專利名稱：檢查結果輸出裝置和方法及基板檢查系統和方法
技術領域：
本發明涉及在檢查基板上的器件安裝部位(其中也包括焊接部位，以下簡稱為器件安裝部位)的工序中根據對基板上的器件安裝部位的檢查結果生成并輸出含有以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖的檢查結果輸出數據的檢查結果輸出裝置和檢查結果輸出方法、以及采用該檢查結果輸出裝置的基板檢查系統和采用該檢查結果輸出方法的基板檢查方法。
圖17示出在基板上安裝器件的工序(以下簡稱器件安裝工序)。
在該圖的焊膏印刷工序A中，在基板上的焊接部位、即銅箔的焊接區部分上用焊膏印刷裝置進行焊膏的印刷涂布。
然后在檢查工序B中，利用基板檢查裝置或基板檢查系統檢查基板上各個焊接部位的焊膏印刷狀態，并將檢查合格的基板送到器件裝配工序C。
在器件裝配工序C中，由組裝工將器件裝配在印刷涂布了焊膏的基板上。
接著在回流焊接工序D中，將已裝配了器件的基板放入回流爐中加熱，使焊膏熔化，將器件焊接在基板上。
最后在檢查工序E中，用基板檢查裝置或基板檢查系統檢查經過上述回流焊接處理已將器件焊接在基板上之后的各器件安裝部位的狀態。
上述基板檢查裝置由光投射部、光接收部、控制處理部構成。
光投射部有熒光燈光源、氖燈光源、激光光源、X射線光源等，使從光源發出的光照射在被檢查基板的器件安裝部位上。光源的通/斷由控制處理部控制。
光接收部有CCD彩色攝象機、或光電倍增管等，用于接收從基板上的反射光并將所得到的反射光影像的彩色圖象信號、由激光照射焊接部位所形成的光切割線的圖象信號、或由X射線照射產生的光電子圖象信號等光接收數據送到控制處理部。
控制處理部控制光投射部和光接收部的動作，并根據由光接收部輸入的光接收數據對被檢查部位進行檢查，根據其檢查結果生成指示基板是否合格、不合格基板的不合格部位等檢查結果數據文件，并將該檢查結果數據文件的內容輸出。
以下，說明具有上述結構的基板檢查裝置的動作。
由光投射部將光照射在基板的器件安裝部位，由光接收部接收反射光，并獲得反射光影像的彩色圖象信號等光接收數據，將該光接收數據送到控制處理部。
在控制處理部中，根據由光接收部輸入的光接收數據對被檢查部位進行檢查，根據該檢查結果生成檢查結果數據文件，并輸出該檢查結果數據文件的內容。
上述基板檢查系統由按照操作人員的要求將在線設置的上述基板檢查裝置和離線設置的、用于將基板檢查裝置中生成的檢查結果數據文件輸出的終端裝置構成。
上述基板檢查裝置或基板檢查系統按照預編程序的檢查結果輸出方法從器件安裝部位的檢查結果生成檢查結果數據文件，并輸出該檢查結果數據文件的內容。
在上述檢查結果輸出方法中，有在器件安裝部位的布置圖上識別和表示不合格部位等方法，例如，可舉出在特開平2-76080號公報、特開平5-332948號公報中記述的方法。
特開平2-76080號公報中的檢查結果輸出方法是用與器件形狀對應的形狀標記指示出安裝基板上的器件安裝部位，并顯示出用與合格部位標記色彩不同的顏色作出不合格部位標記(例如不合格部位的標記用紅色、合格部位標記用白色)來指示出不合格部位位置的布置圖。
而且，在上述布置圖以外的區域依次以文字顯示各不合格部位的不合格內容，同時上述布置圖上的不合格部位的標記還賦以不同的顏色(例如用黃色)，或采用將各不合格部位的不合格內容在上述布置圖以外的區域匯總顯示的方法。
而特開平5-332948號公報中的檢查結果輸出方法是顯示用與合格部位標記色彩不同的顏色作出不合格部位標記的布置圖、同時配以該不合格部位周圍的放大圖進行顯示的方法。
操作人員一面觀察上述顯示，一面進行不合格部位的修正作業。
但是，在上述現有的檢查結果輸出方法中，從布置圖不能知道不合格部位的不合格內容具體是哪一種，即不知道是焊料量不夠還是器件脫落等，很難判定放大圖放大的是布置圖的哪一部分，在依欱顯示不格內容的方式中，從其文字顯示很難立即看清所注視的不合格部位的不合格內容，在將不合格內容匯總顯示的方式中，很難判明所顯示的不合格內容與布置圖上的哪一個不合格部位相對應，所以不合格部位在基板上的位置及不合格內容的確認很費事，修正作業要花費很多時間。
另外，從上述布置圖不可能知道不合格器件的缺陷是突然發生的，還是持續發生的，所以在基板上的特定部位持續發生不合格等情況的器件安裝工序內，不能掌握其質量變化趨勢，延遲了向上游工序的反饋，因而存在對該工序內基板的器件安裝部位不能進行有效的質量管理的問題。
本發明是為解決上述現有技術存在的問題而開發的，其目的是提供一種能夠有效地進行基板不合格部位的修正作業及基板上器件安裝部位的質量管理的檢查結果輸出裝置和檢查結果輸出方法、以及采用該檢查結果輸出裝置的基板檢查系統和采用該檢查結果輸出方法的基板檢查方法。
為達到上述目的，根據本發明的第1方面和第6方面的檢查結果輸出裝置以及第11方面的基板檢查系統都備有布置圖生成裝置，用于生成以具有與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指示不合格部位的器件安裝部位的布置圖。
根據本發明的第3方面和第8方面的檢查結果輸出裝置以及第13方面的基板檢查系統都備有布置圖生成裝置，用于生成以不合格部位識別標記指示不合格部位位置并顯示所指定區域的放大圖、同時顯示該放大圖所示區域位置的布置圖。根據本發明第4方面和第9方面的檢查結果輸出裝置以及第14方面的基板檢查系統都備有布置圖生成裝置，用于生成以不合格部位識別標記指示不合格部位位置并用文字顯示出所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接的器件安裝部位布置圖。
根據本發明第5方面和第10方面的檢查結果輸出裝置以及第15方面的基板檢查系統都備有布置圖生成裝置，用于生成以不合格部位識別標記指示不合格部位位置并顯示出各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的器件安裝部位布置圖。
根據本發明第16方面的檢查結果輸出方法及第21方面的基板檢查方法用于生成以與不合格內容對應的形狀不同的不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出。
