用于壓力傳感器的平衡方法和設備的制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種用于壓力傳感器(102)的平衡方法(200)，所述方法具有加載的步驟(202)和求取的步驟(204)。在所述加載的步驟(202)中，以參考壓力變化過程(106)和參考溫度變化過程(110)加載所述壓力傳感器(102)，以便在所述壓力傳感器(102)上得到與所述參考壓力變化過程(106)和所述參考溫度變化過程(110)相關的電的傳感器電壓變化過程(116)。在求取的步驟(204)中，在使用所述傳感器電壓變化過程(116)的至少一個電壓值(130)、所述參考壓力變化過程(106)的至少一個特征壓力值(126)以及所述參考溫度變化過程(110)的至少一個特征溫度值(128)的情況下求取所述壓力傳感器(102)的至少一個參考參數(130)，以便平衡所述壓力傳感器(102)。
【專利說明】
用于壓力傳感器的平衡方法和設備
技術領域
[0001] 本發明涉及一種用于壓力傳感器的平衡方法、一種相應的設備以及一種相應的計 算機程序。
【背景技術】
[0002] 在沒有相對于已知的參考參量進行平衡的情況下，以電壓值或電流描繪物理參量 的傳感器或傳感器元件可能僅僅有限地用于物理參量的測量，因為物理參量和傳感器的傳 感器信號之間的關系未知或者僅僅不充分地已知。
[0003] DE 10 2012 222 312 A1描述了用于特征化溫度傳感器的方法和設備。

【發明內容】

[0004] 在此背景下，借助在此所提出的方案提出根據主權利要求的用于壓力傳感器的方 法、使用所述方法的設備以及相應的計算機程序產品。有利的構型由相應的從屬權利要求 和隨后的描述得出。
[0005] 壓力傳感器以電壓力信號描繪壓力。在此，壓力以壓力信號的描繪附加地是溫度 相關的。換言之，壓力傳感器根據壓力傳感器的傳感器元件處的溫度在相同的壓力時提供 不同的電值。為了與溫度無關地得到壓力信號，需要壓力信號的溫度補償。
[0006] 所述補償可以通過至少一個補償參數或參考參數實現。在此，可以對于每一個單 個的壓力傳感器求取補償參數。
[0007] 提出用于壓力傳感器的平衡方法，其中，所述平衡方法具有以下步驟：
[0008] 以參考壓力變化過程和參考溫度變化過程加載壓力傳感器，以便在壓力傳感器上 得到與參考壓力變化過程和參考溫度變化過程相關的電的傳感器電壓變化過程;以及
[0009] 在使用傳感器電壓變化過程的至少一個電壓值、參考電壓變化過程的至少一個特 征壓力值以及參考溫度變化過程的至少一個特征溫度值的情況下求取壓力傳感器的至少 一個參考參數，以便平衡壓力傳感器。
[0010]壓力傳感器可以理解為具有壓力敏感的傳感器元件的傳感器。在此，壓力可以作 用于傳感器元件并且引起傳感器元件的彈性變形。所述變形也可以通過在傳感器元件的相 對置的側上的壓力差引起。所述變形能夠以電信號來描述。傳感器元件以反作用力抵抗所 述變形。所述反作用力取決于傳感器元件的材料的材料特征值。所述材料特征值又可以是 與溫度相關的。由此，電信號可以不僅是與壓力相關的，而且是與溫度相關的。換言之，溫度 變化同樣引起信號變化、如壓力變化。信號變化可以參照已知的溫度變化和已知的壓力變 化來設置。在此，具有至少一個溫度差的參考溫度變化過程例如通過限定的能量輸入優選 借助電磁感應產生。
[0011] 可以通過電磁感應以參考溫度變化過程加載壓力傳感器。可以通過感應參數來控 制參考溫度變化過程。通過感應，可以快速且有效地以參考溫度變化過程加載壓力傳感器。 感應參數、例如電磁波的波長和振幅直接可供使用。
[0012 ]可以通過感應來在空間上與壓力傳感器的傳感器元件間隔開的加熱區域中加熱 壓力傳感器。可以通過壓力傳感器中的熱管路來加熱傳感器元件。通過加熱區域和傳感器 元件之間的間距可以保護傳感器元件和/或所屬的電子器件免受感應影響。
