本發明涉及圖(tu)像傳感器檢測技術領域，涉及一(yi)種基于光斑(ban)的(de)電(dian)荷(he)耦合器件電(dian)荷(he)轉(zhuan)移效(xiao)率(lv)通(tong)用(yong)測試方法。
背景技術：
電(dian)荷耦合(he)器(qi)件最(zui)重要的(de)參(can)數(shu)就(jiu)是電(dian)荷群(qun)(qun)的(de)轉移(yi)(yi)效(xiao)(xiao)率，它的(de)高低(di)直接反映器(qi)件的(de)設計與工藝水平，器(qi)件能(neng)(neng)否正(zheng)常工作，性能(neng)(neng)好壞也主要取決于(yu)它。電(dian)荷群(qun)(qun)在電(dian)荷耦合(he)器(qi)件中轉移(yi)(yi)時受很(hen)多因(yin)素的(de)影(ying)響，使(shi)其(qi)不(bu)能(neng)(neng)完全地(di)由(you)一(yi)個電(dian)極下(xia)的(de)勢阱里轉移(yi)(yi)到另(ling)一(yi)個電(dian)極下(xia)的(de)勢阱里，總有(you)些(xie)損耗，不(bu)好的(de)轉移(yi)(yi)效(xiao)(xiao)率將造成(cheng)信號幅度(du)、相位、頻率等的(de)失真。因(yin)而引起圖像模糊不(bu)清,畸變很(hen)大,直至顯不(bu)出(chu)圖像,因(yin)而在研制(zhi)電(dian)荷耦合(he)器(qi)件時首先就(jiu)是要測(ce)出(chu)其(qi)轉移(yi)(yi)效(xiao)(xiao)率,加以分(fen)析后再返回工藝,以提高器(qi)件水平。
電荷(he)(he)(he)(he)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效率是指信號電荷(he)(he)(he)(he)在電荷(he)(he)(he)(he)耦(ou)合器件(jian)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)溝(gou)道內轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)時，進(jin)行(xing)(xing)一次電荷(he)(he)(he)(he)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)的(de)(de)過程中，正確轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)的(de)(de)電荷(he)(he)(he)(he)與(yu)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)前電荷(he)(he)(he)(he)的(de)(de)比值。電荷(he)(he)(he)(he)轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效率的(de)(de)測試方法(fa)(fa)(fa)(fa)一般有(you)4種，分別為：周期脈(mo)沖技(ji)術(shu)、x射(she)線堆積(ji)線徑跡方法(fa)(fa)(fa)(fa)、擴展(zhan)像(xiang)元邊緣響(xiang)應法(fa)(fa)(fa)(fa)和(he)首(shou)像(xiang)元響(xiang)應法(fa)(fa)(fa)(fa)。其中，周期脈(mo)沖技(ji)術(shu)需(xu)要(yao)對電荷(he)(he)(he)(he)耦(ou)合器件(jian)芯片進(jin)行(xing)(xing)特殊設計(ji)。x射(she)線堆積(ji)線徑跡方法(fa)(fa)(fa)(fa)需(xu)要(yao)對x射(she)線輻照(zhao)劑量進(jin)行(xing)(xing)控制(zhi)，對測試裝置要(yao)求(qiu)(qiu)高，難以(yi)表征(zheng)高cte(5個9或者(zhe)6個9以(yi)上)的(de)(de)變化。首(shou)像(xiang)元響(xiang)應法(fa)(fa)(fa)(fa)依賴于脈(mo)沖頻(pin)率的(de)(de)控制(zhi)，僅適用(yong)于幀轉(zhuan)(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)結構。擴展(zhan)像(xiang)元邊緣響(xiang)應法(fa)(fa)(fa)(fa)不要(yao)求(qiu)(qiu)特殊的(de)(de)設備，只要(yao)求(qiu)(qiu)提(ti)供(gong)穩定的(de)(de)平面(mian)光(guang)場(采用(yong)積(ji)分球可(ke)以(yi)實現)，一致性(xing)好(hao)，但該方法(fa)(fa)(fa)(fa)要(yao)求(qiu)(qiu)器件(jian)像(xiang)素(su)單元有(you)抗暈(yun)結構，否則對光(guang)強等條件(jian)有(you)較高要(yao)求(qiu)(qiu)。
本發明提(ti)出一(yi)種基于光(guang)斑的(de)(de)電荷(he)耦合器件(jian)(jian)電荷(he)轉移(yi)效(xiao)(xiao)率通用(yong)測(ce)(ce)試(shi)方法(fa)，該(gai)(gai)方法(fa)對器件(jian)(jian)工藝沒有(you)特(te)殊要求；而且該(gai)(gai)方法(fa)用(yong)尺寸為毫米量(liang)(liang)級的(de)(de)小光(guang)斑即可(ke)完成測(ce)(ce)試(shi)，避免(mian)了采用(yong)微米量(liang)(liang)級光(guang)斑并且必(bi)須對應幾(ji)個(ge)像元導(dao)致的(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)難(nan)度。該(gai)(gai)方法(fa)采用(yong)幾(ji)個(ge)像元的(de)(de)輸出電荷(he)包進行統計，避免(mian)了單個(ge)像元導(dao)致的(de)(de)誤(wu)差，適用(yong)于兩(liang)通道及(ji)以上的(de)(de)電荷(he)耦合器件(jian)(jian)的(de)(de)地面電荷(he)轉移(yi)效(xiao)(xiao)率測(ce)(ce)試(shi)。本發明具有(you)一(yi)定通用(yong)性(xing)，操作簡單，可(ke)以較準確的(de)(de)測(ce)(ce)出電荷(he)耦合器件(jian)(jian)的(de)(de)水平、垂(chui)直(zhi)轉移(yi)效(xiao)(xiao)率，為表征傳感器的(de)(de)性(xing)能及(ji)變(bian)化程度以及(ji)對極端環(huan)境(jing)下性(xing)能退化的(de)(de)預測(ce)(ce)提(ti)供了有(you)效(xiao)(xiao)可(ke)行的(de)(de)方法(fa)。
技術實現要素：
