本發明涉及(ji)一(yi)種角速(su)度(du)檢測電路、角速(su)度(du)檢測裝置(zhi)、電子(zi)設備以及(ji)移動(dong)體。

背景技術：

近年(nian)來，開發出(chu)一(yi)種例(li)如(ru)利(li)用硅mems(microelectromechanicalsystem：微機電系統)技(ji)術對角(jiao)速度進行(xing)檢測的(de)角(jiao)速度傳感器(qi)(陀螺(luo)儀傳感器(qi))。

專(zhuan)利文獻1中公開了(le)一(yi)種通過(guo)利用電容耦(ou)合向檢(jian)測電路的前(qian)段(檢(jian)測主部與c/v轉換電路之間)輸入正交誤差(cha)消除信號(hao)(hao)從(cong)而減少檢(jian)測主部的輸出信號(hao)(hao)中所(suo)包含(han)的正交信號(hao)(hao)的技術。

然而，在(zai)(zai)專利文獻1所(suo)記載的陀螺儀傳感器中存在(zai)(zai)如下問題，即，當在(zai)(zai)檢測電(dian)路的前(qian)段進行電(dian)容耦(ou)合時，被(bei)輸入至檢測電(dian)路的信(xin)號所(suo)包含(han)的噪聲成分將增大，從(cong)而難以使(shi)被(bei)輸出的角速度(du)信(xin)號的s/n提高。

專(zhuan)利(li)文獻1：美國專(zhuan)利(li)申請公開(kai)第(di)2007/0180908號說明書

技術實現要素：

本(ben)發明(ming)(ming)為鑒于以上的(de)這種(zhong)問(wen)題點而完成的(de)發明(ming)(ming)，根(gen)據(ju)本(ben)發明(ming)(ming)的(de)幾(ji)個方式，能夠(gou)提(ti)(ti)供一(yi)種(zhong)與現(xian)有技術相(xiang)比能夠(gou)提(ti)(ti)高角速度(du)(du)(du)信號的(de)s/n的(de)角速度(du)(du)(du)檢測(ce)電(dian)路(lu)以及角速度(du)(du)(du)檢測(ce)裝置。此外，根(gen)據(ju)本(ben)發明(ming)(ming)的(de)幾(ji)個方式，能夠(gou)提(ti)(ti)供一(yi)種(zhong)使用了該角速度(du)(du)(du)檢測(ce)裝置的(de)電(dian)子設備以及移動體(ti)。

本(ben)發(fa)(fa)明(ming)是(shi)為了(le)解決前述課題(ti)的至少(shao)一(yi)部(bu)分而完成的發(fa)(fa)明(ming)，并能夠作為以下的方式或應用(yong)例而實現。

應用例1

本(ben)應用例所(suo)(suo)涉及的(de)(de)(de)角(jiao)(jiao)速(su)度(du)檢測(ce)電(dian)路(lu)包括：第(di)(di)一(yi)(yi)轉換部(bu)，其具有第(di)(di)一(yi)(yi)運算放(fang)大器(qi)，并且將從角(jiao)(jiao)速(su)度(du)檢測(ce)元(yuan)件的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)檢測(ce)電(dian)極輸(shu)(shu)出并被輸(shu)(shu)入(ru)到所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)運算放(fang)大器(qi)的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)輸(shu)(shu)入(ru)端子(zi)(zi)(zi)中的(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)(yi)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)轉換為(wei)電(dian)壓；角(jiao)(jiao)速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)生(sheng)成(cheng)部(bu)，其基于(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)轉換部(bu)的(de)(de)(de)輸(shu)(shu)出信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)而生(sheng)成(cheng)角(jiao)(jiao)速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)；第(di)(di)一(yi)(yi)補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)生(sheng)成(cheng)部(bu)，其根據基于(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)角(jiao)(jiao)速(su)度(du)檢測(ce)元(yuan)件的(de)(de)(de)驅(qu)動(dong)(dong)振動(dong)(dong)而獲(huo)得(de)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)來生(sheng)成(cheng)第(di)(di)一(yi)(yi)補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)，所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)用于(yu)(yu)使由(you)(you)于(yu)(yu)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)中所(suo)(suo)包含(han)的(de)(de)(de)泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)而產生(sheng)的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)角(jiao)(jiao)速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)(de)偏移減(jian)少；所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)直接(jie)或經由(you)(you)電(dian)阻(zu)而被輸(shu)(shu)入(ru)到所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)運算放(fang)大器(qi)的(de)(de)(de)所(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)(yi)輸(shu)(shu)入(ru)端子(zi)(zi)(zi)或者第(di)(di)二輸(shu)(shu)入(ru)端子(zi)(zi)(zi)中。

第一轉(zhuan)換部例如也可(ke)以(yi)是(shi)將電(dian)(dian)荷轉(zhuan)換為(wei)電(dian)(dian)壓的q/v轉(zhuan)換器(電(dian)(dian)荷放大(da)器)，還可(ke)以(yi)是(shi)將電(dian)(dian)流轉(zhuan)換為(wei)電(dian)(dian)壓的i/v轉(zhuan)換器。

根據本應(ying)(ying)(ying)用(yong)例所(suo)涉及(ji)的(de)(de)角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)電(dian)路，能夠(gou)通過(guo)使第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)補(bu)正信號(hao)(hao)(hao)被輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)運(yun)算放大(da)器(qi)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)或(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)中(zhong)，從(cong)而(er)(er)使由(you)(you)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)檢(jian)測(ce)信號(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)包含(han)的(de)(de)泄漏(lou)信號(hao)(hao)(hao)而(er)(er)產(chan)生的(de)(de)角(jiao)速度(du)信號(hao)(hao)(hao)的(de)(de)偏(pian)移減少(shao)。而(er)(er)且(qie)(qie)，由(you)(you)于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)補(bu)正信號(hao)(hao)(hao)直接或(huo)經(jing)由(you)(you)電(dian)阻(zu)而(er)(er)被輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)運(yun)算放大(da)器(qi)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)或(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)中(zhong)，因此(ci)與(yu)經(jing)由(you)(you)電(dian)容而(er)(er)被輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)的(de)(de)現有技術(shu)相(xiang)比，能夠(gou)減少(shao)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部(bu)的(de)(de)輸(shu)(shu)出(chu)信號(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)包含(han)的(de)(de)噪聲成分。并且(qie)(qie)，由(you)(you)于(yu)通過(guo)使第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)運(yun)算放大(da)器(qi)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)或(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)二輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端子(zi)(zi)(zi)中(zhong)被輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)有第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)補(bu)正信號(hao)(hao)(hao)從(cong)而(er)(er)使第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部(bu)的(de)(de)輸(shu)(shu)出(chu)信號(hao)(hao)(hao)中(zhong)泄漏(lou)信號(hao)(hao)(hao)衰減，因此(ci)能夠(gou)相(xiang)應(ying)(ying)(ying)地(di)使第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部(bu)的(de)(de)增益(yi)增大(da)。因此(ci)，根據本應(ying)(ying)(ying)用(yong)例所(suo)涉及(ji)的(de)(de)角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)電(dian)路，第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部(bu)的(de)(de)輸(shu)(shu)出(chu)信號(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)包含(han)的(de)(de)角(jiao)速度(du)成分(科里奧利信號(hao)(hao)(hao))與(yu)噪聲成分之比變大(da)，其(qi)結果(guo)為，與(yu)現有技術(shu)相(xiang)比，能夠(gou)使基(ji)于(yu)第(di)(di)(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部(bu)的(de)(de)輸(shu)(shu)出(chu)信號(hao)(hao)(hao)所(suo)生成的(de)(de)角(jiao)速度(du)信號(hao)(hao)(hao)的(de)(de)s/n提高。

應用例2

在(zai)上述應(ying)用(yong)例所(suo)涉及的(de)角速度檢測電路中(zhong)，也可以采(cai)用(yong)如下方式，即，所(suo)述第(di)一補正信(xin)號(hao)生成部(bu)包含對所(suo)述第(di)一補正信(xin)號(hao)的(de)振幅進行調(diao)節的(de)第(di)一振幅調(diao)節部(bu)。

根據(ju)本應用(yong)例所涉及的角(jiao)(jiao)速度(du)檢測電路，由于通過利用(yong)第(di)一(yi)(yi)振幅(fu)調節(jie)部而(er)使振幅(fu)被調節(jie)了的第(di)一(yi)(yi)補正信號被輸入到第(di)一(yi)(yi)運(yun)算放大器的第(di)一(yi)(yi)輸入端子或(huo)者(zhe)第(di)二輸入端子中，從而(er)使第(di)一(yi)(yi)轉換(huan)部的輸出(chu)信號中泄漏信號進(jin)一(yi)(yi)步(bu)衰(shuai)減，因此其(qi)結果(guo)為，能夠使角(jiao)(jiao)速度(du)信號的s/n進(jin)一(yi)(yi)步(bu)提高(gao)。

應用例3

在上述(shu)(shu)應用例所(suo)(suo)(suo)涉及的角速度檢(jian)測電(dian)路(lu)(lu)中，也可以采用如下方式，即，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)補正信(xin)號(hao)生(sheng)成部(bu)具有第(di)一(yi)(yi)(yi)同步(bu)檢(jian)波(bo)電(dian)路(lu)(lu)，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)同步(bu)檢(jian)波(bo)電(dian)路(lu)(lu)基于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)轉換部(bu)的輸出信(xin)號(hao)而對所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)檢(jian)測信(xin)號(hao)中所(suo)(suo)(suo)包含的所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)泄(xie)漏(lou)信(xin)號(hao)的電(dian)平(ping)進行檢(jian)測，所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)振幅調節(jie)(jie)部(bu)基于所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)同步(bu)檢(jian)波(bo)電(dian)路(lu)(lu)所(suo)(suo)(suo)檢(jian)測出的所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)泄(xie)漏(lou)信(xin)號(hao)的電(dian)平(ping)而對所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一(yi)(yi)(yi)補正信(xin)號(hao)的振幅進行調節(jie)(jie)。

根(gen)據(ju)本應用例所(suo)涉(she)及的(de)(de)角速度檢測電路，由于即使(shi)第(di)一檢測信(xin)(xin)號(hao)中所(suo)包含的(de)(de)泄漏信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)振幅發(fa)生(sheng)(sheng)變(bian)化，第(di)一補(bu)正信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)振幅也會隨之調(diao)節，因(yin)此(ci)即使(shi)環境發(fa)生(sheng)(sheng)變(bian)化也能夠將角速度信(xin)(xin)號(hao)的(de)(de)s/n維(wei)持為固(gu)定。

此外，根據(ju)本(ben)應用(yong)例所(suo)涉及的角(jiao)速度檢(jian)(jian)測(ce)電路，由于在其(qi)制造工序中(zhong)，無(wu)需(xu)設定用(yong)于對(dui)第一檢(jian)(jian)測(ce)信號中(zhong)所(suo)包含的泄(xie)漏信號的振幅進行檢(jian)(jian)查并對(dui)第一補正信號的振幅進行調節的信息，因此還能夠削減(jian)制造成(cheng)本(ben)。

應用例4

在上述(shu)應(ying)用例所(suo)涉及的(de)角速度檢測(ce)電路中，也可以采用如下方式，即(ji)，所(suo)述(shu)第(di)一(yi)振幅調節部基于存儲(chu)部中所(suo)存儲(chu)的(de)信(xin)息而對所(suo)述(shu)第(di)一(yi)補正信(xin)號(hao)的(de)振幅進行(xing)調節。

根據本應(ying)(ying)用例(li)(li)所(suo)涉及的角(jiao)速(su)度檢測電路(lu)，例(li)(li)如，能夠通過在(zai)其(qi)制造工序中(zhong)對第(di)一檢測信(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所(suo)包含的泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)號(hao)的振幅進行(xing)檢查并將與泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)號(hao)的振幅相(xiang)對應(ying)(ying)的信(xin)(xin)息存儲(chu)(chu)到(dao)存儲(chu)(chu)部中(zhong)，從而(er)使角(jiao)速(su)度信(xin)(xin)號(hao)的s/n提高。

此(ci)(ci)(ci)外，根據本應(ying)用(yong)例所(suo)涉及的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)路，當(dang)第一(yi)檢(jian)測(ce)(ce)信(xin)號(hao)中所(suo)包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)泄漏(lou)信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)振(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)、相位因(yin)(yin)環境變化而發生變化時，基于角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)元件的(de)(de)(de)(de)驅動振(zhen)(zhen)動的(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)振(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)、相位也會(hui)同樣發生變化，因(yin)(yin)此(ci)(ci)(ci)即使(shi)不(bu)對(dui)泄漏(lou)信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)平進行(xing)檢(jian)測(ce)(ce)，也能夠在某種(zhong)程度(du)上(shang)將角(jiao)速(su)度(du)信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)s/n維(wei)持為(wei)固定。因(yin)(yin)此(ci)(ci)(ci)，根據本應(ying)用(yong)例所(suo)涉及的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)路，由于不(bu)需要用(yong)于對(dui)第一(yi)檢(jian)測(ce)(ce)信(xin)號(hao)中所(suo)包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)泄漏(lou)信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)平進行(xing)檢(jian)測(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)路，因(yin)(yin)此(ci)(ci)(ci)還能夠削減電(dian)(dian)(dian)路面積。

應用例5

在上述(shu)(shu)應用(yong)例所(suo)(suo)涉及的角速度檢測(ce)電(dian)路(lu)中(zhong)，也可以采用(yong)如下方式，即，所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一補(bu)正信(xin)(xin)號(hao)的相信(xin)(xin)與所(suo)(suo)述(shu)(shu)第(di)一檢測(ce)信(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所(suo)(suo)包含的科里(li)奧利信(xin)(xin)號(hao)的相位錯開90°。

根(gen)據(ju)本應用例所涉及的(de)角(jiao)速度檢測電路，由于(yu)能夠通過(guo)第一(yi)補正信(xin)號而(er)使相位與科里奧(ao)利信(xin)號錯(cuo)開了90°的(de)機(ji)械性的(de)振動的(de)泄(xie)漏信(xin)號有(you)效衰減，因此能夠使角(jiao)速度信(xin)號的(de)s/n提高。

應用例6

在(zai)上述應用例所(suo)(suo)涉及的角速度檢測(ce)電路中，也可以(yi)采用如下方式，即，所(suo)(suo)述第(di)一補正信(xin)號生成(cheng)部包含對所(suo)(suo)述第(di)一補正信(xin)號的相(xiang)位進行(xing)調節的第(di)一相(xiang)位調節部。

根據本應用(yong)例所涉及的角速度檢測電路，由(you)于(yu)通(tong)過利(li)用(yong)第(di)(di)一(yi)相位調節部而(er)使相位被調節了的第(di)(di)一(yi)補正信(xin)號(hao)被輸(shu)入到(dao)第(di)(di)一(yi)運算放大(da)器的第(di)(di)一(yi)輸(shu)入端子或者第(di)(di)二輸(shu)入端子中(zhong)，從而(er)使第(di)(di)一(yi)轉換部的輸(shu)出信(xin)號(hao)中(zhong)泄(xie)漏信(xin)號(hao)進(jin)一(yi)步衰減，因(yin)此其結果為，能夠(gou)使角速度信(xin)號(hao)的s/n提(ti)高。

應用例7

在上述(shu)(shu)(shu)(shu)應(ying)用例所涉及的(de)(de)角(jiao)速度檢(jian)(jian)測(ce)電(dian)路(lu)中，也可(ke)以采用如下方式，即，所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一補正信號(hao)生成部具有第(di)(di)(di)一同(tong)步檢(jian)(jian)波電(dian)路(lu)，所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一同(tong)步檢(jian)(jian)波電(dian)路(lu)基于所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一轉換部的(de)(de)輸出信號(hao)而對(dui)所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一檢(jian)(jian)測(ce)信號(hao)中所包含的(de)(de)所述(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)信號(hao)的(de)(de)電(dian)平(ping)進行(xing)檢(jian)(jian)測(ce)，所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一相(xiang)位(wei)(wei)調(diao)節部基于所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一同(tong)步檢(jian)(jian)波電(dian)路(lu)所檢(jian)(jian)測(ce)出的(de)(de)所述(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)信號(hao)的(de)(de)電(dian)平(ping)而對(dui)所述(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)一補正信號(hao)的(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)進行(xing)調(diao)節。

根據本應用例所涉(she)及的角速度檢測(ce)電路(lu)，由于即(ji)使(shi)第一檢測(ce)信(xin)號(hao)(hao)(hao)中所包含的泄漏(lou)信(xin)號(hao)(hao)(hao)的相位發生變化，第一補正信(xin)號(hao)(hao)(hao)的相位也(ye)會隨之調節，因此(ci)即(ji)使(shi)環境發生變化也(ye)能夠將角速度信(xin)號(hao)(hao)(hao)的s/n維持固(gu)定。

此外(wai)，根據本應用例所涉及的(de)角速度檢(jian)測電路，由于在其制(zhi)造工序中，無需設定用于對(dui)第(di)一檢(jian)測信號中所包含的(de)泄漏信號的(de)相位進(jin)行(xing)檢(jian)查并對(dui)第(di)一補正(zheng)信號的(de)相位進(jin)行(xing)調節的(de)信息，因此也(ye)能夠削減(jian)制(zhi)造成(cheng)本。

應用例8

在(zai)上(shang)述應用例所涉(she)及的(de)角速度(du)檢測電(dian)路中，也可以采(cai)用如下方式，即，所述第(di)一相位調節(jie)部基于存儲(chu)部中所存儲(chu)的(de)信息而對(dui)所述第(di)一補(bu)正信號的(de)相位進行(xing)調節(jie)。

根據本應(ying)用例所(suo)涉(she)及的(de)角(jiao)速(su)度檢測電路，例如，能夠通過在其制(zhi)造工序(xu)中(zhong)，將對第一(yi)檢測信(xin)號(hao)中(zhong)所(suo)包含的(de)泄(xie)漏信(xin)號(hao)的(de)相(xiang)位進行檢查并將與泄(xie)漏信(xin)號(hao)的(de)相(xiang)位相(xiang)對應(ying)的(de)信(xin)息存儲到存儲部中(zhong)，從而使(shi)角(jiao)速(su)度信(xin)號(hao)的(de)s/n提(ti)高。

此外，根(gen)據本(ben)應(ying)用(yong)例所(suo)涉及(ji)的(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電路，當第一檢(jian)(jian)測(ce)(ce)信號(hao)中(zhong)所(suo)包含(han)的(de)(de)泄(xie)漏(lou)信號(hao)的(de)(de)振幅(fu)、相位因環境變(bian)化而發生變(bian)化時，基(ji)于角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件的(de)(de)驅動振動的(de)(de)信號(hao)的(de)(de)振幅(fu)、相位也(ye)(ye)會同樣(yang)發生變(bian)化，因此即使不對泄(xie)漏(lou)信號(hao)的(de)(de)電平進行檢(jian)(jian)測(ce)(ce)，也(ye)(ye)能(neng)夠(gou)在(zai)某種程度(du)上將角(jiao)速(su)度(du)信號(hao)的(de)(de)s/n維持為固定。因此，根(gen)據本(ben)應(ying)用(yong)例所(suo)涉及(ji)的(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電路，由于不需(xu)要用(yong)于對第一檢(jian)(jian)測(ce)(ce)信號(hao)中(zhong)所(suo)包含(han)的(de)(de)泄(xie)漏(lou)信號(hao)的(de)(de)電平進行檢(jian)(jian)測(ce)(ce)的(de)(de)電路，因此也(ye)(ye)能(neng)夠(gou)削減電路面(mian)積。

應用例9

上(shang)述(shu)(shu)(shu)應用(yong)例所(suo)涉及的(de)(de)(de)角速(su)(su)(su)度檢(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)路也可以采(cai)用(yong)如下方式，即(ji)，包括：第(di)(di)二(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)部(bu)，其(qi)具(ju)有第(di)(di)二(er)(er)運算(suan)放(fang)大(da)(da)器，并且(qie)將從所(suo)述(shu)(shu)(shu)角速(su)(su)(su)度檢(jian)測(ce)(ce)元件的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)(er)檢(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)極輸(shu)出并被輸(shu)入到所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)運算(suan)放(fang)大(da)(da)器的(de)(de)(de)第(di)(di)一輸(shu)入端(duan)子(zi)中的(de)(de)(de)第(di)(di)二(er)(er)檢(jian)測(ce)(ce)信(xin)號(hao)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)為(wei)電(dian)(dian)壓，第(di)(di)二(er)(er)補正(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)生(sheng)(sheng)成(cheng)部(bu)，其(qi)根(gen)據基(ji)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)驅(qu)動(dong)振動(dong)而獲得(de)的(de)(de)(de)信(xin)號(hao)來生(sheng)(sheng)成(cheng)第(di)(di)二(er)(er)補正(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)補正(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)用(yong)于(yu)使由(you)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)檢(jian)測(ce)(ce)信(xin)號(hao)中所(suo)包含的(de)(de)(de)泄(xie)漏信(xin)號(hao)而產生(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)(shu)角速(su)(su)(su)度信(xin)號(hao)的(de)(de)(de)偏(pian)移(yi)減少，所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)補正(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)直接或經由(you)電(dian)(dian)阻而被輸(shu)入到所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)運算(suan)放(fang)大(da)(da)器的(de)(de)(de)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一輸(shu)入端(duan)子(zi)或者第(di)(di)二(er)(er)輸(shu)入端(duan)子(zi)中，所(suo)述(shu)(shu)(shu)角速(su)(su)(su)度信(xin)號(hao)生(sheng)(sheng)成(cheng)部(bu)具(ju)有對所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一轉(zhuan)(zhuan)換(huan)部(bu)的(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)和所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)部(bu)的(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)進行差動(dong)放(fang)大(da)(da)的(de)(de)(de)差動(dong)放(fang)大(da)(da)部(bu)，并且(qie)，所(suo)述(shu)(shu)(shu)角速(su)(su)(su)度信(xin)號(hao)生(sheng)(sheng)成(cheng)部(bu)基(ji)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)差動(dong)放(fang)大(da)(da)部(bu)的(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)而生(sheng)(sheng)成(cheng)所(suo)述(shu)(shu)(shu)角速(su)(su)(su)度信(xin)號(hao)。

