用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和測試平臺的制作方法
【專利摘要】本發明涉及用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和測試平臺，其中，用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置包括柔性鉸鏈并聯機構基體，第一驅動支鏈和第二驅動支鏈；其中，柔性鉸鏈并聯機構基體正中心設置剛性動平臺，過剛性動平臺中心的兩個垂直方向上分別設置第一柔性支鏈和第二柔性支鏈，第一柔性支鏈和第二柔性支鏈均對稱固定連接于剛性動平臺上；在柔性鉸鏈并聯機構基體上沿第一柔性支鏈和第二柔性支鏈的延長線分別開設直達側端面的第一安裝槽和第二安裝槽；第一驅動支鏈包括安裝于第一安裝槽內的第一驅動器連接頭、第一壓電陶瓷制動器和第一拉壓力傳感器；第二驅動支鏈包括安裝于第二安裝槽內的第二驅動器連接頭、第二壓電陶瓷制動器和第二拉壓力傳感器。
【專利說明】
用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和測試平臺
技術領域
[0001]本發明涉及一種用于滾珠絲杠副的加載裝置和測試平臺，尤其涉及一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和測試平臺。
【背景技術】
[0002]滾珠絲杠副直線進給系統在機械設備行業得到了廣泛應用，作為數控機床傳動系統中最為重要的功能部件，滾珠絲杠的性能對數控機床的加工精度和動態性能有著決定性的影響。滾珠絲杠副直線進給系統在性能測試階段，需要在模擬工況載荷下對滾珠絲杠副進行性能測試，以檢驗滾珠絲杠副是否能夠達到實際使用的性能標準。而在數控機床切削、銑削等加工過程中，安裝于滾珠絲杠副工作臺上的被加工工件受到的載荷具有高頻率、多方位、變化形式復雜等特點，因此需要測試加載裝置提供的加載力具有高頻率、高精度、可多個方向加載并且響應速度快等特點。
[0003]現有的滾珠絲杠副加載裝置，根據加載頻率可以分為低頻加載裝置和高頻加載裝置，根據加載自由度可以分為單向加載裝置和復合加載裝置。目前常見的可以調整加載頻率的加載方法主要有配重、液壓、氣動或電機壓縮彈簧等;其中，通過配重的方式只能實現恒定載荷加載;液壓加載所需加載時間較長，動態性能差，不能實現高頻加載，而且液壓加載裝置的結構較為復雜，容易漏油，裝置可靠性低;利用氣動原理進行加載存在加載機構剛度很低，不能實現高頻率加載，同時加載精度很難得到保證;利用電機壓縮彈簧進行加載可以達到很高的加載精度，但由于彈簧剛度較低，同樣很難實現高頻加載。目前常用的可以實現多自由度加載的加載機構只能實現各個方向上的靜態加載，而利用液壓、氣動等方式只能實現頻率較低的交變載荷的加載，而且由于加載機構剛度較低導致動態特性較差，在復合加載時不同加載方向都存在較長的響應時間，難以同時對不同方向上的加載力進行準確的配合控制，導致在高頻加載的情況下難以產生精確的合力。
[0004]綜上所述，現有的滾珠絲杠副加載裝置，均不滿足對滾珠絲杠副進行平面二自由度的高頻率、高精度地加載，并且擁有快速響應性能的要求，導致無法精確地模擬出數控機床在切削、銑削等加工過程或者其他復雜工況中滾珠絲杠副工作臺平面所受到的高頻交變且變化規律復雜的載荷形式。

【發明內容】

[0005]針對上述問題，本發明的目的是提供一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和測試平臺，能夠對兩個加載方向的加載力實現精確控制，同時擁有較快的響應速度，實現二自由度高頻加載，能夠很好地模擬出數控機床在切削過程中滾珠絲杠副工作臺受到的二自由度高頻交變負載，也可以模擬其他工況下滾珠絲杠副工作臺受到的復雜交變負載力。