根據本發明第18方面的檢查結果輸出方法及第23方面的基板檢查方法，用于生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上顯示指定區域的放大圖，同時顯示出該放大圖所表示區域的位置，并將顯示出該放大圖所表示區域位置的布置圖輸出；根據本發明第19方面的檢查結果輸出方法及第24方面的基板檢查方法用于生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，用文字顯示在該布置圖上指示出的不合格部位的不合格內容，同時輸出將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接、并將該不合格內容與不合格部位識別標記用引出線相互連接的布置圖。
根據本發明第20方面的檢查結果輸出方法及第25方面的基板檢查方法用于生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上，顯示各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，并輸出顯示出該不合格的發生歷史情況的布置圖。
因此，按照本發明第1方面和第6方面的檢查結果輸出裝置、第11方面的基板檢查系統、第16方面的檢查結果輸出方法及第21方面的基板檢查方法，利用布置圖生成裝置生成以具有與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指示不合格部位的器件安裝部位的布置圖，并通過輸出該布置圖，能夠從布置圖迅速且正確地確認不合格部位的位置及其不合格內容，因而能有效地進行不合格部位的修正作業。
按照本發明第3方面和第8方面的檢查結果輸出裝置、第13方面的基板檢查系統、第18方面的檢查結果輸出方法及第23方面的基板檢查方法，利用布置圖生成裝置生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并在該布置圖上顯示指定區域的放大圖，同時顯示出該放大圖所表示區域的位置，通過將顯示出該放大圖所表示區域位置的布置圖輸出，能夠迅速且正確地確認放大圖放大的是布置圖的哪個位置，因而能有效地進行不合格部位的修正作業。
按照本發明第4方面和第9方面的檢查結果輸出裝置、第14方面的基板檢查系統、第19方面的檢查結果輸出方法及第24方面的基板檢查方法，利用布置圖生成裝置生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，用文字顯示在該布置圖上所指示的不合格部位的不合格內容、同時輸出將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線連接、并通過將該不合格內容與不合格部位識別標記用引出線連接的布置圖輸出，能夠迅速且正確地確認各不合格部位的不合格內容，因而能有效地進行不合格部位的修正作業。
按照本發明第5方面和第10方面0的檢查結果輸出裝置、第15方面的基板檢查系統、第20方面的檢查結果輸出方法及第25方面的基板檢查方法，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上，顯示各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，并通過輸出顯示出該不合格的發生歷史情況的布置圖，能夠掌握器件安裝部位的質量變化趨勢，因而能有效地進行器件安裝部位的質量管理。
圖1是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例的簡略結構圖。
圖2是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例的光投射部的結構圖。
圖3是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例的操作順序的流程圖。
圖4是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例中焊接面及其周圍的彩色圖象一例的說明圖。
圖5是表示設定不合格項目的一例的說明圖。
圖6是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例的檢查結果輸出畫面中的布置圖一例的說明圖。
圖7是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例中不合格部位識別標記的一例的說明圖。
圖8是表示安裝部位識別標記的數據結構一例的說明圖。
圖9是表示安裝部位識別標記設定畫面的一例的說明圖。
圖10是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例中不合格部位識別標記的數據結構一例的說明圖。
圖11是表示本發明的檢查結果輸出裝置第2實施例的檢查結果輸出畫面的一例的說明圖。
圖12是表示本發明的檢查結果輸出裝置第2實施例中不合格部位識別標記的數據結構一例的說明圖。
圖13是表示本發明的檢查結果輸出裝置第3實施例的檢查結果輸出畫面的一例的說明圖。
圖14是表示本發明的檢查結果輸出裝置第3實施例中不合格部位識別標記的數據結構一例的說明圖。
圖15是表示本發明的檢查結果輸出裝置第4實施例的檢查結果輸出畫面中的布置圖一例的說明圖。
圖16是是本發明的檢查結果輸出裝置第5實施例的簡略結構圖，及表示本發明的基板檢查系統的實施例的系統構成圖。
圖17是表示器件安裝工序的說明圖。
各附圖中的符號意義如下1 光投射部2 攝象部3 X軸工作臺部4 Y軸工作臺部5 控制處理部6 攝象控制器7 圖象處理部8、98 存儲部
9、99 輸入部10、100 輸出部11、101 布置圖生成部12、102 檢查文件生成部13、103 控制部15 被檢查基板91 基板檢查裝置92 生產線93 檢查結果輸出裝置94 1LAN電纜95 數據輸出部96 軟盤97 數據輸入部圖1是表示本發明的檢查結果輸出裝置第1實施例的簡略結構圖。
在圖1中，本檢查結果輸出裝置由光投射部1、攝象部2、X軸工作臺3、Y軸工作臺4及控制處理部5構成。
控制處理部5由攝象控制器6、圖象處理部7、存儲部8、輸入部9、輸出部10、布置圖生成部11、檢查結果輸出文件生成部12、及控制部13構成。
光投射部1具有紅色光源、綠色光源、藍色光源共3個環形熒光燈光源，將該三色光從不同的仰角照射在被檢查基板15的被檢查部位上。
該三色光源當三色光在被檢查部位被混色時具有波長與所得到的純白色光對應的發光能量分布，光的通/斷及光度由控制部13通過攝象控制器6控制。