第二(er)轉(zhuan)換(huan)(huan)部例如也可以是將電荷轉(zhuan)換(huan)(huan)為電壓的(de)(de)q/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器(電荷放大器)，還(huan)可以是將電流(liu)轉(zhuan)換(huan)(huan)為電壓的(de)(de)i/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器。

根據(ju)本(ben)應(ying)用(yong)例所(suo)(suo)涉(she)及(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)(du)檢測(ce)電路(lu)，能夠通過(guo)(guo)將(jiang)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)到(dao)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)，并且將(jiang)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)到(dao)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)，從而(er)(er)使(shi)由(you)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)及(ji)(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)(suo)包(bao)含的(de)(de)(de)(de)(de)泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)而(er)(er)產生的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)偏移減(jian)(jian)少(shao)。而(er)(er)且，由(you)于第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)直接或(huo)(huo)經由(you)電阻而(er)(er)被輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)到(dao)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)，并且第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)直接或(huo)(huo)經由(you)電阻而(er)(er)被輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)到(dao)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)，因此(ci)與(yu)通過(guo)(guo)電容而(er)(er)被輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)的(de)(de)(de)(de)(de)現有(you)技術相比，能夠使(shi)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)及(ji)(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)(suo)包(bao)含的(de)(de)(de)(de)(de)噪(zao)聲成分減(jian)(jian)少(shao)。并且，由(you)于通過(guo)(guo)使(shi)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)被輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)有(you)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，并且使(shi)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)運算(suan)放(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)或(huo)(huo)者(zhe)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)子(zi)中(zhong)(zhong)被輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)有(you)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)補正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，從而(er)(er)使(shi)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)及(ji)(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)衰減(jian)(jian)，因此(ci)能夠相應(ying)地增(zeng)大(da)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)以(yi)及(ji)(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)增(zeng)益。因此(ci)，根據(ju)本(ben)應(ying)用(yong)例所(suo)(suo)涉(she)及(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)(du)檢測(ce)電路(lu)，能夠使(shi)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)及(ji)(ji)(ji)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)(suo)包(bao)含的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)(du)成分(科(ke)里(li)奧利信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))與(yu)噪(zao)聲成分之比變大(da)，其結果為，與(yu)現有(you)技術相比，使(shi)基于將(jiang)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)和第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)(er)(er)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)(huan)(huan)部(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)被差動放(fang)(fang)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)而(er)(er)生成的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)s/n提高。

也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生成(cheng)(cheng)部(bu)(bu)(bu)(bu)包(bao)含(han)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)振幅進(jin)行調節(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)振幅調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生成(cheng)(cheng)部(bu)(bu)(bu)(bu)具(ju)有(you)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路基于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)轉換(huan)部(bu)(bu)(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)(lou)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)振幅調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)基于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)(lou)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電平(ping)而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)振幅進(jin)行調節(jie)。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)振幅調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)基于存(cun)儲(chu)部(bu)(bu)(bu)(bu)中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)存(cun)儲(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)息而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)振幅進(jin)行調節(jie)。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)與所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)科里奧利信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)錯開90°。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生成(cheng)(cheng)部(bu)(bu)(bu)(bu)包(bao)含(han)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)進(jin)行調節(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生成(cheng)(cheng)部(bu)(bu)(bu)(bu)具(ju)有(you)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路基于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)轉換(huan)部(bu)(bu)(bu)(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)(lou)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)基于所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)同步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電路所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)泄漏(lou)(lou)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電平(ping)而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)進(jin)行調節(jie)。也(ye)可以(yi)(yi)采(cai)(cai)(cai)用(yong)如(ru)(ru)下(xia)方式，即，所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)調節(jie)部(bu)(bu)(bu)(bu)基于存(cun)儲(chu)部(bu)(bu)(bu)(bu)中(zhong)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)存(cun)儲(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)息而(er)(er)對(dui)(dui)(dui)所(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)第(di)(di)(di)二(er)(er)(er)補(bu)(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)進(jin)行調節(jie)。

應用例10

本應用(yong)例(li)所涉(she)及的角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測裝置具備上(shang)述(shu)任(ren)意一(yi)項的角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測電(dian)路(lu)、對所述(shu)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測元(yuan)件進行驅(qu)動的驅(qu)動電(dian)路(lu)、所述(shu)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測元(yuan)件。

根據本(ben)應用(yong)例所涉及的(de)角(jiao)速度(du)檢測(ce)裝置(zhi)，由于(yu)具備上述的(de)任意(yi)一(yi)項的(de)角(jiao)速度(du)檢測(ce)電(dian)路(lu)，因此與現有技(ji)術相比能(neng)夠使角(jiao)速度(du)信號的(de)s/n提(ti)高。

應用例11

本應用(yong)例所(suo)涉及的電(dian)子設備(bei)具(ju)備(bei)上述(shu)的角速度檢(jian)測裝(zhuang)置。

應用例12

本應用例(li)所(suo)涉及的移動體具(ju)備上(shang)述的角速度(du)檢測(ce)裝置。

根據這些應用例(li)，由于具(ju)備與現有(you)技術相比可(ke)使角速度信號的(de)s/n提高的(de)角速度檢測(ce)裝置，因此(ci)例(li)如也可(ke)以(yi)實現能夠(gou)以(yi)更高精(jing)度實施基于角速度的(de)變化的(de)處理的(de)電子設備以(yi)及(ji)移動體。

附圖說明

圖1為示意性地(di)表(biao)示角(jiao)速(su)度檢測(ce)元件的俯視(shi)圖。

圖2為示意性地表示角速度檢測元件的(de)剖視圖。

圖3為用于對(dui)角速度檢測元件(jian)的動作(zuo)進行說明的圖。

圖4為(wei)用于對角速度檢測元件的動作進行(xing)說(shuo)明(ming)的圖。

圖(tu)5為用于對角速度檢測元件的動作進(jin)行說明的圖(tu)。

圖6為用于(yu)對角速(su)度檢測(ce)元件的動作進行(xing)說明的圖。

圖(tu)7為表示第一實施方式的角速(su)度檢測裝置的結構的圖(tu)。

圖8為表示(shi)第一實施方式的(de)(de)角速(su)度檢(jian)測裝置的(de)(de)信號波形的(de)(de)一個示(shi)例的(de)(de)圖。

圖9為表示第二實施方式的(de)角速度檢測裝(zhuang)置的(de)結構的(de)圖。

圖(tu)(tu)10為表示(shi)第二實施方式(shi)的角速度檢測裝置的信(xin)號波(bo)形的一個示(shi)例的圖(tu)(tu)。

圖(tu)11為(wei)表示第(di)三實施方(fang)式(shi)的(de)角速度檢測裝置的(de)結構的(de)圖(tu)。

圖(tu)12為表示第四實施方式的(de)(de)角速度檢測裝置的(de)(de)結(jie)構的(de)(de)圖(tu)。

圖(tu)13為表示改變例1的角速度(du)檢測裝置的結構的圖(tu)。

圖14為表(biao)示改變例2的(de)角速(su)度檢測裝置的(de)結構的(de)圖。

圖15為(wei)本實施(shi)方式的電(dian)子設(she)備的功能(neng)框(kuang)圖。

圖(tu)16a為(wei)(wei)表示作為(wei)(wei)電子設(she)備的一(yi)個(ge)示例的智能電話的外觀的一(yi)個(ge)示例的圖(tu)。

圖16b為(wei)表示作為(wei)電(dian)子設(she)備的(de)(de)一個(ge)示例(li)的(de)(de)手腕佩戴型(xing)的(de)(de)便(bian)攜(xie)設(she)備的(de)(de)外觀的(de)(de)一個(ge)示例(li)的(de)(de)圖。

圖(tu)17為表示(shi)本實施方(fang)式的移動(dong)體(ti)的一(yi)個示(shi)例(li)的圖(tu)(俯視圖(tu))。

具體實施方式

以下，利(li)用附圖對(dui)本發明的(de)(de)(de)優(you)選的(de)(de)(de)實施方(fang)式進行詳細說(shuo)明。另外(wai)，以下所(suo)說(shuo)明的(de)(de)(de)實施方(fang)式并非是對(dui)權(quan)利(li)要(yao)求書(shu)中所(suo)記載的(de)(de)(de)本發明的(de)(de)(de)內容(rong)進行不當限定(ding)的(de)(de)(de)方(fang)式。此外(wai)，在以下所(suo)說(shuo)明的(de)(de)(de)全(quan)部結構并不一定(ding)均為本發明的(de)(de)(de)必要(yao)結構要(yao)件。

1.角速度檢測裝置

1-1.第(di)一實(shi)施方式

角速度檢測元件的結構(gou)以及動作

首(shou)先(xian)，參照附圖(tu)(tu)的(de)同時對(dui)本實施(shi)方式所(suo)涉及的(de)角速(su)(su)度(du)檢測(ce)裝置(zhi)1中(zhong)所(suo)包含的(de)角速(su)(su)度(du)檢測(ce)元件(jian)(jian)10進行說(shuo)明。圖(tu)(tu)1為(wei)示(shi)意性地表示(shi)角速(su)(su)度(du)檢測(ce)元件(jian)(jian)10的(de)俯視(shi)圖(tu)(tu)。圖(tu)(tu)2為(wei)示(shi)意性地表示(shi)角速(su)(su)度(du)檢測(ce)元件(jian)(jian)10的(de)剖(pou)視(shi)圖(tu)(tu)。另外，在(zai)圖(tu)(tu)1中(zhong)圖(tu)(tu)示(shi)了作為(wei)相互正交的(de)三個軸(zhou)的(de)x軸(zhou)、y軸(zhou)、z軸(zhou)。以下來(lai)說(shuo)明角速(su)(su)度(du)檢測(ce)元件(jian)(jian)10為(wei)對(dui)繞(rao)z軸(zhou)的(de)角速(su)(su)度(du)進行檢測(ce)的(de)靜電電容(rong)型mems元件(jian)(jian)的(de)示(shi)例。

如圖2所示，角速度檢(jian)測元件(jian)10被(bei)設置在(zai)基(ji)板(ban)11上，并被(bei)收納(na)(na)(na)在(zai)由(you)基(ji)板(ban)11和蓋體12構成的(de)收納(na)(na)(na)部中。作為收納(na)(na)(na)部的(de)內部的(de)空間的(de)空腔13例如被(bei)真空密封。基(ji)板(ban)11的(de)材質例如為玻璃(li)、硅(gui)。蓋體12的(de)材質例如為硅(gui)、玻璃(li)。

如圖1所示，角(jiao)速(su)度檢測(ce)(ce)(ce)元件10被構成(cheng)為(wei)，包括：振動(dong)(dong)體112、固(gu)定(ding)(ding)驅動(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130及固(gu)定(ding)(ding)驅動(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)132、可動(dong)(dong)驅動(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116、固(gu)定(ding)(ding)監(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)160及固(gu)定(ding)(ding)監(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)162、可動(dong)(dong)監(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)118、固(gu)定(ding)(ding)檢測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)140及固(gu)定(ding)(ding)檢測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)142、可動(dong)(dong)檢測(ce)(ce)(ce)電(dian)極(ji)(ji)126。

如圖1所示，角(jiao)速度檢測元(yuan)件10具有(you)第(di)一(yi)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)106以及第(di)二(er)(er)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)108。第(di)一(yi)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)106以及第(di)二(er)(er)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)108沿(yan)著x軸(zhou)而(er)相互連結(jie)(jie)(jie)(jie)。第(di)一(yi)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)106位于與第(di)二(er)(er)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)108相比靠(kao)-x方(fang)向側。結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)106、108例(li)如具有(you)相對于兩者的(de)邊界線b(沿(yan)著y軸(zhou)的(de)直線)而(er)成為對稱的(de)形狀(zhuang)。另外，雖未圖示，但也(ye)可(ke)以采(cai)用如下方(fang)式(shi)，即，角(jiao)速度檢測元(yuan)件10不(bu)具有(you)第(di)二(er)(er)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)108，而(er)由第(di)一(yi)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)體(ti)106構(gou)(gou)成。

各結構體(ti)106、108具有(you)：振(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112、第(di)一彈簧(huang)部(bu)114、可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)電極(ji)(ji)116、位移部(bu)122、第(di)二彈簧(huang)部(bu)124、固(gu)定(ding)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)電極(ji)(ji)130、132、可(ke)動(dong)(dong)(dong)振(zhen)動(dong)(dong)(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)118、126、固(gu)定(ding)振(zhen)動(dong)(dong)(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)140、142、160、162、固(gu)定(ding)部(bu)150。可(ke)動(dong)(dong)(dong)振(zhen)動(dong)(dong)(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)118、126被(bei)分類(lei)為可(ke)動(dong)(dong)(dong)監測(ce)(ce)電極(ji)(ji)118和可(ke)動(dong)(dong)(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)126。固(gu)定(ding)振(zhen)動(dong)(dong)(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)140、142、160、162被(bei)分類(lei)為固(gu)定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)140、142和固(gu)定(ding)監測(ce)(ce)電極(ji)(ji)160、162。

振動(dong)(dong)體(ti)112、彈(dan)簧部114、124、可(ke)(ke)動(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)電(dian)(dian)極116、可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)(dian)極118、位移部122、可(ke)(ke)動(dong)(dong)檢測(ce)電(dian)(dian)極126、固定部150例如通過對被(bei)接合在(zai)基板11上的(de)(de)(de)硅(gui)基板(未圖示)進行(xing)加工而被(bei)形(xing)成為一體(ti)。由此，可(ke)(ke)應用(yong)在(zai)硅(gui)半(ban)導體(ti)設(she)備的(de)(de)(de)制造(zao)中所使(shi)用(yong)的(de)(de)(de)細微的(de)(de)(de)加工技術，從而能(neng)夠(gou)實現角速度檢測(ce)元(yuan)件(jian)(jian)10的(de)(de)(de)小型(xing)化。角速度檢測(ce)元(yuan)件(jian)(jian)10的(de)(de)(de)材質例如為通過摻雜(za)磷(lin)、硼等雜(za)質而被(bei)賦(fu)予(yu)了(le)導電(dian)(dian)性的(de)(de)(de)硅(gui)。另外也可(ke)(ke)以采(cai)用(yong)如下方式(shi)，即，可(ke)(ke)動(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)電(dian)(dian)極116、可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)(dian)極118以及可(ke)(ke)動(dong)(dong)檢測(ce)電(dian)(dian)極126作為振動(dong)(dong)體(ti)112的(de)(de)(de)分體(ti)部件(jian)(jian)而被(bei)設(she)置在(zai)振動(dong)(dong)體(ti)112的(de)(de)(de)表面(mian)上等。

振動體112例如具有框(kuang)狀(zhuang)(框(kuang)架狀(zhuang))的形狀(zhuang)。在(zai)振動體112的內側設置有位移部122、可動檢(jian)測(ce)電極(ji)126以及固定檢(jian)測(ce)電極(ji)140、142。

第(di)一(yi)(yi)彈(dan)(dan)簧部114的(de)一(yi)(yi)端與(yu)振動(dong)體(ti)(ti)112相連(lian)接，另一(yi)(yi)端與(yu)固(gu)(gu)定(ding)(ding)部150相連(lian)接。固(gu)(gu)定(ding)(ding)部150被(bei)固(gu)(gu)定(ding)(ding)在基板11上。即(ji)，在固(gu)(gu)定(ding)(ding)部150的(de)下方(fang)未設(she)置有凹部14(參照圖2)。振動(dong)體(ti)(ti)112經由第(di)一(yi)(yi)彈(dan)(dan)簧部114而通過固(gu)(gu)定(ding)(ding)部150被(bei)支(zhi)承(cheng)。在圖示的(de)示例中，第(di)一(yi)(yi)彈(dan)(dan)簧部114在第(di)一(yi)(yi)結構(gou)體(ti)(ti)106以及第(di)二結構(gou)體(ti)(ti)108中各設(she)置有四個。另外，也可(ke)以不設(she)置第(di)一(yi)(yi)結構(gou)體(ti)(ti)106與(yu)第(di)二結構(gou)體(ti)(ti)108的(de)邊界線b上的(de)固(gu)(gu)定(ding)(ding)部150。

第(di)一彈簧部(bu)114以能夠(gou)使振(zhen)動(dong)體112在x軸(zhou)方向(xiang)(xiang)上(shang)進行(xing)位移的(de)方式而(er)構(gou)成。更具體而(er)言，第(di)一彈簧部(bu)114具有在y軸(zhou)方向(xiang)(xiang)上(shang)(沿著(zhu)y軸(zhou))往復的(de)同時在x軸(zhou)方向(xiang)(xiang)上(shang)(沿著(zhu)x軸(zhou))延伸的(de)形狀。另外，只要第(di)一彈簧部(bu)114能夠(gou)使振(zhen)動(dong)體112沿著(zhu)x軸(zhou)進行(xing)振(zhen)動(dong)，則其數量并不被(bei)特別限(xian)定(ding)。

可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)116與振動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體112相(xiang)連接。可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)116從振動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體112向(xiang)+y方(fang)向(xiang)及-y方(fang)向(xiang)延伸。也可以采用如下方(fang)式(shi)，即，可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)116被設置有(you)多(duo)個(ge)(ge)，并且多(duo)個(ge)(ge)可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)116被排列在x軸方(fang)向(xiang)上。可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)116能夠隨著振動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體112的振動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)而沿著x軸進行振動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)。

固定(ding)驅動電極130、132被固定(ding)在(zai)基板(ban)11上，并(bing)被設置在(zai)振動體112的(de)+y方向側及振動體112的(de)-y方向側。

固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132以(yi)與可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116對置(zhi)并隔著(zhu)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的方(fang)式而設置(zhi)。更具體而言，作為隔著(zhu)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132，在(zai)第一結構(gou)體106中(zhong)，固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130被設置(zhi)在(zai)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的-x方(fang)向(xiang)側，固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)132被設置(zhi)在(zai)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的+x方(fang)向(xiang)側。在(zai)第二(er)結構(gou)體108中(zhong)，固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130被設置(zhi)在(zai)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的+x方(fang)向(xiang)側，固(gu)(gu)定(ding)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)132被設置(zhi)在(zai)可(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的-x方(fang)向(xiang)側。

在圖1所(suo)示的(de)示例中，固定(ding)(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132具有梳齒(chi)狀(zhuang)的(de)形狀(zhuang)，可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116具有能夠插入到固定(ding)(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132的(de)梳齒(chi)之間的(de)形狀(zhuang)。也(ye)可以采用如(ru)下方(fang)(fang)式，即，固定(ding)(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132根據可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)數量而被設置有多個，并被排列(lie)在x軸(zhou)方(fang)(fang)向(xiang)上。固定(ding)(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132及可動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116為(wei)用于(yu)使振(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)112振(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)的(de)電(dian)極(ji)(ji)。

可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118與振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112相(xiang)(xiang)連接。可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118從振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112向(xiang)+y方(fang)向(xiang)及-y方(fang)向(xiang)延伸。在(zai)圖1所示(shi)的(de)示(shi)例(li)中，可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118在(zai)第(di)一(yi)結(jie)構(gou)(gou)體(ti)(ti)106的(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112的(de)+y方(fang)向(xiang)側以及第(di)二(er)結(jie)構(gou)(gou)體(ti)(ti)108的(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112的(de)+y方(fang)向(xiang)側各設置(zhi)有(you)(you)一(yi)個(ge)，并(bing)且(qie)在(zai)可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118之(zhi)間(jian)(jian)排列(lie)有(you)(you)多個(ge)可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)116。并(bing)且(qie)，可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118在(zai)第(di)一(yi)結(jie)構(gou)(gou)體(ti)(ti)106的(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112的(de)-y方(fang)向(xiang)側以及第(di)二(er)結(jie)構(gou)(gou)體(ti)(ti)108的(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112的(de)-y方(fang)向(xiang)側各設置(zhi)有(you)(you)一(yi)個(ge)，并(bing)且(qie)在(zai)可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118之(zhi)間(jian)(jian)排列(lie)有(you)(you)多個(ge)可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)116。可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)平面形狀(zhuang)例(li)如與可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)116的(de)平面形狀(zhuang)相(xiang)(xiang)同。可(ke)(ke)(ke)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)監(jian)(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118能夠隨著(zhu)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)體(ti)(ti)112的(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)而沿(yan)著(zhu)x軸進行振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)，即，進行往復(fu)運動(dong)(dong)(dong)(dong)(dong)。

固(gu)定(ding)監測(ce)電極160、162被(bei)(bei)固(gu)定(ding)在基(ji)板11上，并且被(bei)(bei)設置在振動體112的+y方(fang)向側以及振動體112的-y方(fang)向側。

固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)160、162以與可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118對置(zhi)(zhi)并隔著可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)方(fang)(fang)式而設(she)(she)置(zhi)(zhi)。更具體(ti)而言，作為隔著可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)160、162，在(zai)第一結(jie)構體(ti)106中，固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)160被設(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)-x方(fang)(fang)向(xiang)側，固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)162被設(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)+x方(fang)(fang)向(xiang)側。在(zai)第二結(jie)構體(ti)108中，固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)160被設(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)+x方(fang)(fang)向(xiang)側，固(gu)定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)162被設(she)(she)置(zhi)(zhi)在(zai)可(ke)(ke)動(dong)(dong)監測(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)118的(de)-x方(fang)(fang)向(xiang)側。

固定(ding)監測電(dian)極(ji)160、162具(ju)有(you)梳齒(chi)(chi)狀(zhuang)(zhuang)的(de)(de)形狀(zhuang)(zhuang)，可動監測電(dian)極(ji)118具(ju)有(you)能夠插(cha)入到固定(ding)監測電(dian)極(ji)160、162的(de)(de)梳齒(chi)(chi)之間(jian)的(de)(de)形狀(zhuang)(zhuang)。