[0006]為實現上述目的，本發明采取以下技術方案:一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，該裝置包括柔性鉸鏈并聯機構基體、第一驅動支鏈和第二驅動支鏈;其中，柔性鉸鏈并聯機構基體的正中心設置一剛性動平臺，剛性動平臺用于連接平面二自由度高頻加載裝置和待測試工作臺；在經過剛性動平臺中心的兩個垂直方向上分別設置第一柔性支鏈和第二柔性支鏈，第一柔性支鏈和第二柔性支鏈均對稱于剛性動平臺并與剛性動平臺固定連接;在柔性鉸鏈并聯機構基體上沿第一柔性支鏈和第二柔性支鏈的延長線分別開設直達其對應側端面的第一安裝槽和第二安裝槽;第一驅動支鏈包括安裝于第一安裝槽內的第一驅動器連接頭、第一壓電陶瓷制動器和第一拉壓力傳感器，且第一壓電陶瓷制動器的一端通過第一驅動器連接頭與第一柔性鉸鏈相連接，另一端與第一拉壓力傳感器相連接;第二驅動支鏈包括安裝于第二安裝槽內的第二驅動器連接頭、第二壓電陶瓷制動器和第二拉壓力傳感器，且第二壓電陶瓷制動器的一端通過第二驅動器連接頭與第二柔性鉸鏈相連接，另一端與第二拉壓力傳感器相連接。
[0007]第一驅動支鏈還包括第一驅動器固定盤、第一傳感器固定盤和第一壓緊端蓋，第一壓電陶瓷制動器安裝于第一驅動器固定盤上，第一拉壓力傳感器兩端分別固定連接于第一傳感器固定盤和第一驅動器固定盤上，第一傳感器固定盤固定在第一壓緊端蓋上，第一壓緊端蓋與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接。
[0008]第一壓緊端蓋通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接，且第一壓緊端蓋與配合面之間存在一定的空隙。
[0009]第二驅動支鏈還包括第二驅動器固定盤、第二傳感器固定盤和第二壓緊端蓋，第二壓電陶瓷制動器安裝于第二驅動器固定盤上，第二拉壓力傳感器兩端分別固定連接于第二傳感器固定盤和第二驅動器固定盤上，第二傳感器固定盤固定在第二壓緊端蓋上，第二壓緊端蓋與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接。
[0010]第二壓緊端蓋通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接，且第二壓緊端蓋與配合面之間存在一定的空隙。
[0011]—種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺，其特征在于，該平臺包括底板，直線導軌，平臺滾珠絲杠副，以及任一項所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置;其中，底板的平面對稱軸為安裝待測試滾珠絲杠副直線進給系統的安裝軸線；兩直線導軌平行對稱地設置在底板平面對稱軸的兩側，并與底板固定連接，每個直線導軌上均滑動設置有左滑塊、中滑塊和右滑塊，左滑塊與一滑塊連接座固定連接，中滑塊和右滑塊用于與待測試的工作臺相連接;平臺滾珠絲杠副包括平臺伺服電機、平臺滾珠絲杠和平臺絲杠螺母，兩平臺滾珠絲杠亦平行對稱地設置在底板平面對稱軸的兩側，且分別位于兩直線導軌的外側;平臺絲杠螺母套接在平臺滾珠絲杠上，平臺絲杠螺母上固定設置有一平臺絲杠螺母座，平臺絲杠螺母座通過一連接板與滑塊連接座固定連接；用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置通過柔性鉸鏈并聯機構基體同時與兩直線導軌上的滑塊連接座固定連接，且兩滑塊連接座在直線導軌的橫向上相互對齊。
[0012]平臺伺服電機通過平臺電機支撐座固定設置在底板上，平臺滾珠絲杠通過平臺電機支撐座和平臺滾珠絲杠支持端轉動支撐在底板上，并通過平臺聯軸器與平臺伺服電機的轉軸相連接。
[0013]本發明由于采取以上技術方案，其具有以下優點:1、本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，通過壓電陶瓷驅動平面二自由度柔性并聯機構產生加載力，最高加載頻率能夠達到數千赫茲，能夠很好地模擬滾珠絲杠副在復雜工況下所受的高頻交變等變化規律復雜的載荷形式。2、本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，通過拉壓力傳感器實時測量壓電陶瓷制動器加載力的大小，并通過柔性鉸鏈并聯機構反饋實現閉環控制加載力的大小，保證了加載精度，實現平面二自由度上的高頻精確加載。