[0013] 在參考溫度變化過程期間在卸載時間段(Entspannungszeitraum)上能夠以卸載 溫度值加載壓力傳感器，以便在卸載時間段內使壓力傳感器中的機械應力卸載。通過在平 衡期間使傳感器中的或傳感器元件上的應力卸載，基于運行中的卸載可以降低或者防止傳 感器信號的信號漂移。由此，可以實現長時間穩定的壓力傳感器。
[0014] 參考溫度變化過程可以包括至少一個在兩個溫度值之間的特征溫度差。在使用所 述溫度差的情況下求取參考參數。通過已知的溫度差可以與絕對溫度無關地并且因此與溫 度影響無關地進行平衡。
[0015] 參考壓力變化過程可以包括第一特征壓力值和至少一個第二特征壓力值。至少一 個第一參考參數可以在使用第一特征壓力值的情況下求取。至少一個第二參考參數可以在 使用第二特征壓力值的情況下求取。多個參考參數可以在壓力變化過程和/或溫度變化過 程期間求取。通過多個參考參數可以更精確地平衡壓力傳感器。
[0016] 參考壓力變化過程和參考溫度變化過程可以彼此無關地調節。因此，可以與取決 于溫度的參考參數無關地求取取決于壓力的參考參數。
[0017] 此外，在此所提出的方案實現一種用于平衡壓力傳感器的設備，所述設備構造用 于在相應的裝置中實施、控制或實現在此所提出的方法的一種變型方案的步驟。本發明所 基于的任務也可以通過本發明的以設備形式的這種實施變型方案快速且有效地解決。
[0018] 在此，設備可以理解為處理傳感器信號并且據此輸出控制信號和/或數據信號的 電設備。所述設備可以具有可能按照硬件方式和/或按照軟件方式構造的接口。當按照硬件 方式構造時，所述接口例如可以是所謂的系統ASIC的一部分，其包含所述設備的不同功能。 然而，所述接口也可能是單獨的集成電路或者至少部分地由分立的組件組成。當按照軟件 構造時所述接口可以是例如在微控制器上與其他軟件模塊并存的軟件模塊。
[0019] 計算機程序產品或計算機程序也是有利的，其具有程序代碼，其存儲在機器可讀 的載體或存儲介質一一例如半導體存儲器、硬盤存儲器或光學存儲器上并且用于尤其當在 計算機或設備上執行所述程序產品或程序時實施、實現和/或控制根據以上所述的實施方 式中任一種所述的方法的步驟。
【附圖說明】
[0020] 以下借助附圖示例性地進一步闡述在此所提出的方案。附圖示出：
[0021] 圖1:根據本發明的一個實施例的用于平衡壓力傳感器的設備的框圖；
[0022] 圖2:根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法的流程圖；
[0023] 圖3:根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法的時間變化過程；
[0024] 圖4:在根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法期間的溫度變化 過程；以及
[0025] 圖5:壓力傳感器在根據本發明的一個實施例的平衡期間的錯誤顏色示圖。
[0026] 在本發明的有利實施例的隨后描述中，對于在不同示圖中所示出的并且相似作用 的元素使用相同或相似的參考標記，其中不對這些元素進行重復描述。
【具體實施方式】
[0027] 圖1示出根據本發明的一個實施例的用于平衡壓力傳感器102的設備100的框圖。 設備100具有用于提供壓力106的裝置104、用于提供溫度110的裝置108、用于求取的裝置 112和用于控制用于提供的裝置104、108的控制裝置114。
[0028] 控制裝置114和用于提供的裝置104、108構造用于以參考壓力變化過程106和參考 溫度變化過程110加載壓力傳感器102,以便在傳感器102上得到與參考壓力變化過程106和 參考溫度變化過程110相關的電的傳感器電壓變化過程116。為此，控制裝置114通過壓力控 制信號118和溫度控制信號120控制用于提供的裝置104、108。
[0029] 通過設備100的接口 122讀取傳感器電壓變化過程116并且為用于求取的裝置112 提供所述傳感器電壓變化過程以進一步應用。