本(ben)發明的(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)在(zai)于，為表征電(dian)荷(he)(he)耦(ou)合器(qi)件(jian)性能及(ji)(ji)(ji)變化(hua)程度以(yi)及(ji)(ji)(ji)對(dui)極端(duan)環境下性能退化(hua)的(de)(de)(de)預測(ce)難題(ti)，提供(gong)一種基于光(guang)(guang)(guang)斑(ban)的(de)(de)(de)電(dian)荷(he)(he)耦(ou)合器(qi)件(jian)電(dian)荷(he)(he)轉(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效(xiao)率(lv)通(tong)(tong)用測(ce)試(shi)方法，該(gai)方法涉及(ji)(ji)(ji)裝置(zhi)是由靜電(dian)試(shi)驗平(ping)(ping)臺、積(ji)分(fen)球(qiu)(qiu)光(guang)(guang)(guang)源(yuan)、鹵(lu)鎢燈光(guang)(guang)(guang)源(yuan)、會聚(ju)球(qiu)(qiu)面(mian)鏡、樣(yang)(yang)品(pin)測(ce)試(shi)板、電(dian)荷(he)(he)耦(ou)合器(qi)件(jian)樣(yang)(yang)品(pin)、導軌、三維樣(yang)(yang)品(pin)調整臺、直流電(dian)源(yuan)、暗(an)箱、光(guang)(guang)(guang)學準(zhun)直套筒和計(ji)(ji)算機組成，將電(dian)荷(he)(he)耦(ou)合器(qi)件(jian)樣(yang)(yang)品(pin)正對(dui)積(ji)分(fen)球(qiu)(qiu)光(guang)(guang)(guang)源(yuan)出(chu)光(guang)(guang)(guang)口，首先進(jin)行暗(an)場測(ce)試(shi)，計(ji)(ji)算出(chu)a、b、c三個(ge)通(tong)(tong)道(dao)(dao)暗(an)場所有(you)像(xiang)素位置(zhi)的(de)(de)(de)灰(hui)度值(zhi)的(de)(de)(de)平(ping)(ping)均(jun)值(zhi)；再進(jin)行亮場測(ce)試(shi)，計(ji)(ji)算出(chu)三個(ge)通(tong)(tong)道(dao)(dao)亮場所有(you)像(xiang)素位置(zhi)的(de)(de)(de)灰(hui)度值(zhi)的(de)(de)(de)平(ping)(ping)均(jun)值(zhi)；通(tong)(tong)過計(ji)(ji)算得到b、c通(tong)(tong)道(dao)(dao)相(xiang)對(dui)于a通(tong)(tong)道(dao)(dao)的(de)(de)(de)增益系(xi)數；再移(yi)(yi)動(dong)樣(yang)(yang)品(pin)使其與鹵(lu)鎢燈光(guang)(guang)(guang)源(yuan)、光(guang)(guang)(guang)學準(zhun)直套筒、會聚(ju)球(qiu)(qiu)面(mian)鏡在(zai)一條(tiao)直線上，計(ji)(ji)算暗(an)場條(tiao)件(jian)下樣(yang)(yang)品(pin)從三個(ge)通(tong)(tong)道(dao)(dao)輸出(chu)的(de)(de)(de)所有(you)像(xiang)素位置(zhi)灰(hui)度值(zhi)的(de)(de)(de)平(ping)(ping)均(jun)值(zhi)；打開鹵(lu)鎢燈光(guang)(guang)(guang)源(yuan)進(jin)行亮場測(ce)試(shi)，計(ji)(ji)算樣(yang)(yang)品(pin)連同光(guang)(guang)(guang)斑(ban)中(zhong)心在(zai)內的(de)(de)(de)25個(ge)像(xiang)元的(de)(de)(de)信(xin)號(hao)灰(hui)度值(zhi)之和，求(qiu)出(chu)三個(ge)通(tong)(tong)道(dao)(dao)去除本(ben)底信(xin)息的(de)(de)(de)信(xin)號(hao)，最后根(gen)據公(gong)式求(qiu)解出(chu)水平(ping)(ping)轉(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效(xiao)率(lv)和垂直轉(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效(xiao)率(lv)。本(ben)發明所述方法具有(you)一定(ding)的(de)(de)(de)通(tong)(tong)用性，操作簡(jian)單，可以(yi)較(jiao)準(zhun)確的(de)(de)(de)測(ce)出(chu)電(dian)荷(he)(he)耦(ou)合器(qi)件(jian)的(de)(de)(de)水平(ping)(ping)、垂直轉(zhuan)(zhuan)移(yi)(yi)效(xiao)率(lv)。
本發(fa)明(ming)所述的(de)一(yi)種基于(yu)光(guang)(guang)斑的(de)電(dian)荷(he)(he)耦合(he)器件(jian)電(dian)荷(he)(he)轉移效(xiao)率通(tong)用測試(shi)(shi)方法(fa)(fa)，該方法(fa)(fa)涉(she)及裝置(zhi)是由靜電(dian)試(shi)(shi)驗(yan)平(ping)臺(tai)、積(ji)分(fen)球光(guang)(guang)源(yuan)(yuan)、鹵(lu)鎢(wu)燈光(guang)(guang)源(yuan)(yuan)、會(hui)聚球面鏡、樣(yang)品(pin)(pin)(pin)測試(shi)(shi)板、電(dian)荷(he)(he)耦合(he)器件(jian)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)、導軌、三(san)維(wei)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)、直流電(dian)源(yuan)(yuan)、暗箱(xiang)、光(guang)(guang)學(xue)準(zhun)直套筒和計(ji)算機組(zu)成，在(zai)靜電(dian)試(shi)(shi)驗(yan)平(ping)臺(tai)(1)上(shang)分(fen)別(bie)設(she)有(you)積(ji)分(fen)球光(guang)(guang)源(yuan)(yuan)(2)和導軌(3)，在(zai)導軌(3)上(shang)固(gu)定有(you)三(san)維(wei)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(4)，在(zai)三(san)維(wei)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(4)上(shang)固(gu)定有(you)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)測試(shi)(shi)板(5)，在(zai)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)測試(shi)(shi)板(5)上(shang)放置(zhi)電(dian)荷(he)(he)耦合(he)器件(jian)樣(yang)品(pin)(pin)(pin)(6)，樣(yang)品(pin)(pin)(pin)測試(shi)(shi)板(5)分(fen)別(bie)與(yu)直流電(dian)源(yuan)(yuan)(7)、計(ji)算機(8)連接，鹵(lu)鎢(wu)燈光(guang)(guang)源(yuan)(yuan)(10)與(yu)光(guang)(guang)學(xue)準(zhun)直套筒(11)連接，具體操作按下列步驟進行：