3、本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，通過采用柔性鉸鏈并聯機構，能夠實現兩個加載方向加載力的解耦，使得二自由度加載的控制非常簡單，可以實現獨立控制和平面二自由度形式復雜的加載。4、本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，結構緊湊，實現了兩個加載方向加載結構的整體一體化設計，結構簡單，安裝方便且易于拆卸。5、本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，通過控制兩個方向上的壓電陶瓷制動器，還可以實現平面二自由度的靜態加載，適用性非常廣。
【附圖說明】
[0014]圖1是本發明用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置與工作臺的裝配結構示意圖；
[0015]圖2是本發明用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺與待測試滾珠絲杠副直線進給系統的裝配結構示意圖；
[0016]圖3是圖2去掉用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置和工作臺的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖和實施例對本發明進行詳細的描述。
[0018]如圖1所示，本發明提供的一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100，其包括柔性鉸鏈并聯機構基體101、第一驅動支鏈102和第二驅動支鏈103。
[0019]其中，柔性鉸鏈并聯機構基體101的正中心設置一剛性動平臺111，平面二自由度高頻加載裝置100通過剛性動平臺111與待測試滾珠絲杠副直線進給系統的工作臺500相連接;在經過剛性動平臺111中心的兩個垂直方向上分別設置第一柔性支鏈112和第二柔性支鏈113，第一柔性支鏈112和第二柔性支鏈113均對稱于剛性動平臺111并與剛性動平臺111固定連接，即第一柔性支鏈112和第二柔性支鏈113交叉于剛性動平臺111;在柔性鉸鏈并聯機構基體101上沿第一柔性支鏈112和第二柔性支鏈113的延長線分別開設直達其對應側端面的第一安裝槽114和第二安裝槽115，則第一安裝槽114和第二安裝槽115互相垂直且延長線均通過剛性動平臺111的中心。
[0020]第一驅動支鏈102包括安裝于第一安裝槽114內的第一驅動器連接頭121、第一壓電陶瓷制動器122、第一拉壓力傳感器124，且第一壓電陶瓷制動器122的一端通過第一驅動器連接頭121與第一柔性鉸鏈112相連接，另一端與第一拉壓力傳感器124相連接。
[0021 ]第二驅動支鏈103包括安裝于第二安裝槽115內的第二驅動器連接頭131、第二壓電陶瓷制動器132、第二拉壓力傳感器134，且第二壓電陶瓷制動器132的一端通過第二驅動器連接頭131與第二柔性鉸鏈113相連接，另一端與第二拉壓力傳感器134相連接。
[0022]上述實施例中，第一驅動支鏈102還包括第一驅動器固定盤123、第一傳感器固定盤125和第一壓緊端蓋126，第一壓電陶瓷制動器122安裝于第一驅動器固定盤123上，第一拉壓力傳感器124兩端分別通過螺紋固定連接于第一傳感器固定盤125和第一驅動器固定盤123上，第一傳感器固定盤125固定在第一壓緊端蓋126上，第一壓緊端蓋126通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體101相臨一側的配合面固定連接，且與柔性鉸鏈并聯機構基體101的配合面之間存在一定的空隙，用于施加和調整預緊力。
