本發明涉(she)及一種(zhong)測試平臺(tai)，尤其是一種(zhong)機械手測試平臺(tai)。

背景技術：

機械(xie)(xie)手(shou)是半(ban)導體(ti)設備上(shang)非常關鍵(jian)的(de)部件，它的(de)精(jing)度會決定傳片的(de)重(zhong)復性(xing)和可(ke)靠(kao)性(xing)。半(ban)導體(ti)設備在裝(zhuang)調時，經常發現(xian)機械(xie)(xie)手(shou)在運行過(guo)程(cheng)中重(zhong)復性(xing)和可(ke)靠(kao)性(xing)有問題(ti)，因此在安裝(zhuang)機械(xie)(xie)手(shou)之前必須對機械(xie)(xie)手(shou)精(jing)度進行測試(X、Y、Z方向)，以(yi)保證(zheng)機械(xie)(xie)手(shou)安裝(zhuang)、運行穩(wen)定，精(jing)度可(ke)以(yi)重(zhong)復。

技術實現要素：

針對上述現有技術(shu)的(de)不足，本發明(ming)提供(gong)了一(yi)種機(ji)械手測試平(ping)臺(tai)。

為(wei)實現上述(shu)目的，本發明采(cai)用的技術(shu)方(fang)案是：一(yi)種(zhong)機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手測試平臺(tai)，包括機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手平臺(tai)(1)、機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手(2)和(he)移(yi)動(dong)支(zhi)(zhi)架(3)。機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手(2)處于(yu)機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手平臺(tai)(1)上。移(yi)動(dong)支(zhi)(zhi)架(3)在機(ji)(ji)械(xie)(xie)(xie)手平臺(tai)(1)平面滑動(dong)。

本發明的有益效果及特點：結構(gou)緊湊合(he)理(li)，當(dang)需要測(ce)試機械手(shou)時可以移動(dong)支架(jia)到正確位置，通(tong)過測(ce)試裝(zhuang)置進(jin)行(xing)測(ce)試，以滿足使(shi)用要求(qiu)。

附圖說明

圖1是本發明(ming)的結構示意(yi)圖。

具體實施方式

下面將結(jie)合本(ben)(ben)發(fa)(fa)(fa)明(ming)實施(shi)(shi)例(li)中(zhong)的(de)(de)(de)附圖，對本(ben)(ben)發(fa)(fa)(fa)明(ming)實施(shi)(shi)例(li)中(zhong)的(de)(de)(de)技術(shu)方案進行(xing)清晰、完整(zheng)地(di)描(miao)述(shu)，顯然(ran)，所描(miao)述(shu)的(de)(de)(de)實施(shi)(shi)例(li)僅(jin)僅(jin)是(shi)本(ben)(ben)發(fa)(fa)(fa)明(ming)一部(bu)(bu)分(fen)實施(shi)(shi)例(li)，而不(bu)是(shi)全部(bu)(bu)的(de)(de)(de)實施(shi)(shi)例(li)。基于(yu)本(ben)(ben)發(fa)(fa)(fa)明(ming)中(zhong)的(de)(de)(de)實施(shi)(shi)例(li)，本(ben)(ben)領域普通技術(shu)人員在沒有做出創造(zao)性勞動前提下所獲(huo)得(de)的(de)(de)(de)所有其他(ta)實施(shi)(shi)例(li)，都屬(shu)于(yu)本(ben)(ben)發(fa)(fa)(fa)明(ming)保護的(de)(de)(de)范(fan)圍。

如圖(tu)1所示(shi)：一種機(ji)械(xie)手測試平臺，包括機(ji)械(xie)手平臺1、機(ji)械(xie)手2和移(yi)動(dong)支(zhi)架(jia)3。機(ji)械(xie)手2處于(yu)機(ji)械(xie)手平臺1上(shang)。移(yi)動(dong)支(zhi)架(jia)3在機(ji)械(xie)手平臺1平面(mian)滑動(dong)。

使用時，機械(xie)手2安裝(zhuang)在(zai)平臺(1)，測試裝(zhuang)置(zhi)安裝(zhuang)移(yi)動(dong)支架3上。當需要(yao)測試機械(xie)手時可以將移(yi)動(dong)支架3移(yi)動(dong)到(dao)正確(que)位置(zhi)，通過測試裝(zhuang)置(zhi)進行測試，以滿(man)足使用要(yao)求(qiu)。