圖2是具有環形紅色光源21、綠色光源22、藍色光源23的光投射部1的結構圖。在該圖中，上述環形光源21、22、23設置在同心圓上使其中心與攝象部2的攝象中心軸24一致，而且環的半徑r1、r2、r3不同，距基板表面25的高度h1、h2、h3也不同，所以從基板表面25與攝象中心軸24的交點A的仰角被設置成不同的角度θ1、θ2、θ3。這里設定為θ1＞θ2＞θ3。
攝象部2是彩色電視攝象機，與光投射部1構成一個整體，按照攝象控制器6的命令對被檢查基板15的的器件安裝部位依次進行攝象，并將所攝得的彩色圖象信號送到圖象處理部7。
在X軸工作臺3上安裝著光投射部1和攝象部2，為對被檢查基板15的的器件安裝部位依次進行攝象，按照攝象控制器6的命令使光投射部1和攝象部2在X方向移動。
在Y軸工作臺4的上部備有基板承臺，被檢查基板15就放在該基板承臺上，為對器件安裝部位依次進行攝象，按照攝象控制器6的命令使被檢查基板15在Y方向移動。
攝象控制器6具有與光投射部1、攝象部2、X軸工作臺3、Y軸工作臺4、及控制部13連接的接口等，按照控制部13的命令，控制光投射部1、攝象部2、X軸工作臺3、Y軸工作臺4的動作。
圖象處理部7按照控制部13的命令對由攝象部2所攝得的模擬彩色圖象信號進行A/D轉換，將其變成數字彩色圖象數據，并對該彩色圖象數據進行二進制化處理等圖象處理。
存儲部8具有RAM等存儲器，作為圖象處理部7、布置圖生成部11、檢查結果輸出文件生成部12、及控制部13的工作區使用，同時按照控制部13的命令存儲從圖象處理部7、布置圖生成部11、檢查結果輸出文件生成部12、及控制部13輸入的各種數據。
輸入部9備有鍵盤、鼠標器、及圖象掃描器等，操作人員通過操作輸入部9來輸入各種數據或命令。
輸出部10備有CRT等顯示器及打印機，用于顯示或打印輸出從控制部13輸入的各種信息、被檢查部位的彩色圖象、檢查結果輸出文件的內容等。
布置圖生成部11按照控制部13的命令，根據顯示出被檢查基板的各器件安裝部位是否合格、及不合格部位的不合格內容的檢查結果數據，生成以與不合格內容對應的形狀不同的不合格部位識別標記指示出不合格部位的被檢查基板器件安裝部位布置圖，并將該布置圖送到檢查結果輸出文件生成部12。
檢查結果輸出文件生成部12根據由布置圖生成部11輸入的布置圖及上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件。該檢查結果輸出文件是可按被檢查基板的基板編號檢索的圖象數據形式的文件，由上述布置圖、不合格內容的文字顯示畫面等構成。
控制部13具有微處理機等，用于控制攝象控制器6、圖象處理部7、存儲部8、輸入部9、輸出部10、布置圖生成部11、及檢查結果輸出文件生成部12的動作，根據由操作人員從輸入部9輸入的各種數據或命令，按照圖3所示步驟對被檢查基板進行檢查，并將檢查結果輸出文件生成部12所生成的檢查結果輸出文件的內容輸出到顯示部10，從而將檢查結果通知用戶。
圖3是表示本實施例的操作步驟的流程圖。
在圖3中，在ST1，操作人員輸入執行檢查的命令后，輸入被檢查基板的基板編號，在ST2將被檢查基板設置在Y軸工作臺4的基板承臺上，輸入已設置完成的指令。
在ST3，控制部13通過攝象控制部6使X軸工作臺3及Y軸工作臺4動作，將基板的被檢查部位即器件安裝部位移動到攝象部2的攝象位置，由光投射部1將三色光照射器件安裝部位，用攝象部2對從該器件安裝部位反射的光的影像進行攝象，并將所攝得的模擬彩色圖象信號送到圖象處理部7。
圖17的檢查工序B中的焊膏表面或在檢查工序E中的安裝器件等具有漫反射面，當光投射部1的三色光被混色時具有波長與所得到的純白色光對應的發光能量分布，所以當將該三色光照射焊膏表面或安裝器件時，可得到與照射白色光時的反射光影像相同的反射光影像。
另一方面，由于在圖17的檢查工序E中的焊接面具有鏡面反射特性并具有三維曲面形狀，所以對基板表面具有斜度的各曲面部分使從斜的方向入射的有色光按與入射角相對應的方向反射，該反射方向與攝象部的攝象中心軸方向(與基板垂直的方向)一致的曲面部分，由于在反射光影像中具有對應的有色光源的顏色，所以當將光投射部1的三色光照射焊接面時，在反射光影像中，焊接面的斜度接近平坦部的曲面部分將呈紅色，斜度很大的曲面部分將呈藍色，而斜度在二者中間的曲面部分將呈綠色。
因此，如用攝象部2對對該反射光影像進行攝象，可得到在焊膏面、銅箔的焊接區部分、基板的阻焊層部、及安裝器件等具有漫反射特性的部分呈現各種色彩、而在焊接面等具有鏡面特性的部分按照其三維形狀分別呈現紅色、綠色及藍色的彩色圖象。
圖4表示出圖17的檢查工序E中器件安裝部位的彩色圖象的一例。
在圖4的斷面圖和俯視圖中，31和32是焊接面、33是安裝器件、34是安裝器件33的引線端子(電極)、35是基板的阻焊層部、36是銅箔的焊接區部分，焊接面31、32及引線端子34具有鏡面，安裝器件及阻焊層部35具有漫反射面。
在彩色圖象中，37、38、39表示焊接面31的彩色部分，37是呈紅色的接近平坦的部分，38是呈綠色的部分，39是呈藍色的斜度很大的部分。而40則是呈現器件顏色的部分，41是呈現阻焊層顏色的部分。此外，在安裝器件及基板阻焊層部中省略了焊接面32的色彩。
由攝象部2攝得的模擬彩色圖象信號由圖象處理部7進行A/D轉換，變成數字彩色圖象數據。
控制部13使圖象處理部7動作，并根據該彩色圖象數據進行基板的全部器件安裝部位是否合格的判定，對于不合格部位，通過從預先設定的某些不合格項目選擇出相符合的項目作為不合格的內容，得到顯示各器件安裝部位是否合格、和不合格部位的不合格內容的檢查結果數據，并將該檢查結果數據送到布置圖生成部11和檢查結果輸出文件生成部12。
例如，當檢查有關在圖17的檢查工序E中的焊膏量時，從焊接部位的彩色圖象數據抽出呈現焊膏顏色的區域，將抽出后區域的數據“1”生成二進制數據，從該二進制數據計算出焊膏面的面積，并將算出的面積值與預先設定的容許值進行比較，如超過容許值則判定為不合格，如算出的面積值小于容許值，則不合格內容變為“焊膏量不足”，超過容許值時為“焊膏量過多”。
如檢查有關在圖17的檢查工序E中的安裝器件，則在器件安裝部位的彩色圖象數據中，注意觀察安裝部分所處位置的顏色，如該部分無器件顏色而呈現出基板的阻焊層的色彩，則判定為“器件脫落”，如檢查有關焊接部位，則抽出呈現焊接面的紅、綠、藍色彩的部分，根據該抽出的數據進行焊劑量、焊接形狀等是否合格的判定。
圖5表示出在圖17的檢查工序B和檢查工序E中設定不合格項目的一例。
