排氣測量裝置和排氣測量方法
【專利摘要】為了可靠地除去附著于排氣用配管(10)的內壁的附著物，在測量內燃機的排氣中所含的成分的排氣測量裝置(100)中，具備：導入排氣的排氣用配管部件(10)、向排氣用配管部件(10)供給吹掃氣體的吹掃氣體供給機構(50)、加熱所述排氣用配管部件(10)的加熱機構(60)、以及在通過加熱機構(60)將排氣用配管部件(10)或者在排氣用配管部件(10)中流動的排氣加熱到規定溫度后控制吹掃氣體供給機構(50)并使吹掃氣體的供給開始的控制機構(70)。
【專利說明】
排氣測量裝置和排氣測量方法
技術領域
[0001]本發明涉及測量內燃機的排氣中所含的成分的排氣測量裝置。
【背景技術】
[0002]例如，作為測量排氣中所含的顆粒狀物質(以下，也稱為PM)的質量的方法，如專利文獻I所示，已知有下述的被稱為過濾器質量法的方法:在排氣流動的排氣用配管上設置過濾器來捕集PM，并稱量捕集到的PM的質量。
[0003]在使用所述的過濾器質量法等對排氣成分進行測量的情況下，如果在所述排氣用配管的內壁上有附著物，則存在該附著物剝離而引起測量誤差的可能性，因此在測量前，通過使吹掃氣體流向所述排氣用配管來除去附著物。
[0004]此時，如果排氣中所含的氣體狀成分等冷凝(凝縮)而附著于內壁，則單憑流通吹掃氣體難以除去這樣的附著物，因此通過邊流通吹掃氣體邊對排氣用配管加熱來使冷凝后的氣體狀成分等從內壁剝離從而將其除去。
[0005]然而，在該方法中，由于邊供給吹掃氣體邊對排氣用配管進行加熱，因此無法充分地使排氣用配管成為高溫，無法可靠地除去附著物。
[0006]此外，除了所述的方法之外，也可以考慮將吹掃氣體加熱至高溫后使吹掃氣體流向排氣用配管的方法，不過在該方法中，需要另外設置用于加熱吹掃氣體的設備，會導致裝置整體變大。
[0007]現有技術文獻
[0008]專利文獻I:日本專利公開公報特開2012-26892號

【發明內容】

[0009]因此，本發明是用于解決所述的問題而做出的發明，本發明的目的在于可靠地除去附著于排氣用配管的內壁的附著物。
[0010]S卩，本發明提供一種排氣測量裝置，其測量內燃機的排氣中所含的成分，所述排氣測量裝置具備:排氣用配管部件，所述排氣導入該排氣用配管部件；吹掃氣體供給機構，向所述排氣用配管部件供給吹掃氣體;加熱機構，加熱所述排氣用配管部件；以及控制機構，在通過所述加熱機構將所述排氣用配管部件或者在所述排氣用配管部件中流動的所述排氣加熱到規定溫度后，控制所述吹掃氣體供給機構，使所述吹掃氣體的供給開始。
[0011]按照這樣的排氣測量裝置，將排氣用配管部件或者在該排氣用配管部件中流動的排氣加熱到規定溫度，使附著于排氣用配管部件的內壁的附著物成為容易剝離的狀態后，控制機構使吹掃氣體的供給開始，因此能夠可靠地除去附著物。
[0012]另外，無需另外設置加熱吹掃氣體的設備，不會使裝置整體變大。
[0013]優選的是，在所述控制機構使所述吹掃氣體的供給結束之前，所述加熱機構結束所述排氣用配管部件的加熱。
[0014]按照這樣的構成，能夠通過吹掃氣體充分冷卻排氣用配管部件，能夠安全地實施吹掃后的排氣成分的測量和該測量的準備等。
[0015]優選的是，所述排氣測量裝置還具備溫度傳感器，所述溫度傳感器設置于所述排氣用配管部件，所述控制機構取得來自所述溫度傳感器的溫度檢測信號，并且在所述溫度檢測信號表示的值成為所述規定溫度后，使所述吹掃氣體的供給開始。
[0016]按照這樣的構成，能夠在將排氣用配管部件或在排氣用配管部件中流動的排氣的溫度可靠地加熱到規定溫度后，供給吹掃氣體，能夠更可靠地除去附著物。
[0017]作為無需所述的溫度傳感器而使裝置簡化的構成，可以舉出如下的構成:在從所述加熱機構開始加熱所述排氣用配管部件起的規定時間之后，所述控制機構使所述吹掃氣體的供給開始。