固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)160、162以及(ji)可(ke)動(dong)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)118為(wei)用于(yu)對(dui)根(gen)據(ju)振(zhen)動(dong)體112的(de)振(zhen)動(dong)而(er)(er)進(jin)(jin)行(xing)變化(hua)的(de)信號進(jin)(jin)行(xing)檢測(ce)(ce)的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)，并(bing)且為(wei)用于(yu)對(dui)振(zhen)動(dong)體112的(de)振(zhen)動(dong)狀態進(jin)(jin)行(xing)檢測(ce)(ce)的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)。更具(ju)體而(er)(er)言，通過可(ke)動(dong)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)118沿(yan)著x軸進(jin)(jin)行(xing)位(wei)移，從而(er)(er)使可(ke)動(dong)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)160之(zhi)間的(de)靜電(dian)(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)以及(ji)可(ke)動(dong)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)162之(zhi)間的(de)靜電(dian)(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)發生變化(hua)。由此，固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)160、162的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)流發生變化(hua)。通過對(dui)該電(dian)(dian)(dian)(dian)流的(de)變化(hua)進(jin)(jin)行(xing)檢測(ce)(ce)，從而(er)(er)能夠(gou)對(dui)振(zhen)動(dong)體112的(de)振(zhen)動(dong)狀態進(jin)(jin)行(xing)檢測(ce)(ce)。

位移(yi)部(bu)122經由第二彈簧部(bu)124而(er)與振(zhen)動體(ti)112相連接。在(zai)圖示(shi)的(de)示(shi)例中，位移(yi)部(bu)122的(de)平(ping)面(mian)形狀為具有沿著y軸的(de)長(chang)邊的(de)長(chang)方(fang)形。另(ling)外，雖(sui)然未圖示(shi)，但也可以(yi)將位移(yi)部(bu)122設置在(zai)振(zhen)動體(ti)112的(de)外側。

第二(er)彈簧(huang)(huang)(huang)部(bu)(bu)(bu)124以能夠使位(wei)移(yi)部(bu)(bu)(bu)122在(zai)y軸方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)進行位(wei)移(yi)的(de)(de)方(fang)式而構成。更具體而言，第二(er)彈簧(huang)(huang)(huang)部(bu)(bu)(bu)124具有在(zai)x軸方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)上往復的(de)(de)同時在(zai)y軸方(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)上延伸的(de)(de)形狀。另外(wai)，只要第二(er)彈簧(huang)(huang)(huang)部(bu)(bu)(bu)124能夠使位(wei)移(yi)部(bu)(bu)(bu)122沿著y軸進行位(wei)移(yi)，則其數量并不被(bei)特別限(xian)定。

可(ke)動(dong)檢測電極(ji)126與位(wei)移部(bu)122相連接。可(ke)動(dong)檢測電極(ji)126例如被設置有(you)多(duo)個。可(ke)動(dong)檢測電極(ji)126從位(wei)移部(bu)122向+x方向以及-x方向延伸。

固定檢測電(dian)極140、142被固定在(zai)(zai)基板11上(shang)。更具體而言，固定檢測電(dian)極140、142的一(yi)(yi)端(duan)被固定在(zai)(zai)基板11上(shang)，而另一(yi)(yi)端(duan)作(zuo)為(wei)自由端(duan)而向位(wei)移部122側延伸。

固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極140、142以與可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126對置(zhi)并隔著可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的方式設置(zhi)。更具體(ti)而言，作為隔著可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極140、142，在(zai)(zai)(zai)第一結構體(ti)106中(zhong)，固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極140被(bei)設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的-y方向側(ce)，固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極142被(bei)設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的+y方向側(ce)。在(zai)(zai)(zai)第二結構體(ti)108中(zhong)，固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極140被(bei)設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的+y方向側(ce)，固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極142被(bei)設置(zhi)在(zai)(zai)(zai)可動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極126的-y方向側(ce)。

在圖1所示的(de)示例中，固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)140、142被(bei)設置(zhi)有(you)多個，并沿著y軸(zhou)交(jiao)替排列(lie)。固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)140、142以及(ji)可(ke)動(dong)檢(jian)測(ce)(ce)電極(ji)(ji)126為用于對(dui)根據(ju)振(zhen)動(dong)體112的(de)振(zhen)動(dong)而進行變化(hua)的(de)信號(hao)(靜(jing)電電容)進行檢(jian)測(ce)(ce)的(de)電極(ji)(ji)。

接下來(lai)，對角速(su)度檢(jian)測元件(jian)10的動作進(jin)(jin)行說明(ming)(ming)。圖(tu)3～圖(tu)6為(wei)(wei)用于(yu)對角速(su)度檢(jian)測元件(jian)10的動作進(jin)(jin)行說明(ming)(ming)的圖(tu)。另外，在(zai)圖(tu)3～圖(tu)6中(zhong)圖(tu)示了作為(wei)(wei)相互正(zheng)交的三個軸的x軸、y軸、z軸。此外，為(wei)(wei)了便于(yu)說明(ming)(ming)，在(zai)圖(tu)3～圖(tu)6中(zhong)省略(lve)了可動驅(qu)動電(dian)極(ji)116、可動監測電(dian)極(ji)118、可動檢(jian)測電(dian)極(ji)126、固定驅(qu)動電(dian)極(ji)130、132、固定檢(jian)測電(dian)極(ji)140、142、固定監測電(dian)極(ji)160、162的圖(tu)示，并將角速(su)度檢(jian)測元件(jian)10簡化來(lai)進(jin)(jin)行圖(tu)示。

當通過未圖(tu)(tu)(tu)示的電(dian)(dian)源向可(ke)(ke)動驅動電(dian)(dian)極116與固(gu)定驅動電(dian)(dian)極130、132之間(jian)施(shi)加電(dian)(dian)壓時，能(neng)夠使(shi)可(ke)(ke)動驅動電(dian)(dian)極116與固(gu)定驅動電(dian)(dian)極130、132之間(jian)產(chan)生靜(jing)電(dian)(dian)力(li)(參照圖(tu)(tu)(tu)1)。由此，如(ru)圖(tu)(tu)(tu)3及圖(tu)(tu)(tu)4所示，能(neng)夠使(shi)第一彈簧部114沿著x軸(zhou)伸縮，從而能(neng)夠使(shi)振(zhen)動體112沿著x軸(zhou)進行振(zhen)動。

更具體而言(yan)，向(xiang)可動驅動電極(ji)116施加固(gu)定(ding)的偏置電壓(ya)vr。并且，以預定(ding)的電壓(ya)作為基準(zhun)，經由未圖示(shi)的驅動配線(xian)向(xiang)固(gu)定(ding)驅動電極(ji)130施加第一交(jiao)流電壓(ya)。此(ci)外，以預定(ding)的電壓(ya)作為基準(zhun)，經由未圖示(shi)的驅動配線(xian)向(xiang)固(gu)定(ding)驅動電極(ji)132施加相位偏離了第一交(jiao)流電壓(ya)180度的第二交(jiao)流電壓(ya)。

在此(ci)，作為隔著(zhu)(zhu)可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)(de)固定(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130、132，在第(di)一結構(gou)體(ti)106中，固定(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130被設置(zhi)在可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)(de)-x方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)側(ce)，固定(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)132被設置(zhi)在可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)(de)+x方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)側(ce)(參照(zhao)圖(tu)1)。在第(di)二結構(gou)體(ti)108中，固定(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)130被設置(zhi)在可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)(de)+x方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)側(ce)，固定(ding)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)132被設置(zhi)在可(ke)動(dong)(dong)(dong)驅(qu)(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)極(ji)(ji)116的(de)(de)-x方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)側(ce)(參照(zhao)圖(tu)1)。因此(ci)，能夠通過第(di)一交(jiao)流電(dian)壓以及第(di)二交(jiao)流電(dian)壓而(er)使第(di)一結構(gou)體(ti)106的(de)(de)振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112a以及第(di)二結構(gou)體(ti)108的(de)(de)振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112b以互為反相(xiang)位且以預定(ding)的(de)(de)頻(pin)率而(er)沿著(zhu)(zhu)x軸進(jin)行振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)。在圖(tu)3所(suo)示的(de)(de)示例(li)中，振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112a向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)α1方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位移(yi)，振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112b向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)與α1方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)相(xiang)反的(de)(de)α2方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位移(yi)。在圖(tu)4所(suo)示的(de)(de)示例(li)中，振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112a向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)α2方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位移(yi)，振(zhen)(zhen)(zhen)動(dong)(dong)(dong)體(ti)112b向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)α1方(fang)(fang)(fang)向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位移(yi)。

另外，位移(yi)部(bu)122隨(sui)著(zhu)振(zhen)動(dong)(dong)體(ti)112的(de)振(zhen)動(dong)(dong)而(er)沿(yan)著(zhu)x軸進(jin)行位移(yi)。同樣，可動(dong)(dong)檢測電極126(參照圖1)隨(sui)著(zhu)振(zhen)動(dong)(dong)體(ti)112的(de)振(zhen)動(dong)(dong)而(er)沿(yan)著(zhu)x軸進(jin)行位移(yi)。

如圖(tu)(tu)5及圖(tu)(tu)6所(suo)示(shi)(shi)，當(dang)在(zai)振動體(ti)(ti)(ti)112a、112b沿(yan)著x軸(zhou)實施振動的狀態(tai)下，向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)角速度(du)檢測元件10施加(jia)繞z軸(zhou)的角速度(du)ω時，科里奧(ao)利力發揮作用，進而(er)使位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122沿(yan)著y軸(zhou)進行位(wei)移(yi)(yi)。即，與振動體(ti)(ti)(ti)112a相(xiang)連接的位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122a以(yi)及與振動體(ti)(ti)(ti)112b相(xiang)連接的位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122b沿(yan)著y軸(zhou)而(er)彼此向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)相(xiang)反的方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)進行位(wei)移(yi)(yi)。在(zai)圖(tu)(tu)5所(suo)示(shi)(shi)的示(shi)(shi)例中，位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122a向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)β1方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)移(yi)(yi)，位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122b向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)與β1方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)相(xiang)反的β2方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)移(yi)(yi)。在(zai)圖(tu)(tu)6所(suo)示(shi)(shi)的示(shi)(shi)例中，位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122a向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)β2方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)移(yi)(yi)，第二(er)位(wei)移(yi)(yi)部(bu)(bu)(bu)122b向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)β1方向(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)移(yi)(yi)。

通過位(wei)移部122a、122b沿(yan)著y軸進行位(wei)移，從而使可(ke)動(dong)檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)126與(yu)(yu)固(gu)定檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)140之(zhi)(zhi)間的(de)距(ju)離發生(sheng)變化(參(can)(can)照(zhao)圖1)。同樣(yang)，可(ke)動(dong)檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)126與(yu)(yu)固(gu)定檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)142之(zhi)(zhi)間的(de)距(ju)離發生(sheng)變化(參(can)(can)照(zhao)圖1)。因(yin)此，可(ke)動(dong)檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)126與(yu)(yu)固(gu)定檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)140之(zhi)(zhi)間的(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)容(rong)發生(sheng)變化。同樣(yang)，可(ke)動(dong)檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)126與(yu)(yu)固(gu)定檢測電(dian)(dian)極(ji)(ji)142之(zhi)(zhi)間的(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)容(rong)發生(sheng)變化。

在角速度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)元件10中，能夠(gou)通(tong)過(guo)向(xiang)可(ke)(ke)動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)126與固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)140之(zhi)(zhi)間(jian)施加(jia)(jia)電(dian)(dian)壓，從而對可(ke)(ke)動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)126與固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)140之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)容(rong)的(de)(de)變(bian)化量進行檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(參(can)照(zhao)圖1)。并且(qie)，通(tong)過(guo)向(xiang)可(ke)(ke)動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)126與固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)142之(zhi)(zhi)間(jian)施加(jia)(jia)電(dian)(dian)壓，從而能夠(gou)對可(ke)(ke)動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)126與固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)142之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)容(rong)的(de)(de)變(bian)化量進行檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(參(can)照(zhao)圖1)。以這種方式，角速度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)元件10能夠(gou)通(tong)過(guo)可(ke)(ke)動檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)126與固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)(ji)140、142之(zhi)(zhi)間(jian)的(de)(de)靜電(dian)(dian)電(dian)(dian)容(rong)的(de)(de)變(bian)化量而求出繞z軸的(de)(de)角速度(du)ω。

并且，在(zai)角速度檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)元件10中，通過振(zhen)動(dong)(dong)體112a、112b沿著x軸進(jin)(jin)行(xing)振(zhen)動(dong)(dong)，從而使可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)160之間的(de)(de)(de)(de)距離(li)發生(sheng)變(bian)化(參照(zhao)圖(tu)1)。同樣(yang)，可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)162之間的(de)(de)(de)(de)距離(li)發生(sheng)變(bian)化(參照(zhao)圖(tu)1)。因此，可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)160之間的(de)(de)(de)(de)靜電(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)容發生(sheng)變(bian)化。同樣(yang)，可(ke)(ke)動(dong)(dong)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)118與(yu)固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)162之間的(de)(de)(de)(de)靜電(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)容發生(sheng)變(bian)化。伴隨于此，流過固(gu)(gu)定(ding)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)160、162的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)流發生(sheng)變(bian)化。能夠通過該電(dian)(dian)(dian)流的(de)(de)(de)(de)變(bian)化來(lai)對振(zhen)動(dong)(dong)體112a、112b的(de)(de)(de)(de)振(zhen)動(dong)(dong)狀態進(jin)(jin)行(xing)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(進(jin)(jin)行(xing)監(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce))。

也可以采用如(ru)下方式，即(ji)，在角速度檢測元(yuan)件(jian)10中，如(ru)圖1所(suo)示的(de)示例那樣，在可動(dong)檢測電極126的(de)往復運動(dong)端的(de)兩側的(de)區域內(nei)設置(zhi)固(gu)定檢測電極140、142。

角速(su)度檢測(ce)裝置(zhi)的(de)結(jie)構及動作

圖7為(wei)表(biao)示(shi)第(di)一(yi)實施(shi)方式(shi)的角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)置1的結構的圖。如圖7所(suo)示(shi)，第(di)一(yi)實施(shi)方式(shi)的角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)置1被(bei)構成(cheng)為(wei)，包括圖1所(suo)示(shi)的角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)元件(jian)10、驅動電路20、角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)電路30。

驅動(dong)電路20基于(yu)來自角(jiao)速度檢測元(yuan)(yuan)件(jian)10的固定(ding)(ding)監測電極160、162的信(xin)號(hao)而生成驅動(dong)信(xin)號(hao)，并(bing)向固定(ding)(ding)驅動(dong)電極130、132輸出驅動(dong)信(xin)號(hao)。驅動(dong)電路20輸出驅動(dong)信(xin)號(hao)而對角(jiao)速度檢測元(yuan)(yuan)件(jian)10進行(xing)驅動(dong)，并(bing)從角(jiao)速度檢測元(yuan)(yuan)件(jian)10接(jie)收反饋信(xin)號(hao)。由此，使(shi)角(jiao)速度檢測元(yuan)(yuan)件(jian)10進行(xing)激勵。

角(jiao)速(su)度檢(jian)(jian)測電路30對從通過(guo)驅動(dong)信(xin)(xin)(xin)號而被驅動(dong)的(de)角(jiao)速(su)度檢(jian)(jian)測元(yuan)件10輸出的(de)檢(jian)(jian)測信(xin)(xin)(xin)號進行(xing)接收，并(bing)通過(guo)從檢(jian)(jian)測信(xin)(xin)(xin)號中使基于(yu)振動(dong)的(de)正交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(泄漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號)衰減且提(ti)取(qu)出基于(yu)科里奧利力的(de)科里奧利信(xin)(xin)(xin)號，從而生成角(jiao)速(su)度信(xin)(xin)(xin)號so。

本實施方(fang)式中(zhong)的(de)驅(qu)動電(dian)路(lu)20被構成為，包括兩個(ge)q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)(電(dian)荷放大(da)器(qi))21a、21b、比(bi)較器(qi)22、兩個(ge)相(xiang)移(yi)電(dian)路(lu)23a、23b、兩個(ge)限帶(dai)濾波(bo)器(qi)24a、24b、比(bi)較器(qi)25以及(ji)電(dian)平(ping)轉(zhuan)換(huan)電(dian)路(lu)26。

當(dang)角速度(du)檢(jian)測元件(jian)10的振(zhen)動體(ti)112進行振(zhen)動時(shi)，基于電容變化(hua)的互為反相的電流作為反饋信號而從固定監測電極160、162被(bei)輸出。

q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)(qi)21a具有運(yun)(yun)算(suan)放大器(qi)(qi)210a和(he)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容器(qi)(qi)211a，并(bing)且(qie)將(jiang)從角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)元件10的(de)(de)(de)固(gu)定監測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)160輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)并(bing)被(bei)輸(shu)(shu)(shu)入(ru)到運(yun)(yun)算(suan)放大器(qi)(qi)210a的(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)荷(he))蓄積到電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容器(qi)(qi)211a中(zhong)并(bing)轉(zhuan)換(huan)為電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)。同樣，q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)(qi)21b具有運(yun)(yun)算(suan)放大器(qi)(qi)210b和(he)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容器(qi)(qi)211b，并(bing)且(qie)將(jiang)從角速(su)度檢(jian)(jian)測(ce)元件10的(de)(de)(de)固(gu)定監測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)162輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)并(bing)被(bei)輸(shu)(shu)(shu)入(ru)到運(yun)(yun)算(suan)放大器(qi)(qi)210b的(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)荷(he))蓄積到電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容器(qi)(qi)211b中(zhong)并(bing)轉(zhuan)換(huan)為電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)。具體而言，q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)(qi)21a、21b將(jiang)被(bei)輸(shu)(shu)(shu)入(ru)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流(電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)荷(he))轉(zhuan)換(huan)為以模擬(ni)接地電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)agnd作為基(ji)準的(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)，并(bing)輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)與振(zhen)動體112的(de)(de)(de)振(zhen)動頻(pin)率(lv)相(xiang)同的(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)的(de)(de)(de)交流電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)信(xin)號(hao)mnt、mntb。交流電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)信(xin)號(hao)mnt、mntb均為相(xiang)對于從固(gu)定監測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)160、162被(bei)輸(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)交流電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)流而相(xiang)位前(qian)移了90°的(de)(de)(de)信(xin)號(hao)。

分別從(cong)(cong)q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b被輸(shu)出(chu)的(de)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt、mntb被輸(shu)入到比(bi)(bi)較(jiao)器(qi)22中。比(bi)(bi)較(jiao)器(qi)22對(dui)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)和交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mntb的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)進行比(bi)(bi)較(jiao)，并從(cong)(cong)非反轉(zhuan)輸(shu)出(chu)端(duan)子和反轉(zhuan)輸(shu)出(chu)端(duan)子輸(shu)出(chu)互為(wei)反相的(de)矩形波信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)。在圖7的(de)示例中，從(cong)(cong)比(bi)(bi)較(jiao)器(qi)22的(de)反轉(zhuan)輸(shu)出(chu)端(duan)子輸(shu)出(chu)的(de)矩形波信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)作為(wei)后述的(de)正交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet而被使用。當(dang)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)高于(yu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mntb的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)時(shi)，正交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet成為(wei)高電(dian)(dian)(dian)平。當(dang)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)低于(yu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mntb的(de)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)時(shi)，正交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet成為(wei)低電(dian)(dian)(dian)平。

此(ci)外(wai)，交(jiao)流(liu)電(dian)壓(ya)信號(hao)mnt、mntb分(fen)別被輸入到相(xiang)(xiang)移(yi)電(dian)路(lu)(lu)23a、23b中(zhong)。相(xiang)(xiang)移(yi)電(dian)路(lu)(lu)23a為(wei)用(yong)于對(dui)驅動(dong)信號(hao)的(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)調節的(de)電(dian)路(lu)(lu)，并(bing)輸出對(dui)交(jiao)流(liu)電(dian)壓(ya)信號(hao)mnt的(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)移(yi)動(dong)了的(de)信號(hao)。同樣，相(xiang)(xiang)移(yi)電(dian)路(lu)(lu)23b為(wei)用(yong)于對(dui)驅動(dong)信號(hao)的(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)調節的(de)電(dian)路(lu)(lu)，并(bing)輸出對(dui)交(jiao)流(liu)電(dian)壓(ya)信號(hao)mntb的(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)移(yi)動(dong)了的(de)信號(hao)。雖然在圖7的(de)示例中(zhong)，相(xiang)(xiang)移(yi)電(dian)路(lu)(lu)23a、23b為(wei)使全頻帶的(de)信號(hao)通過的(de)全通濾波(bo)器，但(dan)也可以是除此(ci)以外(wai)的(de)電(dian)路(lu)(lu)。