回到圖3，在ST4，控制部13使布置圖生成部11動作，根據上述檢查結果數據，生成以與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指示出不合格部位的被檢查基板的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖送到檢查結果文件生成部12。
接著，控制部13使檢查結果文件生成部12動作，根據由布置圖生成部11輸入的布置圖及上述檢查結果，生成檢查結果文件。該檢查結果文件是可按被檢查基板的基板編號檢索的圖象數據形式的文件，由上述布置圖、不合格內容的文字顯示畫面等構成。
然后控制部13將由檢查結果文件生成部12生成的檢查結果文件保存在存儲部8內，同時，將檢查結果文件的內容通過輸出部10的顯示器或打印機輸出，從而將檢查結果告知用戶。而在這之后如有來自用戶的輸出檢查結果的要求時，從存儲部8讀出所要求的基板編號的檢查結果，并由輸出部10將其內容輸出。
圖6表示出檢查結果輸出畫面中的器件安裝部位的布置圖的一例。
在圖6中，51～53是與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記，51、52、53是分別表示器件位置偏斜、焊劑橋結、器件脫落的不合格部位識別標記。
圖7表示出不合格內容的不合格部位識別標記的一例。在存儲部8內保存著各種不合格部位識別標記，用戶在設定不合格項目時，可從存儲部8選擇表示各不合格項目的不合格部位識別標記來進行設定。用戶通過使用輸入部9的圖象掃描器輸入用作不合格部位識別標記的標記，可以將所需要的不合格部位識別標記保存在存儲部8內。
這里，說明在由布置圖生成部11生成布置圖之前生成的安裝部位識別標記數據及不合格識別標記數據的結構。安裝部位識別標記是表示在布置圖中的器件安裝部位的標記。
圖8是表示安裝部位識別標記的數據結構一例的說明圖。在該圖中，安裝部位識別標記數據由器件信息111、標記形狀信息112、形狀顯示顏色信息113構成。器件信息111由表示該標記在布置圖中的右上坐標、左下坐標、及器件的種類的數據構成。而標記形狀信息112及形狀顯示顏色信息113由用戶預先設定，可設定每個器件的種類。
圖9是上述安裝部位識別標記中的標記形狀信息及形狀顯示顏色信息設定畫面的一例。用戶通過操作圖1示出的輸入部9的鍵盤或鼠標器，來設定圖9所示設定畫面中的標記形狀及形狀顯示顏色。
回到圖8，假定作為標記形狀信息112設定為“□”，作為形狀顯示顏色信息113設定為藍色，器件信息111的坐標點設定為其右上頂點及左下頂點，則在布置圖上顯示具有藍色輪廓的“□”作為安裝部位識別標記。
圖10是表示本實施例中不合格部位識別標記的數據結構一例的說明圖。利用該不合格部位識別標記數據和圖8示出的安裝部位識別標記數據，在布置圖生成部11中生成上述布置圖。
在圖10中，不合格部位識別標記數據由器件信息130、不合格標記形狀信息132、不合格顯示顏色信息133、及不合格形狀顯示顏色信息134構成。
器件信息131具有表示該標記在布置圖中的右上坐標、左下坐標、該器件的種類、及不合格內容的數據。
不合格標記形狀信息132是由不合格內容及器件種類決定的不合格部位識別標記的形狀數據。在圖6和圖7中示出的不合格部位識別標記的輪廓部形狀，與圖9的安裝部位識別標記的標記形狀設定步驟相同，由用戶按每個器件的種類預先設定。在圖7中，示出了當不合格部位識別標記的輪廓部形狀設定為“□”時與各不合格內容對應的不合格部位識別標記。通常，將不合格部位識別標記的輪廓部形狀設定為與安裝部位識別標記的標記形狀相同的形狀。
不合格顯示顏色信息133及不合格形狀顯示顏色信息134由用戶按按每個器件的種類或按各不合格內容預先設定，不合格顯示顏色信息133是在圖6和圖7中示出的安裝部位識別標記斜線部的顯示顏色數據，不合格形狀顯示顏色信息134是斜線部以外的顯示顏色數據。
因此，在圖6和圖7中示出的不合格部位識別標記中，如將不合格顯示顏色信息133設定為紅色、將不合格形狀顯示顏色信息134設定為黃色，則該不合格部位識別標記斜線部將呈現紅色，而輪廓部和斜線部以外的部分將呈現黃色。
回到圖3，最后在ST5，控制部13通過攝象控制器6使Y軸工作臺4動作，將被檢查基板移動到取出位置，操作人員將該基板從Y軸工作臺4的基板承臺上取下。
然后返回ST2，重復以上的步驟。
另外，在上述實施例中的光投射部1由環形彩色熒光燈光源構成，但有時也可用環形氖燈光源、X射線光源、或以扇形平面光從斜的方向對焊接部位進行照射的激光光源等構成。
例如，采用激光光源時，用位于焊接部位正上方的攝象部2對由平面激光在焊接部位上形成的光切割線進行攝象，并根據該光切割線的形狀計算出與焊膏的高度、或焊腳角度等三維形狀有關的檢查數據。而在采用X射線光源時，為了接收從焊接部位釋放出的光電子，使用光電倍增管等光接收裝置代替攝象部2。
這樣，如按照上述本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例，則利用布置圖生成部11，根據被檢查基板的檢查結果數據生成以與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖通過檢查結果文件生成部12由輸出部10輸出，從而能夠從布置圖迅速且正確地確認不合格部位的位置及不合格內容，因而能有效地進行不合格部位的修正作業。
以下說明本發明的檢查結果輸出裝置的第2實施例。
裝置的簡略構成與圖1所示本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例相同。在以下說明中，與本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例重復的部分省略。
在本實施例中，布置圖生成部根據由控制部輸入的指示出被檢查基板的各器件安裝部位是否合格及不合格部位的不合格內容的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的被檢查基板器件安裝部位布置圖、以及將該布置圖進行區域分割后放大顯示各個區域的放大圖，并將該布置圖及各區域的放大圖送到檢查結果輸出文件生成部。
檢查結果輸出文件生成部根據由上述布置圖生成部輸入的布置圖、放大圖、及由控制部輸入的上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件。
