氣體泄漏檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及氣體泄漏檢測裝置，更具體地，涉及一種在設置于半導體設備中的氣箱的閥門處設置捕集部，分別檢測從閥門泄漏的氣體，從而找出破損的閥門的氣體泄漏檢測裝置。
【背景技術】
[0002]—般，半導體制造設備在各種環境和工序下對晶片進行處理和加工，這些設備對晶片反復進行光刻、擴散、蝕刻、化學氣相沉積、金屬沉積等各種工序，從而制造成半導體芯片，而各個工序在各種有毒氣體以及溶液下進行。
[0003]因此，制造半導體的各個設備暴露在各種惡劣的環境下，各種有毒氣體引起設備腐蝕或者變形，從而縮短設備的壽命。由此縮短設備的替換周期，使得維護管理費用增加，而且還導致設備的工序中斷因而拖延產品生產。
[0004]其中，閥門使用氣壓閥，氣壓閥有栗(Diaphragm VaI ve:隔膜閥)或者氣動閥(Pneumatic Valve)等。
[0005]關于栗或者氣動閥，氣體流入管和氣體排出管分別連接于兩側，其利用從空氣供給部供給的高壓空氣的氣壓來控制從氣體流入管流向氣體排出管的氣體的流動。
[0006]栗或者氣動閥的結構為，隨著向位于從氣體流入管流入的氣體的流入部的隔膜(diaphragm)施加氣壓或者基于氣壓的壓力，由隔膜開閉流入部。
[0007]并且，注入到栗或者氣動閥的高壓空氣被排出到外部。
[0008]此時，如果持續的閥門動作使隔膜因疲勞現象而破裂，則從氣體流入管流入的有毒氣體會通過破裂的隔膜從形成在閥門的閥帽螺母處的排出孔排出，從而泄漏到外部。
[0009]為了解決這種以往的缺點，通過氣箱來對半導體制造設備內設置供給有毒氣體的多個閥門的部分進行隔離，同時設置用于排出有可能從閥門泄漏的有毒氣體的排氣口。并且，在排氣口處設置用于檢測有毒氣體的有毒氣體檢測器。
[0010]然而，因排氣口的負壓而使大量的外部空氣流入氣箱的內部，因此當有毒氣體從閥門泄漏時會與流入氣箱內部的外部空氣混合，從而降低所泄漏的有毒氣體的濃度，導致有毒氣體檢測器不工作。即，即便在排氣口處設置有毒氣體檢測器，也因隨著流入外部空氣而降低了有毒氣體濃度，從而不容易檢測出有毒氣體的泄漏，因此難以在早期發現有毒氣體的泄漏，對半導體工序造成異常。
[0011]此外，即便有毒氣體檢測器檢測到有毒氣體而通知使用者有毒氣體泄漏，也需要對一個半導體設備上的多個閥門一一進行分解，以確認閥門的隔膜有無受損。因此，找出受損閥門的耗時長，而且還中斷操作因而減少產量。
[0012]與此同時，現有的氣箱內除了有毒氣體之外還設置有控制氧氣、氮氣、氬氣等的流動的多個閥門，而設置于氣箱排氣口處的有毒氣體檢測器只能檢測特定的有毒氣體，因此難以同時檢測諸如氧氣、氮氣、氬氣等氣體的泄漏和有毒氣體的泄漏，未檢測到的有毒氣體或者其它氣體會對半導體工序造成異常。
[0013]此外，在半導體生產線上，栗或者氣動閥雖然也會隔著規定間隔設置，然而在特定區域緊密地排列。
[0014]此時，對于緊密排列的氣動閥來說，當持續的閥門動作使隔膜因疲勞現象而破裂時，如果用于向外部泄漏氣體的排出孔面向相鄰的氣動閥，則難以設置用于捕集氣體的結構。因此，需要開發這種氣動閥以及排出孔的位置不一定的氣動閥上都能夠適用的氣體捕集結構。
[0015]在先技術文獻
[0016](專利文獻I)日本公開專利公報特開號
[0017](專利文獻2)韓國實用新型公開公報第號
[0018](專利文獻3)韓國授權專利公報第1326766號
[0019](專利文獻4)韓國授權專利公報第0857235號

【發明內容】

[0020]所要解決的技術問題
[0021]為了解決如上所述的問題，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，通過在排氣管路連接捕集部和能夠檢測氣體的檢測部，所述捕集部中收容有控制氣體流動的各個氣壓閥并捕集從氣壓閥泄漏的氣體，由此防止從各個氣壓閥泄漏的氣體與從其它氣壓閥泄漏的氣體混合，從而能夠提高穩定性并且預防設備的損傷，同時通過檢測部實時檢測氣體泄漏，因此能夠實現實時監測。
[0022]此外，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，在設置于半導體生產線上的氣壓閥上設置捕集部時，利用翼形部嵌合于氣壓閥的上側乃至側面并將捕集部的捕集口和氣壓閥的排出孔相互對齊，或者將與吐出口連通并向另一側延伸的延伸部的末端插入結合于因氣壓閥破損而泄漏氣體的排出孔中，從而無需停止半導體生產線，不影響半導體生產線的工作，而且能夠避免停止半導體生產線引起的產量減少以及由此造成的費用損失等。