a、將(jiang)(jiang)電(dian)荷耦(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(6)固定(ding)在樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)板(5)上(shang)，再將(jiang)(jiang)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)板(5)分別與(yu)直流電(dian)源(yuan)(7)和(he)計算(suan)機(8)相連(lian)，在導軌(3)上(shang)固定(ding)有(you)(you)三(san)維樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)調(diao)(diao)整(zheng)臺(4)，在三(san)維樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)調(diao)(diao)整(zheng)臺(4)上(shang)固定(ding)有(you)(you)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)板(5)，利(li)用三(san)維樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)調(diao)(diao)整(zheng)臺(4)在導軌(3)上(shang)滑(hua)動，以及三(san)維樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)調(diao)(diao)整(zheng)臺(4)自身的(de)上(shang)下、左右調(diao)(diao)整(zheng)，使電(dian)荷耦(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(6)正對(dui)著(zhu)積分球(qiu)光(guang)(guang)源(yuan)出光(guang)(guang)口，然后將(jiang)(jiang)暗箱(9)罩上(shang)電(dian)荷耦(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(6)，開始進行(xing)暗場(chang)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)，暗場(chang)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)時(shi)需關閉測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)室中所(suo)有(you)(you)照明光(guang)(guang)源(yuan)和(he)積分球(qiu)光(guang)(guang)源(yuan)(2)，同(tong)時(shi)將(jiang)(jiang)暗箱(9)上(shang)的(de)通(tong)光(guang)(guang)口用遮(zhe)光(guang)(guang)蓋蓋上(shang)，計算(suan)機(8)上(shang)安裝的(de)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)軟件連(lian)續采集10幀灰度圖像，分別計算(suan)a、b、c三(san)個通(tong)道暗場(chang)所(suo)有(you)(you)像素位置的(de)灰度值的(de)平均值sa。d、sb。d、sc。d；
b、打開(kai)(kai)暗(an)箱(9)上的(de)遮光(guang)(guang)蓋，同時打開(kai)(kai)積分(fen)球光(guang)(guang)源(2)，并保持測試(shi)室中其他照明光(guang)(guang)源關閉，開(kai)(kai)始(shi)進(jin)行亮(liang)場測試(shi)，計算機(8)上安裝的(de)測試(shi)軟件連續采(cai)集10幀灰(hui)度(du)圖(tu)像，分(fen)別計算a、b、c三個通道亮(liang)場所有像素位置的(de)灰(hui)度(du)值的(de)平均值sa。l、sb。l、sc。l；
c、分別用a、b、c三個通(tong)道(dao)(dao)亮場所有像素位置的(de)(de)灰(hui)度值(zhi)的(de)(de)平均值(zhi)sa。l、sb。l、sc。l減(jian)去相應三個通(tong)道(dao)(dao)暗場所有像素位置的(de)(de)灰(hui)度值(zhi)的(de)(de)平均值(zhi)sa。d、sb。d、sc。d，得(de)到去除本(ben)底信(xin)息的(de)(de)信(xin)號sa、sb、sc，再計算出b通(tong)道(dao)(dao)相對于a通(tong)道(dao)(dao)的(de)(de)增益(yi)系數(shu)gb/a和(he)c通(tong)道(dao)(dao)相對于a通(tong)道(dao)(dao)的(de)(de)增益(yi)系數(shu)gc/a；
d、利用三維(wei)樣品(pin)調(diao)整臺(4)在導軌(gui)(3)上的(de)滑動以及三維(wei)樣品(pin)調(diao)整臺(4)自身的(de)上下、左右調(diao)整，使電荷(he)耦合(he)器件(jian)樣品(pin)(6)和鹵鎢燈(deng)光(guang)源(yuan)(10)、光(guang)學準(zhun)直(zhi)套(tao)筒(11)和會聚球面(mian)鏡(12)在一條直(zhi)線上，打(da)開鹵鎢燈(deng)光(guang)源(yuan)(10)，使經過(guo)會聚球面(mian)鏡(12)后出射光(guang)斑的(de)焦(jiao)平面(mian)剛好與電荷(he)耦合(he)器件(jian)樣品(pin)(6)的(de)上表面(mian)重合(he)，并使光(guang)斑邊(bian)緣(yuan)與電荷(he)耦合(he)器件(jian)樣品(pin)(6)的(de)左邊(bian)緣(yuan)和上邊(bian)緣(yuan)對齊；