[0030] 用于求取的裝置112使用傳感器電壓變化過程116的至少一個電壓值124、參考壓 力變化過程106的至少一個特征壓力值126以及參考溫度變化過程110的至少一個特征溫度 值128,以便求取壓力傳感器102的至少一個參考參數130。在所述實施例中，由控制裝置114 提供壓力值126和溫度值128。壓力值126和溫度值128也可以在使用沒有示出的參考傳感器 的情況下檢測，其優選通過傳感器接近式溫度測量裝置、如系統ASIC、高溫計(Pyrometer) 檢測。參考參數130用于平衡壓力傳感器102。
[0031] 在一個實施例中，用于提供溫度110的裝置108是感應裝置108。所述感應裝置108 構造用于通過電磁感應以參考溫度變化過程110來加載所述壓力傳感器102。在此，溫度控 制信號120控制感應裝置108的感應參數。感應參數例如可以是電磁波的頻率、電磁波的振 幅和/或感應裝置108和壓力傳感器102之間的空隙的寬度。
[0032] 圖2示出根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法200的流程圖。所 述平衡方法200可以在其如圖1所示的平衡設備上實施。所述平衡方法200具有加載的步驟 202和求取的步驟104。在加載的步驟202中，以參考壓力變化過程和參考溫度變化過程加載 壓力傳感器，以便在壓力傳感器上得到與參考壓力變化過程和參考溫度變化過程相關的電 的傳感器電壓變化過程。在求取的步驟204中，在使用傳感器電壓變化過程的至少一個電壓 值、參考壓力變化過程的至少一個特征壓力值以及參考溫度變化過程的至少一個特征溫度 值的情況下求取壓力傳感器的至少一個參考參數，以便平衡壓力傳感器。
[0033]換言之，圖2示出用于精確平衡壓力傳感器的方法200的流程圖。
[0034]當今壓力傳感器的系統行為的變化要求通過壓力和溫度的平衡，以便遵守特征曲 線公差。對未來幾代的要求的中心在于在考慮平衡耗費的情況下所述公差的持續減小。
[0035] 為了可以通過加熱周圍環境空氣來實現將傳感器加熱到90°C以進行特征化。由 此，得到長時間的溫度再控制過程（Umtemperierungsvorg丨inge)
[0036] 通過在此所提出的具有感應式加熱的方案得出相對于此縮短的運作時間 (Durch 1 auf ze i t)。由于在用于傳感器的測試系統中的相應地小的插接空間，產生小的空間 需求。此外，可以降低能量成本。快速加熱使更高階次的溫度系數的確定對于批量使用成為 可能。
[0037] 在傳感器元件的焊接之后，壓力傳感器可以具有可逆的輸出電壓變化。所述輸出 電壓變化通過車輛中的大于l〇〇°C的第一溫度范圍消除(abbauen)。通過在此所提出的方案 可以容易地均衡平衡之前的漂移。
[0038] 通過在此所提出的方案可以提高質量或檢查精確度。此外，可以減小特征曲線公 差、所需要的檢查耗費以及檢查成本。
[0039] 壓力傳感器的與溫度相關的平衡系數的準確求取是與絕對溫度無關的，而與溫度 差有關。在此所提出的具有感應式加熱的調節過程通過溫度差的借助感應參數的確定取代 到準確溫度上的加熱。在此，縮短的加熱時間能夠實現傳感器的持續接通并且由此能夠實 現更高階次的溫度系數的簡化求取。
[0040] 在此所提出的平衡可以通過一個唯一的簡化的過程取代不僅至今的平衡系統的 空間加熱區域而且用于均衡漂移的生產步驟。
[0041 ]在此，可以縮短加熱時間，由此可以顯著縮短測試系統的長度并且顯著縮短運作 時間。得出更高階次的溫度系數的簡化測量。此外，通過更高的效率得出能量需求的降低。 附加地，檢查范圍可以通過已擴展的溫度范圍來擴展。使精確性提高一偏置漂移的量值是 可能的。
[0042] 壓力傳感器元件的橋電壓UBR除受其相對于壓力p和偏置0的敏感度E以外也受相 對于溫度差T 一 To的敏感度的影響。所述相關性由偏置的溫度系數ΤΚ0與敏感度的溫度系數 TKE特征化。
[0043] Ubr = E(T) · ρ+0(Τ)
[0044] 其中，
[0045] 0(Τ)=0+ΤΚ01 · (Τ-Τ〇)+ΤΚ02 · (Τ-Το)2+...
