利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置及方法
【專利摘要】本發明公開了一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置及方法。本發明采用將入射激光分束后，一束作為主激光另一束倍頻后作為探測光；主激光入射至反射鏡樣品表面，若損傷則表面產生等離子體；探測光的一部分攜帶等離子體信息，攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條紋，通過延時光路改變探測光的延時，探測主激光過后不同時刻的干涉圖樣，得到主激光入射到反射鏡樣品上后產生的等離子體的演化過程，反演得到反射鏡樣品的損傷情況；本發明實時監測不同能量不同功率密度情況下飛秒激光對0°反射鏡的損傷情況，可用于光學鍍膜領域中損傷閾值的測量，對飛秒反射鏡損傷閾值的提高方法改進有指導性意義。
【專利說明】
利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置及方法
技術領域
[0001] 本發明屬于光學測量領域，具體涉及一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值 的測量裝置及方法。
【背景技術】
[0002] 飛秒激光與物質的相互作用是近來研究熱點之一，特別是應用于慣性約束核聚變 (ICF)點火、激光加速粒子方面，1960年美國人Maiman才發明了第一臺紅寶石激光器，1962 年調Q技術的出現使人們獲得納秒(ns)量級的激光脈沖，在1963年激光鎖模技術的發明使 得脈寬進入皮秒(ps)量級，此后激光技術的發展較為平緩，直到1985年D. Strickland和 6.]\1〇111'〇提出啁嗽脈沖放大技術(〇1；[印6(1111186 411^)11;1^031:;[011，0?4)使得高功率的小型 臺式化激光器的產生成為現實，但隨之而來的問題是高功率激光的傳輸需要損傷閾值較高 的光學元件，特別是用于飛秒激光的反射鏡，因此對于反射鏡損傷閾值的研究尤為重要，不 同于一般的長脈沖激光(例如皮秒、納秒等)損傷，飛秒激光的作用時間短，瞬時的損傷不同 于長脈沖作用在反射鏡損傷的熱擴散過程，主要是激光電場效應損傷，因此實時測量飛秒 激光對反射鏡的損傷超快過程必須采用飛秒量級的光來作為探針，飛秒探針光可以探測到 入射激光對反射鏡瞬間損傷，產生表面等離子體，探針光經過后可以攜帶等離子體膨脹過 程、密度分布信息，根據這些信息在此基礎上對反射鏡膜層進行改進，因此實時測量反射鏡 的損傷閾值對之后飛秒激光的傳輸乃至激光技術的發展有重要意義。
[0003] 在飛秒激光作為探針探測等離子體密度，這主要基于光的干涉原理，等離子體密 度探測中，由于存在等離子體的區域折射率不同于一般光路，引入的微小光程差反映在干 涉條紋中 。Mitsuo Takeda在文章 "Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry" 中利用傅里葉變換法 提取干涉圖中的相位信息，干涉條紋的強度I(x，y)分布：
[0004]
[0005] A(x，y)表示條紋的背景，B(x，y)為干涉區條紋光強變化振幅，右。和辦。分別表示空 間載波頻率，
[0006] Φ (x，y)為被測波前的相位分布;將干涉條紋的強度分布作傅里葉變換：
[0007]
[0008] i (X，y)干涉條紋在頻域的分布表達式，頻域中a (f x，f y)為基頻分量，
^包含相位的高頻項，將二者之一濾出移到基 頻位置，做傅里葉逆變換，得到：
[0009] C(x，y)=b(x，y)exp(i Φ (x，y)) =FFrHt/ (fx，fy))
[0010] C(x，y)為包含相位信息的中間變換項，(^表示探針光經過等離子體區域引入的 相位變化，則I =
[0011] 利用傅里葉變換方法得到的相位信息結合阿貝逆變換得到等離子體區域密度分 布，損傷瞬間可以通過采集到的干涉圖得到判斷損傷情況。