[0023]此外，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，當氣壓閥緊密排列時，與氣壓閥上泄漏空氣或氣體的排出孔的位置無關，能夠容易地將形成在捕集部和翼形部上的捕集口的位置移動到排出孔處，或者將軟質的捕集部拉伸或彎曲，從而能夠容易地將捕集口的位置移動到排出孔處，并且能夠通過固定構件的每個線圈的撐開的縫隙容易地嵌入捕集部并將其緊密固定在氣壓閥的外周面。
[0024]此外，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，因翼形件具有彈性力，不需要將捕集部緊密固定于氣壓閥上的額外結構，僅通過單純的結合即可相向地設置捕集部和泄漏孔，從而能夠容易地捕集從氣壓閥泄漏的空氣或者氣體，同時捕集口通過彈性力緊密結合于氣壓閥上，只捕集從氣壓閥泄漏的空氣或者氣體，從而能夠提高可靠性。
[0025]此外，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，通過端口電磁閥控制連接于端口電磁閥的多個排氣管路的排出與否，以便通過連接管路只將從連接于端口電磁閥的多個排氣管路中的某一個排氣管路排出的氣體排出到檢測部，從而防止從各個氣壓閥泄漏的氣體與從其它氣壓閥泄漏的氣體混合，由此提高穩定性并且預防設備的損傷，同時當檢測部檢測到氣體時控制端口電磁閥，從而迅速地自動找出檢測出氣體泄漏的氣壓閥，因此能夠進行實時的監測并且使設備迅速進行工作。
[0026]此外，本發明的目的在于提供一種氣體泄漏檢測裝置，當檢測部檢測到氣體時，控制器控制端口電磁閥以確定破損的氣壓閥，并將所確定的氣壓閥的固有信息顯示在顯示部上，從而使管理者容易地確定破損的氣壓閥，并且迅速地對所確定的氣壓閥進行管理，因此能夠提高設備的工作效率。
[0027]解決技術問題的方案
[0028]為了達成如上所述的目的，本發明涉及的氣體泄漏檢測裝置，包括:捕集部，在下端形成有開口部以便插入氣壓閥，在其一側形成有插入孔以及貫通孔，所述插入孔中貫穿有與氣壓閥結合的供氣管路，所述貫通孔用于向外部排出所述氣壓閥破損時泄漏的氣體；蓋子部，與形成在所述捕集部下端的開口部結合，用于防止從所述氣壓閥泄漏的氣體通過開口部排出；排氣管路，其一端與所述捕集部的貫通孔連接，用于將從所述氣壓閥泄漏的氣體排出到外部；以及檢測部，連接于所述排氣管路的另一端，用于檢測通過所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述蓋子部包括一對蓋子構件，所述一對蓋子構件上形成有槽，以包圍所述氣壓閥的外周面。
[0029]本發明的另一實施例涉及的氣體泄漏檢測裝置，包括:捕集部，上下貫通以便插入氣壓閥，在上下端形成有開口部以及向外部排出所述氣壓閥破損時泄漏的氣體的貫通孔；蓋子部，與形成在所述捕集部上下端的開口部結合，以防止從所述氣壓閥泄漏的氣體通過開口部排出；排氣管路，其一端與所述捕集部的貫通孔連接，以將從所述氣壓閥泄漏的氣體排出到外部；以及檢測部，連接于所述排氣管路的另一端，用于檢測通過所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述蓋子部包括一對蓋子構件，所述一對蓋子構件上形成有槽，以包圍所述氣壓閥的外周面。
[0030]本發明的另一實施例涉及的氣體泄漏檢測裝置，包括:捕集部，用于捕集因氣壓閥破損而泄漏的氣體;排氣管路，其一端與所述捕集部的吐出口結合，用于將從所述捕集部的吐出口排出的排氣排出到外部;檢測部，結合于所述排氣管路的另一端，用于檢測通過所述排氣管路排出的排氣中所包含的氣體，所述捕集部具有捕集口，所述捕集口緊密固定于所述氣壓閥破損時泄漏氣體的排出孔處以捕集所述氣體，所述捕集部還包括翼形部，所述翼形部由分別突出于兩側并包圍所述氣壓閥外周面的一對翼形件構成，所述一對翼形件具有相向的彈性力。
[0031]此外，其特征在于，泄漏氣體的排出孔形成在所述氣壓閥的上下，所述捕集部朝上部延伸形成，并且在上部還形成有用于捕集所述氣壓閥破損時泄漏的氣體的捕集口。
[0032]此外，其特征在于，所述翼形件彎曲或者折彎形成，并且通過朝向所述氣壓閥的彈性力來彈性支撐所述氣壓閥的外周面，并將所述捕集口緊密結合于所述排出孔處。
[0033]此外，其特征在于，所述捕集口沿著所述翼形件的長度方向呈長孔狀。
[0034]此外，其特征在于，在所述捕集口的外周面涂布可剝離性粘接劑，從而將所述捕集部可拆裝地緊密固定于所述氣壓閥的外周面，以防止所述氣體泄漏。
[0035]本發明的另一實施例涉及的氣體泄漏檢測裝置，其特征在于，包括:捕集部，用于捕集因氣壓閥破損而泄漏的氣體，在所述捕集部中的形成有吐出所捕集的氣體的吐出口的一側設置有套入孔;排氣管路，其一端插入結合于所述套入孔中，以便將從所述捕集部的吐出口排出的排氣排