[0046] Ε(Τ)=Ε · (ΤΚΕ1 · (Τ-Το)+ΤΚΕ2 · (Τ-Το)2+· · ·)
[0047] 在此所提出的平衡過程利用以下:借助所引入的確定的熱量QIN，傳感器中的相同 的溫度變化T 一 To始終與相同的特定的熱容c和質量m關聯。
[0048] T-To = Qin/(c · m)
[0049] 所引入的熱量QIN可表示為與感應設備的運行參數(勵磁頻率f、感應電流I)和傳感 器材料的運行參數(磁導率P、特定的電阻P、構件厚度d)以高的可復現性的相關性。
[0050] Qin · t = k · Ι2(μ · Ρ · f)0'5 [00511這適用于趨膚深度：
[0052] σ=(ρ/(μ · f))°-5<d/2
[0053] 在沒有壓力加載的情況下得出平衡的測量點的橋電壓：
[0054] Ubr(p = 0) =0+TK01 · (Qin/(c · m))+TK02 · (Qin/(c · m))2
[0055] 以及在壓力加載的情況下得出：
[0056] Ubr = E · ρ · (1+TKE1 · (Qin/(c · m))+TKE2 · (Qin/(c · m))2+. · ·)
[0057] +TK01 · (Qin/(c · m))+TK02 · (Qin/(c · m))2
[0058] 有利地，根據隨后描述的平衡制度(Abgleichregime)進行用于實現在此所提出的 平衡方法的測量。
[0059] 通過電和氣動接通傳感器。在多個步驟中，首先在壓力加載的情況下加熱傳感器 以便確定TKE，而隨后無壓力地加熱傳感器以便確定ΤΚ0。在溫度的每一次升高之后實現傳 感器電壓的反測，而不需要重新的電接通。溫度差的確定可以以上提及的途徑在無單獨的 溫度測量的情況下實現。溫度變化的中間步驟可以根據平衡參數的所需要的階次提高直至 連續的加熱過程。
[0060] 由所述測量得出可以根據系統參數0、Ε、ΤΚ01. .η、ΤΚΕ1. .η求解的方程組。
[0061] 圖3示出所述平衡過程的示例性實現。
[0062] 對于所示出的平衡制度替代地，使用加熱的第一部分來克服由焊接過程決定的漂 移。通過高的加熱效率，可以將傳感器元件有效地置到所需要的大于l〇〇°C的溫度上。其余 溫度系數的求取可以在溫度范圍中在恢復偏置移位之后、在另一迭代步驟中或者通過隨后 的傳統的平衡來實現。在后一變型方案中，感應式的熱輸送在那里引起縮短的加熱階段。
[0063] 圖3示出根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法的時間變化過程 300。在此，所述平衡方法基本上相應于在圖2中所描述的平衡方法。
[0064]在使用代表參考壓力變化過程的壓力曲線302和代表參考溫度變化過程的溫度曲 線304的情況下示出變化過程300。壓力曲線302和溫度曲線304在一個共同的圖中繪出，在 其橫坐標上繪出連續的時間t。在縱坐標上一方面增大地繪出壓力值p而另一方面增大地繪 出溫度值T。在此，可以不同地標度壓力p和溫度T。在在此所示出的變化過程300中，既沒有 將壓力P描繪為絕對值，也沒有將溫度T描繪為絕對值。
[0065]在此，壓力P在第一壓力值PQ和第二壓力值P1之間波動。在此，壓力p快速地增大和 減小。壓力P尤其突然地減小和增大。壓力值PQ和P1可以稱作特征壓力值。
[0066] 在此，溫度T在第一溫度值To和第二溫度值1^之間波動。溫度T在此具有兩個中間 值。在此，中間值限界熱量QIN。
[0067] 在此，在變化過程300期間求取多個參考參數。對此，變化過程300具有三個階段 306、308、310。在所述變化過程的開始、在第一階段306的開始，壓力?從?〇增大到? 1。壓力?在 整個第一階段306期間保持在?1上。在第一階段306的結束時，壓力p再次從 P1減小到po。在第 一階段306中，求取兩個參考參數TKE1、TKE2。在第一階段306的開始時，溫度T保持在To上。 然后，溫度T增大到Q IN的下邊界值。在下邊界值上并且在？1時，在使用現在存在的傳感器電 壓的情況下求取第一參考參數TKE1。第一參考參數TKE1代表溫度敏感度系數。隨后，溫度T 增大到QIN的上邊界值。在上邊界值上并且在pdt，在使用現在存在的傳感器電壓的情況下 求取第二參考參數TKE2。第二參考參數TKE2同樣代表溫度敏感度系數。Q IN的下邊界值和QIN 的上邊界值之間的溫度差是獨特的。在求取溫度敏感度系數時，溫度差可以相對于下邊界 值處的壓力值和上邊界處的電壓值之間的電壓差地設置。