[0018]優選的是，在所述排氣用配管部件上設置有過濾器，所述過濾器捕集所述排氣中的顆粒狀物質。
[0019]按照這樣的構成，從內壁剝離的附著物被過濾器捕集，因此通過測量捕集到附著物的量，能夠將排氣用配管部件內的污染程度與例如正常時的污染程度進行比較，能夠了解試驗是否正常進行了。
[0020]作為具體的實施方式，可以舉出下述構成:所述排氣測量裝置還具備稀釋氣體用配管部件，所述稀釋氣體用配管部件與所述排氣用配管部件連接，并且向所述排氣用配管部件導入稀釋氣體，所述稀釋氣體稀釋所述排氣，所述吹掃氣體供給機構使所述吹掃氣體流向所述稀釋氣體用配管部件并向所述排氣用配管部件供給。
[0021]按照這樣的構成，無需特意設置用于將吹掃氣體向排氣用配管部件供給的專用的配管部件，可以使用現有的配管部件將吹掃氣體向排氣用配管部件供給。
[0022]如果所述吹掃氣體為所述稀釋氣體，則可以將稀釋氣體兼作為吹掃氣體。
[0023]另外，本發明還提供一種排氣測量方法，其是測量內燃機的排氣中所含的成分的排氣測量方法，在使所述排氣導入的排氣用配管部件或者在所述排氣用配管部件中流動的所述排氣被加熱到規定溫度之后，使向所述排氣用配管部件供給吹掃氣體開始。
[0024]按照這樣的方法，能夠實現與所述的排氣測量裝置相同的作用效果。
[0025]按照如上所述地構成的本發明，能夠可靠地除去排氣用配管的內壁的附著物而不會使裝置整體變大，能夠高精度地測量排氣成分。
【附圖說明】
[0026]圖1為示意性地示出本實施方式的排氣測量裝置的構成的圖。
[0027]圖2為表示與圖1為相同實施方式的控制機構的功能的功能框圖。
[0028]圖3為對與圖1為相同實施方式的控制機構的動作進行說明的圖。
[0029]圖4為表示變形實施方式的控制機構的功能的功能框圖。
[0030]圖5為示意性地示出變形實施方式的排氣測量裝置的構成的圖。
[0031]圖6為示意性地示出變形實施方式的排氣測量裝置的構成的圖。
[0032]附圖標記說明
[0033]100..?排氣測量裝置
[0034]10..?排氣用配管
[0035]11...稀釋通道
[0036]20..?稀釋氣體用配管
[0037]30..?排氣成分測量設備
[0038]50...吹掃氣體供給機構
[0039]51...吹掃氣體用配管
[0040]60...加熱機構
[0041]70..?控制機構
【具體實施方式】
[0042]以下，對本發明的排氣測量裝置的一種實施方式進行說明。
[0043]本實施方式的排氣測量裝置100測量未圖示的內燃機的排氣中所含的顆粒狀物質(以下，也稱為PM)，在此，排氣測量裝置100采集從內燃機排出的排氣的一部分并將其稀釋后，將稀釋后的排氣的全部量導向排氣成分測量設備30。
[0044]具體而言，如圖1所示，排氣測量裝置100具備:排氣用配管部件10(以下，簡稱為排氣用配管10)，內燃機的排氣導入該排氣用配管部件10;稀釋氣體用配管部件20(以下，簡稱為稀釋氣體用配管20)，向所述排氣用配管10供給稀釋排氣用的稀釋氣體;排氣成分測量設備30，測量通過所述排氣用配管10導入的排氣。
[0045]所述排氣用配管10的一端設置于例如未圖示的內燃機的排氣管內，并且另一端與排氣成分測量設備30連接，該排氣用配管10分流并采集從內燃機排出的排氣的一部分后將其導向排氣成分測量設備30。
[0046]具體而言，排氣用配管10具有微型通道等稀釋通道11，所述的稀釋氣體用配管20與該稀釋通道11連接。按照該構成，從內燃機排出的排氣的一部分在稀釋通道11中被稀釋后流入排氣成分測量設備30。
[0047]此外，排氣用配管10也可以具有所謂的全通道，所述全通道將從內燃機排出的排氣的全部量導入稀釋通道11內。