[0023]上述實施例中，第二驅動支鏈103還包括第二驅動器固定盤133、第二傳感器固定盤135和第二壓緊端蓋136，第二壓電陶瓷制動器132安裝于第二驅動器固定盤133上，第二拉壓力傳感器134兩端分別通過螺紋固定連接于第二傳感器固定盤135和第二驅動器固定盤133上，第二傳感器固定盤135固定在第二壓緊端蓋136上，第二壓緊端蓋136通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體101相臨一側的配合面固定連接，且與柔性鉸鏈并聯機構基體101的配合面之間存在一定的空隙，用于施加和調整預緊力。
[0024]本發明用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100，通過壓電陶瓷制動器的伸縮使柔性鉸鏈發生變形，從而為滾珠絲杠副的工作臺提供加載力，柔性鉸鏈的變形與受力大小之間存在線性對應關系，因此可以通過控制壓電陶瓷制動器的伸縮長度對加載力進行調整，控制方法非常簡便，而且最高加載頻率可以達到8KHZ，單自由度的最大加載力可以達到3KN，能夠很好地模擬滾珠絲杠副在復雜工況下所受的高頻交變等變化規律復雜的載荷形式。
[0025]本發明通過第一拉壓力傳感器124和第二拉壓力傳感器134分別實時測量第一驅動支鏈102和第二驅動支鏈103加載力的大小，并通過第一柔性支鏈112和第二柔性支鏈113的力和變形之間的關系轉換成第一壓電陶瓷制動器122和第二壓電陶瓷制動器132的位移信號輸入到壓電陶瓷控制器實現閉環控制，保證了加載精度，實現平面二自由度上的高頻精確加載。
[0026]本發明通過采用柔性鉸鏈并聯機構，每個方向上的柔性支鏈都是對稱分布的，而且第一驅動支鏈102和第二驅動支鏈103在結構上完全相同，從而在剛性動平臺111的四周形成對稱結構，這種對稱結構保證了一個方向上壓電陶瓷的伸縮不會產生另一個方向的耦合運動，也就不會有耦合的力，從而能夠實現兩個加載方向上加載力的解耦；即一個方向的壓電陶瓷制動器伸縮時不會影響另一方向加載力的變化，使得二自由度加載的控制非常簡單，可以實現獨立控制和平面二自由度形式復雜的加載。
[0027]本發明通過控制兩個方向上的壓電陶瓷制動器，還可以實現平面二自由度的靜態加載，適用性非常廣。
[0028]本發明的加載裝置結構緊湊，實現了兩個加載方向加載結構的整體一體化設計，結構簡單，安裝方便且易于拆卸。
[0029]如圖2和圖3所示，本發明還提出了一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺，其包括底板200、直線導軌300、平臺滾珠絲杠副400以及上述實施例中任一項所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100。
[0030]其中，底板200的平面對稱軸為安裝待測試滾珠絲杠副直線進給系統的安裝軸線，且底板200在安裝軸線上設置有多組安裝孔(圖中未示出)，待測試滾珠絲杠副600可通過安裝孔與底板200固定連接。
[0031]兩直線導軌300平行對稱地設置在待測試滾珠絲杠副600的兩側，并與底板200固定連接，每個直線導軌300上均滑動設置有左滑塊301、中滑塊302和右滑塊303，左滑塊301與一滑塊連接座304固定連接。
[0032]平臺滾珠絲杠副400包括平臺伺服電機401、平臺滾珠絲杠402和平臺絲杠螺母403，兩平臺滾珠絲杠402亦平行對稱地設置在待測試滾珠絲杠副600兩側，且分別位于兩直線導軌300的外側;平臺伺服電機401通過平臺電機支撐座404固定設置在底板200上，平臺滾珠絲杠402通過平臺電機支撐座404和平臺滾珠絲杠支持端405轉動支撐在底板200上，并通過平臺聯軸器406與平臺伺服電機401的轉軸相連接;平臺絲杠螺母403套接在平臺滾珠絲杠402上，平臺絲杠螺母403上固定設置有一平臺絲杠螺母座407，平臺絲杠螺母座407通過一連接板408與滑塊連接座304固定連接。
[0033]用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100通過柔性鉸鏈并聯機構基體101同時與兩直線導軌300上的滑塊連接座304固定連接，且兩滑塊連接座304在直線導軌300的橫向上相互對齊。