[0012] Y.Ping等人在文章 "Dynamics of Relativistic Laser-Plasma Interaction on So I i d Targe t s"中發現當激光與固體革EU乍用，產生損傷時由于等離子體面的移動，散射光 譜有一定的偏移，損傷程度不同，光譜的偏移量也不同。
[0013] 在高功率激光輸出時，利用半波片改變輸出能量較為常見，半波片后為保證偏振 度再加偏振分束片，使得輸出光的某一偏振分量完全透過或者反射，這樣的組合可以保證 偏振的情況下較為方便的改變輸出能量。

【發明內容】

[0014] 基于目前的超快探測過程，根據激光加速實驗中入射光譜的移動情況，本發明提 出了一種可以實時監測不同能量不同功率密度情況下飛秒激光對一般反射鏡的損傷情況 的測量裝置及方法，可用于光學鍍膜領域中損傷閾值的測量，并結合干涉測量，從得到的干 涉圖像中分析其損傷的物理過程，對飛秒反射鏡損傷閾值的提高方法改進有指導性意義。
[0015] 本發明的一個目的在于提出一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量 裝置。
[0016] 本發明的利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置包括:準直裝置、第 一分束片、能量調諧器、主激光調節光路裝置、第一透鏡、第二透鏡、倍頻晶體、第三透鏡、探 測光調節光路裝置、延時光路裝置、第二分束片、直角棱鏡、〇°反射鏡和接收CCD;其中，線偏 振激光經準直裝置準直，經過第一分束片，一束光作為主激光到達能量調諧器，經能量調諧 器后保持原來的偏振方向，同時能量改變;經主激光調節光路裝置，保證主激光的光斑在反 射鏡樣品表面的位置不變;經放置在第一平移臺上的第一透鏡聚焦，調節主激光入射至反 射鏡樣品上的光斑大小；主激光以〇°角入射至反射鏡樣品表面;若主激光對反射鏡樣品產 生損傷，則在反射鏡樣品的表面產生等離子體;經過第一分束片后另一束光經第二透鏡聚 焦到倍頻晶體上，出射的倍頻光經過第三透鏡準直后形成平行光，作為探測光入射至探測 光調節光路裝置;探測光經探測光調節光路裝置調節后，經延時光路裝置調節探測光的延 時;從延時光路裝置出射后，探測光以90°角入射至反射鏡樣品；探測光的光束直徑大于反 射鏡樣品產生的等離子體區域的寬度，經反射鏡樣品后的探測光一部分攜帶著等離子體信 息，另一部分未攜帶等離子體信息；探測光經第二分束片分成兩束，一束經過直角棱鏡反 射，這一束中攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分發生翻折；另一束經0° 反射鏡原路返回，兩束再次合束，合束后攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息 部分進行干涉產生干涉條紋;經第一濾光片后由接收CCD接收得到不同時刻的干涉圖樣;反 演得到反射鏡樣品的損傷程度。
[0017] 準直裝置采用一對互相平行的第一和第二全反射鏡，實現光路準直。
[0018] 能量調諧器包括旋轉玻片和兩個偏振反射鏡，旋轉波片可以改變主激光的偏振方 向，經過兩片互相平行的偏振反射鏡后，使得主激光為原來的偏振方向，保證了主激光的偏 振度，同時改變能量;主激光的能量可自動調節，實現相同脈寬，相同光斑不同激光能量下 對樣品損傷程度的測量。
[0019] 主激光調節光路裝置包括一對互相平行的第一和第二部分光反射鏡，通過調節第 一和第二部分光反射鏡保證主激光入射的光斑在反射鏡樣品表面移動的位置不變。第一部 分光反射鏡后設置能量計，主激光經過第一部分光反射鏡后，一部分光透過進入能量計，進 行實時能量監測。第二部分光反射鏡后設置濾光片和回光監測CCD，主激光經過第二部分光 反射鏡后，一部分光透過經第二濾光片后進入回光監測CCD，接收回光信號。當主激光入射 到反射鏡樣品上，反射鏡樣品未被損壞時在背散射光監測處會有基頻回光，通過第二濾光 片后在回光監測CCD上監測不到;若反射鏡樣品損壞，主激光入射后在反射鏡樣品表面瞬間 產生等離子體，背散射光中混有其他頻率光，經過第二濾光片后在回光監測CCD上可以監測 到亮斑。第二濾光片采用基頻光濾光片。