[0068]在第二階段308的開始時，壓力p從po下降到P1并且在整個第二階段308期間保持在 P0上。在第二階段308中，求取兩個另外的參考參數TK0UTK02。溫度T在第二階段308的開始 時保持在Qin上的邊界值上。在所述上邊界值上并且在po時，在使用現在存在的傳感器電壓 的情況下求取第三參考參數TK01。所述第三參考參數TK01代表溫度偏置系數。隨后，溫度T 增大到h。在TjPpo時，在使用現在存在的傳感器電壓的情況下求取第四參考參數TK02。第 四參考參數TK02同樣代表溫度偏置系數。在第二階段308的結束時，溫度T通過自然的熱輻 射從h下降到To。
[0069]在第三階段310中，求取兩個另外的參考參數0、E。在第三階段310的開始時，壓力p 在P0上。溫度T在To上。在使用現在存在的傳感器電壓的情況下求取第五參考參數0。第五參 考參數〇代表壓力傳感器的偏置。隨后，壓力P從po增大到 P1。在To和?1時，求取第六參考參數 E。第六參考參數E代表壓力傳感器的敏感度。在第三階段310的結束時，壓力p再次從P1下降 至 ijpo。
[0070] 在一個實施例中，在第一階段306之前以卸載溫度值加載壓力傳感器。在卸載時間 段上保持所述卸載溫度值，以便使壓力傳感器中的機械應力卸載。由此，可以實現在機械卸 載的壓力傳感器上的平衡。相對于緊張(verspannt)的傳感器，卸載的壓力傳感器具有改善 的熱穩定性或者減小的信號漂移。
[0071] 圖4示出在根據本發明的一個實施例的用于壓力傳感器的平衡方法期間的溫度變 化過程400、402、404、406。溫度變化過程400、402、404、406在時間溫度圖中繪出。在此，溫度 變化過程400、402、404、406代表壓力傳感器的不同部分區域處的溫度。在此，壓力傳感器在 加熱區域中被感應式地加熱。加熱區域的溫度通過第一溫度變化過程400描繪。其他溫度變 化過程402、404、406代表壓力傳感器的具有與所述加熱區域的越來越大的距離的區域。第 二溫度變化過程402代表壓力傳感器的中心處的溫度。第三溫度變化過程404代表壓力傳感 器的傳感器元件上的溫度，而第四溫度變化過程406代表壓力傳感器的固定元件上的溫度。 因此，溫度變化過程402、404、406相對于其與加熱區域的距離成比例地示出相對于加熱區 域的溫度變化過程400的時間延遲或者慣性。
[0072]由變化過程400、402、404、406可以識別到，所述壓力傳感器具有比可以通過感應 式加熱輸送的熱損失更小的熱損失。因此，在完成了至加熱區域的能量輸送之后，在公差范 圍內存在壓力傳感器(包含其傳感器元件在內）的一定的溫度穩定性。
[0073]由預試驗的不同部件的溫度變化過程400、402、404、406的比較示出從壓力接頭 (Druckstutzen)的下方區域至傳感器元件的足夠好的熱傳導性。能夠實現相應地快速的普 遍加熱（DurchwErmen )。
[0074] 在周圍環境溫度為20°C時，冷卻的梯度如此平，使得傳感器元件對于足夠長的時 間保持在圍繞所力求的平衡溫度的±4°C的通道中。
[0075] 測試傳感器直接在預檢查之后的完全特征化沒有得出失效部分。借助可靠性檢查 沒有確定出例如ASIC的可能導致稍后的區域失效的預先損壞。
[0076] 圖5示出在根據本發明的一個實施例的平衡期間壓力傳感器120的錯誤顏色示圖。 壓力傳感器102的表面溫度通過不同的陰影區域示出。
[0077]在加熱區域508的感應式加熱期間示出壓力傳感器102。在此可看出，加熱區域508 具有最高溫度，所述溫度沿著壓力接頭500降低，并且六棱形504、印制電路板506和傳感器 元件502的區域保持比加熱區域508顯著更冷。由此，在感應式加熱期間保護分析處理電子 器件不受電磁場的影響。在加熱期間并且在感應式加熱結束之后，來自加熱區域508的熱量 通過示出的熱流510有針對性地輸送到傳感器元件502。
[0078]有利地有針對性地在壓力接頭500的下方區域中進行感應式加熱的技術實現。由 預試驗的熱圖像示出限于壓力接頭500的下方區域508。
[0079]傳感器102的其他組成部分通過熱管路加溫，由此，傳感器102的電構件502、506較 少地暴露于所述場。傳感器輸出電壓此外由于印制電路板506的EMV接線不受感應式加熱損 害，其中，對于更強的磁場也能夠實現與勵磁頻率協調的過濾。