因此，如按照本實施例，控制部利用布置圖生成部11根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖、以及將該布置圖進行區域分割后放大顯示各個區域的放大圖，并利用檢查結果輸出文件生成部，根據由上述布置圖生成部輸入的布置圖、放大圖、及上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件，并將該檢查結果輸出文件的內容輸出到輸出部，從而將被檢查基板的檢查結果告知用戶。
圖11示出檢查結果的輸出畫面的一例。
在圖11中，61是以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖、62是通過用輸入部的鼠標器輕敲布置圖中想要放大的區域而被顯示的放大圖、63是通過操作輸入部的鍵盤或鼠標器起動的各種命令的命令菜單、64是用文字顯示基板編號、不合格部位的不合格內容、及來自控制部的各種信息等的區域。
在布置圖61及放大圖62中，65和66是指示不合格部位位置的不合格部位識別標記，67是表示在放大圖中被放大的區域的圖形。
檢查結果的初期輸出畫面不顯示放大圖，通過用鼠標器輕敲不合格部位識別標記來顯示敲擊的不合格部位識別標記周圍的放大圖及象67一樣的圖形。
在圖11中通過通過用鼠標器輕敲不合格部位識別標記65，顯示出放大圖62及表示在放大圖中被放大的區域的圖形67，在該狀態下，如輕敲不合格部位識別標記66周圍，則顯示出不合格部位識別標記66周圍的放大圖，同時顯示在該放大圖中所顯示的布置圖61上的區域的圖形67。
圖12是表示本實施例中不合格部位識別標記的數據結構的說明圖。利用該不合格部位識別標記數據和圖8示出的安裝部位識別標記數據，在布置圖生成部11中生成上述布置圖及放大圖。
在圖12中，不合格部位識別標記數據由器件信息131、標記形狀信息112、形狀顯示顏色信息113、不合格顯示信息141、及放大顯示信息142構成。
器件信息131已在圖10中作了說明，標記形狀信息112及形狀顯示顏色信息113已在圖8中作了說明。
不合格顯示信息141由用戶按各器件種類或各項不合格內容預先設定，是表示不合格部位識別標記的內部顯示顏色的數據。
因此，對于圖11示出的不合格部位識別標記65或66，如形狀顯示顏色信息113設定為藍色、不合格顯示信息141設定為紅色，則該不合格部位識別標記的輪廓部呈現藍色，內部呈現紅色。
放大顯示信息142是具有在器件信息131的器件右上坐標的X和Y坐標上加上規定值后將其作為X和Y坐標值的顯示窗口右上坐標、及從器件左下坐標的X和Y坐標減去規定值后將其作為X和Y坐標值的顯示窗口左下坐標的數據，該顯示窗口右上坐標及顯示窗口左下坐標，就表示放大區域的右上坐標和左下坐標。此外，放大顯示信息142還附加于本實施例的安裝部位識別標記數據。
這樣，如按照上述本發明的檢查結果輸出裝置的第2實施例，則利用布置圖生成部，根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖、及用鼠標器指定的布置圖的區域放大圖，同時，在布置圖上顯示在放大圖中所顯示的區域位置，通過輸出該布置圖及放大圖，能夠迅速且正確地確認放大圖放大了的是布置圖的哪個區域，由于能夠迅速且正確地確認在高密度安裝基板等器件安裝密度高的基板上的不合格部位的位置，所以能有效地進行不合格部位的修正作業。
以下說明本發明的檢查結果輸出裝置的第3實施例。
裝置的簡略構成與圖1所示本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例相同。在以下說明中，與本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例重復的部分省略。
在本實施例中，布置圖生成部根據由控制部輸入的指示出被檢查基板的各器件安裝部位是否合格及不合格部位的不合格內容的檢查結果數據，生成以各不合格部位的不合格內容的文字顯示窗口及不合格部位識別標記指示出不合格部位的被檢查基板器件安裝部位布置圖、并將該布置圖及文字顯示窗口送到檢查結果輸出文件生成部。
檢查結果輸出文件生成部根據由上述布置圖生成部輸入的布置圖和文字顯示窗口、以及由控制部輸入的上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件。
因此，如按照本實施例，控制部利用布置圖生成部11根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以各不合格部位的不合格內容的文字顯示窗口及不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并利用檢查結果輸出文件生成部，根據由上述布置圖生成部輸入的布置圖和文字顯示窗口、以及上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件，并將該檢查結果輸出文件的內容輸出到輸出部，從而將被檢查基板的檢查結果告知用戶。
圖13示出檢查結果的輸出畫面的一例。
在圖13中，71是以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，72、73、74是指示不合格部位位置的不合格部位識別標記，75、76是用輸入部的鼠標器輕敲不合格部位識別標記所顯示的不合格部位的不合格內容文字顯示窗口。各不合格部位識別標記和各不合格部位不合格內容的文字顯示窗口分別用引出線對應連接。此外，在不合格部位的不合格內容文字顯示窗口中的不合格歷史記錄中，對于該不合格部位，顯示出在過去的檢查中該不合格部位發生不合格的次數。即，與不合格部位識別標記75對應的器件安裝部位，過去沒有發生過不合格，但與不合格部位識別標記76對應的器件安裝部位，因不合格歷史記錄為“3”，表示過去曾發生過3次不合格，換句話說，顯示出過去在3塊基板上發生過不合格。77是通過操作輸入部的鍵盤或鼠標器起動的各種命令的命令菜單。
檢查結果的初期輸出畫面不顯示象75及76那樣的不合格內容文字顯示窗口，通過用輸入部9的鼠標器輕敲想知道不合格內容的不合格部位識別標記，來顯示敲擊的不合格部位識別標記的不合格內容。