相(xiang)移電(dian)路(lu)23a、23b的(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)分別被(bei)輸入到限(xian)帶(dai)(dai)(dai)(dai)濾波(bo)器(qi)24a、24b中(zhong)。限(xian)帶(dai)(dai)(dai)(dai)濾波(bo)器(qi)24a為(wei)用(yong)于對驅(qu)動(dong)(dong)信(xin)(xin)(xin)號(hao)的(de)頻(pin)帶(dai)(dai)(dai)(dai)進(jin)行限(xian)制的(de)電(dian)路(lu)，并且在(zai)(zai)使相(xiang)移電(dian)路(lu)23a的(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所包含的(de)與振(zhen)動(dong)(dong)頻(pin)率一(yi)致(zhi)的(de)頻(pin)率的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)通(tong)(tong)過(guo)的(de)同(tong)(tong)時使噪(zao)聲信(xin)(xin)(xin)號(hao)衰(shuai)減(jian)(jian)。同(tong)(tong)樣，限(xian)帶(dai)(dai)(dai)(dai)濾波(bo)器(qi)24b為(wei)用(yong)于對驅(qu)動(dong)(dong)信(xin)(xin)(xin)號(hao)的(de)頻(pin)帶(dai)(dai)(dai)(dai)進(jin)行限(xian)制的(de)電(dian)路(lu)，并且在(zai)(zai)使相(xiang)移電(dian)路(lu)23b的(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所包含的(de)與振(zhen)動(dong)(dong)頻(pin)率一(yi)致(zhi)的(de)頻(pin)率的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)通(tong)(tong)過(guo)的(de)同(tong)(tong)時使噪(zao)聲信(xin)(xin)(xin)號(hao)衰(shuai)減(jian)(jian)。尤(you)其是為(wei)了使高頻(pin)帶(dai)(dai)(dai)(dai)的(de)噪(zao)聲信(xin)(xin)(xin)號(hao)衰(shuai)減(jian)(jian)而在(zai)(zai)圖7的(de)示(shi)例中(zhong)限(xian)帶(dai)(dai)(dai)(dai)濾波(bo)器(qi)24a、24b為(wei)低通(tong)(tong)濾波(bo)器(qi)，但為(wei)了使低頻(pin)帶(dai)(dai)(dai)(dai)的(de)噪(zao)聲信(xin)(xin)(xin)號(hao)也衰(shuai)減(jian)(jian)而可以采用(yong)帶(dai)(dai)(dai)(dai)通(tong)(tong)濾波(bo)器(qi)。

正如前(qian)文所述，由于交(jiao)流電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)mnt為(wei)(wei)(wei)相(xiang)(xiang)(xiang)對于從(cong)固(gu)定監測電(dian)極160輸(shu)出(chu)的(de)(de)交(jiao)流電(dian)流而相(xiang)(xiang)(xiang)位前(qian)移了90°的(de)(de)信(xin)號(hao)，因此(ci)為(wei)(wei)(wei)了滿足(zu)振蕩條件，相(xiang)(xiang)(xiang)移電(dian)路23a的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲與限(xian)帶(dai)(dai)濾(lv)波器24a的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲之和約(yue)為(wei)(wei)(wei)90°。同樣，由于交(jiao)流電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)mntb為(wei)(wei)(wei)相(xiang)(xiang)(xiang)對于從(cong)固(gu)定監測電(dian)極162輸(shu)出(chu)的(de)(de)交(jiao)流電(dian)流而相(xiang)(xiang)(xiang)位前(qian)移了90°的(de)(de)信(xin)號(hao)，因此(ci)為(wei)(wei)(wei)了滿足(zu)振蕩條件，相(xiang)(xiang)(xiang)移電(dian)路23b的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲與限(xian)帶(dai)(dai)濾(lv)波器24b的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲之和約(yue)為(wei)(wei)(wei)90°。例如也可以設(she)為(wei)(wei)(wei)，相(xiang)(xiang)(xiang)移電(dian)路23a、23b的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲為(wei)(wei)(wei)75°，而限(xian)帶(dai)(dai)濾(lv)波器24a、24b的(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)位延(yan)(yan)(yan)遲為(wei)(wei)(wei)15°。

如(ru)(ru)此，相(xiang)(xiang)移電(dian)路23a和限帶(dai)濾波(bo)(bo)器24a構成(cheng)了(le)對(dui)驅動(dong)信(xin)號(hao)的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)(xing)(xing)調節并且(qie)對(dui)驅動(dong)信(xin)號(hao)的(de)(de)頻帶(dai)進(jin)行(xing)(xing)(xing)限制的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)調節部(bu)27a。同樣，相(xiang)(xiang)移電(dian)路23b和限帶(dai)濾波(bo)(bo)器24b構成(cheng)了(le)對(dui)驅動(dong)信(xin)號(hao)的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)進(jin)行(xing)(xing)(xing)調節并且(qie)對(dui)驅動(dong)信(xin)號(hao)的(de)(de)頻帶(dai)進(jin)行(xing)(xing)(xing)限制的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)調節部(bu)27b。雖(sui)然在圖(tu)7的(de)(de)示例(li)中相(xiang)(xiang)位(wei)調節部(bu)27a、27b通(tong)過(guo)相(xiang)(xiang)移電(dian)路23a和限帶(dai)濾波(bo)(bo)器24a，或(huo)者，相(xiang)(xiang)移電(dian)路23b和限帶(dai)濾波(bo)(bo)器24b這兩個(ge)電(dian)路而(er)實(shi)現(xian)，但也可以通(tong)過(guo)具有(you)針對(dui)交(jiao)流電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)mnt或(huo)交(jiao)流電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)mntb的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)調節功能(neng)和限帶(dai)功能(neng)的(de)(de)一個(ge)電(dian)路(例(li)如(ru)(ru)，使用了(le)有(you)源(yuan)元(yuan)件的(de)(de)過(guo)濾器或(huo)lc過(guo)濾器等)而(er)實(shi)現(xian)。

限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24a、24b的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到比(bi)較器(qi)(qi)25中(zhong)。比(bi)較器(qi)(qi)25對限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24a的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓(相位調節(jie)部27a的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)電(dian)(dian)壓)和(he)限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24b的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓(相位調節(jie)部27b的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)電(dian)(dian)壓)進行(xing)比(bi)較，并從(cong)非反轉(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)端(duan)子和(he)反轉(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)端(duan)子輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)互為(wei)反相的(de)(de)矩(ju)形波(bo)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)。在圖7的(de)(de)示例中(zhong)，從(cong)比(bi)較器(qi)(qi)25的(de)(de)反轉(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)端(duan)子輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)的(de)(de)矩(ju)形波(bo)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)作為(wei)后述的(de)(de)科(ke)里奧(ao)利參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)sdet而被使用。當限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24a的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓高于(yu)限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24b的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓時(shi)，科(ke)里奧(ao)利參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)sdet成為(wei)高電(dian)(dian)平。此外，當限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24a的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓低(di)于(yu)限帶(dai)濾波(bo)器(qi)(qi)24b的(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)電(dian)(dian)壓時(shi)，科(ke)里奧(ao)利參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)sdet成為(wei)低(di)電(dian)(dian)平。

從(cong)(cong)比(bi)較器(qi)25輸(shu)(shu)出(chu)的(de)互為(wei)反(fan)相的(de)矩(ju)形波(bo)(bo)信(xin)號(hao)(hao)(hao)被輸(shu)(shu)入到電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)轉換(huan)(huan)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)26中。電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)轉換(huan)(huan)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)26對(dui)(dui)比(bi)較器(qi)25的(de)輸(shu)(shu)出(chu)信(xin)號(hao)(hao)(hao)的(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)進(jin)行轉換(huan)(huan)。具(ju)體而言，電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)轉換(huan)(huan)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)26將從(cong)(cong)比(bi)較器(qi)25輸(shu)(shu)出(chu)的(de)互為(wei)反(fan)相的(de)矩(ju)形波(bo)(bo)信(xin)號(hao)(hao)(hao)轉換(huan)(huan)成高電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)為(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)vh且(qie)低(di)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)為(wei)電(dian)(dian)(dian)(dian)壓(ya)(ya)vl的(de)互為(wei)反(fan)相的(de)矩(ju)形波(bo)(bo)信(xin)號(hao)(hao)(hao)。從(cong)(cong)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)轉換(huan)(huan)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)26輸(shu)(shu)出(chu)的(de)互為(wei)反(fan)相的(de)矩(ju)形波(bo)(bo)信(xin)號(hao)(hao)(hao)作為(wei)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)信(xin)號(hao)(hao)(hao)而分(fen)別被輸(shu)(shu)入到角速度(du)(du)檢(jian)測元件10的(de)固定(ding)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)130、132中。通過(guo)被輸(shu)(shu)入到該(gai)固定(ding)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)極(ji)130、132中的(de)驅(qu)動(dong)(dong)(dong)信(xin)號(hao)(hao)(hao)而對(dui)(dui)角速度(du)(du)檢(jian)測元件10進(jin)行驅(qu)動(dong)(dong)(dong)。

由比較(jiao)器25和電(dian)(dian)平轉換電(dian)(dian)路(lu)26構成(cheng)(cheng)的電(dian)(dian)路(lu)作為驅動(dong)信號(hao)生(sheng)成(cheng)(cheng)部(bu)而(er)發揮功(gong)能，所述驅動(dong)信號(hao)生(sheng)成(cheng)(cheng)部(bu)基(ji)于相位(wei)調節部(bu)27a、27b的輸(shu)出信號(hao)而(er)生(sheng)成(cheng)(cheng)對(dui)角速度檢測(ce)元件10進行驅動(dong)的驅動(dong)信號(hao)。

在此，在本(ben)實施方式中，考慮到從作(zuo)為靜(jing)電(dian)電(dian)容(rong)型mems元件(jian)的(de)角速(su)(su)度(du)檢(jian)測(ce)元件(jian)10輸出(chu)的(de)電(dian)流非常小，因此不是(shi)利用i/v轉(zhuan)換器(qi)而(er)(er)是(shi)利用q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b來進(jin)行接(jie)收(shou)。由于(yu)從角速(su)(su)度(du)檢(jian)測(ce)元件(jian)10輸出(chu)的(de)電(dian)流(電(dian)荷)被(bei)存儲到電(dian)容(rong)器(qi)211a、211b中，并通過運(yun)算放(fang)大器(qi)210a、210b而(er)(er)被(bei)充(chong)分且較大幅度(du)地放(fang)大，因此能夠使(shi)q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b的(de)輸出(chu)信(xin)號中s/n的(de)降低被(bei)抑制，進(jin)而(er)(er)維持(chi)較高的(de)s/n。

此(ci)外，在(zai)本實施方(fang)式中，相(xiang)對于振(zhen)動(dong)(dong)(dong)體112的(de)(de)(de)(de)振(zhen)動(dong)(dong)(dong)頻(pin)率f0，相(xiang)移電路(lu)23a、23b的(de)(de)(de)(de)振(zhen)幅(fu)增(zeng)益為1，限(xian)(xian)(xian)帶(dai)(dai)(dai)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)24a、24b的(de)(de)(de)(de)振(zhen)幅(fu)增(zeng)益也(ye)幾(ji)乎(hu)(hu)為1。因(yin)此(ci)，q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)21a、21b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)信(xin)(xin)號以(yi)其振(zhen)幅(fu)幾(ji)乎(hu)(hu)未衰(shuai)減(jian)的(de)(de)(de)(de)方(fang)式而(er)從限(xian)(xian)(xian)帶(dai)(dai)(dai)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)24a、24b被(bei)輸(shu)出(chu)。并且，由(you)于限(xian)(xian)(xian)帶(dai)(dai)(dai)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)24a、24b分別被(bei)設置在(zai)相(xiang)移電路(lu)23a、23b的(de)(de)(de)(de)后段，因(yin)此(ci)能夠通過限(xian)(xian)(xian)帶(dai)(dai)(dai)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)24a、24b而(er)使由(you)相(xiang)移電路(lu)23a、23b所產(chan)生的(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)頻(pin)噪(zao)聲衰(shuai)減(jian)。因(yin)此(ci)，在(zai)限(xian)(xian)(xian)帶(dai)(dai)(dai)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)24a、24b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)信(xin)(xin)號中也(ye)能夠維持與(yu)q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)21a、21b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)信(xin)(xin)號同樣(yang)的(de)(de)(de)(de)較高(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)s/n。其結果為，使驅動(dong)(dong)(dong)信(xin)(xin)號的(de)(de)(de)(de)波(bo)動(dong)(dong)(dong)被(bei)減(jian)少，進而(er)使與(yu)驅動(dong)(dong)(dong)信(xin)(xin)號聯動(dong)(dong)(dong)的(de)(de)(de)(de)科里奧(ao)利參(can)照信(xin)(xin)號sdet、正(zheng)交參(can)照信(xin)(xin)號qdet的(de)(de)(de)(de)波(bo)動(dong)(dong)(dong)也(ye)被(bei)減(jian)少。

本(ben)實施(shi)方式中的角速(su)度檢測電路30被構成為，包括(kuo)兩(liang)個q/v轉(zhuan)換器(qi)(電荷(he)放(fang)大器(qi))31a、31b、差動放(fang)大器(qi)32、科里奧(ao)利同(tong)步(bu)檢波(bo)電路33、兩(liang)個正交同(tong)步(bu)檢波(bo)電路34a、34b以及兩(liang)個振幅調節電路35a、35b。

從(cong)角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電極140、142輸出(chu)的(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)信(xin)(xin)號(交流(liu)(liu)電流(liu)(liu))包(bao)(bao)含作(zuo)(zuo)為(wei)角(jiao)速(su)(su)度(du)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen)的(de)(de)(de)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)信(xin)(xin)號和作(zuo)(zuo)為(wei)自振動(dong)(dong)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen)的(de)(de)(de)正交信(xin)(xin)號(泄(xie)漏(lou)(lou)信(xin)(xin)號)，所(suo)述(shu)作(zuo)(zuo)為(wei)角(jiao)速(su)(su)度(du)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen)的(de)(de)(de)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)信(xin)(xin)號基于在角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)元(yuan)件10中(zhong)發(fa)揮作(zuo)(zuo)用的(de)(de)(de)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)力而獲(huo)(huo)得，所(suo)述(shu)作(zuo)(zuo)為(wei)自振動(dong)(dong)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen)的(de)(de)(de)正交信(xin)(xin)號基于角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)激(ji)勵振動(dong)(dong)而獲(huo)(huo)得。從(cong)固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電極140輸出(chu)的(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)信(xin)(xin)號中(zhong)所(suo)包(bao)(bao)含的(de)(de)(de)正交信(xin)(xin)號(泄(xie)漏(lou)(lou)信(xin)(xin)號)與(yu)(yu)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)信(xin)(xin)號(角(jiao)速(su)(su)度(du)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen))的(de)(de)(de)相(xiang)位錯開(kai)(kai)90°。同樣，從(cong)固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電極142輸出(chu)的(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)信(xin)(xin)號中(zhong)所(suo)包(bao)(bao)含的(de)(de)(de)正交信(xin)(xin)號(泄(xie)漏(lou)(lou)信(xin)(xin)號)與(yu)(yu)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)信(xin)(xin)號(角(jiao)速(su)(su)度(du)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen))的(de)(de)(de)相(xiang)位錯開(kai)(kai)90°。此外，從(cong)固定(ding)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)電極140、142輸出(chu)的(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)信(xin)(xin)號中(zhong)所(suo)包(bao)(bao)含的(de)(de)(de)科(ke)里奧(ao)(ao)利(li)(li)信(xin)(xin)號(角(jiao)速(su)(su)度(du)成(cheng)(cheng)(cheng)分(fen)(fen)(fen))互為(wei)反(fan)相(xiang)，正交信(xin)(xin)號(泄(xie)漏(lou)(lou)信(xin)(xin)號)互為(wei)反(fan)相(xiang)。

q/v轉(zhuan)換器(qi)31a(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)轉(zhuan)換部的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))具有運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)310a(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))，并(bing)且將從(cong)角速(su)度(du)檢(jian)測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)(de)(de)固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)140(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)檢(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))輸出并(bing)被輸入(ru)到運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)310a的(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)輸入(ru)端子(zi)(zi)(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)輸入(ru)端子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))中的(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)流(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)檢(jian)測(ce)信號的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))轉(zhuan)換為電(dian)壓。同樣，q/v轉(zhuan)換器(qi)31b(第(di)(di)(di)二轉(zhuan)換部的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))具有運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)310b(第(di)(di)(di)二運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))，并(bing)且將從(cong)角速(su)度(du)檢(jian)測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)(de)(de)固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)142(第(di)(di)(di)二檢(jian)測(ce)電(dian)極(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))輸出并(bing)被輸入(ru)到運算放(fang)(fang)(fang)大(da)器(qi)310b的(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)輸入(ru)端子(zi)(zi)(第(di)(di)(di)一(yi)(yi)(yi)(yi)輸入(ru)端子(zi)(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))中的(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)流(第(di)(di)(di)二檢(jian)測(ce)信號的(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)(yi)個(ge)(ge)(ge)示例(li)(li))轉(zhuan)換為電(dian)壓。

具體(ti)而言，當角速(su)度檢(jian)測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)振(zhen)動體(ti)112進行振(zhen)動時，基于電(dian)(dian)容變化的(de)(de)電(dian)(dian)流(liu)(liu)從固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)極140、142被輸(shu)出(chu)(chu)，并(bing)被輸(shu)入(ru)到q/v轉換(huan)器31a、31b各(ge)自所具有的(de)(de)運算放大器310a、310b的(de)(de)反轉輸(shu)入(ru)端子中(zhong)。q/v轉換(huan)器31a將(jiang)從固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)極140輸(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)交流(liu)(liu)電(dian)(dian)流(liu)(liu)轉換(huan)為以振(zhen)幅(fu)調(diao)節電(dian)(dian)路35a的(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)號作(zuo)(zuo)為基準的(de)(de)電(dian)(dian)壓并(bing)進行輸(shu)出(chu)(chu)。同樣(yang)，q/v轉換(huan)器31b將(jiang)從固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)極142輸(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)電(dian)(dian)流(liu)(liu)轉換(huan)為以振(zhen)幅(fu)調(diao)節電(dian)(dian)路35b的(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信(xin)號作(zuo)(zuo)為基準的(de)(de)電(dian)(dian)壓并(bing)進行輸(shu)出(chu)(chu)。從q/v轉換(huan)器31a、31b輸(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)信(xin)號分(fen)別為相對于從固(gu)定檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)極140、142輸(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)交流(liu)(liu)電(dian)(dian)流(liu)(liu)而相位(wei)前移了(le)90°的(de)(de)信(xin)號。

分別從q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)31a、31b輸(shu)出(chu)的交流(liu)(liu)電壓信(xin)號(hao)(hao)被輸(shu)入(ru)到差(cha)動放大(da)器(qi)32中。差(cha)動放大(da)器(qi)32(差(cha)動放大(da)部(bu)的一個示例(li))對q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)31a的輸(shu)出(chu)信(xin)號(hao)(hao)(交流(liu)(liu)電壓信(xin)號(hao)(hao))和q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)31b的輸(shu)出(chu)信(xin)號(hao)(hao)(交流(liu)(liu)電壓信(xin)號(hao)(hao))進行(xing)差(cha)動放大(da)并(bing)進行(xing)輸(shu)出(chu)。

從(cong)(cong)(cong)(cong)差(cha)(cha)動(dong)放(fang)大(da)器32輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)被(bei)輸(shu)(shu)入到(dao)科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33中。科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33基于(yu)科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)參(can)照(zhao)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)sdet而對從(cong)(cong)(cong)(cong)差(cha)(cha)動(dong)放(fang)大(da)器32輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)進行(xing)(xing)(xing)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)。更詳細而言，科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33在科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)參(can)照(zhao)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)sdet為(wei)(wei)高電平(ping)時選擇從(cong)(cong)(cong)(cong)差(cha)(cha)動(dong)放(fang)大(da)器32輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，而在科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)參(can)照(zhao)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)sdet為(wei)(wei)低電平(ping)時選擇使從(cong)(cong)(cong)(cong)差(cha)(cha)動(dong)放(fang)大(da)器32輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)極性反轉的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，從(cong)(cong)(cong)(cong)而進行(xing)(xing)(xing)全波(bo)(bo)(bo)整流，并且對進行(xing)(xing)(xing)全波(bo)(bo)(bo)整流而得到(dao)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)進行(xing)(xing)(xing)低通濾波(bo)(bo)(bo)處理并進行(xing)(xing)(xing)輸(shu)(shu)出(chu)。從(cong)(cong)(cong)(cong)科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)為(wei)(wei)，從(cong)(cong)(cong)(cong)由(you)角速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)元件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)固(gu)定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電極140、142所輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中提(ti)取出(chu)了(le)科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(角速(su)(su)度(du)成(cheng)分(fen))的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，并成(cheng)為(wei)(wei)與科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(角速(su)(su)度(du)成(cheng)分(fen))的(de)(de)(de)(de)(de)大(da)小相對應的(de)(de)(de)(de)(de)電壓。從(cong)(cong)(cong)(cong)該科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)作為(wei)(wei)角速(su)(su)度(du)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so而被(bei)輸(shu)(shu)入到(dao)角速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)置(zhi)1的(de)(de)(de)(de)(de)外(wai)部(bu)。由(you)于(yu)正(zheng)如前文所述(shu)那樣(yang)，科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)參(can)照(zhao)信(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)sdet的(de)(de)(de)(de)(de)波(bo)(bo)(bo)動(dong)減少，因(yin)此(ci)由(you)科(ke)(ke)里(li)(li)奧(ao)(ao)利(li)(li)(li)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)電路(lu)(lu)(lu)(lu)33所進行(xing)(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)同(tong)步(bu)(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波(bo)(bo)(bo)的(de)(de)(de)(de)(de)精度(du)提(ti)高，其(qi)結果為(wei)(wei)，角速(su)(su)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)精度(du)提(ti)高。

由差動(dong)放大(da)器(qi)32和科(ke)里奧(ao)利(li)同步檢波電(dian)路33構成(cheng)的(de)電(dian)路作為(wei)角速(su)度(du)信(xin)(xin)號生(sheng)成(cheng)部而發(fa)揮功能，所述角速(su)度(du)信(xin)(xin)號生(sheng)成(cheng)部基于q/v轉換(huan)器(qi)31a、31b的(de)輸出信(xin)(xin)號來生(sheng)成(cheng)角速(su)度(du)信(xin)(xin)號so。