e、將暗(an)箱(9)罩(zhao)上電(dian)荷耦(ou)合器(qi)件(jian)樣品(pin)(6)，開始進(jin)行暗(an)場(chang)測試(shi)(shi)(shi)(shi)，暗(an)場(chang)測試(shi)(shi)(shi)(shi)時需關閉(bi)測試(shi)(shi)(shi)(shi)室中所有照明(ming)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)和鹵鎢燈光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(10)，同時將暗(an)箱(9)上的(de)通光(guang)(guang)(guang)(guang)口(kou)用(yong)遮光(guang)(guang)(guang)(guang)蓋蓋上，計算機(8)上安裝的(de)測試(shi)(shi)(shi)(shi)軟件(jian)連續采(cai)集10幀灰(hui)度圖像，分(fen)別計算暗(an)場(chang)條件(jian)下電(dian)荷耦(ou)合器(qi)件(jian)樣品(pin)(6)三個通道輸出的(de)所有像素位置灰(hui)度值(zhi)(zhi)的(de)平均(jun)值(zhi)(zhi)sa.dark、sb.dark、sc.dark；
f、打(da)開暗箱(9)上(shang)的(de)(de)遮(zhe)光(guang)(guang)(guang)(guang)蓋，同時打(da)開鹵鎢(wu)燈光(guang)(guang)(guang)(guang)源(10)，并保持測(ce)試(shi)室中其他照(zhao)明光(guang)(guang)(guang)(guang)源關(guan)閉(bi)，開始進行亮(liang)場測(ce)試(shi)，計(ji)算機(ji)(8)上(shang)安(an)裝的(de)(de)測(ce)試(shi)軟(ruan)件連續采集10幀灰(hui)度(du)圖像(xiang)(xiang)，找到信號灰(hui)度(du)值(zhi)最大的(de)(de)像(xiang)(xiang)元即為光(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)中心(xin)，調節光(guang)(guang)(guang)(guang)強，使光(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)中心(xin)的(de)(de)灰(hui)度(du)值(zhi)在飽(bao)和(he)灰(hui)度(du)值(zhi)的(de)(de)40％-60％范圍(wei)內，選取與光(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)中心(xin)行列數相差為2以內的(de)(de)像(xiang)(xiang)元，分別(bie)計(ji)算亮(liang)場條(tiao)件下，電荷(he)耦合器件樣(yang)品(6)連同光(guang)(guang)(guang)(guang)斑(ban)(ban)中心(xin)在內的(de)(de)25個像(xiang)(xiang)元的(de)(de)信號灰(hui)度(du)值(zhi)之和(he)sa.light、sb.light、sc.light；
g、用亮(liang)場三(san)個(ge)(ge)通道(dao)(dao)輸出(chu)的(de)(de)25個(ge)(ge)像(xiang)元信(xin)號灰(hui)(hui)度值之和(he)sa.light、sb.light、sc.light減去(qu)(qu)暗(an)場三(san)個(ge)(ge)通道(dao)(dao)輸出(chu)的(de)(de)所有像(xiang)素位置灰(hui)(hui)度值的(de)(de)平均值sa.dark、sb.dark、sc.dark的(de)(de)25倍，得到(dao)電(dian)荷耦合器件樣(yang)品(6)三(san)個(ge)(ge)通道(dao)(dao)去(qu)(qu)除本底信(xin)息的(de)(de)信(xin)號s'a、s'b、s'c。
h、將b通(tong)道(dao)輸出(chu)(chu)的(de)去除本(ben)底信(xin)息(xi)的(de)信(xin)號s'b除以(yi)步驟c計算出(chu)(chu)的(de)b通(tong)道(dao)相對(dui)于a通(tong)道(dao)的(de)增益(yi)(yi)系數(shu)gb/a得到s1，求出(chu)(chu)水平轉移(yi)(yi)(yi)效(xiao)率ctehorizontal，將c通(tong)道(dao)輸出(chu)(chu)的(de)去除本(ben)底信(xin)息(xi)的(de)信(xin)號s'c除以(yi)步驟c計算出(chu)(chu)的(de)c通(tong)道(dao)相對(dui)于a通(tong)道(dao)的(de)增益(yi)(yi)系數(shu)得到gc/a得到s2，求出(chu)(chu)垂直(zhi)轉移(yi)(yi)(yi)效(xiao)率ctevertical，即測出(chu)(chu)電荷耦合器(qi)件的(de)水平、垂直(zhi)轉移(yi)(yi)(yi)效(xiao)率。
本(ben)發(fa)明所(suo)述的(de)(de)一種(zhong)基于光斑的(de)(de)電(dian)(dian)荷耦合(he)器(qi)件(jian)電(dian)(dian)荷轉移效率通用測(ce)試(shi)方(fang)法，該(gai)方(fang)法涉及裝(zhuang)置(zhi)是(shi)由靜(jing)電(dian)(dian)試(shi)驗(yan)平臺(tai)、積分球(qiu)光源、鹵鎢燈(deng)光源、會聚球(qiu)面(mian)鏡、樣(yang)品(pin)測(ce)試(shi)板、電(dian)(dian)荷耦合(he)器(qi)件(jian)樣(yang)品(pin)、導(dao)軌(gui)、三維樣(yang)品(pin)調整(zheng)臺(tai)、直流電(dian)(dian)源、暗箱(xiang)、光學(xue)準(zhun)直套筒和計算機(ji)組(zu)成，在靜(jing)電(dian)(dian)試(shi)驗(yan)平臺(tai)(1)上分別設有(you)積分球(qiu)光源(2)和導(dao)軌(gui)(3)，在導(dao)軌(gui)(3)上固定(ding)(ding)有(you)三維樣(yang)品(pin)調整(zheng)臺(tai)(4)，在三維樣(yang)品(pin)調整(zheng)臺(tai)(4)上固定(ding)(ding)有(you)樣(yang)品(pin)測(ce)試(shi)板(5)，在樣(yang)品(pin)測(ce)試(shi)板(5)上放置(zhi)電(dian)(dian)荷耦合(he)器(qi)件(jian)樣(yang)品(pin)(6)，樣(yang)品(pin)測(ce)試(shi)板(5)分別與(yu)直流電(dian)(dian)源(7)、計算機(ji)(8)連(lian)接，鹵鎢燈(deng)光源(10)與(yu)光學(xue)準(zhun)直套筒(11)連(lian)接，具(ju)體(ti)操作按下列步驟進行：