[0020] 第一透鏡放置在第一平移臺上，第一平移臺沿垂直于反射鏡樣品表面的方向一維 移動，以調節第一透鏡與反射鏡樣品表面之間的距離，從而調節主激光入射至反射鏡樣品 上的光斑大小，因此可以任意改變光斑的大小。
[0021] 主激光以0°角入射至反射鏡樣品表面，反射鏡樣品為0°反射鏡。
[0022] 入射的線偏振激光經第一分束片后，分成兩束，一束光作為主激光，另一束光倍頻 后作為探測光，避免了主激光基頻光的干擾，測量到的干涉圖背景很低。
[0023]倍頻晶體采用偏硼酸鋇BBO晶體、磷酸二氫鉀KDP和三硼酸鋰LBO中的一種，從倍頻 晶體出射后的倍頻光作為探測光。
[0024]探測光調節光路裝置包括互相垂直的第四和第五全反射鏡，探測光經第四和第五 全反射鏡準直后以90°角入射至反射鏡樣品表面。
[0025]延時光路裝置包括互相垂直的第六和第七全反射鏡，互相垂直的第六和第七全反 射鏡固定在第二平移臺上，通過沿平行于光路方向一維移動平移臺，從而改變探測光的延 時，探測到主激光入射到反射鏡樣品表面后產生的等離子體在一定時間尺度內的演化過 程，在飛秒、皮秒和納秒后的不同反應，主激光入射至反射鏡樣品表面后的不同時刻探針光 經過，可以在接收CCD中得到不同時刻的干涉圖樣。
[0026] 本發明的另一個目的在于提供一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測 量方法。
[0027] 本發明的利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量方法，包括以下步驟：
[0028] 1)線偏振激光經準直裝置準直，經過第一分束片，一束光作為主激光到能量調諧 器，經能量調諧器后，保持原來的偏振方向，同時能量改變；
[0029] 2)通過主激光調節光路裝置，保證主激光的光斑在反射鏡樣品表面的位置不變；
[0030] 3)通過放置在第一平移臺上的第一透鏡聚焦，調節主激光入射至反射鏡樣品上的 光斑大小；
[0031] 4)主激光以0°角入射至反射鏡樣品表面；
[0032] 5)若主激光對反射鏡樣品產生損傷，則在反射鏡樣品的表面產生等離子體；
[0033] 6)經過第一分束片的另一束光經第二透鏡聚焦到倍頻晶體上，出射的倍頻光經過 第三透鏡準直后形成平行光，作為探測光入射至探測光調節光路裝置;探測光經探測光調 節光路裝置調節后，經延時光路裝置調節探測光的延時；
[0034] 7)從延時光路裝置出射后，探測光以90°角入射至反射鏡樣品；探測光的光束直徑 大于反射鏡樣品產生的等離子體區域的寬度，經過反射鏡樣品后的探測光一部分攜帶著等 離子體信息，另一部分未攜帶等離子體信息；
[0035] 8)探測光經第二分束片分成兩束，一束經過直角棱鏡反射，這一束中攜帶著等離 子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分發生翻折；另一束經0°反射鏡原路返回，兩束再 次合束，合束后攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條 紋；
[0036] 9)經第一濾光片后由接收CXD接收得到干涉圖樣；
[0037] 10)干涉條紋反演得到反射鏡樣品表面的等離子體分布情況；
[0038] 11)通過延時光路改變探測光的延時，探測主激光入射至反射鏡樣品表面后不同 時刻的干涉圖樣，得到主激光入射到反射鏡樣品上后產生的等離子體的演化過程，反演得 到反射鏡樣品的損傷情況。
[0039] 其中，在步驟5)中，判定主激光對反射鏡樣品是否產生損傷具體包括:主激光調節 光路裝置包括互相平行的第一和第二部分光反射;第二部分光反射鏡后設置濾光片和回光 監測CCD，由反射鏡樣品表面反射的回光，經過第二部分光反射鏡透過后，再經第二濾光片 進入回光監測CCD，接收回光信號，當主激光入射到反射鏡樣品上，反射鏡樣品未被損壞時 在背散射光監測處會有較強基頻回光，通過濾光片后在回光監測CCD上監測不到;若反射鏡 樣品損壞，主激光入射后在反射鏡樣品表面瞬間產生等離子體，背散射光中混有其他頻率 光，經過帶阻濾光片后在回光監測C⑶上監測到亮斑。