[0080] 僅僅示例性地選擇所描述的和示圖中所示出的實施例。可以完全地或者在單個特 征方面相互組合不同的實施例。一個實施例也可以通過另一個實施例的特征來補充。
[0081] 此外，可以重復實施以及以不同于所描述的順序的順序實施根據本發明的方法步 驟。
[0082]如果實施例在第一特征和第二特征之間包括"和/或"關系，則這樣理解:所述實施 例根據一種實施方式不僅具有第一特征而且具有第二特征而根據另一種實施方式或者僅 僅具有第一特征或者僅僅具有第二特征。
【主權項】
1. 一種用于壓力傳感器（102)的平衡方法(200)，其中，所述平衡方法(200)具有以下步 驟： 以參考壓力變化過程（106)和參考溫度變化過程（110)加載（202)所述壓力傳感器 (102)，以便在所述壓力傳感器（102)上得到與所述參考壓力變化過程（106)和所述參考溫 度變化過程(110)相關的電的傳感器電壓變化過程(116);以及 在使用所述傳感器電壓變化過程（116)的至少一個電壓值（124)、所述參考壓力變化過 程（106)的至少一個特征壓力值（126)以及所述參考溫度變化過程（110)的至少一個特征溫 度值（128)的情況下求取(204)所述壓力傳感器（102)的至少一個參考參數（130)，以便平衡 所述壓力傳感器（102)，尤其其中，通過限定的能量輸入來產生和/或控制具有至少一個溫 度差的參考溫度變化過程。2. 根據權利要求1所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202)中，通過電磁 感應以所述參考溫度變化過程（110)來加載所述壓力傳感器（102)，其中，通過感應參數 (120)來控制所述參考溫度變化過程。3. 根據權利要求2所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202)中，在空間上 與所述壓力傳感器（102)的傳感器元件(502)間隔開的加熱區域中通過所述感應來加熱所 述壓力傳感器（102)，其中，通過所述壓力傳感器（102)中的熱管路(510)加熱所述傳感器元 件（502)。4. 根據以上權利要求中任一項所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202) 中，在所述參考溫度變化過程（11 〇)期間在卸載時間段上以卸載溫度值加載所述壓力傳感 器(102)，以便在所述卸載時間段內使所述壓力傳感器(102)中的機械應力卸載。5. 根據以上權利要求中任一項所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202) 中，所述參考溫度變化過程（110)包括至少一個在兩個溫度值之間的特征溫度差(T一To)， 其中，在所述求取的步驟(204)中，在使用所述溫度差(T一To)的情況下求取所述參考參數 (130)，尤其通過傳感器中的限定的能量輸入和/或也通過靠近傳感器的溫度測量裝置、如 尤其系統ASIC和/或高溫計求取所述溫度差。6. 根據以上權利要求中任一項所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202) 中，所述參考壓力變化過程（106)包括第一特征壓力值(po)和至少一個第二特征壓力值 (pi)〇7. 根據權利要求6所述的平衡方法(200)，其中，在所述求取的步驟(204)中，在使用所 述第一特征壓力值(po)的情況下求取至少一個第一參考參數（130)，并且在使用所述第二 特征壓力值( Pl)的情況下求取至少一個第二參考參數(130)。8. 根據以上權利要求中任一項所述的平衡方法(200)，其中，在所述加載的步驟(202) 中，相互獨立地調節所述參考壓力變化過程(106)和所述參考溫度變化過程(110)。9. 一種設備（110)，其構造用于實施根據以上權利要求中任一項所述的方法(200)的所 有步驟。10. -種計算機程序，其設置用于實施根據以上權利要求中任一項所述的方法的所有 步驟。11. 一種機器可讀的存儲介質，其具有存儲在其上的根據權利要求10所述的計算機程 序。
【文檔編號】G01L19/04GK105865706SQ201610078448
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年2月4日
【發明人】T·武赫特, T·施塔克
【申請人】羅伯特·博世有限公司