a、將(jiang)電荷耦(ou)合(he)器件(jian)(jian)(jian)樣(yang)品(pin)(6)固(gu)(gu)定(ding)在(zai)樣(yang)品(pin)測試(shi)板(ban)(5)上(shang)，再將(jiang)樣(yang)品(pin)測試(shi)板(ban)(5)分(fen)別與直流(liu)電源(7)和計算(suan)機(8)相連(lian)，在(zai)導軌(3)上(shang)固(gu)(gu)定(ding)有三(san)(san)維樣(yang)品(pin)調(diao)整臺(4)，在(zai)三(san)(san)維樣(yang)品(pin)調(diao)整臺(4)上(shang)固(gu)(gu)定(ding)有樣(yang)品(pin)測試(shi)板(ban)(5)，利用三(san)(san)維樣(yang)品(pin)調(diao)整臺(4)在(zai)導軌(3)上(shang)的(de)(de)(de)滑(hua)動以及三(san)(san)維樣(yang)品(pin)調(diao)整臺(4)自身(shen)的(de)(de)(de)上(shang)下、左(zuo)右調(diao)整，使(shi)電荷耦(ou)合(he)器件(jian)(jian)(jian)樣(yang)品(pin)(6)正對著積(ji)(ji)分(fen)球光(guang)(guang)源出(chu)光(guang)(guang)口，然后將(jiang)暗(an)箱(9)罩上(shang)電荷耦(ou)合(he)器件(jian)(jian)(jian)樣(yang)品(pin)(6)，開始進行暗(an)場(chang)測試(shi)，暗(an)場(chang)測試(shi)時(shi)需關閉測試(shi)室(shi)中(zhong)所(suo)(suo)有照明光(guang)(guang)源和積(ji)(ji)分(fen)球光(guang)(guang)源(2)，同時(shi)將(jiang)暗(an)箱(9)上(shang)的(de)(de)(de)通光(guang)(guang)口用遮光(guang)(guang)蓋蓋上(shang)，計算(suan)機(8)上(shang)安(an)裝(zhuang)的(de)(de)(de)測試(shi)軟件(jian)(jian)(jian)連(lian)續(xu)采集10幀灰(hui)度(du)圖像，分(fen)別計算(suan)a、b、c三(san)(san)個通道暗(an)場(chang)所(suo)(suo)有像素位置的(de)(de)(de)灰(hui)度(du)值的(de)(de)(de)平均值sa。d、sb。d、sc。d；
b、打(da)開暗箱(9)上的(de)遮(zhe)光(guang)蓋(gai)，同時打(da)開積分球光(guang)源(yuan)(2)，并保持測(ce)試(shi)室中其他照明光(guang)源(yuan)關閉，開始進行亮場測(ce)試(shi)，計算機(8)上安裝(zhuang)的(de)測(ce)試(shi)軟件連續采集(ji)10幀灰(hui)度圖像，分別計算a、b、c三(san)個(ge)通道亮場所(suo)有像素位置(zhi)的(de)灰(hui)度值(zhi)的(de)平均(jun)值(zhi)sa。l、sb。l、sc。l；
c、分別用a、b、c三個通道(dao)亮場所(suo)有像素位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)灰度值的(de)(de)(de)平均值sa。l、sb。l、sc。l減去相(xiang)(xiang)應三個通道(dao)暗場所(suo)有像素位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)灰度值的(de)(de)(de)平均值sa。d、sb。d、sc。d，得到去除(chu)本(ben)底(di)信(xin)息的(de)(de)(de)信(xin)號(hao)sa、sb、sc，再根(gen)據公式(1)、(2)計算出b通道(dao)相(xiang)(xiang)對于(yu)a通道(dao)的(de)(de)(de)增益系(xi)數gb/a和c通道(dao)相(xiang)(xiang)對于(yu)a通道(dao)的(de)(de)(de)增益系(xi)數gc/a；
d、利用三(san)維樣(yang)品(pin)(pin)調(diao)整(zheng)臺(4)在導(dao)軌(3)上的(de)滑動以(yi)及三(san)維樣(yang)品(pin)(pin)調(diao)整(zheng)臺(4)自身的(de)上下(xia)、左(zuo)右調(diao)整(zheng)，使(shi)電荷(he)耦合器(qi)(qi)件(jian)樣(yang)品(pin)(pin)(6)和(he)(he)鹵鎢(wu)燈(deng)光(guang)(guang)源(10)、光(guang)(guang)學準直套筒(11)、會(hui)聚球面鏡(12)在一條(tiao)直線上，打(da)開鹵鎢(wu)燈(deng)光(guang)(guang)源(10)，使(shi)經過(guo)會(hui)聚球面鏡(12)后出射光(guang)(guang)斑的(de)焦(jiao)平面剛好與(yu)電荷(he)耦合器(qi)(qi)件(jian)樣(yang)品(pin)(pin)(6)的(de)上表(biao)面重合，并使(shi)光(guang)(guang)斑邊緣與(yu)電荷(he)耦合器(qi)(qi)件(jian)樣(yang)品(pin)(pin)(6)的(de)左(zuo)邊緣和(he)(he)上邊緣對(dui)齊；
e、將暗箱(9)罩上(shang)電荷耦(ou)合(he)器件樣(yang)品(6)，開始進行暗場測(ce)試，暗場測(ce)試時需關閉測(ce)試室中所有(you)照明(ming)光(guang)源和鹵鎢燈光(guang)源(10)，同時將暗箱(9)上(shang)的(de)通光(guang)口用遮光(guang)蓋(gai)蓋(gai)上(shang)，計(ji)算機(8)上(shang)安裝(zhuang)的(de)測(ce)試軟件連續采集10幀(zhen)灰度圖像，分別計(ji)算暗場條件下電荷耦(ou)合(he)器件樣(yang)品(6)三個(ge)通道輸出的(de)所有(you)像素位置灰度值的(de)平均值sa.dark、sb.dark、sc.dark；
f、打(da)(da)開(kai)暗箱(9)上的(de)遮光(guang)(guang)蓋，同時打(da)(da)開(kai)鹵鎢燈光(guang)(guang)源(10)，并(bing)保持測試室中其(qi)他照明(ming)光(guang)(guang)源關閉，開(kai)始進行(xing)亮場(chang)測試，計(ji)算(suan)機(8)上安裝的(de)測試軟件(jian)連續采集10幀灰(hui)度圖像(xiang)，找(zhao)到信(xin)號灰(hui)度值(zhi)最大的(de)像(xiang)元即為光(guang)(guang)斑中心(xin)，調(diao)節光(guang)(guang)強，使光(guang)(guang)斑中心(xin)的(de)灰(hui)度值(zhi)在(zai)飽和灰(hui)度值(zhi)的(de)40％-60％范圍內。選取與光(guang)(guang)斑中心(xin)行(xing)列數相(xiang)差為2以(yi)內的(de)像(xiang)元,分別計(ji)算(suan)亮場(chang)條(tiao)件(jian)下,電荷(he)耦(ou)合器件(jian)樣品(pin)(6)連同光(guang)(guang)斑中心(xin)在(zai)內的(de)25個(ge)像(xiang)元的(de)信(xin)號灰(hui)度值(zhi)之(zhi)和sa.light、sb.light、sc.light；