[0034]待測試滾珠絲杠副直線進給系統一般包括待測試滾珠絲杠副600和工作臺500，其中，待測試滾珠絲杠副600包括待測試伺服電機601、待測試滾珠絲杠602和待測試絲杠螺母603，待測試滾珠絲杠602通過待測試聯軸器604與待測試伺服電機601的轉軸相連接，待測試絲杠螺母603套接在待測試滾珠絲杠602上，待測試絲杠螺母603上固定設置一待測試絲杠螺母座605，工作臺500與待測試絲杠螺母座605固定連接。
[0035]本發明的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺，在使用時具體包括以下步驟:
[0036]I)用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100與兩滑塊連接座304處于拆開狀態;將待測試滾珠絲杠副600通過安裝孔固定安裝在底板200的安裝軸線上，其中，待測試伺服電機601通過待測試電機支撐座606與底板200固定連接，待測試滾珠絲杠602通過待測試滾珠絲杠固定端607和待測試滾珠絲杠支持端608轉動支撐在底板200上；將兩直線導軌300上的中滑塊302和右滑塊303同時與工作臺500固定連接。
[0037]2)通過擰緊或松開第一壓緊端蓋126和第二壓緊端蓋136兩端的螺栓來調節預緊力的大小，第一拉壓力傳感器124和第二拉壓力傳感器134所測得的力的數值作為反饋，分別對用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100的第一驅動支鏈102和第二驅動支鏈103施加預緊力并對預緊力進行精確調節，以保證第一驅動支鏈102和第二驅動支鏈103輸出力的精度和可靠性。
[0038]3)分別控制兩平臺伺服電機401轉動，使兩直線導軌300上的左滑塊301在直線導軌300的橫向上相互對齊，將用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置100通過柔性鉸鏈并聯機構基體101與兩滑塊連接座304固定連接;驅動兩平臺伺服電機401同步轉動，調整柔性鉸鏈并聯機構基體101與工作臺500之間的距離，將柔性鉸鏈并聯機構基體101的剛性動平臺111與工作臺500固定連接。
[0039]4)控制兩平臺伺服電機401和待測試伺服電機601同步轉動，由于平臺滾珠絲杠402的螺距與待測試滾珠絲杠602的螺距相同，可以保證工作臺500與柔性鉸鏈并聯機構基體101之間的距離恒定。在工作臺500與柔性鉸鏈并聯機構基體101同步運動的同時，通過壓電陶瓷控制器控制第一壓電陶瓷制動器122和第二壓電陶瓷制動器132的伸縮長度，引起相連的柔性鉸鏈并聯機構基體101的兩個相互垂直分布的矩形柔性支鏈變形，并最終通過剛性動平臺111將加載力傳遞給工作臺500，實現對待測試滾珠絲杠副600的平面二自由度高頻、精確加載。
[0040]上述實施例中，柔性鉸鏈并聯機構基體101的剛性動平臺111和工作臺500之間設置有墊圈，柔性鉸鏈并聯機構基體101的剛性動平臺111與工作臺500通過固定螺釘固定連接。
[0041]上述各實施例僅用于說明本發明，其中各部件的結構、設置位置及其連接方式等都是可以有所變化的，凡是在本發明技術方案的基礎上進行的等同變換和改進，均不應排除在本發明的保護范圍之外。
【主權項】
1.一種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，該裝置包括柔性鉸鏈并聯機構基體、第一驅動支鏈和第二驅動支鏈； 其中，柔性鉸鏈并聯機構基體的正中心設置一剛性動平臺，剛性動平臺用于連接平面二自由度高頻加載裝置和待測試工作臺；在經過剛性動平臺中心的兩個垂直方向上分別設置第一柔性支鏈和第二柔性支鏈，第一柔性支鏈和第二柔性支鏈均對稱于剛性動平臺并與剛性動平臺固定連接;在柔性鉸鏈并聯機構基體上沿第一柔性支鏈和第二柔性支鏈的延長線分別開設直達其對應側端面的第一安裝槽和第二安裝槽； 第一驅動支鏈包括安裝于第一安裝槽內的第一驅動器連接頭、第一壓電陶瓷制動器和第一拉壓力傳感器，且第一壓電陶瓷制動器的一端通過第一驅動器連接頭與第一柔性鉸鏈相連接，另一端與第一拉壓力傳感器相連接； 第二驅動支鏈包括安裝于第二安裝槽內的第二驅動器連接頭、第二壓電陶瓷制動器和第二拉壓力傳感器，且第二壓電陶瓷制動器的一端通過第二驅動器連接頭與第二柔性鉸鏈相連接，另一端與第二拉壓力傳感器相連接。