分(fen)別(bie)從q/v轉(zhuan)(zhuan)換器31a、31b輸(shu)出的(de)(de)(de)交流(liu)(liu)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)信(xin)號(hao)分(fen)別(bie)被輸(shu)入到正交同(tong)(tong)步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)路(lu)(lu)(lu)34a、34b中(zhong)(zhong)。正交同(tong)(tong)步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)路(lu)(lu)(lu)34a(第(di)一(yi)同(tong)(tong)步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)路(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)一(yi)個(ge)示例)基于q/v轉(zhuan)(zhuan)換器31a的(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)(交流(liu)(liu)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)信(xin)號(hao))而(er)對(dui)從角速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)元件10的(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)極140輸(shu)出的(de)(de)(de)交流(liu)(liu)電(dian)(dian)流(liu)(liu)中(zhong)(zhong)所包(bao)(bao)含的(de)(de)(de)正交信(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)號(hao))的(de)(de)(de)電(dian)(dian)平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)。此外，正交同(tong)(tong)步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)路(lu)(lu)(lu)34b(第(di)二(er)同(tong)(tong)步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)路(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)一(yi)個(ge)示例)基于q/v轉(zhuan)(zhuan)換器31b的(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)(交流(liu)(liu)電(dian)(dian)壓(ya)(ya)信(xin)號(hao))而(er)對(dui)從角速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)元件10的(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)極142輸(shu)出的(de)(de)(de)交流(liu)(liu)電(dian)(dian)流(liu)(liu)中(zhong)(zhong)所包(bao)(bao)含的(de)(de)(de)正交信(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)號(hao))的(de)(de)(de)電(dian)(dian)平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)。

具體(ti)而言，正(zheng)(zheng)交(jiao)同(tong)步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34a基(ji)于正(zheng)(zheng)交(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet而對q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a的(de)輸(shu)(shu)出(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(交(jiao)流(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))進行(xing)(xing)(xing)同(tong)步檢(jian)(jian)(jian)波并(bing)對正(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)電(dian)平進行(xing)(xing)(xing)檢(jian)(jian)(jian)測。即，正(zheng)(zheng)交(jiao)同(tong)步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34a在正(zheng)(zheng)交(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)高(gao)電(dian)平時選擇從(cong)q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a輸(shu)(shu)出(chu)的(de)交(jiao)流(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)，而在正(zheng)(zheng)交(jiao)參照(zhao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)低電(dian)平時選擇使從(cong)q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a輸(shu)(shu)出(chu)的(de)交(jiao)流(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)的(de)極性反轉(zhuan)的(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)，從(cong)而進行(xing)(xing)(xing)全(quan)波整(zheng)流(liu)(liu)，并(bing)且對進行(xing)(xing)(xing)全(quan)波整(zheng)流(liu)(liu)而得到(dao)的(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)進行(xing)(xing)(xing)積分(fen)處(chu)理并(bing)進行(xing)(xing)(xing)輸(shu)(shu)出(chu)。從(cong)正(zheng)(zheng)交(jiao)同(tong)步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34a輸(shu)(shu)出(chu)的(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)為(wei)，從(cong)由角(jiao)速度檢(jian)(jian)(jian)測元件10的(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測電(dian)極140所輸(shu)(shu)出(chu)的(de)檢(jian)(jian)(jian)測信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)中提取出(chu)了正(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)，并(bing)成為(wei)與正(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)大小相對應的(de)電(dian)壓(ya)(ya)。

同樣，正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34b基于正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)qdet而(er)對q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器(qi)31b的(de)輸出信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(交(jiao)流電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))進(jin)行(xing)同步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波并(bing)對正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)電(dian)平進(jin)行(xing)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)。即(ji)，正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34b在正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)(wei)高(gao)電(dian)平時選(xuan)擇從(cong)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器(qi)31b輸出的(de)交(jiao)流電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，而(er)在正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)參(can)照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)(wei)低電(dian)平時選(xuan)擇使從(cong)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器(qi)31b輸出的(de)交(jiao)流電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)極性(xing)反轉(zhuan)(zhuan)的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，從(cong)而(er)進(jin)行(xing)全波整流，并(bing)且(qie)對進(jin)行(xing)全波整流而(er)得到的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)進(jin)行(xing)積分處理并(bing)進(jin)行(xing)輸出。從(cong)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34b輸出的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)為(wei)(wei)，從(cong)由角速度檢(jian)(jian)(jian)測(ce)元件(jian)10的(de)固(gu)定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電(dian)極142所輸出的(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中提取出了正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，并(bing)成為(wei)(wei)與正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)大小相對應的(de)電(dian)壓(ya)(ya)。從(cong)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)路(lu)34a、34b輸出的(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)互為(wei)(wei)反相。

從(cong)正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同(tong)(tong)(tong)步(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a、34b輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)分別被輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到(dao)振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a、35b中。振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a根(gen)據正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同(tong)(tong)(tong)步(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a的(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，以(yi)取(qu)消被輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到(dao)q/v轉(zhuan)(zhuan)換器(qi)31a中的(de)(de)(de)(de)正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)方式(shi)而輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)對交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt的(de)(de)(de)(de)振(zhen)(zhen)幅(fu)進(jin)行了調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)后的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)。同(tong)(tong)(tong)樣，振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35b根(gen)據正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同(tong)(tong)(tong)步(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，以(yi)取(qu)消被輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到(dao)q/v轉(zhuan)(zhuan)換器(qi)31b中的(de)(de)(de)(de)正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)方式(shi)而輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)對交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt的(de)(de)(de)(de)振(zhen)(zhen)幅(fu)進(jin)行了調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)后的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)。分別從(cong)振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a、35b被輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)為(wei)，具有與振(zhen)(zhen)動(dong)頻(pin)率(lv)(正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)頻(pin)率(lv))相同(tong)(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)頻(pin)率(lv)并(bing)且(qie)(qie)具有根(gen)據正(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)大(da)小而確定的(de)(de)(de)(de)振(zhen)(zhen)幅(fu)的(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)。而且(qie)(qie)，分別從(cong)振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a、35b輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)的(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)被直接輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到(dao)q/v轉(zhuan)(zhuan)換器(qi)31a、31b各自所具有的(de)(de)(de)(de)運算放大(da)器(qi)310a、310b的(de)(de)(de)(de)非反轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入端子(zi)(第二(er)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入端子(zi)的(de)(de)(de)(de)一(yi)個示例)中。

由(you)(you)(you)于(yu)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到(dao)該(gai)運(yun)算放(fang)(fang)大(da)(da)(da)器310a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)非(fei)反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)消除從角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)元件10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)固定(ding)(ding)檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)(dian)極140輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)并(bing)(bing)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到(dao)運(yun)算放(fang)(fang)大(da)(da)(da)器310a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)流(liu)中(zhong)(zhong)所包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方式(shi)而(er)(er)(er)發揮作用，因(yin)此(ci)在(zai)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)器31a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))較(jiao)大(da)(da)(da)幅(fu)度(du)地被衰(shuai)減(jian)。同(tong)樣，由(you)(you)(you)于(yu)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到(dao)運(yun)算放(fang)(fang)大(da)(da)(da)器310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)非(fei)反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)以(yi)消除從角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)元件10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)固定(ding)(ding)檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)(dian)極142輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)并(bing)(bing)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到(dao)運(yun)算放(fang)(fang)大(da)(da)(da)器310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)流(liu)所包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方式(shi)而(er)(er)(er)發揮作用，因(yin)此(ci)在(zai)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)器31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))被較(jiao)大(da)(da)(da)幅(fu)度(du)地衰(shuai)減(jian)。其結果(guo)為，能(neng)夠(gou)使(shi)(shi)由(you)(you)(you)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))所產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)偏移減(jian)少。此(ci)外(wai)，由(you)(you)(you)于(yu)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)器31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所包(bao)含(han)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)平(ping)較(jiao)小，因(yin)此(ci)能(neng)夠(gou)在(zai)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)器31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)不飽和的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)范圍(wei)內(nei)將q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)(huan)器31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)增益設為與現有技術(shu)相(xiang)比而(er)(er)(er)較(jiao)大(da)(da)(da)。并(bing)(bing)且(qie)，由(you)(you)(you)于(yu)正(zheng)(zheng)如前文所述那(nei)樣，在(zai)本實(shi)施(shi)方式(shi)中(zhong)(zhong)，正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)參照信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)qdet的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)波(bo)動減(jian)少，因(yin)此(ci)由(you)(you)(you)正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)同(tong)步檢(jian)波(bo)電(dian)(dian)(dian)路34a、34b所進行(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)同(tong)步檢(jian)波(bo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)精度(du)提高(gao)。其結果(guo)為，與現有技術(shu)相(xiang)比，能(neng)夠(gou)使(shi)(shi)角(jiao)速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)s/n提高(gao)。以(yi)下，將被輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)到(dao)運(yun)算放(fang)(fang)大(da)(da)(da)器310a、310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)非(fei)反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)(shu)入(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)稱為“正(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)”。

如(ru)此，由(you)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)同步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a和振(zhen)(zhen)(zhen)幅調(diao)節(jie)(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a構成(cheng)的(de)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)作為(wei)(wei)基于(yu)交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)號(hao)mnt而生(sheng)成(cheng)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)(第一(yi)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)的(de)一(yi)個(ge)示例(li))的(de)第一(yi)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)生(sheng)成(cheng)部(bu)而發(fa)揮功能，其中，所(suo)(suo)(suo)述交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)號(hao)mnt為(wei)(wei)基于(yu)角速度檢(jian)(jian)(jian)測元(yuan)(yuan)件(jian)10的(de)驅動振(zhen)(zhen)(zhen)動而獲得的(de)信(xin)號(hao)，所(suo)(suo)(suo)述正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)用于(yu)使(shi)由(you)從角速度檢(jian)(jian)(jian)測元(yuan)(yuan)件(jian)10的(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測電(dian)(dian)(dian)極(ji)140輸(shu)出的(de)交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)流(liu)中所(suo)(suo)(suo)包含的(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)號(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)號(hao))而產生(sheng)的(de)角速度信(xin)號(hao)so的(de)偏移減少。此外(wai)，振(zhen)(zhen)(zhen)幅調(diao)節(jie)(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a作為(wei)(wei)第一(yi)振(zhen)(zhen)(zhen)幅調(diao)節(jie)(jie)(jie)部(bu)而發(fa)揮功能，所(suo)(suo)(suo)述第一(yi)振(zhen)(zhen)(zhen)幅調(diao)節(jie)(jie)(jie)部(bu)基于(yu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)同步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a所(suo)(suo)(suo)檢(jian)(jian)(jian)測出的(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信(xin)號(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)號(hao))的(de)電(dian)(dian)(dian)平對(dui)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)的(de)振(zhen)(zhen)(zhen)幅進行調(diao)節(jie)(jie)(jie)。

同(tong)樣，由正(zheng)交(jiao)(jiao)同(tong)步(bu)檢(jian)波(bo)(bo)電(dian)(dian)路(lu)34b和振幅(fu)調(diao)節電(dian)(dian)路(lu)35b構成的(de)(de)電(dian)(dian)路(lu)作為(wei)(wei)基于交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)壓(ya)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt生(sheng)成正(zheng)交(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(第(di)二(er)補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)一個示例)的(de)(de)第(di)二(er)補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生(sheng)成部而發(fa)揮(hui)功能(neng)，其(qi)中，交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)壓(ya)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt為(wei)(wei)基于角(jiao)速度檢(jian)測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)驅動振動而獲得的(de)(de)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，所(suo)述(shu)正(zheng)交(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)用于使由從(cong)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)固定檢(jian)測(ce)電(dian)(dian)極142輸出的(de)(de)交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)流(liu)中所(suo)包含的(de)(de)正(zheng)交(jiao)(jiao)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而產(chan)生(sheng)的(de)(de)角(jiao)速度信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)偏移減少。此外(wai)，振幅(fu)調(diao)節電(dian)(dian)路(lu)35b作為(wei)(wei)第(di)二(er)振幅(fu)調(diao)節部而發(fa)揮(hui)功能(neng)，所(suo)述(shu)第(di)二(er)振幅(fu)調(diao)節部基于正(zheng)交(jiao)(jiao)同(tong)步(bu)檢(jian)波(bo)(bo)電(dian)(dian)路(lu)34b所(suo)檢(jian)測(ce)出的(de)(de)正(zheng)交(jiao)(jiao)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)電(dian)(dian)平來對正(zheng)交(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)振幅(fu)進(jin)行調(diao)節。

接下來，利用(yong)圖8的(de)波(bo)形圖對通過圖7所(suo)示(shi)的(de)角(jiao)速度檢測裝置1而將正交信號(泄(xie)漏信號)去除(chu)的(de)原理進行說明(ming)。圖8為(wei)表示(shi)圖7的(de)a點～m點的(de)信號波(bo)形的(de)一個(ge)示(shi)例的(de)圖，橫(heng)軸(zhou)表示(shi)時間(jian)，縱軸(zhou)表示(shi)電壓(ya)或者電流。雖然圖8是未(wei)向角(jiao)速度檢測元件10施(shi)加科里奧利力的(de)情(qing)(qing)況下的(de)示(shi)例，但在施(shi)加了科里奧利力的(de)情(qing)(qing)況下也同樣能夠說明(ming)。

在角速(su)度檢測元件10的(de)(de)振動體112進行振動的(de)(de)狀態下，從(cong)電平轉(zhuan)換電路(lu)26輸(shu)出(chu)的(de)(de)驅動信(xin)(xin)(xin)號(a點(dian)(dian)(dian)、a’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號)為互為反(fan)相(xiang)的(de)(de)矩形波。此外，被(bei)輸(shu)入到q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b中(zhong)(zhong)的(de)(de)交(jiao)(jiao)流電流(b點(dian)(dian)(dian)、b’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號)互為反(fan)相(xiang)，并(bing)且(qie)從(cong)q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b輸(shu)出(chu)的(de)(de)交(jiao)(jiao)流電壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號mnt、mntb(c點(dian)(dian)(dian)、c’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號)也互為反(fan)相(xiang)。該交(jiao)(jiao)流電壓(ya)信(xin)(xin)(xin)號mnt、mntb(c點(dian)(dian)(dian)、c’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號)分別相(xiang)對于被(bei)輸(shu)入到q/v轉(zhuan)換器(qi)21a、21b中(zhong)(zhong)的(de)(de)各交(jiao)(jiao)流電流(b點(dian)(dian)(dian)、b’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號)而(er)相(xiang)位前移了90°。

由于(yu)未(wei)向角(jiao)速度(du)檢測(ce)元件(jian)10施加科里(li)奧利力，因此被輸入(ru)到q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)31a、31b中的檢測(ce)信(xin)號(hao)(hao)(d點(dian)(dian)、d’點(dian)(dian)的信(xin)號(hao)(hao))不(bu)包括(kuo)科里(li)奧利信(xin)號(hao)(hao)，而僅包括(kuo)正交(jiao)信(xin)號(hao)(hao)(泄漏信(xin)號(hao)(hao))。被輸入(ru)到該q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)31a、31b中的正交(jiao)信(xin)號(hao)(hao)(泄漏信(xin)號(hao)(hao))(d點(dian)(dian)、d’點(dian)(dian)的信(xin)號(hao)(hao))互為反相(xiang)，并(bing)且分別與被輸入(ru)到q/v轉(zhuan)換(huan)器(qi)21a、21b中的各交(jiao)流電(dian)流(b點(dian)(dian)、b’點(dian)(dian)的信(xin)號(hao)(hao))為同(tong)相(xiang)。

被(bei)輸入到(dao)q/v轉(zhuan)換器31a中的(de)(de)正(zheng)交補(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(i點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))成(cheng)為，通過振幅調節(jie)電(dian)(dian)路(lu)35a并根據(ju)正(zheng)交同步(bu)檢波(bo)(bo)(bo)電(dian)(dian)路(lu)34a的(de)(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(h點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)波(bo)(bo)(bo)形(xing)而對(dui)交流電(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt(c點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)振幅進行(xing)了調節(jie)后(hou)的(de)(de)波(bo)(bo)(bo)形(xing)。同樣(yang)，被(bei)輸入到(dao)q/v轉(zhuan)換器31b中的(de)(de)正(zheng)交補(bu)正(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(i’點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))為，通過振幅調節(jie)電(dian)(dian)路(lu)35b并根據(ju)正(zheng)交同步(bu)檢波(bo)(bo)(bo)電(dian)(dian)路(lu)34b的(de)(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(h’點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)波(bo)(bo)(bo)形(xing)而對(dui)交流電(dian)(dian)壓信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt(c點(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)振幅進行(xing)了調節(jie)后(hou)的(de)(de)波(bo)(bo)(bo)形(xing)。

被輸(shu)入到q/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器(qi)31a中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)正交(jiao)補(bu)正信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(i點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))相對于(yu)被輸(shu)入到q/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器(qi)31a中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)檢測信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(正交(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)))(d點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))而(er)相位(wei)前(qian)移了90°，在q/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器(qi)31a中(zhong)被加上該(gai)檢測信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(交(jiao)流(liu)電(dian)(dian)流(liu))被轉(zhuan)換(huan)(huan)為(wei)電(dian)(dian)壓的(de)(de)(de)(de)(de)交(jiao)流(liu)電(dian)(dian)壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(相對于(yu)檢測信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(交(jiao)流(liu)電(dian)(dian)流(liu))而(er)相位(wei)前(qian)移了90°的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))。因此，q/v轉(zhuan)換(huan)(huan)器(qi)31a的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(e點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))成為(wei)正交(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)振(zhen)幅衰減了的(de)(de)(de)(de)(de)波形(實線的(de)(de)(de)(de)(de)波形)。

同(tong)樣(yang)，被(bei)輸(shu)入到q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31b中(zhong)(zhong)的(de)(de)正(zheng)(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)信(xin)號(hao)(hao)(i’點的(de)(de)信(xin)號(hao)(hao))相(xiang)(xiang)(xiang)對于被(bei)輸(shu)入到q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31b中(zhong)(zhong)的(de)(de)檢測信(xin)號(hao)(hao)(正(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)號(hao)(hao)(泄漏(lou)信(xin)號(hao)(hao)))(d’點的(de)(de)信(xin)號(hao)(hao))而(er)相(xiang)(xiang)(xiang)位前移了(le)90°，并(bing)且在q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31b中(zhong)(zhong)，被(bei)加上了(le)該檢測信(xin)號(hao)(hao)(交(jiao)流電(dian)(dian)流)被(bei)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)為電(dian)(dian)壓的(de)(de)交(jiao)流電(dian)(dian)壓信(xin)號(hao)(hao)(相(xiang)(xiang)(xiang)對于檢測信(xin)號(hao)(hao)(交(jiao)流電(dian)(dian)流)而(er)相(xiang)(xiang)(xiang)位前移了(le)90°的(de)(de)信(xin)號(hao)(hao))。因此，q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31b的(de)(de)輸(shu)出信(xin)號(hao)(hao)(e’點的(de)(de)信(xin)號(hao)(hao))成為正(zheng)(zheng)交(jiao)信(xin)號(hao)(hao)(泄漏(lou)信(xin)號(hao)(hao))的(de)(de)振幅(fu)衰(shuai)減了(le)的(de)(de)波(bo)形(實(shi)線波(bo)形)。

此(ci)外(wai)，在正(zheng)(zheng)(zheng)交同(tong)步檢波(bo)(bo)電(dian)路34a中，通過正(zheng)(zheng)(zheng)交參照信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)qdet(f點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))而使q/v轉(zhuan)換器31a的(de)(de)(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(e點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(實線的(de)(de)(de)波(bo)(bo)形))被全(quan)(quan)波(bo)(bo)整流(liu)了的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(g點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))成(cheng)為振幅較小(xiao)的(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)極(ji)性的(de)(de)(de)波(bo)(bo)形。因此(ci)，該全(quan)(quan)波(bo)(bo)整流(liu)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(g點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)積分信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(h點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))成(cheng)為電(dian)平較低(di)且接(jie)近于dc的(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)極(ji)性的(de)(de)(de)電(dian)壓波(bo)(bo)形。而且，例(li)如，通過振幅調節(jie)電(dian)路35a對被輸入到q/v轉(zhuan)換器31a中的(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)交補正(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(i點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)振幅進行調節(jie)，以(yi)使正(zheng)(zheng)(zheng)交同(tong)步檢波(bo)(bo)電(dian)路34a的(de)(de)(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(h點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)電(dian)平成(cheng)為最小(xiao)。由此(ci)，進行反饋以(yi)使q/v轉(zhuan)換器31a的(de)(de)(de)輸出(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(e點(dian)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)(de)振幅衰減。

同(tong)樣，在正(zheng)(zheng)交同(tong)步檢(jian)波(bo)電(dian)路34b中，通(tong)過(guo)正(zheng)(zheng)交參(can)照信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)qdet(f’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而使(shi)q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31b的(de)(de)輸出信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(e’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(實(shi)線(xian)的(de)(de)波(bo)形))被全(quan)波(bo)整流了的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(g’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))成為振幅(fu)較小的(de)(de)負極(ji)性的(de)(de)波(bo)形。因此，該全(quan)波(bo)整流信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(g’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)積分信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(h’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))成為電(dian)平較低且接近(jin)于dc的(de)(de)負極(ji)性的(de)(de)電(dian)壓(ya)波(bo)形。而且，例如(ru)，通(tong)過(guo)振幅(fu)調節電(dian)路35b對被輸入到q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31b中的(de)(de)正(zheng)(zheng)交補(bu)正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(i’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)振幅(fu)進行(xing)調節，以使(shi)正(zheng)(zheng)交同(tong)步檢(jian)波(bo)電(dian)路34b的(de)(de)輸出信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(h’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)電(dian)平成為最小。由此，進行(xing)反(fan)饋(kui)以使(shi)q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31b的(de)(de)輸出信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(e’點(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)(de)振幅(fu)衰減。

其結(jie)果為(wei)(wei)，在科(ke)里(li)奧利同步檢(jian)波(bo)電路33中，通(tong)(tong)過科(ke)里(li)奧利參照信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)sdet(k點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而使(shi)差動放大器32的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(j點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))被全(quan)(quan)波(bo)整(zheng)流了(le)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(l點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))成為(wei)(wei)反復于正極性(xing)和負極性(xing)的(de)(de)(de)(de)振幅較小的(de)(de)(de)(de)波(bo)形(實線的(de)(de)(de)(de)波(bo)形)。因此，作為(wei)(wei)全(quan)(quan)波(bo)整(zheng)流信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(l點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))被低通(tong)(tong)濾波(bo)處(chu)理(li)后(hou)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so(m點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))成為(wei)(wei)即使(shi)全(quan)(quan)波(bo)整(zheng)流信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(l點(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))中的(de)(de)(de)(de)正極性(xing)的(de)(de)(de)(de)波(bo)形與負極性(xing)的(de)(de)(de)(de)波(bo)形的(de)(de)(de)(de)對稱性(xing)稍微發生(sheng)了(le)偏(pian)離，也會成為(wei)(wei)幾(ji)乎(hu)與模擬接(jie)地電壓agnd相等的(de)(de)(de)(de)電壓(實線的(de)(de)(de)(de)波(bo)形)。即，由正交信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而產(chan)生(sheng)的(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)偏(pian)移非常小。