g、用亮場(chang)三(san)個通道(dao)輸出(chu)(chu)的(de)25個像(xiang)元信(xin)號灰度(du)值(zhi)(zhi)之(zhi)和sa.light、sb.light、sc.light減去(qu)暗場(chang)三(san)個通道(dao)輸出(chu)(chu)的(de)所(suo)有(you)像(xiang)素(su)位置灰度(du)值(zhi)(zhi)的(de)平(ping)均值(zhi)(zhi)sa.dark、sb.dark、sc.dark的(de)25倍，得到電荷耦合器件樣品(6)三(san)個通道(dao)去(qu)除本底(di)信(xin)息的(de)信(xin)號s'a、s'b、s'c；
h、將b通道輸出的去除本底信息的信號s'b除以步驟c計算出的b通道相對于a通道的增益系數gb/a得到s1，根據公式
本(ben)發明所述的(de)一種(zhong)基于光斑(ban)的(de)電荷(he)耦合器件(jian)電荷(he)轉移效(xiao)率(lv)(lv)通用(yong)(yong)測(ce)(ce)(ce)試方(fang)法，適用(yong)(yong)于兩通道及(ji)(ji)以上的(de)電荷(he)耦合器件(jian)的(de)地面(mian)電荷(he)轉移效(xiao)率(lv)(lv)測(ce)(ce)(ce)試。本(ben)發明具有一定通用(yong)(yong)性(xing)，操(cao)作(zuo)簡單，可(ke)以較準(zhun)確的(de)測(ce)(ce)(ce)出(chu)電荷(he)耦合器件(jian)的(de)水平(ping)、垂直轉移效(xiao)率(lv)(lv)，為表征傳感器的(de)性(xing)能及(ji)(ji)變化(hua)程度(du)以及(ji)(ji)對(dui)極端環境下性(xing)能退化(hua)的(de)預測(ce)(ce)(ce)提供了有效(xiao)可(ke)行的(de)方(fang)法。
因此本發明適用于需要掌握電荷耦合器件性能的(de)器件研(yan)(yan)制單位(wei)、科研(yan)(yan)院所和(he)航天載荷單位(wei)使(shi)用。
附圖說明
圖1為本發明測試系統(tong)示意圖。
下面結合(he)附(fu)圖對本發明作(zuo)進一步(bu)詳細(xi)描述。
實施例
本發明所述(shu)的一種基于光斑(ban)的電(dian)(dian)荷耦合器件(jian)電(dian)(dian)荷轉移效率(lv)通用測試(shi)(shi)(shi)方(fang)法(fa)(fa)，該方(fang)法(fa)(fa)涉(she)及裝置是由靜(jing)電(dian)(dian)試(shi)(shi)(shi)驗平(ping)臺、積分球(qiu)(qiu)光源(yuan)、鹵(lu)(lu)鎢(wu)燈光源(yuan)、會聚球(qiu)(qiu)面(mian)鏡(jing)、樣品(pin)(pin)測試(shi)(shi)(shi)板(ban)(ban)(ban)、電(dian)(dian)荷耦合器件(jian)樣品(pin)(pin)、導軌(gui)、三維(wei)樣品(pin)(pin)調整(zheng)臺、直(zhi)流電(dian)(dian)源(yuan)、暗箱、光學準(zhun)(zhun)直(zhi)套筒和計算機(ji)組(zu)成，在(zai)靜(jing)電(dian)(dian)試(shi)(shi)(shi)驗平(ping)臺1上分別(bie)設有(you)(you)積分球(qiu)(qiu)光源(yuan)2和導軌(gui)3，在(zai)導軌(gui)3上固(gu)定(ding)有(you)(you)三維(wei)樣品(pin)(pin)調整(zheng)臺4，在(zai)三維(wei)樣品(pin)(pin)調整(zheng)臺4上固(gu)定(ding)有(you)(you)樣品(pin)(pin)測試(shi)(shi)(shi)板(ban)(ban)(ban)5，在(zai)樣品(pin)(pin)測試(shi)(shi)(shi)板(ban)(ban)(ban)5上放置電(dian)(dian)荷耦合器件(jian)樣品(pin)(pin)6，樣品(pin)(pin)測試(shi)(shi)(shi)板(ban)(ban)(ban)5分別(bie)與直(zhi)流電(dian)(dian)源(yuan)7、計算機(ji)8連(lian)接，鹵(lu)(lu)鎢(wu)燈光源(yuan)10與光學準(zhun)(zhun)直(zhi)套筒11連(lian)接，具體操作按下(xia)列步驟進行：
a、將(jiang)(jiang)(jiang)電荷(he)耦(ou)合(he)(he)器件樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)6(其型號(hao)為(wei)(wei)1k×1kccd)固(gu)定(ding)在(zai)(zai)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)試板5上(shang)，樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)6在(zai)(zai)水平(ping)、垂(chui)直(zhi)方向均為(wei)(wei)三(san)(san)相轉(zhuan)移，再(zai)將(jiang)(jiang)(jiang)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)試板5分(fen)(fen)別與直(zhi)流電源(yuan)7和(he)計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)8相連(lian)，連(lian)接后(hou)將(jiang)(jiang)(jiang)直(zhi)流電源(yuan)的(de)三(san)(san)路設(she)置(zhi)為(wei)(wei)+6v、+18v和(he)接地，設(she)置(zhi)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)試板5在(zai)(zai)+5v和(he)+18v下限流為(wei)(wei)300ma；在(zai)(zai)導(dao)軌3上(shang)固(gu)定(ding)有(you)三(san)(san)維(wei)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(tai)4，在(zai)(zai)三(san)(san)維(wei)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(tai)4上(shang)固(gu)定(ding)有(you)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)測(ce)(ce)試板5，利用三(san)(san)維(wei)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(tai)4在(zai)(zai)導(dao)軌3上(shang)的(de)滑動以及三(san)(san)維(wei)樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)調整(zheng)臺(tai)(tai)4自(zi)身的(de)上(shang)下、左右調整(zheng)，使電荷(he)耦(ou)合(he)(he)器件樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