2.如權利要求1所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，第一驅動支鏈還包括第一驅動器固定盤、第一傳感器固定盤和第一壓緊端蓋，第一壓電陶瓷制動器安裝于第一驅動器固定盤上，第一拉壓力傳感器兩端分別固定連接于第一傳感器固定盤和第一驅動器固定盤上，第一傳感器固定盤固定在第一壓緊端蓋上，第一壓緊端蓋與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接。3.如權利要求2所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，第一壓緊端蓋通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接，且第一壓緊端蓋與配合面之間存在一定的空隙。4.如權利要求1或2或3所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，第二驅動支鏈還包括第二驅動器固定盤、第二傳感器固定盤和第二壓緊端蓋，第二壓電陶瓷制動器安裝于第二驅動器固定盤上，第二拉壓力傳感器兩端分別固定連接于第二傳感器固定盤和第二驅動器固定盤上，第二傳感器固定盤固定在第二壓緊端蓋上，第二壓緊端蓋與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接。5.如權利要求4所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置，其特征在于，第二壓緊端蓋通過螺栓與柔性鉸鏈并聯機構基體相臨一側的配合面固定連接，且第二壓緊端蓋與配合面之間存在一定的空隙。6.—種用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺，其特征在于，該平臺包括底板，直線導軌，平臺滾珠絲杠副，以及如權利要求1至5中任一項所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置； 其中，底板的平面對稱軸為安裝待測試滾珠絲杠副直線進給系統的安裝軸線； 兩直線導軌平行對稱地設置在底板平面對稱軸的兩側，并與底板固定連接，每個直線導軌上均滑動設置有左滑塊、中滑塊和右滑塊，左滑塊與一滑塊連接座固定連接，中滑塊和右滑塊用于與待測試的工作臺相連接； 平臺滾珠絲杠副包括平臺伺服電機、平臺滾珠絲杠和平臺絲杠螺母，兩平臺滾珠絲杠亦平行對稱地設置在底板平面對稱軸的兩側，且分別位于兩直線導軌的外側;平臺絲杠螺母套接在平臺滾珠絲杠上，平臺絲杠螺母上固定設置有一平臺絲杠螺母座，平臺絲杠螺母座通過一連接板與滑塊連接座固定連接； 用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載裝置通過柔性鉸鏈并聯機構基體同時與兩直線導軌上的滑塊連接座固定連接，且兩滑塊連接座在直線導軌的橫向上相互對齊。7.如權利要求6所述的用于滾珠絲杠副的平面二自由度高頻加載測試平臺，其特征在于，平臺伺服電機通過平臺電機支撐座固定設置在底板上，平臺滾珠絲杠通過平臺電機支撐座和平臺滾珠絲杠支持端轉動支撐在底板上，并通過平臺聯軸器與平臺伺服電機的轉軸相連接。
【文檔編號】G01M13/02GK106092563SQ201610374383
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年5月31日
【發明人】李鐵民, 賈石, 姜峣, 杜云松, 李福華, 張京雷, 李逢春
【申請人】清華大學