[0040] 在步驟10)中，干涉條紋反演得到反射鏡樣品的損傷程度，具體包括以下步驟：
[0041 ] i ·確定相位差變化Δφ⑴：
[0042]
[0043] 其中，Δφ(〇表示探測光經過等離子體區域引入的相位差，λ表示探測光波長，e為 等離子體區域的折射率，s表示積分路徑，I (X)為積分后得到的光程差變化；
[0044] ii .根據折射率變化值在路徑上的積分得到光程差I(X):
[0045:
[0046] 其中，I(X)表示積分后得到的光程差，e(r)表示沿著積分半徑的折射率，r沿軸向 做積分時的半徑，R等離子體邊界區域的積分半徑；
[0047] iii.將光程差I(X)作阿貝逆變換，得到相位差與等離子體的折射率的關系，由等 離子體的折射率得到等離子體的密度，進而得到反射鏡樣品的損傷程度，所以可以利用光 程差的變化得到反射鏡樣品表面的等離子體分布情況。
[0048] 在干涉圖樣中如果能測到彎曲的干涉條紋表示反射鏡樣品的鏡面損傷了，若只有 平行的條紋就表示沒有損傷，測到的等離子體密度分布能直接看出表面被損傷后的樣子。 形成的等離子體的密度大小與主激光入射到反射鏡樣品表面后形成等離子體的膨脹時間 有關。
[0049] 本發明的優點：
[0050] 本發明采用將入射激光分束后，一束光作為主激光另一束倍頻后作為探測光；主 激光入射至反射鏡樣品表面，若損傷則表面產生等離子體;探測光的一部分攜帶等離子體 信息，攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條紋，通過 延時光路改變探測光的延時，探測主激光入射至反射鏡樣品表面后不同時刻的干涉圖樣， 得到主激光入射到反射鏡樣品上后產生的等離子體的演化過程，反演得到反射鏡樣品的損 傷情況;本發明實時監測不同能量不同功率密度情況下飛秒激光對0°反射鏡的損傷情況， 可用于光學鍍膜領域中損傷閾值的測量，并結合干涉測量，從得到的干涉圖像中分析其損 傷的物理過程，對飛秒反射鏡損傷閾值的提高方法改進有指導性意義。
【附圖說明】
[0051] 圖1為本發明的利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置的一個實施例 的不意圖；
[0052] 圖2為本發明的利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置中的探測光分 成兩束干涉的局部放大示意圖。
【具體實施方式】
[0053]下面結合附圖，通過具體實施例，進一步闡述本發明。
[0054]如圖1所示，本實施例的利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置包括： 互相平行的第一和第二全反射鏡1和2、第一分束片3、旋轉玻片4結合第一和第二偏振反射 鏡6和7構成的能量調諧器、互相平行的第一和第二部分光反射鏡8和9、第一透鏡10、第二透 鏡11、倍頻晶體12、第三透鏡13、互相垂直的第四和第五全反射鏡14和15、互相垂直第六和 第七全反射鏡16和17、第二分束片20、直角棱鏡21、0°反射鏡22和接收CCD29;其中，線偏振 激光經互相平行的第一和第二全反射鏡1和2構成的準直裝置準直，經過第一分束片3,反射 的90 %的能量作為主激光，經第三全反射鏡4反射后到達旋轉玻片5，改變偏振方向，經互相 平行的第一和第二偏振反射鏡6和7后保持原來的偏振方向，同時能量改變;經互相平行的 第一和第二部分光反射鏡8和9構成的主激光調節光路裝置，保證主激光經第一透鏡10聚焦 后的光斑在反射鏡樣品表面的位置不變;第一透鏡聚焦10安裝在第一平移臺上，調節主激 光入射至反射鏡樣品上的光斑大小；主激光以0°角入射至反射鏡樣品表面;第一部分光反 射鏡8有5%的漏光經分束片24反射后進入二階相關儀25中進行脈寬測量;分束片24透過的 50 %的光進入到能量計26中，進行實時能量監測;第二部分反射鏡9具有5 %的漏光，當反射 