)6正對著(zhu)積(ji)分(fen)(fen)球(qiu)光(guang)(guang)源(yuan)出光(guang)(guang)口(kou)，然后(hou)將(jiang)(jiang)(jiang)暗(an)(an)箱(xiang)9罩上(shang)電荷(he)耦(ou)合(he)(he)器件樣(yang)(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)(pin)(pin)6，開始進行暗(an)(an)場測(ce)(ce)試，測(ce)(ce)試環境溫度(du)(du)設(she)置(zhi)為(wei)(wei)25℃，濕度(du)(du)設(she)置(zhi)為(wei)(wei)30％rh，暗(an)(an)場測(ce)(ce)試時需關(guan)閉測(ce)(ce)試室(shi)中所有(you)照明光(guang)(guang)源(yuan)和(he)積(ji)分(fen)(fen)球(qiu)光(guang)(guang)源(yuan)2，同(tong)時將(jiang)(jiang)(jiang)暗(an)(an)箱(xiang)9上(shang)的(de)通光(guang)(guang)口(kou)用遮光(guang)(guang)蓋蓋上(shang)，計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)8上(shang)安裝(zhuang)的(de)測(ce)(ce)試軟(ruan)件連(lian)續采集(ji)10幀灰(hui)度(du)(du)圖(tu)像，計(ji)(ji)(ji)算(suan)出a、b、c三(san)(san)個通道暗(an)(an)場所有(you)像素位置(zhi)的(de)灰(hui)度(du)(du)值(zhi)的(de)平(ping)均值(zhi)sa。d、sb。d、sc。d分(fen)(fen)別為(wei)(wei)692dn、736dn、729dn；
b、打開(kai)暗箱9上的遮(zhe)光蓋，同(tong)時(shi)打開(kai)積分球(qiu)光源2，并保持測(ce)(ce)試(shi)(shi)室中(zhong)其(qi)他照明光源關閉，開(kai)始(shi)進行(xing)亮場(chang)測(ce)(ce)試(shi)(shi)，測(ce)(ce)試(shi)(shi)環境(jing)溫(wen)度(du)設置(zhi)為(wei)25℃，濕度(du)設置(zhi)為(wei)30％rh，計算(suan)機(ji)8上安裝(zhuang)的測(ce)(ce)試(shi)(shi)軟(ruan)件(jian)連續采集10幀灰(hui)度(du)圖像(xiang)(xiang)，計算(suan)出a、b、c三個通道亮場(chang)所有像(xiang)(xiang)素位置(zhi)的灰(hui)度(du)值的平均值sa。l、sb。l、sc。l分別為(wei)28496dn、29674dn、30254dn；
c、分別用(yong)a、b、c三(san)個通道(dao)(dao)亮場所有像素位置(zhi)的(de)(de)(de)灰(hui)度值的(de)(de)(de)平均(jun)值sa。l、sb。l、sc。l減去(qu)相(xiang)應三(san)個通道(dao)(dao)暗(an)場所有像素位置(zhi)的(de)(de)(de)灰(hui)度值的(de)(de)(de)平均(jun)值sa。d、sb。d、sc。d，得到去(qu)除本底信息的(de)(de)(de)信號sa、sb、sc分別為27804dn、28938dn、29525dn，再根據公式(1)、(2)計算出b通道(dao)(dao)相(xiang)對于(yu)(yu)a通道(dao)(dao)的(de)(de)(de)增益(yi)系數gb/a和c通道(dao)(dao)相(xiang)對于(yu)(yu)a通道(dao)(dao)的(de)(de)(de)增益(yi)系數gc/a；
d、利用三維(wei)樣(yang)品(pin)調(diao)整(zheng)臺4在(zai)導(dao)軌(gui)3上(shang)的滑(hua)動以(yi)及三維(wei)樣(yang)品(pin)調(diao)整(zheng)臺4自身的上(shang)下、左右調(diao)整(zheng)，使(shi)電(dian)荷耦(ou)(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)品(pin)6和(he)鹵鎢(wu)燈光源10、光學(xue)準(zhun)直套(tao)筒11、會(hui)聚球(qiu)面(mian)鏡12在(zai)一條(tiao)直線上(shang)，打(da)開鹵鎢(wu)燈光源10，使(shi)經過會(hui)聚球(qiu)面(mian)鏡12后出射光斑(ban)的焦平面(mian)剛好與電(dian)荷耦(ou)(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)品(pin)6的上(shang)表面(mian)重(zhong)合(he)，并使(shi)光斑(ban)邊(bian)緣與電(dian)荷耦(ou)(ou)合(he)器(qi)件樣(yang)品(pin)6的左邊(bian)緣和(he)上(shang)邊(bian)緣對齊；
e、將暗(an)箱9罩上電荷耦(ou)合(he)(he)器(qi)(qi)件樣品(pin)6，開(kai)始進(jin)行暗(an)場測試(shi)(shi)，測試(shi)(shi)環境溫度(du)(du)(du)設(she)置為(wei)(wei)25℃，濕(shi)度(du)(du)(du)設(she)置為(wei)(wei)30％rh，暗(an)場測試(shi)(shi)時需(xu)關閉測試(shi)(shi)室中所有(you)照(zhao)明光源(yuan)和鹵(lu)鎢燈光源(yuan)10，同時將暗(an)箱9上的(de)通光口用遮光蓋蓋上，計算機8上安裝(zhuang)的(de)測試(shi)(shi)軟件連續采集10幀灰度(du)(du)(du)圖像(xiang)，計算出暗(an)場條件下(xia)電荷耦(ou)合(he)(he)器(qi)(qi)件樣品(pin)6三個通道輸(shu)出的(de)所有(you)像(xiang)素位置灰度(du)(du)(du)值(zhi)的(de)平均值(zhi)sa.dark、sb.dark、sc.dark分別為(wei)(wei)695dn、738dn、734dn；
