一種電源glitch檢測電路的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種電源glitch檢測電路，屬于半導體制造領域。電源glitch檢測電路包括：1、電壓比較單元；2、電平轉換單元；3、脈沖輸出單元。由于電源的電流監控輸出端口輸出0至10V電壓信號，因此，當電源電流突然升高時，電源電流輸出端口的輸出電壓也突然升高。當監控端口的電壓升高到一定數值時，即可認為產生了glitch。電源glitch檢測電路，通過硬件設定電壓值與電源監控輸出電壓值相比較，當高于設定值時觸發電平比較單元，使該單元輸出電平發生翻轉。脈沖輸出單元檢測該電平翻轉的下降沿，當電平翻轉下降沿到來時，脈沖輸出單元觸發輸出電平脈沖，脈沖寬度可通過外接電阻與外接電容控制，從而為后續的控制器檢測該電平脈沖提供時間裕量。
【專利說明】
一種電源g I i tch檢測電路
技術領域
[0001]本發明涉及離子注入機電源glitch的檢測，涉及離子注入機，屬于半導體裝備制造領域。
【背景技術】
[0002]離子注入機是半導體器件制造中常用的摻雜設備，該設備通過引導雜質離子注入半導體晶片，從而改變晶片傳導率。但是，由于離子注入機結構復雜及大量電源的使用，使高、低壓共存在一個整體中，并且由于電極的絕緣部件受到污染、離子束碰撞電極及管壁放氣使真空下降等原因會造成高壓放電現象，這種放電現象即稱為glitch現象。Glitch會引起離子束流的中斷，從而對注入劑量產生嚴重影響，甚至影響晶圓的合格率。為提高晶圓的合格率及嚴格控制注入劑量，對glitch的檢測極為重要。
[0003]本發明提供了一種電源glitch檢測電路，該電路實現方便，集成度高，響應延時極小，實踐表明該電路對電源glitch的檢測效果良好。

【發明內容】

[0004]本發明涉及一種電源glitch檢測電路。該發明應用于離子注入機，該電路適用于注入過程中對電源glitch的檢測。
[0005]本發明通過以下技術方案實現:
[0006]電源glitch檢測電路基本框圖如圖1所示，它包括三個主要功能單元:電平比較單元(I)，電平轉換單元(2)和脈沖輸出單元(3)。各功能單元的實現電路及作用如下:
[0007]電平比較單元:由于電源電流監控輸出O?1V電壓信號，因此輸入給定可以設定為5V，電平比較單元對電流監控輸出和給定電壓進行比較，當電流監控輸出超過給定電壓時，電平比較單元的輸出電平進行翻轉；當電流監控輸出回落到給定電壓以下時，電平比較單元的輸出電平再次翻轉。
[0008]電平轉換單元:該單元是將輸入正負15V的電平轉換為正5V和OV的電平，為后續的脈沖輸出單元提供合適的電平輸入。
[0009]脈沖輸出單元:該單元檢測輸入信號的下降沿，當下降沿來臨時，輸出高電平信號，高電平的持續時間由外接電阻及外接電容決定，通過一個與門來驅動發光二極管，該發光二極管處于常亮狀態，當其熄滅時，表明有電源glitch的到來。
[0010]電壓比較單元、電平轉換電壓及脈沖輸出單元分別使用了 LT1013、LM311和74LS121做為主控芯片。
[0011]將三個單元模塊串聯后得到總的實現電路如圖2所示，該電路的仿真波形如圖3所示。從波形圖可見，當電源電流監控電壓升到5V以上時，電路輸出電平發生翻轉，發光二極管熄滅，表明產生了電源glitch信號。
[0012]本發明具有如下顯著優點:
[0013]1、結構簡單、可靠性好:僅由三個集成芯片實現電源glitch檢測，提高了電路的抗干擾能力，方便了電路的實現。
[0014]2、響應及時:該方案全部由硬件電路實現，響應延時極小。
[0015]3、輸出脈沖信號寬度可調，方面了后續控制器對該信號的檢測。
【附圖說明】
[0016]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。
[0017]圖1是電源glitch檢測結構框圖。
[0018]圖2是電源glitch檢測電路。
[0019]圖3是電源glitch檢測波形仿真。
【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步的介紹，但不作為本發明的限定。
[0021]如圖1、圖2、圖3，一種電源glitch檢測電路功能仿真波形，由于電源的電流監控輸出端口輸出O至1V電壓信號，因此，當電源電流突然升高時，電源電流輸出端口的輸出電壓也突然升高。當監控端口的電壓升高到一定數值時，即可認為產生了 glitch。電源glitch檢測電路，通過硬件設定電壓值與電源監控輸出電壓值相比較，當高于設定值時觸發電平比較單元(I)，使該單元輸出電平發生翻轉。該翻轉電平經過電平轉換單元(2)轉換后，輸出符合脈沖觸發單元(3)要求的電平信號，脈沖輸出單元(3)檢測電平翻轉的下降沿，當電平翻轉下降沿到來時，脈沖輸出單元(3)觸發輸出電平脈沖，脈沖寬度可通過外接電阻與外接電容控制，從而為后續的控制器檢測該電平脈沖提供時間裕量。
【主權項】
1.一種電源glitch檢測電路，主要包括:由于電源的電流監控輸出端口輸出O至1V電壓信號，因此，當電源電流突然升高時，電源電流輸出端口的輸出電壓也突然升高。當監控端口的電壓升高到一定數值時，即可認為產生了 glitch。電源glitch檢測電路，通過硬件設定電壓值與電源監控輸出電壓值相比較，當高于設定值時觸發電平比較單元(I)，使該單元輸出電平發生翻轉。該翻轉電平經過電平轉換單元(2)轉換后，輸出符合脈沖觸發單元⑶要求的電平信號，脈沖輸出單元⑶檢測電平翻轉的下降沿，當電平翻轉下降沿到來時，脈沖輸出單元(3)觸發輸出電平脈沖，脈沖寬度可通過外接電阻與外接電容控制，從而為后續的控制器檢測該電平脈沖提供時間裕量。2.如權利要求1所述的一種電源glitch檢測電路，其特征在于，電源glitch的產生是通過電源的電流突變間接檢測得到的。當電源glitch到來時，電源電壓突變降低，由于電源輸出功率不會瞬時突變，故此過程中會造成電流突變升高。通過對電源電流監控輸出端口的電壓值與給定值相比較，當超過給定值時即可認為發生了電源glitch。3.如權利要求1所述的一種電源glitch檢測電路，其特征在于，該電路可用于檢測不同電壓跌落值的glitch信號，這只需改變該電路的輸入設定即可。4.如權利要求1所述的一種電源glitch檢測電路，其特征在于，該電路產生的輸出脈沖寬度是可以通過硬件改變的。由于后續控制器要按固定時間周期來掃描該脈沖信號，因此脈沖信號的寬度要大于控制器的掃描周期，通過硬件改變輸出脈沖寬度可滿足此項要求。
【文檔編號】G01R31/12GK105891683SQ201410645034
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2014年11月7日
【發明人】王高騰
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司