[0048]所述稀釋氣體用配管20將稀釋氣體導入稀釋通道11，其一端與未圖示的稀釋氣體源連接，另一端與所述稀釋通道11連接。
[0049]在本實施方式的稀釋氣體用配管20上設置有稀釋氣體流量控制部23，所述稀釋氣體流量控制部23例如具有文丘里管等流量計21和流量控制閥22等，能夠控制向排氣用配管10供給的稀釋氣體的流量。
[0050]此外，在本實施方式中，所述稀釋氣體為空氣。
[0051]所述排氣成分測量設備30設置于所述稀釋通道11的下游并測量稀釋后的排氣中所含的各種成分，在此為捕集排氣中所含的PM的捕集過濾器。
[0052]在所述捕集過濾器上連接有用于通過該捕集過濾器后的排氣流動的排氣用配管40，在所述排氣用配管40上設置有能通過轉速控制改變抽吸能力的抽吸栗P(例如羅茨風機)以及設置于該抽吸栗P的下游的文丘里管等流量計FV。
[0053]此外，在本實施方式中，通過捕集過濾器后的排氣在所述排氣用配管40中流動并被排出到外部。
[0054]如圖1所示，本發明的排氣測量裝置100具備:吹掃氣體供給機構50，向所述排氣用配管10供給吹掃氣體;加熱機構60，加熱所述排氣用配管10;以及控制機構70，對所述吹掃氣體供給機構50進行控制。
[0055]吹掃氣體供給機構50具備:未圖示的吹掃氣體源；吹掃氣體用配管部件51(以下，簡稱為吹掃氣體用配管51)，一端與所述吹掃氣體源連接，并且另一端與所述排氣用配管10連接；以及吹掃氣體流量控制部54，設置在所述吹掃氣體用配管51上，例如具有文丘里管等流量計52和流量控制閥53等。
[0056]在此，所述吹掃氣體供給機構50將所述的稀釋氣體亦即空氣作為吹掃氣體向所述排氣用配管10供給，所述吹掃氣體源為所述的稀釋氣體源，所述吹掃氣體用配管51為所述的稀釋氣體用配管20。即，本實施方式的稀釋氣體源以及稀釋氣體用配管20分別兼作為吹掃氣體源以及吹掃氣體用配管51。此外，構成稀釋氣體流量控制部23的流量計21和流量控制閥22分別兼作為吹掃氣體流量控制部54的流量計52和流量控制閥53。
[0057]所述加熱機構60對排氣用配管10的內壁或者在排氣用配管10中流動的排氣進行加熱，對排氣用配管10的一部分或者全部進行加熱。
[0058]本實施方式的加熱機構60例如使用加熱器對排氣用配管10的一端部到另一端部亦即排氣用配管10的整體進行加熱，在此，通過取得從外部輸入的接通/斷開信號，對加熱和停止進行切換。
[0059]所述控制機構70在通過加熱機構60將排氣用配管10加熱到規定溫度后，控制吹掃氣體供給機構50并使吹掃氣體的供給開始。
[0060]具體而言，所述控制機構70具備CPU、存儲器、A/D轉換器、D/A轉換器等，按照存儲于所述存儲器的規定區域的程序使CPU、外圍設備協同動作，由此如圖2所示，發揮作為加熱時間計算部71、設定時間存儲部72以及吹掃控制部73的功能。
[0061 ]以下，在對各部分說明的同時，對所述控制機構70的動作進行說明。
[0062]加熱時間計算部71取得向所述的加熱機構60輸入的接通/斷開信號，并且基于該接通/斷開信號，計算加熱機構60加熱排氣用配管10的加熱時間。
[0063]設定時間存儲部72形成在所述存儲器的規定區域，將從加熱機構60開始加熱排氣用配管10起到排氣用配管10的溫度達到規定溫度(以下，也稱為準備溫度)為止的時間或者該時間以上的時間作為預先設定時間存儲。在本實施方式中，將到排氣用配管10的內壁的溫度達到準備溫度為止的時間以上的時間作為設定時間存儲。
[0064]此外，在此所述的準備溫度是指冷凝且附著于排氣用配管10的內壁上的氣體狀成分等具有高沸點的揮發性成分涌現出的溫度，具體地說為200度左右。另外，可以通過加熱機構60的設定等適當變更設定時間，在此設定時間為I?2小時左右。
