T型導向桿(4)的下端， 所述的外螺紋套(23)上插套有上永磁套(3 )，上永磁套(3)下端面的磁極和下永磁套(5)上 端面的磁極相同，所述的T型導向桿(4)內插接固定有導電體(6)，導電體(6)由圓柱形的碳 刷頭(61)和碳刷柱(62)組成，碳刷頭(61)抵靠在外螺紋套(23)的內孔壁上，碳刷柱(62)的 下端露出T型導向桿(4)的下端面抵靠在檢測電路板(7)上。2.根據權利要求1所述的一種應用于集成電路的測試探針卡，其特征在于:所述的永磁 套(3)螺接固定在探針(2)的外螺紋套(23)上，T型導向桿(4)下端的外壁上成型有外螺紋， 下永磁套(5)螺接固定在T型導向桿(4)上。3.根據權利要求1所述的一種應用于集成電路的測試探針卡，其特征在于:所述探針 (2)止擋部(21)的底面上成型有外螺紋套(23)內孔相連通的底部沉孔(211)，底部沉孔 (211)的孔徑和外螺紋套(23)的孔徑相同，底部沉孔(211)的中心軸線和外螺紋套(23)的中心軸線在同一直線上。4.根據權利要求1所述的一種應用于集成電路的測試探針卡，其特征在于:所述上永磁 套(3)外壁的直徑和下永磁套(5)外壁的直徑相等。5.根據權利要求1所述的一種應用于集成電路的測試探針卡，其特征在于:所述探針 (2)檢測桿(22)的上端成型有若干錐形的針頭(221)，針頭(221)繞檢測桿(22)上端面的中 心呈環形均勻分布在檢測桿(22)上。
【文檔編號】G01R31/28GK106093752SQ201610455264
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月20日
【發明人】王文慶
【申請人】東莞市聯洲知識產權運營管理有限公司