在圖13中通過輕敲不合格部位識別標記72，顯示出不合格內容文字顯示窗口75，不合格部位識別標記72和不合格內容文字顯示窗口75通過引出線對應連接，通過輕敲不合格部位識別標記73，顯示出不合格內容文字顯示窗口76，不合格部位識別標記73和不合格內容文字顯示窗口76通過引出線對應連接，在該狀態下，如輕敲不合格部位識別標記74，則顯示出與不合格部位識別標記74對應的不合格部位的不合格內容，不合格部位識別標記74和所顯示的不合格內容通過引出線對應連接。
圖14是表示本實施例中不合格部位識別標記的數據結構的說明圖。利用該不合格部位識別標記數據和圖8示出的安裝部位識別標記數據，在布置圖生成部11中生成上述布置圖及不合格內容的文字顯示窗口。
在圖14中，不合格部位識別標記數據由標記形狀信息112、形狀顯示顏色信息113、不合格顯示信息141、器件信息151、及不合格內容顯示信息152構成。
器件信息151由該標記的布置圖中的右上坐標、左下坐標、該器件的種類、不合格內容、名稱、及不合格歷史記錄構成。
不合格內容顯示信息152由表示圖13中所示的不合格內容文字顯示窗口右上坐標、左下坐標的顯示窗口右上坐標和顯示窗口左下坐標構成。該顯示窗口右上坐標和顯示窗口左下坐標，按照該不合格部位識別標記在布置圖上的坐標值及在畫面上的位置適當選擇可用文字顯示不合格內容的區域來決定。
這樣，如按照上述本發明的檢查結果輸出裝置的第3實施例，則利用布置圖生成部根據被檢查基板的檢查結果數據生成以用鼠標器指定的不合格部位的不合格內容文字顯示數據及不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并在生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖的同時，將在布置圖上被指定的不合格部位和文字顯示數據用引出線對應連接，通過輸出該布置圖、文字顯示數據、及引出線，能夠迅速且正確地確認所指定的不合格部位的不合格內容，所以能有效地進行不合格部位的修正作業。
以下說明本發明的檢查結果輸出裝置的第4實施例。
裝置的簡略構成與圖1所示本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例相同。在以下說明中，與本發明的檢查結果輸出裝置的第1實施例重復的部分省略。
在本實施例中，布置圖生成部根據由控制部輸入的指示出被檢查基板的各器件安裝部位是否合格及不合格部位的不合格內容的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位、并進一步顯示出各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的被檢查基板器件安裝部位布置圖，并將該布置圖送到檢查結果輸出文件生成部。
檢查結果輸出文件生成部根據由上述布置圖生成部輸入的布置圖及由控制部輸入的上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件。
因此，如按照本實施例，控制部利用布置圖生成部11根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位、并進一步顯示出各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的器件安裝部位布置圖，并利用檢查結果輸出文件生成部，根據該布置圖及上述檢查結果數據，生成每個被檢查基板的檢查結果輸出文件，并將該檢查結果輸出文件的內容輸出到輸出部，從而將被檢查基板的檢查結果告知用戶。
圖15示出檢查結果輸出畫面中的器件安裝部位布置圖的一例。
在圖15中，81、82、83指示不合格部位位置的不合格部位識別標記，84是判定為合格的器件安裝部位。“*”表示各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，即過去發生不合格的次數。在圖15示出的被檢查基板之前所檢查的N個被檢查基板發生不合格的次數用“*”的個數表示。該“N”在檢查開始之前設定，當其未設定時，在這之前檢查過的全部被檢查基板發生不合格的次數用“*”的個數表示。
例如，當設定N＝5時，從圖15可以看出，不合格部位81的器件安裝部位在這之前的5塊被檢查基板全部被判定為不合格，不合格部位82的器件安裝部位在這之前的5塊被檢查基板中有1塊被判定為不合格，而不合格部位83的器件安裝部位在這之前的5塊被檢查基板全部被判定為合格。因此，可以判斷出在不合格部位81的器件安裝部位持續地發生不合格，而不合格部位82的器件安裝部位是突發性地出現不合格，所以可以推測出在不合格部位81的器件安裝部位的制造工序中發生著某種異常情況。此外，在判定為合格的器件安裝部位84處的2個“*”，表示在這之前的5塊被檢查基板中有2塊被判定為不合格。
這樣，如按照上述本發明的檢查結果輸出裝置的第4實施例，則利用布置圖生成部，根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，同時，在布置圖上顯示在各器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，通過輸出該布置圖，由于能夠掌握質量的變化趨勢，所以能有效地進行不合格部位的修正作業。
圖16是是本發明的檢查結果輸出裝置第5實施例的簡略結構圖，及表示采用本第5實施例的本發明基板檢查系統實施例的系統構成圖。
在圖16中，91是組裝在器件安裝工序的生產線92上的基板檢查裝置，93是本發明的檢查結果輸出裝置的第5實施例。
基板檢查裝置91由軟盤裝置、及具有與LAN電纜94連接的網絡連接部的數據輸出部95等構成，用于對被檢查基板的各個器件安裝部位進行檢查，對每塊基板生成將被檢查基板的檢查結果、即各個器件安裝部位是否合格的判定結果及不合格部位的不合格內容寫入的檢查結果文件，并將該檢查結果文件通過數據輸出部95寫入軟盤96或輸出到LAN電纜94。該檢查結果文件可按照被檢查基板的基板編號識別。
檢查結果輸出裝置93由數據輸入部97、存儲部98、輸入部99、輸出部00、布置圖生成部101、檢查結果輸出文件生成部102、及控制部103構成。
數據輸入部97具有軟盤裝置、及與LAN電纜94連接的網絡連接部，從基板檢查裝置91輸出的檢查結果文件由LAN電纜94接收，或由軟盤96讀入。檢查結果文件的交接是通過LAN電纜94進行、還是通過軟盤96進行，由用戶選擇。
存儲部98具有RAM等存儲器，作為布置圖生成部101、檢查結果輸出文件生成部102、及控制部103的工作區使用，同時按照控制部103的命令存儲從布置圖生成部101、檢查結果輸出文件生成部102、及控制部103輸出的各種數據。