[0065]吹掃控制部73在從加熱機構60開始加熱排氣用配管10起的規定時間后使吹掃氣體的供給開始。
[0066]本實施方式的吹掃控制部73取得所述加熱時間以及所述設定時間，并且如圖3所示，在所述加熱時間成為了所述設定時間的情況下，向所述吹掃氣體供給機構50發送控制信號，使吹掃氣體的供給開始。
[0067]具體而言，吹掃控制部73向設置于所述吹掃氣體用配管51的吹掃氣體流量控制部54發送控制信號，使流量控制閥53成為打開狀態。
[0068]此時，為了對排氣用配管10的整體進行吹掃，停止設置在排氣用配管40上的抽吸栗P，使吹掃氣體經由吹掃氣體用配管51遍布排氣用配管10的上游以及下游的兩側。
[0069]此外，如果吹掃氣體的供給開始，則排氣用配管10的溫度如圖3所示，被吹掃氣體冷卻，從所述準備溫度下降到穩定溫度。
[0070]此后，如圖3所示，所述吹掃控制部73也可以從所述的加熱機構60對排氣用配管10的加熱結束起的規定時間(以下，也稱為冷卻時間)經過后，結束吹掃氣體的供給。即，可以在所述吹掃控制部73結束吹掃氣體的供給前，使所述加熱機構60結束對所述排氣用配管10的加熱。
[0071]具體地說，所述吹掃控制部73取得向加熱機構60輸入的接通/斷開信號，并且在從該接通/斷開信號被從接通切換至斷開的時點起經過了冷卻時間后，向吹掃氣體流量控制部54發送控制信號，使流量控制閥53成為關閉狀態。
[0072]S卩，本實施方式的吹掃控制部73在加熱機構60進行的加熱結束后，到經過了冷卻時間為止，持續將吹掃氣體向排氣用配管1供給。
[0073]由此，排氣用配管10的溫度或者在排氣用配管10中流動的排氣的溫度從所述穩定溫度冷卻到通常溫度。
[0074]按照如此構成的本實施方式的排氣測量裝置100，將排氣用配管10或者在該排氣用配管10中流動的排氣加熱到準備溫度，在成為冷凝并附著于排氣用配管10的內壁的氣體狀成分涌現出的狀態后，吹掃控制部73開始吹掃氣體的供給，因此能夠可靠地除去內壁的附著物。
[0075]另外，由于無需另外設置加熱吹掃氣體的設備，因此能夠除去附著物而不會使裝置整體變大。
[0076]此外，吹掃控制部73在從加熱機構60開始加熱排氣用配管10起的規定時間后開始吹掃氣體的供給，因此在加熱中排氣用配管10不會被吹掃氣體冷卻，能夠使排氣用配管10更早地達到規定溫度，另外，能夠用相同的熱量使排氣用配管10達到更高的溫度，實現了節能化。
[0077]此外，吹掃控制部73在加熱機構60進行的加熱結束后，到經過了冷卻時間為止，持續將吹掃氣體向排氣用配管10供給，因此能夠用吹掃氣體將排氣用配管10冷卻到通常溫度，能夠安全地實施吹掃后的排氣測量及其準備等。
[0078]此外，在排氣用配管10上設置有作為排氣成分測量設備30的捕集過濾器，因此通過吹掃而從排氣用配管10的內壁除去了的附著物被捕集過濾器捕集。由此，通過測量捕集到的附著物的量，能夠將排氣用配管10內的污染程度與例如正常時的污染程度進行比較，能夠了解進行吹掃前實施的試驗是否正常。
[0079]此外，將稀釋氣體源以及稀釋氣體用配管20分別兼作為吹掃氣體源以及吹掃氣體用配管51，因此無需特意設置用于將吹掃氣體向排氣用配管10供給的專用的氣體源和配管，能夠使用現有的氣體源和配管將吹掃氣體向排氣用配管10供給。
[0080]此外，本發明并不局限于所述實施方式。
[0081]例如，在所述實施方式中，在從加熱機構開始加熱排氣用配管起的規定時間以后，吹掃控制部使吹掃氣體的供給開始，不過也可以在排氣用配管設置溫度傳感器，在由該溫度傳感器檢測到的溫度成為規定的準備溫度后，吹掃控制部使吹掃氣體的供給開始。