另外(wai)，假設在未(wei)向運算放大器(qi)310a、310b的(de)(de)(de)非反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端子中供(gong)給(gei)正交補正信(xin)號(hao)(i點(dian)(dian)、i’點(dian)(dian)的(de)(de)(de)信(xin)號(hao))而是(shi)供(gong)給(gei)了(le)模擬(ni)接地(di)電壓(ya)(ya)agnd的(de)(de)(de)情況下，e點(dian)(dian)、e’點(dian)(dian)、j點(dian)(dian)、l點(dian)(dian)、m點(dian)(dian)的(de)(de)(de)各信(xin)號(hao)成為(wei)圖8的(de)(de)(de)虛線(xian)那樣的(de)(de)(de)波形，角速(su)度信(xin)號(hao)so(m點(dian)(dian)的(de)(de)(de)信(xin)號(hao))根據全波整流信(xin)號(hao)(l點(dian)(dian)的(de)(de)(de)信(xin)號(hao))中的(de)(de)(de)正極性的(de)(de)(de)波形與負極性的(de)(de)(de)波形的(de)(de)(de)對稱性的(de)(de)(de)偏(pian)離而成為(wei)從模擬(ni)接地(di)電壓(ya)(ya)agnd偏(pian)離了(le)的(de)(de)(de)電壓(ya)(ya)。即，由正交信(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)號(hao))而產生(sheng)的(de)(de)(de)角速(su)度信(xin)號(hao)so的(de)(de)(de)偏(pian)移較大。

作用效果

如以上所(suo)說明的那樣(yang)，根(gen)(gen)據第一(yi)(yi)實(shi)(shi)施方式(shi)(shi)的角(jiao)速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)裝(zhuang)置(zhi)1(角(jiao)速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)路30)，能(neng)(neng)夠(gou)通(tong)過將(jiang)正(zheng)(zheng)交補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到運(yun)算放大(da)(da)器310a、310b的反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入端(duan)(duan)子中(zhong)(zhong)，從(cong)而(er)(er)(er)使(shi)由(you)(you)從(cong)角(jiao)速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件(jian)10的固定檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)極140、142輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)的檢(jian)(jian)測(ce)(ce)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)包(bao)含(han)(han)的正(zheng)(zheng)交信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))而(er)(er)(er)產(chan)生(sheng)的角(jiao)速(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)so的偏移(yi)減(jian)(jian)少。而(er)(er)(er)且，由(you)(you)于正(zheng)(zheng)交補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)被直接輸(shu)(shu)(shu)(shu)入到運(yun)算放大(da)(da)器310a、310b的反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入端(duan)(duan)子中(zhong)(zhong)，因此(ci)與經由(you)(you)電(dian)容而(er)(er)(er)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)入的現有技(ji)術(shu)相比(bi)，能(neng)(neng)夠(gou)使(shi)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31a、31b的輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)包(bao)含(han)(han)的噪(zao)(zao)聲(sheng)成(cheng)分減(jian)(jian)少。并(bing)且，由(you)(you)于通(tong)過向運(yun)算放大(da)(da)器310a、310b的反(fan)轉(zhuan)(zhuan)輸(shu)(shu)(shu)(shu)入端(duan)(duan)子中(zhong)(zhong)被輸(shu)(shu)(shu)(shu)入有利用(yong)振(zhen)(zhen)幅調(diao)節電(dian)路35a、35b而(er)(er)(er)使(shi)振(zhen)(zhen)幅被調(diao)節了的正(zheng)(zheng)交補正(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)，從(cong)而(er)(er)(er)使(shi)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31a、31b的輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)中(zhong)(zhong)正(zheng)(zheng)交信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))較大(da)(da)幅度(du)(du)地被衰減(jian)(jian)，因此(ci)能(neng)(neng)夠(gou)相應地增(zeng)大(da)(da)q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31a、31b的增(zeng)益(yi)。因此(ci)，根(gen)(gen)據第一(yi)(yi)實(shi)(shi)施方式(shi)(shi)的角(jiao)速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)裝(zhuang)置(zhi)1(角(jiao)速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)路30)，q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31a、31b的輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)中(zhong)(zhong)所(suo)包(bao)含(han)(han)的角(jiao)速(su)度(du)(du)成(cheng)分(科(ke)里(li)奧利信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))與噪(zao)(zao)聲(sheng)成(cheng)分之比(bi)變大(da)(da)，其結(jie)果(guo)為(wei)，與現有技(ji)術(shu)相比(bi)，能(neng)(neng)夠(gou)使(shi)基于q/v轉(zhuan)(zhuan)換(huan)器31a、31b輸(shu)(shu)(shu)(shu)出(chu)(chu)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)而(er)(er)(er)生(sheng)成(cheng)的角(jiao)速(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)so的s/n提高。

此外，根據第一實施方式的(de)(de)角速度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)裝置1(角速度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)電路(lu)30)，由(you)于(yu)即(ji)使從(cong)角速度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)元件10的(de)(de)固定(ding)檢(jian)(jian)測(ce)電極140、142輸(shu)出的(de)(de)檢(jian)(jian)測(ce)信(xin)號(hao)中所包含(han)的(de)(de)正(zheng)交信(xin)號(hao)(泄漏信(xin)號(hao))的(de)(de)振(zhen)(zhen)幅發生(sheng)變化，正(zheng)交補正(zheng)信(xin)號(hao)的(de)(de)振(zhen)(zhen)幅也會隨之自(zi)動調(diao)節，因此即(ji)使環境發生(sheng)變化也能夠將(jiang)角速度(du)(du)(du)信(xin)號(hao)so的(de)(de)s/n維持為固定(ding)。

此(ci)外(wai)，根據(ju)第一實施(shi)方(fang)式的(de)(de)(de)角速(su)(su)度(du)檢測(ce)裝置1(角速(su)(su)度(du)檢測(ce)電路30)，由于在其制造(zao)工序(xu)無需設定用(yong)于對從角速(su)(su)度(du)檢測(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)固定檢測(ce)電極140、142輸出(chu)的(de)(de)(de)檢測(ce)信(xin)號中所包含的(de)(de)(de)正(zheng)交(jiao)信(xin)號(泄漏信(xin)號)的(de)(de)(de)振幅(fu)進(jin)行(xing)(xing)檢查(cha)并對正(zheng)交(jiao)補正(zheng)信(xin)號的(de)(de)(de)振幅(fu)進(jin)行(xing)(xing)調節的(de)(de)(de)信(xin)息，因此(ci)還能夠削減制造(zao)成本(ben)。

1-2.第(di)二實施方式

圖9為(wei)表示(shi)第(di)(di)二實施(shi)方式(shi)的(de)(de)角速度檢測(ce)裝(zhuang)置(zhi)1的(de)(de)結(jie)構的(de)(de)圖。在圖9中，對(dui)與(yu)圖7相同(tong)的(de)(de)結(jie)構要(yao)素(su)標注(zhu)相同(tong)的(de)(de)符號。以下，針對(dui)第(di)(di)二實施(shi)方式(shi)的(de)(de)角速度檢測(ce)裝(zhuang)置(zhi)1而省(sheng)略與(yu)第(di)(di)一實施(shi)方式(shi)重復的(de)(de)說明，并以與(yu)第(di)(di)一實施(shi)方式(shi)不同(tong)的(de)(de)內容(rong)為(wei)中心進行說明。

如圖9所示，在第二實(shi)施方式的(de)角速度(du)檢測(ce)(ce)(ce)裝置1中，與第一實(shi)施方式不同(tong)(tong)，從(cong)比(bi)較器22的(de)非(fei)反(fan)轉輸(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)端(duan)子輸(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)的(de)矩形波(bo)信(xin)(xin)號(hao)作(zuo)為正交參照信(xin)(xin)號(hao)qdetb而(er)被(bei)輸(shu)(shu)入到(dao)正交同(tong)(tong)步(bu)檢波(bo)電路(lu)34b中。而(er)且，正交同(tong)(tong)步(bu)檢波(bo)電路(lu)34b基于正交參照信(xin)(xin)號(hao)qdetb對(dui)q/v轉換器31b的(de)輸(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)信(xin)(xin)號(hao)(交流電壓(ya)信(xin)(xin)號(hao))進(jin)行同(tong)(tong)步(bu)檢波(bo)，并且對(dui)從(cong)角速度(du)檢測(ce)(ce)(ce)元件10的(de)固定檢測(ce)(ce)(ce)電極142輸(shu)(shu)出(chu)(chu)(chu)的(de)檢測(ce)(ce)(ce)信(xin)(xin)號(hao)(交流電流)中所包含的(de)正交信(xin)(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)(xin)號(hao))的(de)電平進(jin)行檢測(ce)(ce)(ce)。

具(ju)體而(er)(er)言，正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)波電(dian)路34b通過在正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)參(can)(can)照信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)qdetb為(wei)高電(dian)平(正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)參(can)(can)照信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)低(di)電(dian)平)時(shi)選(xuan)擇從q/v轉換器31b輸(shu)出(chu)的交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)，而(er)(er)在正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)參(can)(can)照信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)qdetb為(wei)低(di)電(dian)平(正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)參(can)(can)照信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)qdet為(wei)高電(dian)平)時(shi)選(xuan)擇使從q/v轉換器31b輸(shu)出(chu)的交(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)的極(ji)性反(fan)轉的信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)，從而(er)(er)進行全波整流(liu)，并(bing)且(qie)對進行全波整流(liu)而(er)(er)得到的信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)進行積分(fen)處理(li)并(bing)進行輸(shu)出(chu)。從正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)波電(dian)路34b輸(shu)出(chu)的信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)為(wei)從由(you)角速度檢(jian)測元件10的固定(ding)檢(jian)測電(dian)極(ji)142所輸(shu)出(chu)的檢(jian)測信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)中(zhong)提取出(chu)了正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao))的信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)，并(bing)且(qie)成為(wei)與(yu)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao))的大小(xiao)相對應的電(dian)壓。從正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢(jian)波電(dian)路34a、34b輸(shu)出(chu)的信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)互(hu)為(wei)同相。

此外，與第一實(shi)施(shi)方式(shi)不同，在振幅調節(jie)電(dian)(dian)路35b中(zhong)被輸入(ru)有交(jiao)流電(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)號(hao)mntb。而且，振幅調節(jie)電(dian)(dian)路35b根(gen)據正交(jiao)同步檢波電(dian)(dian)路34b的(de)輸出(chu)信(xin)(xin)號(hao)，以取(qu)消被輸入(ru)到q/v轉換(huan)器(qi)31b中(zhong)的(de)正交(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(泄漏信(xin)(xin)號(hao))的(de)方式(shi)而輸出(chu)對(dui)交(jiao)流電(dian)(dian)壓(ya)信(xin)(xin)號(hao)mntb的(de)振幅進行了調節(jie)的(de)正交(jiao)補正信(xin)(xin)號(hao)。

第二實施(shi)(shi)方式(shi)的角速度檢測裝置1中的其他的結構與第一(yi)實施(shi)(shi)方式(shi)(圖7)相同。

圖(tu)10為表(biao)(biao)示(shi)(shi)圖(tu)9的(de)a點(dian)～m點(dian)的(de)信號(hao)(hao)波形的(de)一個(ge)示(shi)(shi)例的(de)圖(tu)，橫軸(zhou)表(biao)(biao)示(shi)(shi)時間(jian)，縱軸(zhou)表(biao)(biao)示(shi)(shi)電(dian)壓或電(dian)流。圖(tu)10與圖(tu)8同樣(yang)為未(wei)向(xiang)角速度檢測元件10施加科里奧(ao)利力的(de)情況(kuang)下的(de)示(shi)(shi)例。另外，與圖(tu)8同樣(yang)，在(zai)圖(tu)10中由虛線表(biao)(biao)示(shi)(shi)的(de)信號(hao)(hao)波形為，假設(she)向(xiang)運算(suan)放大器310a、310b的(de)非反轉輸入端子中被(bei)供給(gei)有模擬接地電(dian)壓agnd的(de)情況(kuang)下的(de)信號(hao)(hao)波形。

在圖10中，除了f’點(dian)(dian)(dian)、g’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)波(bo)形(xing)(xing)以及h’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)波(bo)形(xing)(xing)之(zhi)外(wai)，均與(yu)圖8相(xiang)(xiang)同(tong)。f’點(dian)(dian)(dian)、g’點(dian)(dian)(dian)、h’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)各信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)波(bo)形(xing)(xing)相(xiang)(xiang)對于圖8中的(de)(de)f’點(dian)(dian)(dian)、g’點(dian)(dian)(dian)、h’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)各信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)波(bo)形(xing)(xing)而(er)極性(xing)反轉。而(er)且(qie)，由于在振幅調(diao)節(jie)電路35b中被(bei)輸入有交(jiao)流電壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mnt(c點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))和(he)極性(xing)為相(xiang)(xiang)反的(de)(de)交(jiao)流電壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)mntb(c’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))，因此正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(i’點(dian)(dian)(dian)的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao))的(de)(de)波(bo)形(xing)(xing)與(yu)圖8相(xiang)(xiang)同(tong)。其(qi)結(jie)果為，角(jiao)速度信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)波(bo)形(xing)(xing)也與(yu)圖8相(xiang)(xiang)同(tong)。

根(gen)據以(yi)上所(suo)說明的(de)第二實施方式(shi)的(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)裝置(zhi)1(角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)電路30)，能夠實現與第一實施方式(shi)的(de)角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)裝置(zhi)1(角(jiao)速(su)度(du)檢(jian)測(ce)電路30)相同的(de)效果。

1-3.第三實施(shi)方式

圖11為表示第三(san)(san)實施方(fang)式(shi)的(de)(de)角速(su)度檢(jian)測裝置(zhi)1的(de)(de)結構的(de)(de)圖。在圖11中(zhong)，對與圖7相同(tong)的(de)(de)結構要素標注相同(tong)的(de)(de)符號。以下，針(zhen)對第三(san)(san)實施方(fang)式(shi)的(de)(de)角速(su)度檢(jian)測裝置(zhi)1而省(sheng)略與第一實施方(fang)式(shi)重復的(de)(de)說明，并以與第一實施方(fang)式(shi)不同(tong)的(de)(de)內容(rong)為中(zhong)心(xin)進行說明。

在(zai)第(di)一(yi)(yi)實施(shi)方(fang)式(shi)(shi)中(zhong)(zhong)(zhong)，存在(zai)如(ru)(ru)下情況(kuang)，即，因(yin)振幅(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a、35b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)延(yan)遲(chi)而(er)(er)使(shi)分(fen)別從振幅(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35a、35b輸(shu)(shu)出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)與分(fen)別被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)運(yun)算放(fang)大(da)器(qi)(qi)310a、310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)轉輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢測信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(交(jiao)(jiao)(jiao)流電(dian)(dian)(dian)(dian)流)之間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)差偏離90°。而(er)(er)且，如(ru)(ru)圖11所示(shi)，在(zai)第(di)三(san)實施(shi)方(fang)式(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速度檢測裝置1中(zhong)(zhong)(zhong)，相(xiang)對(dui)于(yu)第(di)一(yi)(yi)實施(shi)方(fang)式(shi)(shi)(圖7)而(er)(er)進(jin)一(yi)(yi)步(bu)(bu)追加了兩個(ge)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36a、36b。相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36a(第(di)一(yi)(yi)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)部的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)個(ge)示(shi)例(li)(li))為，對(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)q/v轉換器(qi)(qi)31a(運(yun)算放(fang)大(da)器(qi)(qi)310a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)非反(fan)轉輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端(duan)子)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(第(di)一(yi)(yi)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)個(ge)示(shi)例(li)(li))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)進(jin)行(xing)(xing)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)。此外(wai)，相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36b(第(di)二(er)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)部的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)個(ge)示(shi)例(li)(li))為，對(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)q/v轉換器(qi)(qi)31b(運(yun)算放(fang)大(da)器(qi)(qi)310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)非反(fan)轉輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端(duan)子)中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(第(di)二(er)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)個(ge)示(shi)例(li)(li))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)進(jin)行(xing)(xing)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)。具體而(er)(er)言(yan)，相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36a基于(yu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a所檢測出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)，而(er)(er)以(yi)(yi)取消被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)q/v轉換器(qi)(qi)31a中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)式(shi)(shi)對(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)運(yun)算放(fang)大(da)器(qi)(qi)310a的(de)(de)(de)(de)(de)(de)非反(fan)轉輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)進(jin)行(xing)(xing)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)。此外(wai)，相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36b基于(yu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34b所檢測出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)，而(er)(er)以(yi)(yi)取消而(er)(er)被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)q/v轉換器(qi)(qi)31b中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)(de)(de)方(fang)式(shi)(shi)對(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)運(yun)算放(fang)大(da)器(qi)(qi)310b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)非反(fan)轉輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)端(duan)子中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)補(bu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)進(jin)行(xing)(xing)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)。也可以(yi)(yi)采用如(ru)(ru)下方(fang)式(shi)(shi)，例(li)(li)如(ru)(ru)，通過(guo)使(shi)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36a、36b各自所具有的(de)(de)(de)(de)(de)(de)可變(bian)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)阻(zu)值以(yi)(yi)及可變(bian)電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)值中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)至少(shao)一(yi)(yi)方(fang)根據正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)同步(bu)(bu)檢波電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34a、34b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)各輸(shu)(shu)出信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)(dian)(dian)平(ping)(ping)而(er)(er)進(jin)行(xing)(xing)變(bian)化(hua)，從而(er)(er)使(shi)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36a、36b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)前移量進(jin)行(xing)(xing)變(bian)化(hua)，以(yi)(yi)消除被(bei)輸(shu)(shu)入(ru)(ru)(ru)到(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)q/v轉換器(qi)(qi)31a、31b中(zhong)(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao))。

例如，通過相位(wei)(wei)調節電(dian)(dian)路(lu)36a對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)入到q/v轉換(huan)(huan)器31a中的(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)信號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)相位(wei)(wei)進(jin)(jin)行調節，以(yi)使(shi)(shi)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)同步(bu)檢波電(dian)(dian)路(lu)34a的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)平(ping)成為(wei)最(zui)小。由此(ci)，進(jin)(jin)行反(fan)饋(kui)以(yi)使(shi)(shi)q/v轉換(huan)(huan)器31a的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信號(hao)(hao)中所包含的(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信號(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)(lou)信號(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)振幅衰減。同樣，例如，通過相位(wei)(wei)調節電(dian)(dian)路(lu)36b對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)入到q/v轉換(huan)(huan)器31b中的(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)信號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)相位(wei)(wei)進(jin)(jin)行調節，以(yi)使(shi)(shi)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)同步(bu)檢波電(dian)(dian)路(lu)34b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)平(ping)成為(wei)最(zui)小。由此(ci)，進(jin)(jin)行反(fan)饋(kui)以(yi)使(shi)(shi)q/v轉換(huan)(huan)器31b的(de)(de)(de)(de)輸(shu)出信號(hao)(hao)中所包含的(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信號(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)(lou)信號(hao)(hao))的(de)(de)(de)(de)振幅衰減。其結果為(wei)，能夠使(shi)(shi)由正(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)信號(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)(lou)信號(hao)(hao))而(er)產生的(de)(de)(de)(de)角速度信號(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)偏移減少。

如此，由(you)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)同步檢(jian)(jian)波電(dian)路(lu)(lu)34a和(he)振(zhen)(zhen)幅調節電(dian)路(lu)(lu)35a以及(ji)相位調節電(dian)路(lu)(lu)36a構(gou)成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)路(lu)(lu)作為(wei)(wei)基(ji)于(yu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt生(sheng)(sheng)(sheng)成(cheng)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(第(di)(di)一(yi)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)個(ge)示(shi)例)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)一(yi)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生(sheng)(sheng)(sheng)成(cheng)部而(er)(er)發(fa)揮功能，其(qi)中(zhong)，所述(shu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt為(wei)(wei)基(ji)于(yu)角速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)驅動(dong)振(zhen)(zhen)動(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，所述(shu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)用(yong)于(yu)使(shi)由(you)從角速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)極140輸出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)流(liu)(liu)(liu)中(zhong)所包含的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而(er)(er)產(chan)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)偏移(yi)減少。同樣，由(you)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)同步檢(jian)(jian)波電(dian)路(lu)(lu)34b和(he)振(zhen)(zhen)幅調節電(dian)路(lu)(lu)35b以及(ji)相位調節電(dian)路(lu)(lu)36b構(gou)成(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)路(lu)(lu)作為(wei)(wei)基(ji)于(yu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt生(sheng)(sheng)(sheng)成(cheng)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(第(di)(di)二補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一(yi)個(ge)示(shi)例)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)(di)二補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)生(sheng)(sheng)(sheng)成(cheng)部而(er)(er)發(fa)揮功能，其(qi)中(zhong)，所述(shu)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)壓(ya)(ya)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt為(wei)(wei)基(ji)于(yu)角速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)驅動(dong)振(zhen)(zhen)動(dong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)，所述(shu)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)補正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)用(yong)于(yu)使(shi)由(you)從角速(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)極142輸出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)流(liu)(liu)(liu)電(dian)流(liu)(liu)(liu)中(zhong)所包含的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)(zheng)(zheng)(zheng)交(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))而(er)(er)產(chan)生(sheng)(sheng)(sheng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)(du)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)偏移(yi)減少。