鏡樣品19有損傷時，在第二部分反射鏡9后安裝第二濾光片27和回光監測CCD28,接收回光 信號;經過第一分束片3透射的10%的光經第二透鏡11聚焦到倍頻晶體12上，出射的倍頻光 經過第三透鏡13準直后作為探測光平行入射至互相垂直的第四和第五全反射鏡14和15構 成的探測光調節光路裝置;探測光經探測光調節光路裝置準直后，經固定在第二平移臺的 互相垂直第六和第七全反射鏡16和17構成的延時光路裝置調節探測光的延時;從延時光路 裝置出射后，探測光以90°角入射至反射鏡樣品19,即探測光沿著反射鏡樣品表面經過;如 圖2所示，探測光的光束直徑大于反射鏡樣品產生的等離子體區域的寬度，探測光一部分攜 帶著等離子體信息，另一部分未攜帶等離子體信息，圖2中的黑色圓點代表等離子體信息； 探測光經第二分束片20分成兩束，一束經過直角棱鏡21反射，并且光束覆蓋直角棱鏡21的 中線，這一束中攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分發生翻折；另一束經 0°反射鏡22原路返回至第二分束片20,兩束再次合束，合束后攜帶著等離子體信息部分與 未攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條紋，合束后上半部分和下半部分都可以產生 干涉，接收CCD只接收一部分就可以得到干涉條紋;經第一濾光片23后由接收CCD29接收得 到不同時刻的干涉圖樣;反演得到反射鏡樣品的損傷程度。
[0055]最后需要注意的是，公布實施例的目的在于幫助進一步理解本發明，但是本領域 的技術人員可以理解:在不脫離本發明及所附的權利要求的精神和范圍內，各種替換和修 改都是可能的。因此，本發明不應局限于實施例所公開的內容，本發明要求保護的范圍以權 利要求書界定的范圍為準。
【主權項】
1. 一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量裝置，其特征在于，所述測量裝 置包括:準直裝置、第一分束片、能量調諧器、主激光調節光路裝置、第一透鏡、第二透鏡、倍 頻晶體、第三透鏡、探測光調節光路裝置、延時光路裝置、第二分束片、直角棱鏡、0°反射鏡 和接收CXD;其中，線偏振激光經準直裝置準直，經過第一分束片，一束光作為主激光到達能 量調諧器，經能量調諧器后保持原來的偏振方向，同時能量改變;經主激光調節光路裝置， 保證主激光的光斑在反射鏡樣品表面的位置不變;經放置在第一平移臺上的第一透鏡聚 焦，調節主激光入射至反射鏡樣品上的光斑大小;主激光以0°角入射至反射鏡樣品表面;若 主激光對反射鏡樣品產生損傷，則在反射鏡樣品的表面產生等離子體;經過第一分束片后 另一束光經第二透鏡聚焦到倍頻晶體上，出射的倍頻光經過第三透鏡準直后形成平行光， 作為探測光入射至探測光調節光路裝置;探測光經探測光調節光路裝置調節后，經延時光 路裝置調節探測光的延時;從延時光路裝置出射后，探測光以90°角入射至反射鏡樣品；探 測光的光束直徑大于反射鏡樣品產生的等離子體區域的寬度，經反射鏡樣品后的探測光一 部分攜帶著等離子體信息，另一部分未攜帶等離子體信息;探測光經第二分束片分成兩束， 一束經過直角棱鏡反射，這一束中攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分發 生翻折;另一束經0°反射鏡原路返回，兩束再次合束，合束后攜帶著等離子體信息部分與未 攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條紋;經第一濾光片后由接收CCD接收得到不同 時刻的干涉圖樣;反演得到反射鏡樣品的損傷程度。2. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述準直裝置采用一對互相平行的第一 和第二全反射鏡。3. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述能量調諧器包括旋轉玻片和兩個偏 振反射鏡，旋轉波片改變主激光的偏振方向，經過兩片互相平行的偏振反射鏡后，使得主激 光為原來的偏振方向，保證了主激光的偏振度，同時改變能量。4. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述主激光調節光路裝置包括一對互相 平行的第一和第二部分光反射鏡。5. 如權利要求4所述的測量裝置，其特征在于，所述第一部分光反射鏡后設置能量計， 主激光經過第一部分光反射鏡后，一部分光透過進入能量計，進行實時能量監測;所述第二 部分光反射鏡后設置濾光片和回光監測CCD，主激光經過第二部分光反射鏡后，一部分光透 過經第二濾光片后進入回光監測CCD，接收回光信號。6. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述第一透鏡放置在第一平移臺上，第 一平移臺沿垂直于反射鏡樣品表面的方向一維移動。7. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述探測光調節光路裝置包括互相垂直 的第四和第五全反射鏡。8. 如權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述延時光路裝置包括互相垂直的第六 和第七全反射鏡，互相垂直的第六和第七全反射鏡固定在第二平移臺上，第二平移臺沿平 行于光路方向一維移動。9. 一種利用飛秒激光實時測量反射鏡損傷閾值的測量方法，其特征在于，所述測量方 法包括以下步驟： 1)線偏振激光經準直裝置準直，經過第一分束片，一束光作為主激光到能量調諧器，經 能量調諧器后，保持原來的偏振方向，同時能量改變； 2) 通過主激光調節光路裝置，保證主激光的光斑在反射鏡樣品表面的位置不變； 3) 通過放置在第一平移臺上的第一透鏡聚焦，調節主激光入射至反射鏡樣品上的光斑 大小； 4) 主激光以0°角入射至反射鏡樣品表面； 5) 若主激光對反射鏡樣品產生損傷，則在反射鏡樣品的表面產生等離子體； 6) 經過第一分束片的另一束光經第二透鏡聚焦到倍頻晶體上，出射的倍頻光經過第三 透鏡準直后形成平行光，作為探測光入射至探測光調節光路裝置;探測光經探測光調節光 路裝置調節后，經延時光路裝置調節探測光的延時； 7) 從延時光路裝置出射后，探測光以90°角入射至反射鏡樣品；探測光的光束直徑大于 反射鏡樣品產生的等離子體區域的寬度，經過反射鏡樣品后的探測光一部分攜帶著等離子 體信息，另一部分未攜帶等離子體信息； 8) 探測光經第二分束片分成兩束，一束經過直角棱鏡反射，這一束中攜帶著等離子體 信息部分與未攜帶等離子體信息部分發生翻折；另一束經0°反射鏡原路返回，兩束再次合 束，合束后攜帶著等離子體信息部分與未攜帶等離子體信息部分進行干涉產生干涉條紋； 9) 經第一濾光片后由接收CCD接收得到干涉圖樣； 10) 干涉條紋反演得到反射鏡樣品表面的等離子體分布情況； 11) 通過延時光路改變探測光的延時，探測主激光入射至反射鏡樣品表面后不同時刻 的干涉圖樣，得到主激光入射到反射鏡樣品上后產生的等離子體的演化過程，反演得到反 射鏡樣品的損傷情況。10.如權利要求9所述的測量方法，其特征在于，在步驟10)中，干涉條紋反演得到反射 鏡樣品的損傷程度，具體包括以下步驟： i.確定相位差變化Δ? 〃夂其中，A:(p(t)表示探測光經過等離子體區域引入的相位差，λ表示探測光波長，e為等離 子體區域的折射率，s表示積分路徑，I (X)為積分后得到的光程差變化； ii .根據折射率變化值在路徑上的積分得到光程差IU):其中，Κχ)表示積分后得到的光程差，e(r)表示沿著積分半徑的折射率，r沿軸向做積 分時的半徑，R等離子體邊界區域的積分半徑； iii.將光程差I(X)作阿貝逆變換，得到相位差與等離子體的折射率的關系，由等離子 體的折射率得到等離子體分布情況。
【文檔編號】G01M11/02GK105890878SQ201610341121
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年5月20日
【發明人】盧海洋, 李榮鳳, 高樹超, 劉建波, 趙研英, 顏學慶
【申請人】北京大學