[0082]在這種情況下，具體地說，如圖4所示，可以舉出如下的構成:所述控制機構具有取得來自所述溫度傳感器的溫度檢測信號的溫度取得部74，吹掃控制部73在由所述溫度取得部74取得的溫度檢測信號所表示的溫度成為所述準備溫度后，使吹掃氣體的供給開始。
[0083]按照這樣的構成，在排氣用配管的溫度或者在排氣用配管中流動的排氣的溫度被可靠地加熱到準備溫度后，開始吹掃氣體的供給，因此能夠可靠地去除附著在排氣用配管的內壁上的附著物。
[0084]另外，所述實施方式的控制機構使用排氣用配管的溫度來對吹掃氣體的供給進行控制，不過也可以使用在排氣用配管中流動的排氣的溫度對吹掃氣體的供給進行控制。
[0085]此外，可以將檢測規定成分的濃度的濃度傳感器設置于排氣用配管，從而在由該濃度傳感器檢測到的濃度成為規定濃度以上后，吹掃控制部使吹掃氣體的供給開始。
[0086]另外，所述實施方式的排氣成分測量設備為捕集過濾器，不過如圖5所示，排氣成分測量設備30也可以是不同于捕集過濾器F的、設置在該捕集過濾器F的下游的設備，具體地說，可以舉出連續測量排氣中的PM的連續PM計、測量排氣中的碳氫化合物的THC計等。
[0087]在這種情況下，排氣用配管10的另一端與所述連續PM計、所述THC計等排氣成分測量設備30連接，通過加熱機構60加熱所述排氣用配管10。即，該構成中的排氣測量裝置100不具有所述實施方式的排氣用配管。
[0088]此外，在所述實施方式中，將稀釋氣體源以及稀釋氣體用配管分別兼作為吹掃氣體源以及吹掃氣體用配管，不過也可以與稀釋氣體源以及稀釋氣體用配管不同地另外設置吹掃氣體源以及吹掃氣體用配管。
[0089]在這種情況下，吹掃氣體用配管51只要與排氣用配管10連接即可，具體地說，例如如圖6所示，可以舉出與作為排氣成分測量設備30的捕集過濾器的下游連接的構成等。
[0090]此外，所述實施方式的排氣用配管具有一個稀釋通道，不過也可以具有多個稀釋通道，對從內燃機排出的排氣進行多段稀釋。
[0091]此外，當使用多段稀釋的結構的情況下，在上段側排氣的溫度比較高，越向下段偵U，排氣的溫度越低，因此為了實現節能和高效率化，優選的是，使加熱機構將下段的排氣用配管加熱成比上段的排氣用配管的溫度更高的溫度。
[0092]另外，加熱機構無需一定加熱捕集過濾器，也可以僅加熱排氣用配管。另外，加熱機構可以將吹掃氣體用配管與排氣用配管一起加熱。
[0093]此外，當捕集過濾器使用樹脂等不耐熱的材料的情況下，無法使捕集過濾器成為高溫，因此優選的是，使所述加熱機構具備多個加熱器，例如使排氣用配管的稀釋通道的出口以后的溫度(例如50度)變得低于排氣用配管的到稀釋通道的出口為止的溫度(例如200度)。
[0094]此外，所述實施方式的加熱機構取得從外部輸入的接通/斷開信號，不過控制機構也可以將接通/斷開信號發送給加熱機構。即，控制機構可以一起對吹掃氣體供給機構與加熱機構進行控制。
[0095]此外，在所述實施方式中，將排氣用配管的溫度或者在排氣用配管中流動的排氣的溫度達到準備溫度為止的時間以上的時間設為設定時間，不過也可以將達到準備溫度為止的時間設為設定時間。即，可以在排氣用配管的溫度或者在排氣用配管中流動的排氣的溫度達到準備溫度的同時，開始吹掃氣體的供給。
[0096]另外，無需一定設置所述實施方式的冷卻時間。即，可以在加熱機構進行的加熱結束的同時結束吹掃氣體的供給。
[0097]此外，控制機構可以對設置在稀釋氣體用配管上的流量控制閥、設置于排氣用配管上的抽吸栗進行控制，以使稀釋氣體用配管的流量與排氣用配管的流量彼此相等。
[0098]按照這樣的構成，由于可以使稀釋氣體用配管的流量與排氣用配管的流量彼此相等，因此即使內燃機運轉，來自內燃機的排氣在理論上也不會流入排氣用配管。由此，即使在使內燃機運轉的狀態下進行其它的排氣分析的情況下，也能夠吹掃排氣用配管而不會對這些排氣分析造成影響。