第三實施方(fang)(fang)式的(de)(de)角速度檢測裝置1中的(de)(de)其他的(de)(de)結構(gou)與第一實施方(fang)(fang)式(圖7)相同。

根據以上所(suo)說明的(de)(de)(de)(de)(de)第(di)三實施方式的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)裝(zhuang)置(zhi)1(角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)路(lu)(lu)30)，與(yu)第(di)一實施方式的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)裝(zhuang)置(zhi)1(角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)路(lu)(lu)30)同樣地，能夠使(shi)(shi)由從(cong)角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)元(yuan)件(jian)10的(de)(de)(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)極140、142輸(shu)(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)信(xin)號(hao)中所(suo)包含的(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)交信(xin)號(hao)(泄漏信(xin)號(hao))而產生的(de)(de)(de)(de)(de)角(jiao)(jiao)(jiao)速度(du)信(xin)號(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)偏移減少，并(bing)且使(shi)(shi)q/v轉(zhuan)換器31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)輸(shu)(shu)出(chu)信(xin)號(hao)中所(suo)包含的(de)(de)(de)(de)(de)噪聲成分減少。

并且，根(gen)據(ju)第三實(shi)施(shi)(shi)方式(shi)的角速(su)(su)度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測裝(zhuang)(zhuang)置1(角速(su)(su)度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測電路(lu)30)，由于通過(guo)向(xiang)運算放大(da)器310a、310b的非反轉輸(shu)入端(duan)子中被(bei)輸(shu)入有(you)利(li)用(yong)振(zhen)幅調節電路(lu)35a、35b以及(ji)相(xiang)(xiang)位調節電路(lu)36a、36b而使振(zhen)幅以及(ji)相(xiang)(xiang)位被(bei)調節了的正(zheng)交補(bu)正(zheng)信號(hao)(hao)(hao)(hao)，從而使q/v轉換(huan)器31a、31b的輸(shu)出信號(hao)(hao)(hao)(hao)中正(zheng)交信號(hao)(hao)(hao)(hao)(泄漏信號(hao)(hao)(hao)(hao))更(geng)大(da)幅度(du)(du)(du)地被(bei)衰減(jian)，因此能夠(gou)相(xiang)(xiang)應地進一步增(zeng)大(da)q/v轉換(huan)器31a、31b的增(zeng)益(yi)。因此，根(gen)據(ju)第三實(shi)施(shi)(shi)方式(shi)的角速(su)(su)度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測裝(zhuang)(zhuang)置1(角速(su)(su)度(du)(du)(du)檢(jian)(jian)測電路(lu)30)，q/v轉換(huan)器31a、31b的輸(shu)出信號(hao)(hao)(hao)(hao)中所(suo)包含的角速(su)(su)度(du)(du)(du)成分(科(ke)里奧利(li)信號(hao)(hao)(hao)(hao))與噪聲成分之比變得更(geng)大(da)，其結(jie)果為(wei)，能夠(gou)使基于q/v轉換(huan)器31a、31b輸(shu)出信號(hao)(hao)(hao)(hao)而生成的角速(su)(su)度(du)(du)(du)信號(hao)(hao)(hao)(hao)so的s/n進一步提(ti)高。

此(ci)外，根(gen)據第三實施方(fang)式的角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)裝置(zhi)1(角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)電路30)，由于即使從角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)元件10的固定檢(jian)測(ce)電極140、142輸出的檢(jian)測(ce)信號(hao)(hao)中(zhong)所(suo)包含的正(zheng)(zheng)交信號(hao)(hao)(泄漏信號(hao)(hao))的振幅、相(xiang)位(wei)發(fa)生變化，正(zheng)(zheng)交補(bu)正(zheng)(zheng)信號(hao)(hao)的振幅、相(xiang)位(wei)也會(hui)隨之自(zi)動(dong)調節，因此(ci)即使環境發(fa)生變化也能夠將(jiang)角(jiao)速度(du)信號(hao)(hao)so的s/n維持為固定。

此外，根據第三實施方式的(de)角速(su)度檢(jian)測(ce)(ce)(ce)裝(zhuang)置(zhi)1(角速(su)度檢(jian)測(ce)(ce)(ce)電路30)，由(you)于(yu)在其制造(zao)工序(xu)中無需設定用于(yu)對(dui)從角速(su)度檢(jian)測(ce)(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)固定檢(jian)測(ce)(ce)(ce)電極(ji)140、142輸(shu)出的(de)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)信(xin)號(hao)中所包(bao)含的(de)正交信(xin)號(hao)(泄(xie)漏信(xin)號(hao))的(de)振幅、相(xiang)位進行檢(jian)查并對(dui)正交補正信(xin)號(hao)的(de)振幅、相(xiang)位進行調節(jie)的(de)信(xin)息，因此還能夠削減制造(zao)成本。

另外，雖然(ran)在圖11的(de)(de)示(shi)例(li)中，相(xiang)位(wei)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)36a被(bei)設(she)置(zhi)在振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)35a的(de)(de)輸(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與q/v轉換(huan)器(qi)31a的(de)(de)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)，但也可以(yi)(yi)設(she)置(zhi)在q/v轉換(huan)器(qi)21a的(de)(de)輸(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)35a的(de)(de)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)。同(tong)樣，雖然(ran)相(xiang)位(wei)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)36b被(bei)設(she)置(zhi)在振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)35b的(de)(de)輸(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與q/v轉換(huan)器(qi)31b的(de)(de)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)，但也可以(yi)(yi)設(she)置(zhi)在q/v轉換(huan)器(qi)21a的(de)(de)輸(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)35b的(de)(de)輸(shu)入(ru)(ru)(ru)(ru)端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)。此外，對于第二實施方式的(de)(de)角速度(du)檢測裝(zhuang)置(zhi)1(圖9)，同(tong)樣也可以(yi)(yi)追(zhui)加相(xiang)位(wei)調(diao)節(jie)電(dian)路(lu)(lu)(lu)36a、36b。

1-4.第四實施(shi)方式

圖(tu)12為表示第(di)(di)四實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢測裝(zhuang)置1的(de)(de)(de)(de)結構的(de)(de)(de)(de)圖(tu)。在圖(tu)12中(zhong)，對于(yu)圖(tu)11相同的(de)(de)(de)(de)結構要素標注(zhu)相同的(de)(de)(de)(de)符號。以下，針對第(di)(di)四實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速(su)度(du)檢測裝(zhuang)置1而省略與(yu)第(di)(di)一實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)或第(di)(di)三(san)實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)重(zhong)復的(de)(de)(de)(de)說(shuo)明(ming)，并以與(yu)第(di)(di)一實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)以及第(di)(di)三(san)實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式(shi)(shi)不同的(de)(de)(de)(de)內容(rong)為中(zhong)心(xin)進行說(shuo)明(ming)。

如(ru)圖12所示，在第四實(shi)(shi)施方(fang)式的(de)(de)角速度檢測裝(zhuang)置1中，相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)于第三實(shi)(shi)施方(fang)式而設置有存(cun)儲部(bu)(bu)37a、37b，以代(dai)替正(zheng)交(jiao)同(tong)(tong)步檢波電路34a、34b。而且，振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)節電路35a基(ji)(ji)于存(cun)儲部(bu)(bu)37a中所存(cun)儲的(de)(de)信(xin)息(振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)節信(xin)息)而對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入到q/v轉換器(qi)31a中的(de)(de)正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)號的(de)(de)振(zhen)幅(fu)(fu)進(jin)行(xing)調(diao)(diao)節。此外，相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節電路36a基(ji)(ji)于存(cun)儲部(bu)(bu)37a中所存(cun)儲的(de)(de)信(xin)息(相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節信(xin)息)而對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入到q/v轉換器(qi)31a中的(de)(de)正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)號的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)進(jin)行(xing)調(diao)(diao)節。同(tong)(tong)樣，振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)節電路35b基(ji)(ji)于存(cun)儲部(bu)(bu)37b中所存(cun)儲的(de)(de)信(xin)息(振(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)節信(xin)息)而對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入到q/v轉換器(qi)31b中的(de)(de)正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)號的(de)(de)振(zhen)幅(fu)(fu)進(jin)行(xing)調(diao)(diao)節。此外，相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節電路36b基(ji)(ji)于存(cun)儲部(bu)(bu)37b中所存(cun)儲的(de)(de)信(xin)息(相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節信(xin)息)而對(dui)(dui)被(bei)輸(shu)(shu)入到q/v轉換器(qi)31b中的(de)(de)正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)號的(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)進(jin)行(xing)調(diao)(diao)節。

也(ye)可以采用如(ru)(ru)下(xia)方式，例如(ru)(ru)，存(cun)儲(chu)部(bu)37a中(zhong)所(suo)存(cun)儲(chu)的振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)節(jie)(jie)信(xin)(xin)息(xi)為(wei)(wei)常(chang)數值(zhi)，并且振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路35a輸(shu)出(chu)使(shi)交流電(dian)壓信(xin)(xin)號(hao)mnt的振(zhen)(zhen)幅(fu)成為(wei)(wei)該常(chang)數倍的信(xin)(xin)號(hao)。此(ci)外，也(ye)可以采用如(ru)(ru)下(xia)方式，即(ji)，存(cun)儲(chu)部(bu)37a中(zhong)所(suo)存(cun)儲(chu)的相位調(diao)(diao)節(jie)(jie)信(xin)(xin)息(xi)為(wei)(wei)常(chang)數值(zhi)，并且相位調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路36a輸(shu)出(chu)如(ru)(ru)下(xia)的正(zheng)交補正(zheng)信(xin)(xin)號(hao)，所(suo)述正(zheng)交補正(zheng)信(xin)(xin)號(hao)為(wei)(wei)，通(tong)過(guo)根據該常(chang)數值(zhi)而(er)使(shi)可變電(dian)阻的電(dian)阻值(zhi)以及可變電(dian)容的電(dian)容值(zhi)中(zhong)的至(zhi)少(shao)一方發生變化，從而(er)使(shi)相位相對于(yu)振(zhen)(zhen)幅(fu)調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路35a的輸(shu)出(chu)信(xin)(xin)號(hao)而(er)前進了(le)的信(xin)(xin)號(hao)。

同樣，也(ye)可以采用(yong)(yong)如下(xia)方式，即，存(cun)(cun)儲(chu)部37b中所存(cun)(cun)儲(chu)的(de)(de)(de)振(zhen)幅調(diao)(diao)節(jie)(jie)信息(xi)為(wei)(wei)常數(shu)值，并且振(zhen)幅調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路(lu)35b輸(shu)出(chu)(chu)使交流電(dian)壓信號mnt的(de)(de)(de)振(zhen)幅成為(wei)(wei)該常數(shu)倍的(de)(de)(de)信號。此外(wai)，也(ye)可以采用(yong)(yong)如下(xia)方式，即，存(cun)(cun)儲(chu)部37b中所存(cun)(cun)儲(chu)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節(jie)(jie)信息(xi)為(wei)(wei)常數(shu)值，并且相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路(lu)36b輸(shu)出(chu)(chu)如下(xia)的(de)(de)(de)正交補(bu)正信號，所述正交補(bu)正信號為(wei)(wei)，通過根據該常數(shu)值而(er)使可變(bian)電(dian)阻的(de)(de)(de)電(dian)阻值以及(ji)可變(bian)電(dian)容的(de)(de)(de)電(dian)容值中的(de)(de)(de)至少一方發(fa)生變(bian)化，從而(er)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)相(xiang)(xiang)對于振(zhen)幅調(diao)(diao)節(jie)(jie)電(dian)路(lu)35b的(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)(chu)信號而(er)前進了的(de)(de)(de)信號。

也可(ke)以采用(yong)(yong)如下方式，例如，在角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)裝置1的(de)檢(jian)查工序(xu)中(zhong)，對分別被輸(shu)入到q/v轉換器31a、31b中(zhong)的(de)正(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)號(泄漏信(xin)(xin)號)的(de)電平進行測(ce)定，并(bing)將(jiang)與(yu)測(ce)定值相對應的(de)振幅調節(jie)信(xin)(xin)息存儲到非揮發(fa)性的(de)存儲部(bu)37a、37b中(zhong)。此(ci)外，也可(ke)以采用(yong)(yong)如下方式，即，在角(jiao)速度(du)檢(jian)測(ce)裝置1的(de)檢(jian)查工序(xu)中(zhong)，對分別被輸(shu)入到q/v轉換器31a、31b中(zhong)的(de)正(zheng)交(jiao)信(xin)(xin)號(泄漏信(xin)(xin)號)與(yu)交(jiao)流(liu)電壓信(xin)(xin)號mnt的(de)相位(wei)差進行測(ce)定，并(bing)將(jiang)與(yu)測(ce)定值相對應的(de)相位(wei)調節(jie)信(xin)(xin)息存儲到非揮發(fa)性的(de)存儲部(bu)37a、37b中(zhong)。

第四(si)實(shi)施(shi)方式的(de)(de)角(jiao)速(su)度檢測裝(zhuang)置1中的(de)(de)其他的(de)(de)結構與第三實(shi)施(shi)方式(圖11)相同。

根(gen)據以上所說明的(de)(de)(de)(de)(de)(de)第(di)四(si)實施(shi)方式(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)裝置1(角速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)路30)，與第(di)一實施(shi)方式(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)裝置1(角速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)路30)同樣，能(neng)夠(gou)使由從角速(su)度(du)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)(de)(de)(de)(de)(de)固定檢(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)極140、142輸出(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)信號(hao)(hao)(hao)中所包含的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正(zheng)交信號(hao)(hao)(hao)(泄漏信號(hao)(hao)(hao))而(er)產生的(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)信號(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)偏移減少(shao)，并且使q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出(chu)信號(hao)(hao)(hao)中所包含的(de)(de)(de)(de)(de)(de)噪聲成分減少(shao)。此(ci)外(wai)，由于在q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輸出(chu)信號(hao)(hao)(hao)中正(zheng)交信號(hao)(hao)(hao)(泄漏信號(hao)(hao)(hao))較大幅度(du)地被衰減，因此(ci)能(neng)夠(gou)相應地進一步增大q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a、31b的(de)(de)(de)(de)(de)(de)增益(yi)，其結果為，能(neng)夠(gou)使基于q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a、31b輸出(chu)信號(hao)(hao)(hao)而(er)生成的(de)(de)(de)(de)(de)(de)角速(su)度(du)信號(hao)(hao)(hao)so的(de)(de)(de)(de)(de)(de)s/n進一步提高。

并且，根(gen)據第四實施方式的(de)角(jiao)速度檢(jian)(jian)(jian)測(ce)裝置1(角(jiao)速度檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電路30)，例如，通過在其制造工序中，對(dui)從角(jiao)速度檢(jian)(jian)(jian)測(ce)元件(jian)10的(de)固定檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電極140、142輸(shu)出的(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)中所包含的(de)正(zheng)交信(xin)(xin)(xin)號(hao)(泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao))的(de)振(zhen)幅以及(ji)相位進行檢(jian)(jian)(jian)查，并將(jiang)與正(zheng)交信(xin)(xin)(xin)號(hao)(泄(xie)漏信(xin)(xin)(xin)號(hao))的(de)振(zhen)幅以及(ji)相位相對(dui)應(ying)的(de)信(xin)(xin)(xin)息(xi)存儲(chu)(chu)到存儲(chu)(chu)部(bu)37a、37b中，從而能(neng)夠使角(jiao)速度信(xin)(xin)(xin)號(hao)so的(de)s/n提高。

此外，根據(ju)第(di)(di)四實(shi)施(shi)方式的(de)角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)裝置(zhi)1(角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)路(lu)30)，當從角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)140、142輸出的(de)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中所包含的(de)正交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)振(zhen)幅(fu)及相(xiang)位因(yin)環境(jing)變化(hua)而發(fa)生變化(hua)時(shi)，交(jiao)(jiao)流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)mnt的(de)振(zhen)幅(fu)、相(xiang)位也會同(tong)樣發(fa)生變化(hua)，因(yin)此即使(shi)不對(dui)正交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)電(dian)(dian)(dian)平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)，也能夠在某種程(cheng)度(du)(du)上將(jiang)角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)so的(de)s/n維持為固(gu)定(ding)。因(yin)此，根據(ju)第(di)(di)四實(shi)施(shi)方式的(de)角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)裝置(zhi)1(角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)路(lu)30)，由(you)于不需要用(yong)于對(dui)從角速(su)(su)(su)(su)度(du)(du)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)元(yuan)件10的(de)固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)電(dian)(dian)(dian)極(ji)(ji)140、142輸出的(de)檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)中所包含的(de)正交(jiao)(jiao)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(泄(xie)漏(lou)信(xin)(xin)號(hao)(hao)(hao)(hao)(hao)(hao))的(de)電(dian)(dian)(dian)平(ping)進(jin)行檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)的(de)正交(jiao)(jiao)同(tong)步檢(jian)(jian)(jian)(jian)(jian)波(bo)電(dian)(dian)(dian)路(lu)34a、34b，因(yin)此還能夠削(xue)減(jian)電(dian)(dian)(dian)路(lu)面積。

另外，雖(sui)然在(zai)圖(tu)12的(de)示(shi)例中相位(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路36a被設置(zhi)在(zai)振(zhen)(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路35a的(de)輸(shu)(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與(yu)q/v轉(zhuan)換器(qi)31a的(de)輸(shu)(shu)入端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)，但(dan)也可(ke)以設置(zhi)在(zai)q/v轉(zhuan)換器(qi)21a的(de)輸(shu)(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與(yu)振(zhen)(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路35a的(de)輸(shu)(shu)入端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)。同(tong)(tong)(tong)樣，雖(sui)然相位(wei)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路36b被設置(zhi)在(zai)振(zhen)(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路35b的(de)輸(shu)(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與(yu)q/v轉(zhuan)換器(qi)31b的(de)輸(shu)(shu)入端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)，但(dan)也可(ke)以設置(zhi)在(zai)q/v轉(zhuan)換器(qi)21a的(de)輸(shu)(shu)出(chu)端(duan)(duan)子(zi)與(yu)振(zhen)(zhen)(zhen)幅(fu)(fu)調(diao)(diao)(diao)節(jie)電(dian)路35b的(de)輸(shu)(shu)入端(duan)(duan)子(zi)之(zhi)間(jian)。此外，也可(ke)以采用如下(xia)方式(shi)，即，對(dui)于第(di)一(yi)實施方式(shi)或者(zhe)第(di)二實施方式(shi)的(de)角速度檢(jian)測裝置(zhi)1(圖(tu)7或者(zhe)圖(tu)9)，同(tong)(tong)(tong)樣設置(zhi)存儲(chu)部37a、37b以代替正(zheng)交同(tong)(tong)(tong)步檢(jian)波電(dian)路34a、34b。

2.改變例

2-1.改變例1

雖然(ran)在上述的(de)各實施方式中，正(zheng)交補正(zheng)信(xin)號(hao)被輸入到運算(suan)放大器310a、310b的(de)非反轉輸入端(duan)子(zi)中，但也可以采用經由電阻而被輸入到運算(suan)放大器310a、310b的(de)反轉輸入端(duan)子(zi)中的(de)方式來進行改變。

作為(wei)一個示例(li)(li)，在(zai)圖13中(zhong)(zhong)(zhong)圖示了針對(dui)第三實(shi)施方式(shi)的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)裝置1(圖11)的(de)(de)(de)(de)改變例(li)(li)1的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)裝置1的(de)(de)(de)(de)結構。在(zai)圖13所示的(de)(de)(de)(de)改變例(li)(li)1的(de)(de)(de)(de)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)裝置1中(zhong)(zhong)(zhong)，運(yun)(yun)算(suan)放大(da)(da)器(qi)310a的(de)(de)(de)(de)反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端子中(zhong)(zhong)(zhong)被(bei)(bei)輸(shu)入(ru)有(you)從(cong)(cong)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)元(yuan)件(jian)(jian)10的(de)(de)(de)(de)固(gu)(gu)定(ding)檢(jian)測(ce)電極140輸(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)信號，并(bing)且經由(you)電阻(zu)38a而被(bei)(bei)輸(shu)入(ru)有(you)從(cong)(cong)相位調(diao)節(jie)電路36a輸(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)正(zheng)交補(bu)(bu)正(zheng)信號。此外，運(yun)(yun)算(suan)放大(da)(da)器(qi)310a的(de)(de)(de)(de)非反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端子中(zhong)(zhong)(zhong)被(bei)(bei)供給有(you)模擬(ni)接(jie)地電壓(ya)agnd。同樣，運(yun)(yun)算(suan)放大(da)(da)器(qi)310b的(de)(de)(de)(de)反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端子中(zhong)(zhong)(zhong)被(bei)(bei)輸(shu)入(ru)有(you)從(cong)(cong)角(jiao)速度檢(jian)測(ce)元(yuan)件(jian)(jian)10的(de)(de)(de)(de)固(gu)(gu)定(ding)檢(jian)測(ce)電極142輸(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)檢(jian)測(ce)信號，并(bing)且經由(you)電阻(zu)38b而被(bei)(bei)輸(shu)入(ru)有(you)從(cong)(cong)相位調(diao)節(jie)電路36b輸(shu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)正(zheng)交補(bu)(bu)正(zheng)信號。此外，運(yun)(yun)算(suan)放大(da)(da)器(qi)310b的(de)(de)(de)(de)非反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端子中(zhong)(zhong)(zhong)被(bei)(bei)供給有(you)模擬(ni)接(jie)地電壓(ya)agnd。