輸入部99備有鍵盤、鼠標器、及圖象掃描器等，操作人員通過操作輸入部99來輸入各種數據或命令。
輸出部100備有CRT等顯示器及打印機，用于顯示或打印輸出從控制部103輸入的檢查結果輸出文件的內容等各種信息。所輸入的數據在顯示器上顯示、或用打印機打印輸出，由操作人員選擇。
布置圖生成部101根據從控制部103輸入的檢查結果文件的內容，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖。
檢查結果輸出文件生成部102根據從布置圖生成部101輸入的布置圖及從控制部103輸入的檢查結果文件，生成檢查結果輸出文件。該檢查結果輸出文件是可按被檢查基板的基板編號檢索的圖象數據形式的文件，由上述布置圖、不合格內容的文字顯示畫面等構成。
控制部103具有微處理機等，根據由操作人員從輸入部99輸入的各種數據或命令，控制數據輸入部97、存儲部98、輸出部100、布置圖生成部101、及檢查結果輸出文件生成部102的動作，并將檢查結果輸出文件的內容在顯示部100的顯示器上顯示或用打印機打印輸出。
以下，說明具有上述結構的本發明的基板檢查系統的實施例的動作。
在基板檢查裝置91中，根據對從生產線上取入的被檢查基板的器件安裝部位進行光照射而得到的光接收數據，判定被檢查基板的各個器件安裝部位是否合格，并對指示與不合格部位有關的不合格內容的不合格項目進行特定的檢查，對每塊基板生成寫入各個器件安裝部位是否合格的判定結果、不合格部位的不合格內容、及各個器件安裝部位的位置坐標的檢查結果文件，并將該檢查結果文件通過數據輸出部95寫入軟盤96或輸出到LAN電纜94。
另一方面，在檢查結果輸出裝置93中，通過數據輸入部97將從基板檢查裝置91輸出的檢查結果文件由LAN電纜94接收，或由軟盤96讀入。
控制部103將通過數據輸入部97得到的檢查結果文件存儲在存儲部98內，同時輸入到布置圖生成部101及檢查結果輸出文件生成部102。
接著，控制部103使布置圖生成部101動作，根據檢查結果文件的內容，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖送到檢查結果文件生成部102，并使檢查結果文件生成部102動作，生成具有圖6至圖13所示圖象數據的檢查結果輸出文件，將該檢查結果輸出文件保存在存儲部98內。
當用戶操作輸入部99的鍵盤，輸入了將檢查結果輸出的命令時，控制部103從存儲部98讀出所要求的基板編號的檢查結果輸出文件，并由輸出部100將其內容輸出。
這樣，如按照上述本發明的檢查結果輸出裝置的第5實施例及采用本第5實施例的本發明基板檢查系統的實施例，檢查結果輸出裝置并不組裝在器件安裝工序的生產線92上，而是按離線構成基板檢查系統，利用檢查結果輸出裝置的布置圖生成部，根據從基板檢查裝置輸入的檢查結果文件，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并通過將該布置圖輸出，在需要時，不必停止生產線92，即可迅速且正確地確認被檢查基板的不合格部位，并能準確地掌握器件安裝部位的質量變化趨勢，所以能有效地進行不合格部位的修正作業和器件安裝部位的質量管理。
從上述實施例可以看出，本發明根據被檢查基板的檢查結果數據，生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位的器件安裝部位布置圖，并通過將該布置圖輸出，可以迅速且正確地確認被檢查基板的不合格部位，并能準確地掌握器件安裝部位的質量變化趨勢，所以具有能效進行不合格部位的修正作業和器件安裝部位的質量管理這樣的效果。
權利要求
1.一種檢查結果輸出裝置，將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成以具有與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指出示不合格部位的上述布置圖。
2.根據權利要求1所述的檢查結果輸出裝置，其特征在于能夠適當變更上述不合格部位識別標記。
3.一種檢查結果輸出裝置，將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示上述布置圖的指定區域的放大圖、同時顯示出該放大圖所示區域位置的上述布置圖。
4.一種檢查結果輸出裝置，將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成用文字顯示出所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接的上述布置圖。
5.一種檢查結果輸出裝置，將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示出各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的上述布置圖。
6.一種檢查結果輸出裝置，根據由基板檢查裝置得到的基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成以與不合格內容對應的形狀不同的不合格部位識別標記指出示不合格部位的上述布置圖。
7.根據權利要求6所述的檢查結果輸出裝置，其特征在于能夠適當變更上述不合格部位識別標記。
8.一種檢查結果輸出裝置，根據由基板檢查裝置得到的基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示上述布置圖的指定區域的放大圖、同時顯示出該放大圖所示區域位置的上述布置圖。
9.一種檢查結果輸出裝置，根據由基板檢查裝置得到的基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成用文字顯示出所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接的上述布置圖。
10.一種檢查結果輸出裝置，根據由基板檢查裝置得到的基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示出各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的上述布置圖。