[0099]此外，作為排氣測量裝置，可以是下述的構成:具備設置在排氣用配管的比稀釋通道更靠上游處的開閉閥，在關閉了該開閉閥的狀態下，由加熱機構加熱排氣用配管，并且使設置于排氣用配管的抽吸栗工作。
[0100]由此，排氣用配管邊被抽真空邊被加熱，因此能夠更容易地剝離附著于排氣用配管的內壁的附著物。
[0101]此外，在抽真空和加熱結束后，為了排出剝落的附著物，優選的是，使吹掃氣體流向排氣用配管。
[0102]在所述實施方式中，將配管部件分別作為配管進行了說明，不過配管部件例如也可以是在內部設置有流路的塊體(所謂的集成塊)。
[0103]在這種情況下，通過適當地連續設置多個塊體，能夠形成排氣等流動的流路。
[0104]另外，在所述實施方式中，由控制機構判斷開始吹掃氣體的供給的時機和該供給結束的時機，不過例如，也可以由操作人員邊確認安裝于排氣用配管的溫度傳感器邊開始或結束吹掃氣體的供給。
[0105]此外，本發明并不局限于所述實施方式，在不脫離本發明主旨的范圍內當然可以進行各種變形。
[0106]可以相互組合本發明的各個實施方式(實施例)中所記載的技術特征形成新的技術方案。
【主權項】
1.一種排氣測量裝置，其測量內燃機的排氣中所含的成分，所述排氣測量裝置的特征在于， 所述排氣測量裝置具備: 排氣用配管部件，所述排氣導入該排氣用配管部件； 吹掃氣體供給機構，向所述排氣用配管部件供給吹掃氣體； 加熱機構，加熱所述排氣用配管部件；以及 控制機構，在通過所述加熱機構將所述排氣用配管部件或者在所述排氣用配管部件中流動的所述排氣加熱到規定溫度后，控制所述吹掃氣體供給機構，使所述吹掃氣體的供給開始。2.根據權利要求1所述的排氣測量裝置，其特征在于， 在所述控制機構使所述吹掃氣體的供給結束之前，所述加熱機構結束所述排氣用配管部件的加熱。3.根據權利要求1或2所述的排氣測量裝置，其特征在于， 所述排氣測量裝置還具備溫度傳感器，所述溫度傳感器設置于所述排氣用配管部件， 所述控制機構取得來自所述溫度傳感器的溫度檢測信號，并且在所述溫度檢測信號表示的值成為所述規定溫度后，使所述吹掃氣體的供給開始。4.根據權利要求1或2所述的排氣測量裝置，其特征在于， 在從所述加熱機構開始加熱所述排氣用配管部件起的規定時間之后，所述控制機構使所述吹掃氣體的供給開始。5.根據權利要求1所述的排氣測量裝置，其特征在于， 在所述排氣用配管部件上設置有過濾器，所述過濾器捕集所述排氣中的顆粒狀物質。6.根據權利要求1所述的排氣測量裝置，其特征在于， 所述排氣測量裝置還具備稀釋氣體用配管部件，所述稀釋氣體用配管部件與所述排氣用配管部件連接，并且向所述排氣用配管部件導入稀釋氣體，所述稀釋氣體稀釋所述排氣， 所述吹掃氣體供給機構使所述吹掃氣體流向所述稀釋氣體用配管部件并向所述排氣用配管部件供給。7.根據權利要求6所述的排氣測量裝置，其特征在于， 所述吹掃氣體為所述稀釋氣體。8.—種排氣測量方法，其是測量內燃機的排氣中所含的成分的排氣測量方法，所述排氣測量方法的特征在于， 在使所述排氣導入的排氣用配管部件或者在所述排氣用配管部件中流動的所述排氣被加熱到規定溫度之后，使向所述排氣用配管部件供給吹掃氣體開始。
【文檔編號】G01N33/00GK106066375SQ201610232250
【公開日】2016年11月2日
【申請日】2016年4月14日 公開號201610232250.7, CN 106066375 A, CN 106066375A, CN 201610232250, CN-A-106066375, CN106066375 A, CN106066375A, CN201610232250, CN201610232250.7
【發明人】大槻喜則
【申請人】株式會社堀場制作所