f、打開暗箱9上的(de)(de)(de)遮(zhe)光(guang)蓋，同時(shi)打開鹵(lu)鎢燈光(guang)源(yuan)10，并(bing)保持測(ce)(ce)試(shi)室中其他(ta)照明(ming)光(guang)源(yuan)關閉(bi)，開始進行(xing)亮(liang)場測(ce)(ce)試(shi)，測(ce)(ce)試(shi)環(huan)境溫度(du)(du)(du)設置為(wei)(wei)(wei)25℃，濕度(du)(du)(du)設置為(wei)(wei)(wei)30％rh，計算(suan)機8上安(an)裝的(de)(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)軟件(jian)連(lian)續采集10幀(zhen)灰度(du)(du)(du)圖像(xiang)，找到信(xin)(xin)號灰度(du)(du)(du)值最大(da)的(de)(de)(de)像(xiang)元(yuan)即(ji)為(wei)(wei)(wei)光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)，此光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)靠近a通(tong)道輸(shu)出口(kou)，找到的(de)(de)(de)光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)在(zai)(zai)水平方向為(wei)(wei)(wei)第11個像(xiang)元(yuan)，在(zai)(zai)垂直方向為(wei)(wei)(wei)第15個像(xiang)元(yuan)，調節光(guang)強，使光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)的(de)(de)(de)灰度(du)(du)(du)值在(zai)(zai)飽(bao)和灰度(du)(du)(du)值的(de)(de)(de)40％-60％范圍內(nei)，選取(qu)與(yu)光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)行(xing)列數相差為(wei)(wei)(wei)2以內(nei)的(de)(de)(de)像(xiang)元(yuan),分別(bie)計算(suan)亮(liang)場條件(jian)下,電荷耦(ou)合器(qi)件(jian)樣(yang)品6連(lian)同光(guang)斑(ban)(ban)(ban)中心(xin)(xin)在(zai)(zai)內(nei)的(de)(de)(de)25個像(xiang)元(yuan)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)號灰度(du)(du)(du)值之和sa.light、sb.light、sc.light分別(bie)為(wei)(wei)(wei)473258dn、492416dn、499735dn；
g、用亮場三(san)個通道(dao)輸(shu)(shu)出的(de)25個像(xiang)元信(xin)(xin)號灰度(du)值之和sa.light、sb.light、sc.light減(jian)去(qu)暗場三(san)個通道(dao)輸(shu)(shu)出的(de)所有像(xiang)素位(wei)置灰度(du)值的(de)平均值sa.dark、sb.dark、sc.dark的(de)25倍，得到電(dian)荷耦合器(qi)件樣品6三(san)個通道(dao)去(qu)除本底信(xin)(xin)息的(de)信(xin)(xin)號s'a、s'b、s'c分別為(wei)455883dn、473966dn、481385dn。
h、將b通道輸出的去除本底信息的信號s'b除以步驟c計算出的b通道相對于a通道的增益系數gb/a得到s1，根據公式
由于電荷轉移(yi)效率現有(you)測(ce)試(shi)技術如周期脈(mo)(mo)沖技術需要(yao)(yao)對(dui)電荷耦合(he)器件(jian)芯片(pian)進(jin)(jin)行(xing)(xing)特殊(shu)(shu)(shu)設(she)計；x射(she)線堆積線徑跡方法(fa)(fa)需要(yao)(yao)對(dui)x射(she)線輻照劑量(liang)進(jin)(jin)行(xing)(xing)控(kong)制，對(dui)測(ce)試(shi)裝置要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)高(gao)(gao)，難(nan)以表征高(gao)(gao)cte(5個(ge)9或者6個(ge)9以上)的(de)(de)變化；首像元(yuan)響應(ying)法(fa)(fa)依賴(lai)于脈(mo)(mo)沖頻率的(de)(de)控(kong)制，僅適用(yong)于幀轉移(yi)結構；擴展像元(yuan)邊緣響應(ying)法(fa)(fa)不要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)特殊(shu)(shu)(shu)的(de)(de)設(she)備，只要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)提供(gong)穩定的(de)(de)平(ping)面光場，一致(zhi)性(xing)(xing)好，但該方法(fa)(fa)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)器件(jian)像素單元(yuan)有(you)抗暈結構，否則(ze)對(dui)光強(qiang)等條件(jian)有(you)較(jiao)高(gao)(gao)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)。現有(you)技術方法(fa)(fa)對(dui)器件(jian)工藝或結構有(you)特殊(shu)(shu)(shu)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)(qiu)，不具備通用(yong)性(xing)(xing)。
本發明所(suo)述的一種基(ji)于光斑的電荷耦合(he)器件(jian)電荷轉移效率(lv)通(tong)用測(ce)(ce)試(shi)方(fang)法(fa)(fa)，該(gai)方(fang)法(fa)(fa)具(ju)有的效果是(shi)對器件(jian)工藝、結構(gou)沒有特殊要(yao)求；而且該(gai)方(fang)法(fa)(fa)用尺寸為毫米量級(ji)的小光斑即可完(wan)成(cheng)測(ce)(ce)試(shi)，避免了采(cai)用微(wei)米量級(ji)光斑并且必須對應(ying)幾個(ge)像元導致的測(ce)(ce)試(shi)難(nan)度。該(gai)方(fang)法(fa)(fa)采(cai)用幾個(ge)像元的輸出電荷包進(jin)行統計(ji)，避免了單(dan)個(ge)像元導致的誤差，適用于兩通(tong)道(dao)及以上(shang)的電荷耦合(he)器件(jian)的地面電荷轉移效率(lv)測(ce)(ce)試(shi)。
通過試(shi)驗得(de)到(dao)的(de)(de)(de)(de)數(shu)據，按照本發明(ming)提出(chu)的(de)(de)(de)(de)方法，就能較準確的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)出(chu)電荷耦合器件的(de)(de)(de)(de)水平、垂(chui)直轉移(yi)效率(lv)，該測(ce)(ce)試(shi)結(jie)果(guo)不但(dan)與(yu)理論(lun)分析(xi)、建模仿真(zhen)結(jie)果(guo)相符，也與(yu)現有技術測(ce)(ce)出(chu)的(de)(de)(de)(de)同款器件的(de)(de)(de)(de)電荷轉移(yi)效率(lv)結(jie)果(guo)相符。