另外，由于(yu)q/v轉換器31a、31b的(de)(de)輸出(chu)信(xin)號(hao)(運(yun)算放(fang)大器310a、310b的(de)(de)輸出(chu)信(xin)號(hao))相(xiang)(xiang)對于(yu)輸入(ru)(ru)信(xin)號(hao)而(er)相(xiang)(xiang)位前移了90°，因此需要(yao)針對上述各實施方(fang)式而(er)使正(zheng)交(jiao)補(bu)正(zheng)信(xin)號(hao)的(de)(de)相(xiang)(xiang)位延遲(chi)(chi)90°。因此，振幅調(diao)節(jie)電(dian)路35a、35b中被(bei)輸入(ru)(ru)有將交(jiao)流(liu)(liu)電(dian)壓信(xin)號(hao)mnt的(de)(de)相(xiang)(xiang)位延遲(chi)(chi)了90°的(de)(de)相(xiang)(xiang)位調(diao)節(jie)部27a的(de)(de)輸出(chu)信(xin)號(hao)(基(ji)于(yu)驅動振動的(de)(de)信(xin)號(hao)的(de)(de)一個示(shi)例)以(yi)代替交(jiao)流(liu)(liu)電(dian)壓信(xin)號(hao)mnt。

根據(ju)這種改變例1的(de)(de)角速度檢測裝置1，能夠實(shi)現(xian)與上述各實(shi)施方式相同的(de)(de)效果。

2-2.改變例2

雖然在上述(shu)的各實施方(fang)式中(zhong)，從角(jiao)速度(du)檢測(ce)元(yuan)件10而輸(shu)出有互(hu)為反(fan)相的兩(liang)個(ge)(ge)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)，并且為了取(qu)消這兩(liang)個(ge)(ge)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所包(bao)含的正交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao))而設置了兩(liang)個(ge)(ge)系統(tong)的反(fan)饋組，但兩(liang)個(ge)(ge)系統(tong)的反(fan)饋組中(zhong)的一(yi)方(fang)也可(ke)以不(bu)存在。或者，也可(ke)以改變(bian)為如下結構(gou)，即，從角(jiao)速度(du)檢測(ce)元(yuan)件10僅(jin)輸(shu)出一(yi)個(ge)(ge)檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)，并且為了取(qu)消該檢測(ce)信(xin)(xin)(xin)號(hao)中(zhong)所包(bao)含的正交(jiao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)(泄漏(lou)信(xin)(xin)(xin)號(hao))而僅(jin)設置一(yi)個(ge)(ge)系統(tong)的反(fan)饋組。

作為一個示例(li)，在(zai)圖(tu)14中(zhong)圖(tu)示出了針對第三實施方式(shi)的(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)1(圖(tu)11)的(de)改變例(li)2的(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)1的(de)結構。在(zai)圖(tu)14所(suo)示的(de)改變例(li)2的(de)角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)1中(zhong)，角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)元件10不具(ju)有固定(ding)驅動(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極132、固定(ding)監測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極162以及(ji)固定(ding)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極142。與此(ci)相對應，驅動(dong)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)20不具(ju)有q/v轉(zhuan)換器21b以及(ji)相位調(diao)節(jie)部27b，此(ci)外，電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)平轉(zhuan)換電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)26的(de)結構也被簡化。此(ci)外，角(jiao)速(su)(su)度(du)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)30不具(ju)有q/v轉(zhuan)換器31b、正交同步檢(jian)(jian)(jian)波電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)34b、振(zhen)幅(fu)調(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)35b以及(ji)相位調(diao)節(jie)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)36b，此(ci)外，差動(dong)放大(da)器32被置(zhi)換為反轉(zhuan)放大(da)器39。

根據(ju)這種改變例2的角速度檢測(ce)裝置1，能(neng)夠實現與(yu)上述(shu)各實施方式(shi)相同的效果(guo)。

2-3.其他的(de)改變(bian)例

也可(ke)以采(cai)用(yong)如下方(fang)式(shi)，即，在上(shang)述的各(ge)實施(shi)方(fang)式(shi)中(zhong)(zhong)，使正(zheng)交補(bu)正(zheng)信號的相位(wei)延遲90°，并且將q/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)31a、31b置換為i/v轉(zhuan)換器(qi)(qi)。此(ci)外，在上(shang)述的各(ge)實施(shi)方(fang)式(shi)中(zhong)(zhong)，振幅調節(jie)電路(lu)35a、35b也可(ke)以不存(cun)在。此(ci)外，也可(ke)以采(cai)用(yong)如下方(fang)式(shi)，即，在上(shang)述的各(ge)實施(shi)方(fang)式(shi)中(zhong)(zhong)，正(zheng)交補(bu)正(zheng)信號的一部分經(jing)由(you)電容而被輸(shu)入(ru)到(dao)運(yun)算放大器(qi)(qi)310a的反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端(duan)子以及運(yun)算放大器(qi)(qi)310b的反轉(zhuan)輸(shu)入(ru)端(duan)子的至(zhi)少(shao)一方(fang)中(zhong)(zhong)。

3.電子設備

圖15為(wei)本實施方(fang)式所涉及的(de)電子設備500的(de)功能框(kuang)圖。另(ling)外，對與上述的(de)各實施方(fang)式相同的(de)結(jie)構標注相同的(de)符(fu)號，并(bing)省略詳(xiang)細(xi)的(de)說明。

本實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式所(suo)涉及(ji)的電(dian)子(zi)(zi)設(she)備(bei)500為(wei)包含(han)角速度(du)檢測(ce)裝置(zhi)1的電(dian)子(zi)(zi)設(she)備(bei)500。在圖(tu)15所(suo)示(shi)的示(shi)例中，電(dian)子(zi)(zi)設(she)備(bei)500被構(gou)成為(wei)，包括角速度(du)檢測(ce)裝置(zhi)1、運算(suan)處理(li)裝置(zhi)510、操(cao)作(zuo)部(bu)530、rom(readonlymemory：只讀(du)存儲(chu)器(qi))540、ram(randomaccessmemory：隨(sui)機存取存儲(chu)器(qi))550、通信部(bu)560、顯示(shi)部(bu)570、聲(sheng)音輸(shu)出部(bu)580。另(ling)外，本實(shi)施(shi)(shi)方(fang)式所(suo)涉及(ji)的電(dian)子(zi)(zi)設(she)備(bei)500也(ye)可以(yi)(yi)將圖(tu)15所(suo)示(shi)的結(jie)構(gou)要(yao)素(su)(各部(bu)分(fen))的一部(bu)分(fen)省(sheng)略或進(jin)行變(bian)更，也(ye)可以(yi)(yi)采用(yong)附加了其他(ta)的結(jie)構(gou)要(yao)素(su)的結(jie)構(gou)。

運算處(chu)(chu)理(li)裝置(zhi)510按照(zhao)rom540等中所存儲(chu)的(de)(de)(de)程序(xu)來(lai)實施各(ge)種(zhong)計算處(chu)(chu)理(li)、控制處(chu)(chu)理(li)。具體(ti)而言(yan)，運算處(chu)(chu)理(li)裝置(zhi)510實施如下處(chu)(chu)理(li)，即，與(yu)角速度檢(jian)測裝置(zhi)1的(de)(de)(de)輸(shu)出(chu)信(xin)號(hao)、來(lai)自操作部(bu)(bu)530的(de)(de)(de)操作信(xin)號(hao)相對應的(de)(de)(de)各(ge)種(zhong)處(chu)(chu)理(li)、為(wei)了與(yu)外部(bu)(bu)實施數據(ju)通(tong)信(xin)而對通(tong)信(xin)部(bu)(bu)560進行控制的(de)(de)(de)處(chu)(chu)理(li)、對用于在(zai)顯(xian)示部(bu)(bu)570上顯(xian)示各(ge)種(zhong)信(xin)息的(de)(de)(de)顯(xian)示信(xin)號(hao)進行發送的(de)(de)(de)處(chu)(chu)理(li)、使聲音輸(shu)出(chu)部(bu)(bu)580輸(shu)出(chu)各(ge)種(zhong)聲音的(de)(de)(de)處(chu)(chu)理(li)等。

操(cao)作部530為通(tong)過操(cao)作鍵(jian)、按鈕(niu)開(kai)關等而構成的輸(shu)入裝置，其將與用戶(hu)進行的操(cao)作相對應的操(cao)作信(xin)號(hao)輸(shu)出到運算(suan)處(chu)理裝置510中。

rom540對用于使運算處理裝(zhuang)置510實施各種計算處理、控制處理的程序、數據等進行存儲。

ram550作(zuo)為運(yun)(yun)(yun)算(suan)處(chu)理(li)裝置510的(de)工作(zuo)區域而(er)被使(shi)用，并對從rom540讀(du)出(chu)的(de)程序、數據、從操作(zuo)部(bu)530輸入的(de)數據、運(yun)(yun)(yun)算(suan)處(chu)理(li)裝置510按照各種程序而(er)執行的(de)運(yun)(yun)(yun)算(suan)結果等臨(lin)時性地進行存(cun)儲。

通(tong)信部560實施(shi)用(yong)于使運算處理裝置510與外部裝置之(zhi)間的數(shu)據通(tong)信成立的各種控制。

顯示(shi)(shi)部570為(wei)通過lcd(liquidcrystaldisplay：液(ye)晶(jing)顯示(shi)(shi)器)、電泳顯示(shi)(shi)器等而構成的顯示(shi)(shi)裝(zhuang)置，并基于從運(yun)算處理裝(zhuang)置510輸入的顯示(shi)(shi)信號而顯示(shi)(shi)各(ge)種(zhong)信息。

而且(qie)，聲音(yin)輸(shu)出部(bu)580為揚(yang)聲器等的(de)對聲音(yin)進行(xing)輸(shu)出的(de)裝置。

根據本實施(shi)方(fang)式所(suo)涉及的(de)(de)(de)電(dian)子(zi)設(she)備(bei)500，由于以(yi)含有與現有技術(shu)相比能夠使角(jiao)(jiao)速度信號(hao)的(de)(de)(de)s/n提(ti)高的(de)(de)(de)角(jiao)(jiao)速度檢(jian)測裝置(zhi)1的(de)(de)(de)方(fang)式而構(gou)成，因此(ci)可以(yi)實現能夠以(yi)更高精度實施(shi)基于角(jiao)(jiao)速度的(de)(de)(de)變化的(de)(de)(de)處理(例如，與姿(zi)態(tai)相對應的(de)(de)(de)控制等)的(de)(de)(de)電(dian)子(zi)設(she)備(bei)500。

作(zuo)為電(dian)(dian)子(zi)設(she)備(bei)(bei)500而考慮(lv)有各種電(dian)(dian)子(zi)設(she)備(bei)(bei)。例如(ru)，可列舉出個人(ren)(ren)計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(例如(ru)，移(yi)動(dong)型(xing)個人(ren)(ren)計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、膝(xi)上型(xing)個人(ren)(ren)計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、平板(ban)型(xing)個人(ren)(ren)計(ji)(ji)(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji))、移(yi)動(dong)電(dian)(dian)話等移(yi)動(dong)體終(zhong)(zhong)端、數碼照(zhao)相(xiang)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、噴墨式(shi)噴出裝置(zhi)(例如(ru)，噴墨打印機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji))、路由(you)器(qi)或交換機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)等的儲存(cun)局域網設(she)備(bei)(bei)、本地網絡設(she)備(bei)(bei)、移(yi)動(dong)體終(zhong)(zhong)端基站用(yong)設(she)備(bei)(bei)、電(dian)(dian)視(shi)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、攝像(xiang)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、錄像(xiang)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、汽車導航裝置(zhi)、尋(xun)呼機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、電(dian)(dian)子(zi)記(ji)事薄(附含通信(xin)功能)、電(dian)(dian)子(zi)詞(ci)典、計(ji)(ji)(ji)算(suan)器(qi)、電(dian)(dian)子(zi)游(you)戲(xi)機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、游(you)戲(xi)用(yong)控制器(qi)、文字處理機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、工作(zuo)站、可視(shi)電(dian)(dian)話、防(fang)盜用(yong)電(dian)(dian)視(shi)監(jian)測(ce)(ce)器(qi)、電(dian)(dian)子(zi)雙筒望遠鏡(jing)、pos(pointofsale：銷(xiao)售終(zhong)(zhong)端)終(zhong)(zhong)端、醫療(liao)設(she)備(bei)(bei)(例如(ru)電(dian)(dian)子(zi)體溫計(ji)(ji)(ji)、血壓計(ji)(ji)(ji)、血糖儀(yi)、心電(dian)(dian)圖計(ji)(ji)(ji)測(ce)(ce)裝置(zhi)、超聲波(bo)診斷裝置(zhi)、電(dian)(dian)子(zi)內(nei)窺鏡(jing))、魚群探測(ce)(ce)器(qi)、各種測(ce)(ce)定設(she)備(bei)(bei)、儀(yi)表(biao)類(例如(ru)，車輛、飛機(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)、船(chuan)舶的儀(yi)表(biao)類)、飛行(xing)模擬器(qi)、頭戴式(shi)顯示器(qi)、運動(dong)跟蹤器(qi)(motiontracer)、運動(dong)追蹤器(qi)(motiontrackingdevice)、運動(dong)控制器(qi)、pdr(步行(xing)者位(wei)置(zhi)方位(wei)計(ji)(ji)(ji)測(ce)(ce))等。

圖16a為(wei)(wei)表(biao)示作(zuo)為(wei)(wei)電子(zi)設備(bei)500的(de)一(yi)個示例(li)的(de)智能(neng)電話的(de)外(wai)觀的(de)一(yi)個示例(li)的(de)圖，圖16b表(biao)示作(zuo)為(wei)(wei)電子(zi)設備(bei)500的(de)一(yi)個示例(li)的(de)手(shou)腕(wan)佩戴型的(de)便攜設備(bei)的(de)外(wai)觀的(de)一(yi)個示例(li)的(de)圖。在作(zuo)為(wei)(wei)圖16a所示的(de)電子(zi)設備(bei)500的(de)智能(neng)電話中，作(zuo)為(wei)(wei)操(cao)作(zuo)部(bu)530而(er)(er)具有(you)按鈕且(qie)作(zuo)為(wei)(wei)顯(xian)示部(bu)570而(er)(er)具有(you)lcd。在作(zuo)為(wei)(wei)圖16b所示的(de)電子(zi)設備(bei)500的(de)手(shou)腕(wan)佩戴型的(de)便攜設備(bei)中，作(zuo)為(wei)(wei)操(cao)作(zuo)部(bu)530而(er)(er)具有(you)按鈕以及表(biao)冠且(qie)作(zuo)為(wei)(wei)顯(xian)示部(bu)570而(er)(er)具備(bei)lcd。由(you)于這些電子(zi)設備(bei)500以包含與(yu)現有(you)技術(shu)相(xiang)比能(neng)夠使角速(su)度(du)信號的(de)s/n提高(gao)的(de)角速(su)度(du)檢測裝置1的(de)方式(shi)而(er)(er)構(gou)成，因此可以實(shi)現能(neng)夠以更高(gao)精度(du)實(shi)施基于角速(su)度(du)的(de)變化的(de)處理(例(li)如，與(yu)姿態相(xiang)對應(ying)的(de)顯(xian)示控制(zhi)等)的(de)電子(zi)設備(bei)500。

4.移動體

圖(tu)17為表示本實施方(fang)式(shi)所涉及的(de)移動(dong)體400的(de)一(yi)個示例的(de)圖(tu)(俯(fu)視圖(tu))。另外，對與上述的(de)各實施方(fang)式(shi)同樣的(de)結構標注相(xiang)同的(de)符號，并省略詳細的(de)說明。

本(ben)實施方(fang)式(shi)所涉(she)及的(de)移(yi)動(dong)體(ti)400為包含角速度檢測裝置(zhi)1的(de)移(yi)動(dong)體(ti)400。在圖(tu)17所示(shi)的(de)示(shi)例(li)中，移(yi)動(dong)體(ti)400以包括實施發動(dong)機(ji)系(xi)統、制(zhi)動(dong)系(xi)統、無鑰匙進入(ru)系(xi)統(keylessentrysystem)等(deng)的(de)各種控(kong)制(zhi)的(de)控(kong)制(zhi)器420、控(kong)制(zhi)器430、控(kong)制(zhi)器440、蓄(xu)電池450以及備用(yong)蓄(xu)電池460的(de)方(fang)式(shi)而構成。另外，本(ben)實施方(fang)式(shi)所涉(she)及的(de)移(yi)動(dong)體(ti)400也可以將圖(tu)17所示(shi)的(de)結構要(yao)素(su)(su)(各部(bu)分)的(de)一部(bu)分省略或進行(xing)變更，也可以采(cai)用(yong)附加了(le)其(qi)他(ta)的(de)結構要(yao)素(su)(su)的(de)結構。

根(gen)據(ju)本實(shi)施方式(shi)所涉及的(de)移(yi)動體400，由于(yu)包(bao)括與(yu)現(xian)有技術相比能夠使角(jiao)速(su)(su)(su)度(du)信號的(de)s/n提高的(de)角(jiao)速(su)(su)(su)度(du)檢測裝置1，因此可以實(shi)現(xian)能夠以更高精度(du)實(shi)施基(ji)于(yu)角(jiao)速(su)(su)(su)度(du)的(de)變化的(de)處理(例如(ru)，側滑或翻轉的(de)抑止(zhi)控制(zhi)等)的(de)移(yi)動體400。

作為(wei)這種移(yi)動(dong)體400而考慮到各(ge)種移(yi)動(dong)體，例如，可列舉出汽車(che)(也包括電動(dong)汽車(che))、噴氣機或直升飛(fei)機等飛(fei)行器、船舶(bo)、機器人(ren)、人(ren)造衛(wei)星等。

本(ben)發明并(bing)不(bu)限定(ding)于本(ben)實施方(fang)式，能夠在(zai)本(ben)發明的(de)主旨的(de)范圍(wei)內實施各種(zhong)變形(xing)。

上述的實施(shi)方(fang)式以及改變例(li)為一(yi)個示(shi)例(li)，并不(bu)限定于此。例(li)如，也可以對各(ge)實施(shi)方(fang)式以及各(ge)改變例(li)進行適當組合(he)。

本發(fa)明(ming)(ming)包(bao)括(kuo)與(yu)在實(shi)(shi)施(shi)(shi)方式中(zhong)(zhong)所(suo)說(shuo)(shuo)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)實(shi)(shi)質上相(xiang)同的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)(例如(ru)，功能(neng)、方法(fa)以(yi)及(ji)結(jie)(jie)(jie)果相(xiang)同的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)，或者(zhe)目的(de)(de)(de)以(yi)及(ji)效(xiao)果相(xiang)同的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou))。此外(wai)，本發(fa)明(ming)(ming)包(bao)括(kuo)將在實(shi)(shi)施(shi)(shi)方式中(zhong)(zhong)所(suo)說(shuo)(shuo)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)的(de)(de)(de)非(fei)必需(xu)的(de)(de)(de)部(bu)分進行置換了的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)。此外(wai)，本發(fa)明(ming)(ming)包(bao)括(kuo)能(neng)夠(gou)實(shi)(shi)現與(yu)在實(shi)(shi)施(shi)(shi)方式中(zhong)(zhong)所(suo)說(shuo)(shuo)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)相(xiang)同作(zuo)用效(xiao)果的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)或者(zhe)能(neng)夠(gou)達成相(xiang)同目的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)。此外(wai)，本發(fa)明(ming)(ming)包(bao)括(kuo)向(xiang)在實(shi)(shi)施(shi)(shi)方式中(zhong)(zhong)所(suo)說(shuo)(shuo)明(ming)(ming)的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)中(zhong)(zhong)附加(jia)了公知技術的(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)構(gou)(gou)。

符號說明

1…角(jiao)速(su)度檢(jian)(jian)測裝置；10…角(jiao)速(su)度檢(jian)(jian)測元件；11…基(ji)板；13…空(kong)腔；14…凹(ao)部(bu)(bu)(bu)(bu)；20…驅動電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；21a、21b…q/v轉換(huan)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)荷(he)放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi))；22…比(bi)較(jiao)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；23a、23b…相移電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；24a、24b…限(xian)帶濾波器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；25…比(bi)較(jiao)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；26…電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)平轉換(huan)電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；27a、27b…相位(wei)(wei)調(diao)節部(bu)(bu)(bu)(bu)；30…角(jiao)速(su)度檢(jian)(jian)測電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；31a、31b…q/v轉換(huan)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)荷(he)放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi))；32…差(cha)動放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；33…科(ke)里奧利同(tong)步(bu)檢(jian)(jian)波電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；34a、34b…正交(jiao)同(tong)步(bu)檢(jian)(jian)波電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；35a、35b…振幅調(diao)節電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；36a、36b…相位(wei)(wei)調(diao)節電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)；37a、37b…存(cun)儲部(bu)(bu)(bu)(bu)；38a、38b…電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)阻；39…反轉放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；106…第一結構(gou)體(ti)(ti)、108…第二結構(gou)體(ti)(ti)；112…振動體(ti)(ti)；112a…振動體(ti)(ti)；112b…振動體(ti)(ti)；114…第一彈簧(huang)(huang)部(bu)(bu)(bu)(bu)；116…可(ke)動驅動電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極、118…可(ke)動監(jian)測電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極；122…位(wei)(wei)移部(bu)(bu)(bu)(bu)；122a…位(wei)(wei)移部(bu)(bu)(bu)(bu)；122b…位(wei)(wei)移部(bu)(bu)(bu)(bu)；124…第二彈簧(huang)(huang)部(bu)(bu)(bu)(bu)；126…可(ke)動檢(jian)(jian)測電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極；130、132…固(gu)定(ding)驅動電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極；140、142…固(gu)定(ding)檢(jian)(jian)測電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極；150…固(gu)定(ding)部(bu)(bu)(bu)(bu)；160、162…固(gu)定(ding)監(jian)測電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)極；210a、210b…運算放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；211a、211b…電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)容(rong)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；310a、310b…運算放(fang)(fang)大(da)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；400…移動體(ti)(ti)；420…控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；430…控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；440…控(kong)制(zhi)器(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)；450…蓄電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)池(chi)；460…輔助(zhu)用蓄電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)池(chi)；500…電(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)(dian)子設備；510…運算處(chu)理裝置；530…操作部(bu)(bu)(bu)(bu)；540…rom；550…ram；560…通信部(bu)(bu)(bu)(bu)；570…顯示部(bu)(bu)(bu)(bu)；580…聲音輸出部(bu)(bu)(bu)(bu)。