11.一種基板檢查系統，它由基板檢查裝置和檢查結果輸出裝置構成，基板檢查裝置將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，檢查結果輸出裝置根據該基板檢查裝置的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成以與不合格內容對應的形狀不同的不合格部位識別標記指出示不合格部位的上述布置圖。
12.根據權利要求11所述的基板檢查系統，其特征在于能夠適當變更上述不合格部位識別標記。
13.一種基板檢查系統，它由基板檢查裝置和檢查結果輸出裝置構成，基板檢查裝置將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，檢查結果輸出裝置根據該基板檢查裝置的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示上述布置圖的指定區域的放大圖、同時顯示出該放大圖所示區域位置的上述布置圖。
14.一種基板檢查系統，它由基板檢查裝置和檢查結果輸出裝置構成，基板檢查裝置將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，檢查結果輸出裝置根據該基板檢查裝置的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成用文字顯示出所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指定不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接的上述布置圖。
15.一種基板檢查系統，它由基板檢查裝置和檢查結果輸出裝置構成，基板檢查裝置將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，檢查結果輸出裝置根據該基板檢查裝置的檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出，該檢查結果輸出裝置的特征在于備有布置圖生成裝置，用于生成顯示出各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄的上述布置圖。
16.一種檢查結果輸出方法，其特征在于根據對基板的器件安裝部位的檢查結果生成以具有與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指出示不合格部位的器件安裝部位布置圖并將該布置圖輸出。
17.根據權利要求16所述的檢查結果輸出方法，其特征在于能夠適當變更上述不合格部位識別標記。
18.一種檢查結果輸出方法，其特征在于根據對基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指出示不合格部位的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上，顯示所指定的區域的放大圖，同時顯示出該放大圖所示出的區域位置，并將顯示出該放大圖所示區域位置的布置圖輸出。
19.一種檢查結果輸出方法，其特征在于根據對基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指出示不合格部位的器件安裝部位布置圖，用文字顯示出在該布置圖上所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指示不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接，并輸出用引出線將該不合格內容與不合格部位識別標記相互連接的布置圖。
20.一種檢查結果輸出方法，其特征在于根據對基板的器件安裝部位的檢查結果生成以不合格部位識別標記指出示不合格部位的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上顯示各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，并輸出顯示出該不合格發生的歷史記錄的布置圖。
21.一種基板檢查方法，其特征在于將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以具有與不合格內容對應的不同形狀的不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖輸出。
22.根據權利要求21所述的基板檢查方法，其特征在于能夠適當變更上述不合格部位識別標記。
23.一種基板檢查方法，其特征在于將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上，顯示所指定的區域的放大圖，同時顯示出該放大圖所示出的區域位置，并將顯示出該放大圖所示區域位置的布置圖輸出。
24.一種基板檢查方法，其特征在于將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，用文字顯示出在該布置圖上所指定的不合格部位的不合格內容、同時將該文字顯示與對應于所指示不合格部位的不合格部位識別標記用引出線相互連接，并輸出用引出線將該不合格內容與不合格部位識別標記相互連接的布置圖。
25.一種基板檢查方法，其特征在于將光照射在基板上，接收其反射光并根據所得到的光接收數據對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以不合格部位識別標記指示出不合格部位位置的器件安裝部位布置圖，在該布置圖上顯示各個器件安裝部位發生不合格的歷史記錄，并輸出顯示出該不合格發生的歷史記錄的布置圖。
全文摘要
本發明的目的是有效地進行不合格部位的修正作業和器件安裝部位的質量管理，其結構是由光投射部將光照射在被檢查基板上，由攝象部對其反射光影像進行攝象，并根據所得到的彩色圖象信號對基板上的器件安裝部位進行檢查，根據其檢查結果生成以與不合格內容對應的形狀不同的不合格部位識別標記指出示不合格部位的器件安裝部位布置圖，并將該布置圖通過檢查結果輸出文件生成部由輸出部輸出。
文檔編號G01B11/24GK1151519SQ96105130
公開日1997年6月11日 申請日期1996年4月19日 優先權日1995年4月20日
發明者石羽正人 申請人:歐姆龍株式會社